JPH0633430Y2 - Icハンドラ用恒温槽 - Google Patents

Icハンドラ用恒温槽

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Publication number
JPH0633430Y2
JPH0633430Y2 JP1238587U JP1238587U JPH0633430Y2 JP H0633430 Y2 JPH0633430 Y2 JP H0633430Y2 JP 1238587 U JP1238587 U JP 1238587U JP 1238587 U JP1238587 U JP 1238587U JP H0633430 Y2 JPH0633430 Y2 JP H0633430Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heater
constant temperature
block
handler
temperature
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP1238587U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63120178U (ja
Inventor
真一 幸谷
義仁 小林
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Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
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Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 ICの試験は常温下で行われる以外に、被試験ICを一定の
温度に加熱した状態で行う高温試験があり、この際に被
試験ICに対する試験温度の印加は通常ICハンドラによっ
て行われる。本考案はこのICハンドラに於いて、被試験
ICに対して所定の試験温度を印加するための恒温槽に関
する。
「従来技術」 第3図には従来のICハンドラに於いて使用されている恒
温槽の内部構造を示している。この恒温槽は断熱効果の
大きい壁部(10)によって密閉された構造に成ってお
り、その内部にはヒーター(13)とファン(12)が内蔵
されている。このヒーター(13)によって直に暖められ
た空気がファン(12)によって対流を強いられ、空気口
(15)を通り抜けて上昇することによって恒温槽の内部
を一様に所定の温度まで高める構造と成っている。
「考案が解決しようとする問題点」 ICハンドラの恒温槽の内部には、供給された多数の被試
験ICを長い時間をかけて通過させこの間に試験温度を印
加し測定部へ向けて排出することを目的とする機構部
(11)や、これらの部分を保持するためのベース部(1
4)が装備されている。これらの機構部(11)やベース
部(14)は、主に金属或いは耐熱樹脂によって形成され
ており空気に比べて熱容量が大きく成っている。従って
空気を直に加熱するヒーター(13)のみで恒温槽内を一
様に所定の温度まで上昇させるには比較的長い時間が必
要とされる。
「問題点を解決する手段」 恒温槽の内部の所定の位置に着脱自在に成っているヒー
ター部を設け、これを恒温槽内に装備されている熱容量
の大きな部分に直に取り付けることによって、短時間で
恒温槽内を一様に所定の温度まで上昇させることができ
るようにする。
「実施例」 第1図及び第2図に本考案の1実施例を示している。
ここで第1図はヒーター部の詳細図を示しており、ヒー
ター(1)は熱の良導体を材料として成るブロック
(2)に収納され、ビス(図示せず)等によって固定さ
れている。上記ブロック(2)に於ける一方の面は、恒
温槽内に於ける熱容量の大きい部分への取り付け面に成
っており、この面の延長上には止め穴(4)を有するヒ
レ部(3)が形成されている。このヒレ部(3)に設け
られた止め穴(4)を用いることによってブロック
(2)は、恒温槽の所定の位置に固定できるように成っ
ている。
ブロック(2)のもう一方の面には、僅かな接触面積と
なる様に端子盤(6)が取り付けられている。ここでブ
ロック(2)と端子盤(6)の接触面積を小さくしてあ
るのは、ヒーター(1)より発せられた熱が端子盤
(6)に伝わるのを極力防ぐことを目的としたためであ
る。
ブロック(2)に埋め込まれているヒーター(1)から
出ているリード(5)の一方は、上記の端子盤(6)に
於ける端子(7)を介して電源部(図示せず)と接続し
ている。更にヒーター(1)より出ているもう一方のリ
ードは端子盤(6)に取り付けられている温度ヒューズ
(8)を介して電源部に接続している。又この実施例に
於いては、端子(7)や温度ヒューズ(8)に異物が接
触するのを防止するためにカバー(9)が取り付けられ
る様に成っている。
以上の様に構成されているヒーター部(16)を、恒温槽
内に装備されているベース部(14)にネジ止めすること
によって、熱容量の大きな部分を直に加熱できる様にす
る。この状態を示したのが第2図である。
本実施例に於いてヒーター(1)を埋め込んだブロック
(2)を恒温槽内に装備されている熱容量の大きな部分
に取り付ける様にしているが、これは必ずしもこの様な
構成である必要はなく、ヒーター(1)を直に熱容量の
大きな部分に取り付ける様な構成にしても良い。
「考案の効果」 恒温槽内の気温を直に上昇させるヒーター(3)以外
に、所定の位置に着脱自在と成っているヒーター部(1
6)を設け、このヒーター部(16)を恒温槽内に装備さ
れている熱容量の大きな部分に直に取り付けることによ
って、恒温槽内を短時間で一様に所定の温度まで上昇さ
せることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図はヒーター部の詳細図を示しており、第2図はヒ
ーター部を槽内に於ける熱容量の大きな部分に取り付け
た本考案の恒温槽の全体図を示している。第3図は恒温
槽内の空気を直に暖めるヒーターのみを有している従来
の恒温槽を示している。 1,13;ヒーター 2;ブロック 3;ヒレ部 4;止め穴 5;リード 6;端子盤 7;端子 8;温度ヒューズ 9;カバー 10;恒温槽壁部 11;機構部 12;ファン 14;ベース部 15;空気口 16;ヒーター部

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】恒温槽内の空気を直に加熱するヒーター
    と、ヒーター部とを有し、このヒーター部は、熱の良導
    体より成りヒーターを収納し固定するためのブロック
    と、このブロックに止められている端子盤と、上記ブロ
    ックに収納されるヒーターより成り、槽内の熱容量の大
    きな場所に着脱自在に成っていることを特徴とするICハ
    ンドラ用恒温槽。
JP1238587U 1987-01-30 1987-01-30 Icハンドラ用恒温槽 Expired - Lifetime JPH0633430Y2 (ja)

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JP1238587U JPH0633430Y2 (ja) 1987-01-30 1987-01-30 Icハンドラ用恒温槽

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JP1238587U JPH0633430Y2 (ja) 1987-01-30 1987-01-30 Icハンドラ用恒温槽

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Publication Number Publication Date
JPS63120178U JPS63120178U (ja) 1988-08-03
JPH0633430Y2 true JPH0633430Y2 (ja) 1994-08-31

Family

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JPS63120178U (ja) 1988-08-03

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