JPH063318A - ジルコニアガス分析計 - Google Patents
ジルコニアガス分析計Info
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- JPH063318A JPH063318A JP4157978A JP15797892A JPH063318A JP H063318 A JPH063318 A JP H063318A JP 4157978 A JP4157978 A JP 4157978A JP 15797892 A JP15797892 A JP 15797892A JP H063318 A JPH063318 A JP H063318A
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 配線数を少なくし配線工事費を削減するとと
もにヒータ用電源による誘導ノイズを受けにくくして信
頼性を高めたジルコニアガス分析計を提供する。 【構成】 ジルコニアセンサ(2),温度センサ(3),ヒー
タ(4)からなる検出器(1)と,信号処理回路(5),温度調節
回路(6),演算制御回路(7)からなる変換器(10)と前記検
出器と変換器を接続する配線(12,13)からなり,前記ジル
コニアセンサの加熱手段として交流電流により100%
未満の出力で十分な加熱エネルギーを出力するヒータ
と,前記交流電流のゼロクロス点を検出するゼロクロス
検出回路(23)とを有し,前記演算制御回路7は前記ジル
コニアセンサ(2)および温度センサ(3)からの電気信号の
取り込みタイミングをヒータに交流電流を流さないタイ
ミングの時に前記ゼロクロス検出回路(23)からのゼロク
ロス信号のタイミングに合わせて取り入れる。
もにヒータ用電源による誘導ノイズを受けにくくして信
頼性を高めたジルコニアガス分析計を提供する。 【構成】 ジルコニアセンサ(2),温度センサ(3),ヒー
タ(4)からなる検出器(1)と,信号処理回路(5),温度調節
回路(6),演算制御回路(7)からなる変換器(10)と前記検
出器と変換器を接続する配線(12,13)からなり,前記ジル
コニアセンサの加熱手段として交流電流により100%
未満の出力で十分な加熱エネルギーを出力するヒータ
と,前記交流電流のゼロクロス点を検出するゼロクロス
検出回路(23)とを有し,前記演算制御回路7は前記ジル
コニアセンサ(2)および温度センサ(3)からの電気信号の
取り込みタイミングをヒータに交流電流を流さないタイ
ミングの時に前記ゼロクロス検出回路(23)からのゼロク
ロス信号のタイミングに合わせて取り入れる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は,O2ガス等の濃度を測
定するための濃淡電池式ジルコニアガス分析計に関し,
信号データの取り込み装置,ヒータ加熱装置およびヒー
タ回路の配線抵抗を自動計測することにより配線数の減
少を図ったジルコニアガス分析計に関すものである。
定するための濃淡電池式ジルコニアガス分析計に関し,
信号データの取り込み装置,ヒータ加熱装置およびヒー
タ回路の配線抵抗を自動計測することにより配線数の減
少を図ったジルコニアガス分析計に関すものである。
【0002】
【従来の技術】濃淡電池式ジルコニアガス濃度計ではジ
ルコニアセンサを600℃以上の高温度に加熱する必要
がある。図8はジルコニアガス分析計の一般的な構成説
明図である。図において1はジルコニアセンサ2,温度
センサ3,ヒータ4等からなる検出器であり,10は信
号処理回路5,温度調節回路6,演算制御回路7等から
なる変換器である。ジルコニアセンサ2で酸素濃度に関
連して検出された電気信号は信号配線12を介して信号
処理回路5に入力され,ここで処理された信号は演算制
御回路7に送出される。また,演算制御回路7からの指
令が温度調節回路6に送出され,ここからヒータ配線1
3を介して送出される信号によりヒータ4が加熱され
る。加熱された検出器1の温度は温度センサ3で検出さ
れ,信号配線12,信号処理回路5,演算制御回路7を
介して温度制御回路6にフィードバックされて所定の温
度に維持される。
ルコニアセンサを600℃以上の高温度に加熱する必要
がある。図8はジルコニアガス分析計の一般的な構成説
明図である。図において1はジルコニアセンサ2,温度
センサ3,ヒータ4等からなる検出器であり,10は信
号処理回路5,温度調節回路6,演算制御回路7等から
なる変換器である。ジルコニアセンサ2で酸素濃度に関
連して検出された電気信号は信号配線12を介して信号
処理回路5に入力され,ここで処理された信号は演算制
御回路7に送出される。また,演算制御回路7からの指
令が温度調節回路6に送出され,ここからヒータ配線1
3を介して送出される信号によりヒータ4が加熱され
る。加熱された検出器1の温度は温度センサ3で検出さ
れ,信号配線12,信号処理回路5,演算制御回路7を
介して温度制御回路6にフィードバックされて所定の温
度に維持される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで,このような
ジルコニア分析計のヒータ容量はジルコニアセンサの大
きさにより決まるものであるが,電源としては一般に大
型のものは商用電源(AC100V系や200V系)が
用いられて,小型のものは低電圧のDC電源が用いられ
る。そして,ヒータ電源は温度調節のために常時オン/
オフが繰り返されている。
ジルコニア分析計のヒータ容量はジルコニアセンサの大
きさにより決まるものであるが,電源としては一般に大
型のものは商用電源(AC100V系や200V系)が
用いられて,小型のものは低電圧のDC電源が用いられ
る。そして,ヒータ電源は温度調節のために常時オン/
オフが繰り返されている。
【0004】一方ジルコニアセンサの信号(数mV〜数
100mV)や温度センサ(例えば熱電対…数10m
V)は変換器との間の配線工事にヒータ配線からの誘導
ノイズをうけないように信号配線とヒータ配線を別々の
コンジットに収納したり,シールドケーブルやツイステ
ッドペア線を用いたりして十分なノイズ対策工事が必要
となるので,配線工事費が非常に高くなるという問題が
ある。また,商用電源の場合は特にヒータオン/オフの
周期は約20ms(50Hz,60Hz)以上であり,
一般には数100ms〜数secとなるため上記信号処
理回路5のアンプのローパスフィルタのカットオフ周波
数をかなり低く設定する必要がある。従って,その設定
によっては応答特性に悪影響を与えることとなる。
100mV)や温度センサ(例えば熱電対…数10m
V)は変換器との間の配線工事にヒータ配線からの誘導
ノイズをうけないように信号配線とヒータ配線を別々の
コンジットに収納したり,シールドケーブルやツイステ
ッドペア線を用いたりして十分なノイズ対策工事が必要
となるので,配線工事費が非常に高くなるという問題が
ある。また,商用電源の場合は特にヒータオン/オフの
周期は約20ms(50Hz,60Hz)以上であり,
一般には数100ms〜数secとなるため上記信号処
理回路5のアンプのローパスフィルタのカットオフ周波
数をかなり低く設定する必要がある。従って,その設定
によっては応答特性に悪影響を与えることとなる。
【0005】また,このような温度制御回路においては
ヒータと温度センサを有しているため検出器と温度調節
回路の配線が4線となり,例えば温度センサを熱電対と
して冷接点補償センサを使用する場合には6線となるの
で配線数が多くなりコスト高になるという問題がある。
上述の問題を解決するためにヒータ素線の温度係数を利
用してヒータを温度センサとしても機能させる方式が提
案されている。この方式によればヒータ制御回路を2線
化することが可能である。
ヒータと温度センサを有しているため検出器と温度調節
回路の配線が4線となり,例えば温度センサを熱電対と
して冷接点補償センサを使用する場合には6線となるの
で配線数が多くなりコスト高になるという問題がある。
上述の問題を解決するためにヒータ素線の温度係数を利
用してヒータを温度センサとしても機能させる方式が提
案されている。この方式によればヒータ制御回路を2線
化することが可能である。
【0006】ヒータ素線の温度係数を利用する場合には
ヒータのある検出器と温度制御回路のある変換器との間
の配線抵抗が既知である必要があるが,この間の抵抗は
一般に設置現場の状況により変化する(すなわち,検出
器1と変換器10の間の距離(抵抗)は配線の長さや配
線材の種類により変化する)。従ってヒータ配線13の
みの抵抗を測定するためには配線工事後検出器1の設置
現場へ行きヒータ端子を短絡しなければならないという
問題があった。
ヒータのある検出器と温度制御回路のある変換器との間
の配線抵抗が既知である必要があるが,この間の抵抗は
一般に設置現場の状況により変化する(すなわち,検出
器1と変換器10の間の距離(抵抗)は配線の長さや配
線材の種類により変化する)。従ってヒータ配線13の
みの抵抗を測定するためには配線工事後検出器1の設置
現場へ行きヒータ端子を短絡しなければならないという
問題があった。
【0007】図9は比較的近い場所に複数のセンサを配
置して複数箇所のガス濃度を測定する場合の従来例を示
す概略構成図である。この様な場合には変換器は一台と
して検出器のみ複数台設置することが行なわれるが,そ
の場合ヒータは各センサ毎に必要なため検出器1と変換
器10の間のヒータ配線13が増加するという問題があ
った。本発明は上記従来技術の問題を解決するためにな
されたもので,配線工事費を安く,また,ジルコニアセ
ンサおよび熱電対の電気信号が誘導ノイズを受けにくく
して信頼性を高くすると共に応答特性を改善したジルコ
ニアガス分析計を提供することを目的とする。
置して複数箇所のガス濃度を測定する場合の従来例を示
す概略構成図である。この様な場合には変換器は一台と
して検出器のみ複数台設置することが行なわれるが,そ
の場合ヒータは各センサ毎に必要なため検出器1と変換
器10の間のヒータ配線13が増加するという問題があ
った。本発明は上記従来技術の問題を解決するためにな
されたもので,配線工事費を安く,また,ジルコニアセ
ンサおよび熱電対の電気信号が誘導ノイズを受けにくく
して信頼性を高くすると共に応答特性を改善したジルコ
ニアガス分析計を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する為に
本発明は,請求項1においては,ジルコニアセンサ,温
度センサ,ヒータからなる検出器と,信号処理回路,温
度調節回路,演算制御回路からなる変換器と前記検出器
と変換器を接続する配線からなり,所定の温度に加熱し
た前記ジルコニアセンサにガスを接触させ,ガスの濃度
に関連して発生する前記センサの電気信号から測定ガス
中の濃度を求めるジルコニアガス分析計において,前記
ジルコニアセンサの加熱手段として交流電流により10
0%未満の出力で十分な加熱エネルギーを出力するヒー
タと,前記交流電流のゼロクロス点を検出するゼロクロ
ス検出回路とを有し,前記演算制御回路は前記ジルコニ
アセンサおよび温度センサからの電気信号の取り込みタ
イミングをヒータに交流電流を流さないタイミングの時
に前記ゼロクロス検出回路からのゼロクロス信号のタイ
ミングに合わせて取り入れるようにしたことを特徴とす
るものであり,
本発明は,請求項1においては,ジルコニアセンサ,温
度センサ,ヒータからなる検出器と,信号処理回路,温
度調節回路,演算制御回路からなる変換器と前記検出器
と変換器を接続する配線からなり,所定の温度に加熱し
た前記ジルコニアセンサにガスを接触させ,ガスの濃度
に関連して発生する前記センサの電気信号から測定ガス
中の濃度を求めるジルコニアガス分析計において,前記
ジルコニアセンサの加熱手段として交流電流により10
0%未満の出力で十分な加熱エネルギーを出力するヒー
タと,前記交流電流のゼロクロス点を検出するゼロクロ
ス検出回路とを有し,前記演算制御回路は前記ジルコニ
アセンサおよび温度センサからの電気信号の取り込みタ
イミングをヒータに交流電流を流さないタイミングの時
に前記ゼロクロス検出回路からのゼロクロス信号のタイ
ミングに合わせて取り入れるようにしたことを特徴とす
るものであり,
【0009】請求項2においては,ジルコニアセンサ,
温度センサ,ヒータからなる検出器と,信号処理回路,
温度調節回路,演算制御回路からなる変換器と前記検出
器と変換器を接続する配線からなり,所定の温度に加熱
した前記ジルコニアセンサにガスを接触させ,ガスの濃
度に関連して発生する前記センサの電気信号から測定ガ
ス中の濃度を求めるジルコニアガス分析計において,前
記検出器側にヒータ端子を短絡して設けたヒューズと,
前記演算制御回路と前記変換器側のヒータ配線(13)の端
子間に設けられ前記ヒータの配線抵抗を測定する抵抗測
定回路と,前記ヒューズの定格よりも高い電流を流す定
電流回路と,前記定電流回路と前記ヒータ配線のオンオ
フを行う第1切換えスイッチと,前記温度調節回路とヒ
ータ配線のオンオフを行う第2切換えスイッチを備えた
ことを特徴とするものであり,
温度センサ,ヒータからなる検出器と,信号処理回路,
温度調節回路,演算制御回路からなる変換器と前記検出
器と変換器を接続する配線からなり,所定の温度に加熱
した前記ジルコニアセンサにガスを接触させ,ガスの濃
度に関連して発生する前記センサの電気信号から測定ガ
ス中の濃度を求めるジルコニアガス分析計において,前
記検出器側にヒータ端子を短絡して設けたヒューズと,
前記演算制御回路と前記変換器側のヒータ配線(13)の端
子間に設けられ前記ヒータの配線抵抗を測定する抵抗測
定回路と,前記ヒューズの定格よりも高い電流を流す定
電流回路と,前記定電流回路と前記ヒータ配線のオンオ
フを行う第1切換えスイッチと,前記温度調節回路とヒ
ータ配線のオンオフを行う第2切換えスイッチを備えた
ことを特徴とするものであり,
【0010】請求項3においては,ジルコニアセンサ,
温度センサ,ヒータからなる検出器と,信号処理回路,
温度調節回路,演算制御回路からなる変換器と前記検出
器と変換器を接続する配線からなり,所定の温度に加熱
した前記ジルコニアセンサにガスを接触させ,ガスの濃
度に関連して発生する前記センサの電気信号から測定ガ
ス中の濃度を求めるジルコニアガス分析計において,前
記変換器一台に対して検出器を2台(第1検出器,第2
検出器)配置するとともにこれらの検出器側のヒータと
端子間のそれぞれに電流の流れ方向に対して順方向に設
けられた第1,第2ダイオードと,前記第1検出器のヒ
ータ端子の電流の流入側と第2検出器の電流の流出側を
結ぶ第1短絡配線と,第1検出器のヒータ端子の電流の
流出側と第2検出器の電流の流入側を結ぶ第2短絡配線
と,前記演算制御回路の指令に基づいて前記2台の検出
器の何れのヒータに電流を流すかを切り換える切換えス
イッチとを具備したことを特徴とするものである。
温度センサ,ヒータからなる検出器と,信号処理回路,
温度調節回路,演算制御回路からなる変換器と前記検出
器と変換器を接続する配線からなり,所定の温度に加熱
した前記ジルコニアセンサにガスを接触させ,ガスの濃
度に関連して発生する前記センサの電気信号から測定ガ
ス中の濃度を求めるジルコニアガス分析計において,前
記変換器一台に対して検出器を2台(第1検出器,第2
検出器)配置するとともにこれらの検出器側のヒータと
端子間のそれぞれに電流の流れ方向に対して順方向に設
けられた第1,第2ダイオードと,前記第1検出器のヒ
ータ端子の電流の流入側と第2検出器の電流の流出側を
結ぶ第1短絡配線と,第1検出器のヒータ端子の電流の
流出側と第2検出器の電流の流入側を結ぶ第2短絡配線
と,前記演算制御回路の指令に基づいて前記2台の検出
器の何れのヒータに電流を流すかを切り換える切換えス
イッチとを具備したことを特徴とするものである。
【0011】
【作用】請求項1において,制御回路はゼロクロス検出
回路が検出したゼロクロス信号を入力し,この信号に同
期した一定周期のパルス幅変調信号に変換する。このパ
ルス幅変調信号のオン信号は予め決められたアルゴリズ
ムにより分散させた信号として電源のスイッチ回路に出
力される。パルス幅変調信号のオフ信号の間に各センサ
からの信号を取り入れる。
回路が検出したゼロクロス信号を入力し,この信号に同
期した一定周期のパルス幅変調信号に変換する。このパ
ルス幅変調信号のオン信号は予め決められたアルゴリズ
ムにより分散させた信号として電源のスイッチ回路に出
力される。パルス幅変調信号のオフ信号の間に各センサ
からの信号を取り入れる。
【0012】請求項2において,ヒータ電源投入に先立
って抵抗測定回路を用いて配線の抵抗を測定する。その
後定電流回路をオンとしてヒューズを除去する。請求項
3によりおいて,第1検出器のヒータに電流を流す場合
は第1検出器側のダイオードは順方向,第2検出器側の
ダイオードは逆方向となり,第2検出器のヒータに電流
を流す場合は第1検出器側のダイオードは逆方向,第2
検出器側のダイオードは順方向となる。従って切換えス
イッチによりヒータ電源を切り換えることにより2台の
検出器に電流を供給することができる。
って抵抗測定回路を用いて配線の抵抗を測定する。その
後定電流回路をオンとしてヒューズを除去する。請求項
3によりおいて,第1検出器のヒータに電流を流す場合
は第1検出器側のダイオードは順方向,第2検出器側の
ダイオードは逆方向となり,第2検出器のヒータに電流
を流す場合は第1検出器側のダイオードは逆方向,第2
検出器側のダイオードは順方向となる。従って切換えス
イッチによりヒータ電源を切り換えることにより2台の
検出器に電流を供給することができる。
【0013】
【実施例】図1は本発明によるジルコニアガス分析計の
一実施例を示す構成ブロック図である。図において図8
と同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略す
るが,20は切換えスイッチ(例えばソリッドステート
リレー),21はAC電源、22は電源トランス,23
はAC電源21のゼロクロスポイントを検出するゼロク
ロス検出回路である。25,25’は入力アンプ,27
はスキャナ回路,28はローパスフィルタ,29はA/
D変換器である。
一実施例を示す構成ブロック図である。図において図8
と同一要素には同一符号を付して重複する説明は省略す
るが,20は切換えスイッチ(例えばソリッドステート
リレー),21はAC電源、22は電源トランス,23
はAC電源21のゼロクロスポイントを検出するゼロク
ロス検出回路である。25,25’は入力アンプ,27
はスキャナ回路,28はローパスフィルタ,29はA/
D変換器である。
【0014】上記の構成において,ヒータ4は100%
未満のデューティでも十分な昇温能力を持つもってお
り,制御回路7はスキャナ回路27への切り替え信号や
A/D変換タイミング信号を算出したり,温度センサ3
からの温度信号を入力してヒータの温調信号を算出し,
ゼロクロスポイントタイミング信号と同調をとってソリ
ッドステートリレー20へ温調信号を送出することがで
きる。本発明においては温調信号の基本動作はパルス幅
変調信号で行い,そのオンオフ信号のオフ時において信
号のA/D変換を行うことにあるが,A/D変換データ
の取り込み周期との関係から,パルス幅変調のデューテ
ィは結果的に同じとし,そのパルス幅変調データ更新周
期内におけるオンオフ動作を頻繁に行い,オフ動作の状
態を間欠的に多く発生させることにある。そして,先に
も述べたようにヒータの容量はデューティが100%未
満(例えば80%)でも十分な昇温能力を持ったものを
使用し,温調動作とヒータ信号のデューティとオンオフ
パターンは予め決められている。
未満のデューティでも十分な昇温能力を持つもってお
り,制御回路7はスキャナ回路27への切り替え信号や
A/D変換タイミング信号を算出したり,温度センサ3
からの温度信号を入力してヒータの温調信号を算出し,
ゼロクロスポイントタイミング信号と同調をとってソリ
ッドステートリレー20へ温調信号を送出することがで
きる。本発明においては温調信号の基本動作はパルス幅
変調信号で行い,そのオンオフ信号のオフ時において信
号のA/D変換を行うことにあるが,A/D変換データ
の取り込み周期との関係から,パルス幅変調のデューテ
ィは結果的に同じとし,そのパルス幅変調データ更新周
期内におけるオンオフ動作を頻繁に行い,オフ動作の状
態を間欠的に多く発生させることにある。そして,先に
も述べたようにヒータの容量はデューティが100%未
満(例えば80%)でも十分な昇温能力を持ったものを
使用し,温調動作とヒータ信号のデューティとオンオフ
パターンは予め決められている。
【0015】ここで図2を用いてゼロクロス検出を行う
場合の制御回路7のタイムチャートを説明する。なお,
この制御回路ではパルス幅変調信号の基本周期が200
m秒で温調している場合を示している。図において
(A)はゼロクロス検出信号,(B)は基本的なパルス
幅変調信号,(C)はオン信号を分散させたパルス幅変
調信号,(D)はAC電源の場合のヒータ信号,(E)
はA/Dの変換タイミングを示している。
場合の制御回路7のタイムチャートを説明する。なお,
この制御回路ではパルス幅変調信号の基本周期が200
m秒で温調している場合を示している。図において
(A)はゼロクロス検出信号,(B)は基本的なパルス
幅変調信号,(C)はオン信号を分散させたパルス幅変
調信号,(D)はAC電源の場合のヒータ信号,(E)
はA/Dの変換タイミングを示している。
【0016】温調信号は(A)のゼロクロス検出信号に
同期したパルス幅変調信号(B)として作られ,更にそ
の信号のオン信号値は予め決められたアルゴリズムによ
り分散させた信号(C)として作り直してA/C電源の
スイッチ回路に送り出される。(C)の信号でAはA1
+A2+A3,BはB1+B2+B3,CはC1+C2等の様
に分割される。そして切り替えスイッチで変調を受けた
A/C電源はヒータ信号(D)となり,この信号により
ある周期毎にオフとなる区間が発生する。従ってこのオ
フ区間内で信号のA/D変換を行う。(E)の変換タイ
ミングにおいて,例えばで示す部分は温度センサ入
力,は熱電対の冷接点補償センサ入力,はジルコニ
アO2センサ入力,はAmp系のオフセットゲイン調
整入力に対応させる。なお,A/D変換器の変換スピー
ドによりそれぞれのオフ期間中に全ての入力のA/D変
換を完了させることも可能である。
同期したパルス幅変調信号(B)として作られ,更にそ
の信号のオン信号値は予め決められたアルゴリズムによ
り分散させた信号(C)として作り直してA/C電源の
スイッチ回路に送り出される。(C)の信号でAはA1
+A2+A3,BはB1+B2+B3,CはC1+C2等の様
に分割される。そして切り替えスイッチで変調を受けた
A/C電源はヒータ信号(D)となり,この信号により
ある周期毎にオフとなる区間が発生する。従ってこのオ
フ区間内で信号のA/D変換を行う。(E)の変換タイ
ミングにおいて,例えばで示す部分は温度センサ入
力,は熱電対の冷接点補償センサ入力,はジルコニ
アO2センサ入力,はAmp系のオフセットゲイン調
整入力に対応させる。なお,A/D変換器の変換スピー
ドによりそれぞれのオフ期間中に全ての入力のA/D変
換を完了させることも可能である。
【0017】また,ヒータの電源をDCとした場合はゼ
ロクロス検出信号は不要なので,図2のパルス幅変調信
号(C)から直接A/D変換タイミングを決めることが
できる。上記の構成によれば,ジルコニアセンサ,温度
センサのA/D変換タイミングをヒータ電源のゼロクロ
ス時のタイミングで取り込む様にプログラミングしてい
るので,ヒータの温調信号による誘導ノイズの受けるこ
となく信号処理が可能となり, ヒータ配線と信号配線の工事において電磁シールド
やツイステッドペア線等を使用する必要がないのでコン
ジット配管を含む配線工事が容易となり安価にできる。 特にジルコニアO2検出器を複数台接続し,主に大
型ボイラの煙道内におけるO2濃度分布の平均値を求め
るような多点のO2測定に使用されるアベレージングコ
ンバータにおいて効果が顕著である。 アンプの入力フィルタとして商用周波数を考慮すれ
ば良いので装置の応答特性を落とすことがない。
ロクロス検出信号は不要なので,図2のパルス幅変調信
号(C)から直接A/D変換タイミングを決めることが
できる。上記の構成によれば,ジルコニアセンサ,温度
センサのA/D変換タイミングをヒータ電源のゼロクロ
ス時のタイミングで取り込む様にプログラミングしてい
るので,ヒータの温調信号による誘導ノイズの受けるこ
となく信号処理が可能となり, ヒータ配線と信号配線の工事において電磁シールド
やツイステッドペア線等を使用する必要がないのでコン
ジット配管を含む配線工事が容易となり安価にできる。 特にジルコニアO2検出器を複数台接続し,主に大
型ボイラの煙道内におけるO2濃度分布の平均値を求め
るような多点のO2測定に使用されるアベレージングコ
ンバータにおいて効果が顕著である。 アンプの入力フィルタとして商用周波数を考慮すれ
ば良いので装置の応答特性を落とすことがない。
【0018】図3は本発明の請求項2を説明するための
構成ブロック図である。図において図8と同一要素には
同一符号を付して重複する説明は省略する。30は検出
器1の端子側(A−B間)にヒータ配線に並列に取り付
けられた抵抗(r)のヒューズ,31はヒータ配線の抵抗
を測定するための抵抗測定回路であり,測定結果は演算
制御回路7に伝送される。33は第1切換えスイッチで
定電流回路32のヒータ配線へのオンオフを行う。34
は温調回路6のヒータ4への切換えを行う第2切換えス
イッチである。
構成ブロック図である。図において図8と同一要素には
同一符号を付して重複する説明は省略する。30は検出
器1の端子側(A−B間)にヒータ配線に並列に取り付
けられた抵抗(r)のヒューズ,31はヒータ配線の抵抗
を測定するための抵抗測定回路であり,測定結果は演算
制御回路7に伝送される。33は第1切換えスイッチで
定電流回路32のヒータ配線へのオンオフを行う。34
は温調回路6のヒータ4への切換えを行う第2切換えス
イッチである。
【0019】図4は配線抵抗(R1,R2)を測定するた
めのフローを示すものである。フローに従って配線抵抗
測定の手順を説明する。始めに検出器1と変換器10の
機器間の配線を行い,変換器側の電源をオンにして配線
抵抗測定モード(第1,第2切換えスイッチをオフ)と
する。配線抵抗測定モードになると抵抗測定回路31が
動作し,図中の(E−C−A−(ヒューズ+ヒータ)−
B−D−F間の経路の抵抗値を測定する(この場合E−
C,F−D間は他の部分の抵抗値に比較して無視できる
程小さい値に形成されており,ヒューズ30の抵抗値も
ヒータ配線13に比較して十分小さい値のものが選定さ
れているものとする。
めのフローを示すものである。フローに従って配線抵抗
測定の手順を説明する。始めに検出器1と変換器10の
機器間の配線を行い,変換器側の電源をオンにして配線
抵抗測定モード(第1,第2切換えスイッチをオフ)と
する。配線抵抗測定モードになると抵抗測定回路31が
動作し,図中の(E−C−A−(ヒューズ+ヒータ)−
B−D−F間の経路の抵抗値を測定する(この場合E−
C,F−D間は他の部分の抵抗値に比較して無視できる
程小さい値に形成されており,ヒューズ30の抵抗値も
ヒータ配線13に比較して十分小さい値のものが選定さ
れているものとする。
【0020】1) 始めにヒータ4の抵抗をR0として
上記経路の全抵抗値Rxを求めると, Rx=R1+R2+{r・R0/(r+R0)}となる。 ここで,r・R0/(r+R0)の項はR1,R2に比較し
て十分小さな値となるrが選択され(あるいはrの値は既
知の値のものを取り付けておく)ており,ヒータ配線の
正味の配線抵抗値(R1+R2)を求めることができる。 2) 次に第1切換えスイッチ33をオンとして定電流
回路32からヒータ配線13にヒューズの定格の数倍の
定電流を流してヒューズ30を溶断する。 3) 次に第1切換えスイッチ33をオフとして定電流
回路32からの電流を切り,抵抗測定回路31で上記経
路の全抵抗値を測定してヒューズ30の溶断を確認し,
第2切換えスイッチ34をオンとして温調回路6をヒー
タ配線13に接続する。 4) 3)項で求めた全抵抗値と1)項で求めた配線抵
抗値の差から抵抗R0の抵抗値を算出する。なお,温度
調節はヒータ抵抗値と予め求めた温度係数を元にヒータ
温度を算出して行う。
上記経路の全抵抗値Rxを求めると, Rx=R1+R2+{r・R0/(r+R0)}となる。 ここで,r・R0/(r+R0)の項はR1,R2に比較し
て十分小さな値となるrが選択され(あるいはrの値は既
知の値のものを取り付けておく)ており,ヒータ配線の
正味の配線抵抗値(R1+R2)を求めることができる。 2) 次に第1切換えスイッチ33をオンとして定電流
回路32からヒータ配線13にヒューズの定格の数倍の
定電流を流してヒューズ30を溶断する。 3) 次に第1切換えスイッチ33をオフとして定電流
回路32からの電流を切り,抵抗測定回路31で上記経
路の全抵抗値を測定してヒューズ30の溶断を確認し,
第2切換えスイッチ34をオンとして温調回路6をヒー
タ配線13に接続する。 4) 3)項で求めた全抵抗値と1)項で求めた配線抵
抗値の差から抵抗R0の抵抗値を算出する。なお,温度
調節はヒータ抵抗値と予め求めた温度係数を元にヒータ
温度を算出して行う。
【0021】上記の構成によれば検出器内に予めヒータ
端子間のショート用ヒューズ30を設けヒータ配線13
の抵抗値を求め,この配線抵抗とヒータの正味の抵抗か
ら温度調節が可能となる。従って配線工事が終了した後
に足場の危険な検出器の設置場所まで行ってヒータ配線
13を短絡し配線抵抗を測定する必要がなく,ヒータ制
御回路を2線化することが可能である。
端子間のショート用ヒューズ30を設けヒータ配線13
の抵抗値を求め,この配線抵抗とヒータの正味の抵抗か
ら温度調節が可能となる。従って配線工事が終了した後
に足場の危険な検出器の設置場所まで行ってヒータ配線
13を短絡し配線抵抗を測定する必要がなく,ヒータ制
御回路を2線化することが可能である。
【0022】図5は本発明の請求項3を説明するための
構成ブロック図である。図において図8と同一要素には
同一符号を付して重複する説明は省略するが,この場合
もヒータ4は100%未満のデューティでも十分な昇温
能力を持つものとする。41は第1検出器1側のヒータ
と端子間に電流の流れ方向に対して順方向に設けられた
第1ダイオード,42は第2検出器1’側のヒータと端
子間に電流の流れ方向に対して順方向に設けられた第2
ダイオードである。45は第1検出器1のヒータ端子の
電流の流入側と第2検出器1’のヒータ端子の電流の流
出側を結ぶ第1短絡配線,46は第1検出器1のヒータ
端子の電流の流出側と第2検出器1'のヒータ端子の電
流の流入側を結ぶ第2短絡配線である。48は切換えス
イッチで,ヒータ電源6aからの電流を第1検出器1の
流入側に対して正または負の電圧を印加するかを演算制
御回路7の指令に基づいて切り換える。
構成ブロック図である。図において図8と同一要素には
同一符号を付して重複する説明は省略するが,この場合
もヒータ4は100%未満のデューティでも十分な昇温
能力を持つものとする。41は第1検出器1側のヒータ
と端子間に電流の流れ方向に対して順方向に設けられた
第1ダイオード,42は第2検出器1’側のヒータと端
子間に電流の流れ方向に対して順方向に設けられた第2
ダイオードである。45は第1検出器1のヒータ端子の
電流の流入側と第2検出器1’のヒータ端子の電流の流
出側を結ぶ第1短絡配線,46は第1検出器1のヒータ
端子の電流の流出側と第2検出器1'のヒータ端子の電
流の流入側を結ぶ第2短絡配線である。48は切換えス
イッチで,ヒータ電源6aからの電流を第1検出器1の
流入側に対して正または負の電圧を印加するかを演算制
御回路7の指令に基づいて切り換える。
【0023】上記の構成において,切換えスイッチ48
をa側に接続するとヒータ電源からの電流はa+側から
ヒータ4,第1ダイオード41を経てa−側に流れる。
次に切換えスイッチ48をb側に接続するとヒータ電源
からの電流はb+側から第2短絡配線46,ヒータ
4’,第2ダイオード42,第1短絡配線45を経てb
−側に流れる。図6は温度制御のための基本的な動作フ
ローを示す図であるが,実際の処理は例えば検出器1の
温度データ取り込みと温度演算及び制御出力演算は検出
器1’が制御出力を送出している期間に実行する。制御
出力はパルス幅変調出力として出力されるがその動作は
割込み処理として行われるようにプログラムして上記の
条件を満たすようにする。図7はそのタイムチャートの
一例を示す図である。図7において▼はこの時点で割込
み処理を行うタイミングを示している。
をa側に接続するとヒータ電源からの電流はa+側から
ヒータ4,第1ダイオード41を経てa−側に流れる。
次に切換えスイッチ48をb側に接続するとヒータ電源
からの電流はb+側から第2短絡配線46,ヒータ
4’,第2ダイオード42,第1短絡配線45を経てb
−側に流れる。図6は温度制御のための基本的な動作フ
ローを示す図であるが,実際の処理は例えば検出器1の
温度データ取り込みと温度演算及び制御出力演算は検出
器1’が制御出力を送出している期間に実行する。制御
出力はパルス幅変調出力として出力されるがその動作は
割込み処理として行われるようにプログラムして上記の
条件を満たすようにする。図7はそのタイムチャートの
一例を示す図である。図7において▼はこの時点で割込
み処理を行うタイミングを示している。
【0024】図6,図7において演算制御回路は
(c),(d)に示すように検出器1および2のセンサ
信号を信号処理回路を介して交互に入力し,制御出力を
演算している。そして始めに(e)に示すようにe1の
時点で切り替えスイッチ48(図5参照)をa側に接続
しT1の間検出器1のヒータ電源をオンとする。次にf1
の時点で切り替えスイッチ48をb側に接続しT3の間
検出器1’のヒータ電源をオンとする。以後e2,f2,
e3,f3の時点において同様の動作を繰り返して検出器
内の温度を所定の温度に維持する。上記の構成によれば
ヒータ配線を2台の検出器で共有することが可能とな
り,ヒータ用の線径の太い配線を少なくすることができ
る。
(c),(d)に示すように検出器1および2のセンサ
信号を信号処理回路を介して交互に入力し,制御出力を
演算している。そして始めに(e)に示すようにe1の
時点で切り替えスイッチ48(図5参照)をa側に接続
しT1の間検出器1のヒータ電源をオンとする。次にf1
の時点で切り替えスイッチ48をb側に接続しT3の間
検出器1’のヒータ電源をオンとする。以後e2,f2,
e3,f3の時点において同様の動作を繰り返して検出器
内の温度を所定の温度に維持する。上記の構成によれば
ヒータ配線を2台の検出器で共有することが可能とな
り,ヒータ用の線径の太い配線を少なくすることができ
る。
【0025】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明した様
に本発明によれば,配線数を少なくし配線工事費を削減
したジルコニアガス分析計を実現することができる。
に本発明によれば,配線数を少なくし配線工事費を削減
したジルコニアガス分析計を実現することができる。
【図1】本発明の請求項1に関する一実施例を示すジル
コニアガス分析計の構成ブロック図である。
コニアガス分析計の構成ブロック図である。
【図2】ゼロクロス検出を行う場合の制御回路のタイム
チャートの説明図である。
チャートの説明図である。
【図3】本発明の請求項2に関する一実施例を示すジル
コニアガス分析計の構成ブロック図である。
コニアガス分析計の構成ブロック図である。
【図4】図3の配線抵抗を測定するためのフローを示す
図である。
図である。
【図5】本発明の請求項3に関する一実施例を示すジル
コニアガス分析計の構成ブロック図である。
コニアガス分析計の構成ブロック図である。
【図6】図5の温度制御のための基本的な動作フローを
示す図である。
示す図である。
【図7】図5の温度制御のためのタイムチャートの一例
を示す図である。
を示す図である。
【図8】ジルコニアガス分析計の一般的な構成説明図で
ある。
ある。
【図9】複数のセンサを配置して複数箇所のガス濃度を
測定する場合の従来例を示す概略構成図である。
測定する場合の従来例を示す概略構成図である。
1 検出器 2 ジルコニアセンサ 3 温度センサ 4 ヒータ 5 信号処理回路 6 温度調節回路 7 演算制御回路 10 変換器 12 信号配線 13 ヒータ配線 20,33,34,48 切換えスイッチ 23 ゼロクロス検出回路 30 ヒューズ 31 抵抗測定回路 32 定電流回路 41,42 ダイオード 45,46 短絡配線
Claims (3)
- 【請求項1】ジルコニアセンサ(2),温度センサ(3),ヒ
ータ(4)からなる検出器(1)と,信号処理回路(5),温度調
節回路(6),演算制御回路(7)からなる変換器(10)と前記
検出器と変換器を接続する配線(12,13)からなり,所定の
温度に加熱した前記ジルコニアセンサにガスを接触さ
せ,ガスの濃度に関連して発生する前記センサの電気信
号から測定ガスの濃度を求めるジルコニアガス分析計に
おいて,前記ジルコニアセンサの加熱手段として交流電
流により100%未満の出力で十分な加熱エネルギーを
出力するヒータと,前記交流電流のゼロクロス点を検出
するゼロクロス検出回路(23)とを有し,前記演算制御回
路は前記ジルコニアセンサ(2)および温度センサ(3)から
の電気信号の取り込みタイミングをヒータに交流電流を
流さないタイミングの時に前記ゼロクロス検出回路(23)
からのゼロクロス信号のタイミングに合わせて取り入れ
るようにしたことを特徴とするジルコニアガス分析計。 - 【請求項2】ジルコニアセンサ(2),温度センサ(3),ヒ
ータ(4)からなる検出器(1)と,信号処理回路(5),温度調
節回路(6),演算制御回路(7)からなる変換器(10)と前記
検出器と変換器を接続する配線(12,13)からなり,所定の
温度に加熱した前記ジルコニアセンサにガスを接触さ
せ,ガスの濃度に関連して発生する前記センサの電気信
号から測定ガスの濃度を求めるジルコニアガス分析計に
おいて,前記検出器(1)側にヒータ端子を短絡して設け
たヒューズ(30)と,前記演算制御回路(7)と前記変換器
側のヒータ配線(13)の端子間に設けられ前記ヒータ(4)
の配線抵抗(13)を測定する抵抗測定回路(31)と,前記ヒ
ューズ(30)の定格よりも高い電流を流す定電流回路(32)
と,前記定電流回路(32)と前記ヒータ配線のオンオフを
行う第1切換えスイッチ(33)と,前記温度調節回路(6)
とヒータ配線のオンオフを行う第2切換えスイッチ(34)
を備えたことを特徴とするジルコニアガス分析計。 - 【請求項3】ジルコニアセンサ(2),温度センサ(3),ヒ
ータ(4)からなる検出器(1)と,信号処理回路(5),温度調
節回路(6),演算制御回路(7)からなる変換器(10)と前記
検出器と変換器を接続する配線(12,13)からなり,所定の
温度に加熱した前記ジルコニアセンサにガスを接触さ
せ,ガスの濃度に関連して発生する前記センサの電気信
号から測定ガスの濃度を求めるジルコニアガス分析計に
おいて,前記変換器(10)一台に対して検出器を2台(第
1検出器(1),第2検出器(1)')配置するとともにこれ
らの検出器側のヒータと端子間のそれぞれに電流の流れ
方向に対して順方向に設けられた第1,第2ダイオード
(41,42)と,前記第1検出器(1)のヒータ端子の電流の流
入側と第2検出器(1)'の電流の流出側を結ぶ第1短絡配
線(45)と,第1検出器(1)のヒータ端子の電流の流出側
と第2検出器(1)'の電流の流入側を結ぶ第2短絡配線(4
6)と,前記演算制御回路(7)の指令に基づいて前記2台
の検出器の何れのヒータに電流を流すかを切り換える切
換えスイッチ(48)とを具備したことを特徴とするジルコ
ニアガス分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04157978A JP3082177B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | ジルコニアガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04157978A JP3082177B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | ジルコニアガス分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063318A true JPH063318A (ja) | 1994-01-11 |
| JP3082177B2 JP3082177B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=15661581
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04157978A Expired - Fee Related JP3082177B2 (ja) | 1992-06-17 | 1992-06-17 | ジルコニアガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3082177B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000292411A (ja) * | 1999-02-03 | 2000-10-20 | Denso Corp | ガス濃度検出装置 |
| JP2007515636A (ja) * | 2003-12-18 | 2007-06-14 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | セラミック積層複合体 |
| JP2008128956A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | センサ |
| WO2009028619A1 (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-05 | Tokyo Electron Limited | 処理ガス供給システム及び処理装置 |
| JP2009076881A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 処理ガス供給システム及び処理装置 |
| CN108982635A (zh) * | 2018-10-16 | 2018-12-11 | 沈阳明盛仪表有限公司 | 氧化锆氧量分析仪的校验方法及校验装置 |
-
1992
- 1992-06-17 JP JP04157978A patent/JP3082177B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000292411A (ja) * | 1999-02-03 | 2000-10-20 | Denso Corp | ガス濃度検出装置 |
| JP2007515636A (ja) * | 2003-12-18 | 2007-06-14 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | セラミック積層複合体 |
| JP2008128956A (ja) * | 2006-11-24 | 2008-06-05 | Ngk Spark Plug Co Ltd | センサ |
| WO2009028619A1 (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-05 | Tokyo Electron Limited | 処理ガス供給システム及び処理装置 |
| JP2009076881A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-04-09 | Tokyo Electron Ltd | 処理ガス供給システム及び処理装置 |
| US20110139272A1 (en) * | 2007-08-30 | 2011-06-16 | Tokyo Electron Limited | Process-gas supply and processing system |
| CN108982635A (zh) * | 2018-10-16 | 2018-12-11 | 沈阳明盛仪表有限公司 | 氧化锆氧量分析仪的校验方法及校验装置 |
| CN108982635B (zh) * | 2018-10-16 | 2024-02-13 | 沈阳明盛仪表有限公司 | 氧化锆氧量分析仪的校验方法及校验装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3082177B2 (ja) | 2000-08-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |