JPH08220187A - 試料加熱方法およびその装置 - Google Patents
試料加熱方法およびその装置Info
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- JPH08220187A JPH08220187A JP4897295A JP4897295A JPH08220187A JP H08220187 A JPH08220187 A JP H08220187A JP 4897295 A JP4897295 A JP 4897295A JP 4897295 A JP4897295 A JP 4897295A JP H08220187 A JPH08220187 A JP H08220187A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 20
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は、試料を直接に加熱して、試料の
電気的特性を計測する試料加熱方法およびその装置に関
する。 【構成】 装置本体４の試験室３内に設けられた加熱ブ
ロック５上に試料７を載置して直接に高温に加熱する。
該試料７のピン７ａを試料取付基板８のピン孔に嵌込ん
で試料取付基板８を加熱ブロック５へ押し付けるように
取り付ければ、ムラ無く且つ正確に試料７の電気的特性
を計測することができる。
電気的特性を計測する試料加熱方法およびその装置に関
する。 【構成】 装置本体４の試験室３内に設けられた加熱ブ
ロック５上に試料７を載置して直接に高温に加熱する。
該試料７のピン７ａを試料取付基板８のピン孔に嵌込ん
で試料取付基板８を加熱ブロック５へ押し付けるように
取り付ければ、ムラ無く且つ正確に試料７の電気的特性
を計測することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、試料を加熱しながら
電気的特性を評価するための装置に関する。
電気的特性を評価するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子等の配線設計を確認する評価
方法として、試料に加熱しながら電気的特性評価を行う
方法が知られている。その加熱の方法として、従来は試
料に高温の熱風を当てて加熱していた。しかし、熱風を
試験室内で循環させるために試料の近傍での温度調節が
難しく、試料に正確な温度を迅速に伝達させることは困
難であった。
方法として、試料に加熱しながら電気的特性評価を行う
方法が知られている。その加熱の方法として、従来は試
料に高温の熱風を当てて加熱していた。しかし、熱風を
試験室内で循環させるために試料の近傍での温度調節が
難しく、試料に正確な温度を迅速に伝達させることは困
難であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記事情に
鑑みて創案されたものであって、その主たる課題は、試
料を直接に加熱して正確な温度を迅速に伝達させる試料
加熱方法および装置を提供することにある。
鑑みて創案されたものであって、その主たる課題は、試
料を直接に加熱して正確な温度を迅速に伝達させる試料
加熱方法および装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するため、請求項１の試料加熱方法の発明では、
（ａ）試験室内の試料の電気的特性評価を行う際に試料
を加熱する試料加熱方法において、（ｂ）試験室内に設
けられて加熱された熱源からなる加熱体に、試料を直接
に接触させて所定の高温を熱伝導させる、という技術的
手段を講じている。また、請求項２の試料加熱方法の発
明では、上記構成に加えて、（ｃ）試料取付基板に試料
のピンを差し込んで取付けると共にピン先端と電気的特
性を計測する計測器とを配線で接続する、（ｄ）上記試
料取付基板は加熱体に上下に高さ調整可能に固定し、試
料を加熱体に接触するよう位置決めしてなる、という技
術的手段を講じている。請求項３の試料加熱装置の発明
では、（ｅ）試験室内にヒーターを内蔵した加熱ブロッ
クを設ける、（ｆ）該加熱ブロックに試料を直接に接触
させて所定の高温を熱伝導させてなる、という技術的手
段を講じている。また、請求項４の試料加熱装置の発明
では、（ｇ）試料取付基板に試料のピンを差し込んで取
付けると共にピン先端と電気的特性を計測する計測器と
を配線で接続する、（ｈ）上記試料取付基板は加熱体に
上下に高さ調整可能に固定し、試料を加熱体に接触する
よう位置決めしてなる、という技術的手段を講じてい
る。
決するため、請求項１の試料加熱方法の発明では、
（ａ）試験室内の試料の電気的特性評価を行う際に試料
を加熱する試料加熱方法において、（ｂ）試験室内に設
けられて加熱された熱源からなる加熱体に、試料を直接
に接触させて所定の高温を熱伝導させる、という技術的
手段を講じている。また、請求項２の試料加熱方法の発
明では、上記構成に加えて、（ｃ）試料取付基板に試料
のピンを差し込んで取付けると共にピン先端と電気的特
性を計測する計測器とを配線で接続する、（ｄ）上記試
料取付基板は加熱体に上下に高さ調整可能に固定し、試
料を加熱体に接触するよう位置決めしてなる、という技
術的手段を講じている。請求項３の試料加熱装置の発明
では、（ｅ）試験室内にヒーターを内蔵した加熱ブロッ
クを設ける、（ｆ）該加熱ブロックに試料を直接に接触
させて所定の高温を熱伝導させてなる、という技術的手
段を講じている。また、請求項４の試料加熱装置の発明
では、（ｇ）試料取付基板に試料のピンを差し込んで取
付けると共にピン先端と電気的特性を計測する計測器と
を配線で接続する、（ｈ）上記試料取付基板は加熱体に
上下に高さ調整可能に固定し、試料を加熱体に接触する
よう位置決めしてなる、という技術的手段を講じてい
る。
【０００５】
【作用】この発明の試料加熱装置によれば、加熱した加
熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝えるので、正確
な高温を伝達することができる。また、加熱体を直接に
温度調節可能とすれば、試料への所望高温の温度供給が
正確に行われる。更に、試料取付基板を用いて試料を加
熱体に軽く押し付け、試料を位置決めして、熱伝導が効
率的行えるように保持することができる。
熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝えるので、正確
な高温を伝達することができる。また、加熱体を直接に
温度調節可能とすれば、試料への所望高温の温度供給が
正確に行われる。更に、試料取付基板を用いて試料を加
熱体に軽く押し付け、試料を位置決めして、熱伝導が効
率的行えるように保持することができる。
【０００６】
【実施例】以下に、この発明の試料加熱方法およびその
構造の好適実施例を図面を参照しつつ説明する。図１か
ら図３で示す試料加熱装置１では、断熱壁で囲まれた試
験室３の底面の凹部に熱源からなる加熱体の一例として
加熱ブロック５が固設されている。
構造の好適実施例を図面を参照しつつ説明する。図１か
ら図３で示す試料加熱装置１では、断熱壁で囲まれた試
験室３の底面の凹部に熱源からなる加熱体の一例として
加熱ブロック５が固設されている。
【０００７】この加熱ブロック５は、ヒーターＨをヒー
ターパネルで囲ってブロック状としたもので、温度コン
トローラ６によって直接に所望の高温度に制御される。
ここで加熱ブロック５は上記実施例に限らず、少なくと
も試料７と接する面（図示例では上面）がムラなく均一
の温度となる構造であれば、ケーシング内にヒーターを
内蔵した保温材を収納した構造や、ブロック内に穴をあ
けニクロム線等のヒーターを通して内蔵した構造、その
他の公知の加熱装置の構造を用いることができる。
ターパネルで囲ってブロック状としたもので、温度コン
トローラ６によって直接に所望の高温度に制御される。
ここで加熱ブロック５は上記実施例に限らず、少なくと
も試料７と接する面（図示例では上面）がムラなく均一
の温度となる構造であれば、ケーシング内にヒーターを
内蔵した保温材を収納した構造や、ブロック内に穴をあ
けニクロム線等のヒーターを通して内蔵した構造、その
他の公知の加熱装置の構造を用いることができる。
【０００８】次ぎに、この加熱ブロック５の上面は半導
体素子等の試料７の接触側の面７’が隙間無く接触して
熱が直接に伝導されるように試料７の接触側の面７’に
合わせて同一面（本実施例では水平面）に設定されてい
る。ここで、試料７を載置しやすいように、加熱ブロッ
ク５の上面に試料７を嵌込む凹部を形成してもよい。な
お、図中２はコントローラであり、６、１３、１４はパ
ネルに設けられた加熱装置や加熱ブロックのスイッチで
ある。また３Ａは試験室の扉である。
体素子等の試料７の接触側の面７’が隙間無く接触して
熱が直接に伝導されるように試料７の接触側の面７’に
合わせて同一面（本実施例では水平面）に設定されてい
る。ここで、試料７を載置しやすいように、加熱ブロッ
ク５の上面に試料７を嵌込む凹部を形成してもよい。な
お、図中２はコントローラであり、６、１３、１４はパ
ネルに設けられた加熱装置や加熱ブロックのスイッチで
ある。また３Ａは試験室の扉である。
【０００９】次ぎに、試料７を加熱ブロック５に接触す
る際に、試料７を加熱ブロック５に軽く押圧するように
載置すれば熱伝導効率が向上する。そこで、試料７を支
持板に取付け、該支持板を加熱ブロック５に衝合させて
固定すれば、試料７を効果的に加熱ブロック５に接触さ
せることができる。図４および図５に示す実施例では、
試料７のピン７ａを差し込むピン孔８ａを有し試料７を
取付けることができる試料取付基板８が用いられる。
る際に、試料７を加熱ブロック５に軽く押圧するように
載置すれば熱伝導効率が向上する。そこで、試料７を支
持板に取付け、該支持板を加熱ブロック５に衝合させて
固定すれば、試料７を効果的に加熱ブロック５に接触さ
せることができる。図４および図５に示す実施例では、
試料７のピン７ａを差し込むピン孔８ａを有し試料７を
取付けることができる試料取付基板８が用いられる。
【００１０】一方、上記加熱ブロック５上にはネジ孔５
ａが設けられており、上記試料取付基板８の中央に設け
られた孔１５ａに固定ネジ１５を通し、前記ネジ孔５ａ
に固定ネジ１５を上下に螺進退可能にネジ止めすること
ができる。従って、この試料取付基板８のピン孔８ａ
に、加熱ブロック５上に載置された試料７のピン７ａを
嵌込み接続し、その状態で試料７が加熱ブロック５に隙
間無く衝合させて固定ネジ１５を締付け、試料取付基板
８を加熱ブロック５上に固定する。
ａが設けられており、上記試料取付基板８の中央に設け
られた孔１５ａに固定ネジ１５を通し、前記ネジ孔５ａ
に固定ネジ１５を上下に螺進退可能にネジ止めすること
ができる。従って、この試料取付基板８のピン孔８ａ
に、加熱ブロック５上に載置された試料７のピン７ａを
嵌込み接続し、その状態で試料７が加熱ブロック５に隙
間無く衝合させて固定ネジ１５を締付け、試料取付基板
８を加熱ブロック５上に固定する。
【００１１】上記実施例では固定ネジを用いて試料取付
基板８を加熱ブロック５に取付けたが、一方に凹凸やフ
ックを１または複数有する係止爪部を設け、他方に上記
凹凸やフックに係合する受孔や受部を設けて係脱可能と
なる構成や、その他の着脱可能な固定手段で加熱体に固
定される構造であると、試験室の側壁や試験室に別に設
けた支持体に着脱可能な固定手段で固定されるものであ
るとを問わず、要するに試料取付基板は、試料を取り付
け該試料を加熱体に押し付けた位置で拘束される構造が
好ましい。また、試料取付基板を上記のように固定乃至
拘束せず、自重だけで試料を加熱体上に衝合させる構造
であってもよい。
基板８を加熱ブロック５に取付けたが、一方に凹凸やフ
ックを１または複数有する係止爪部を設け、他方に上記
凹凸やフックに係合する受孔や受部を設けて係脱可能と
なる構成や、その他の着脱可能な固定手段で加熱体に固
定される構造であると、試験室の側壁や試験室に別に設
けた支持体に着脱可能な固定手段で固定されるものであ
るとを問わず、要するに試料取付基板は、試料を取り付
け該試料を加熱体に押し付けた位置で拘束される構造が
好ましい。また、試料取付基板を上記のように固定乃至
拘束せず、自重だけで試料を加熱体上に衝合させる構造
であってもよい。
【００１２】これによって、試料７は試料取付基板８に
取付けられ加熱ブロック５の上面に密着するよう衝合さ
れて保持されるので、加熱ブロック５から試料７に高温
が効率よく且つ均一に伝導される。なお、このように加
熱ブロック５上に保持された試料７は、試料取付基板８
に嵌挿されたピン７ａに、電気的特性を計測する計測器
と接続された配線を接続して、計測を行うことができ
る。
取付けられ加熱ブロック５の上面に密着するよう衝合さ
れて保持されるので、加熱ブロック５から試料７に高温
が効率よく且つ均一に伝導される。なお、このように加
熱ブロック５上に保持された試料７は、試料取付基板８
に嵌挿されたピン７ａに、電気的特性を計測する計測器
と接続された配線を接続して、計測を行うことができ
る。
【００１３】ここで計測器は配線を介して上記ピン７ａ
と接続されるが、計測器は試験室外部に設けられていて
もよいが、加熱ブロック５を用いて試料７を加熱する構
造であるので高熱を循環させる場合と異なり、加熱ブロ
ック５から離れた位置では高温とならないので計測器や
計測素子を試験室内に設けることが可能である。しかし
この発明では、計測器との接続は特に限定されるもので
はなく各種方法を用いることができる。
と接続されるが、計測器は試験室外部に設けられていて
もよいが、加熱ブロック５を用いて試料７を加熱する構
造であるので高熱を循環させる場合と異なり、加熱ブロ
ック５から離れた位置では高温とならないので計測器や
計測素子を試験室内に設けることが可能である。しかし
この発明では、計測器との接続は特に限定されるもので
はなく各種方法を用いることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、この試料加熱装置では、
加熱した加熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝える
ので、正確な高温を伝達することができる。また、試料
取付基板を用いれば、試料を位置決めして加熱体に衝合
して保持することができ一層効率的に試料を加熱させる
ことができる。
加熱した加熱体へ直接に試料を接触させて高温を伝える
ので、正確な高温を伝達することができる。また、試料
取付基板を用いれば、試料を位置決めして加熱体に衝合
して保持することができ一層効率的に試料を加熱させる
ことができる。
【図１】この発明の試料加熱装置の実施例を示す外観図
である。
である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の正面図である。
【図４】加熱ブロックに試料を位置決めする場合の正面
から見た図である。
から見た図である。
【図５】同側面から見た図である。
１・・・試料加熱装置 ２・・・制御部 ３・・・試験室 ４・・・装置本体 ５・・・加熱ブロック ６・・・温度制御部 ７・・・試料 ８・・・試料取付基板 １５・・・固定ネジ
Claims (4)
- 【請求項１】 試験室内の試料の電気的特性評価を行う
際に試料を加熱する試料加熱方法において、 試験室内に設けられて加熱された熱源からなる加熱体
に、試料を直接に接触させて所定の高温を熱伝導させて
なることを特徴とする試料加熱方法。 - 【請求項２】 試料取付基板に試料のピンを差し込んで
取付けると共にピン先端と電気的特性を計測する計測器
とを配線で接続し、上記試料取付基板は加熱体に上下に
高さ調整可能に固定し、試料を加熱体に接触するよう位
置決めしてなることことを特徴とする請求項１に記載の
試料加熱方法。 - 【請求項３】 試験室内の試料の電気的特性評価を行う
際に試料を加熱する試料加熱装置において、 試験室内にヒーターを内蔵した加熱ブロックを設け、該
加熱ブロックに試料を直接に接触させて所定の高温を熱
伝導させてなることを特徴とする試料加熱装置。 - 【請求項４】 試料取付基板に試料のピンを差し込んで
取付けると共にピン先端と電気的特性を計測する計測器
とを配線で接続し、上記試料取付基板は加熱体に上下に
高さ調整可能に固定し、試料を加熱体に接触するよう位
置決めしてなることことを特徴とする請求項３に記載の
試料加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04897295A JP3670704B2 (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | 試料加熱方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04897295A JP3670704B2 (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | 試料加熱方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08220187A true JPH08220187A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3670704B2 JP3670704B2 (ja) | 2005-07-13 |
Family
ID=12818191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04897295A Expired - Fee Related JP3670704B2 (ja) | 1995-02-14 | 1995-02-14 | 試料加熱方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3670704B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6767221B2 (en) | 2002-02-14 | 2004-07-27 | Espec Corp. | IC socket module |
-
1995
- 1995-02-14 JP JP04897295A patent/JP3670704B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6767221B2 (en) | 2002-02-14 | 2004-07-27 | Espec Corp. | IC socket module |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3670704B2 (ja) | 2005-07-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040413 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040614 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050315 |
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Effective date: 20050415 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 |
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