JPH06336990A - 真空ポンプ - Google Patents
真空ポンプInfo
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- JPH06336990A JPH06336990A JP5151095A JP15109593A JPH06336990A JP H06336990 A JPH06336990 A JP H06336990A JP 5151095 A JP5151095 A JP 5151095A JP 15109593 A JP15109593 A JP 15109593A JP H06336990 A JPH06336990 A JP H06336990A
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- JP
- Japan
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- exhaust
- intake
- rotor
- housing
- exhaust port
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Abstract
(57)【要約】
【構成】吸気側ロータ２と排気側ロータ３との回転によ
り吸気口25からハウジング20内に吸入されるガスを圧縮
して排気口26から排出する。各ロータ25、26の外側面と
ハウジング20の内側面との間の隙間がガス漏れ防止用シ
ールとして機能する。その排気口26の径方向の幅の小さ
な部分26ａは、径方向の幅の大きな部分26ｂよりも径方
向内方に位置する。 【効果】真空性能を低下させずにガスの圧縮仕事に要す
る消費動力を低減できる。
り吸気口25からハウジング20内に吸入されるガスを圧縮
して排気口26から排出する。各ロータ25、26の外側面と
ハウジング20の内側面との間の隙間がガス漏れ防止用シ
ールとして機能する。その排気口26の径方向の幅の小さ
な部分26ａは、径方向の幅の大きな部分26ｂよりも径方
向内方に位置する。 【効果】真空性能を低下させずにガスの圧縮仕事に要す
る消費動力を低減できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、本体部から径方向外方
に突出する歯部を有する一対のロータの回転により、両
ロータを覆うハウジングに吸入されるガスを圧縮して排
出する真空ポンプに関する。
に突出する歯部を有する一対のロータの回転により、両
ロータを覆うハウジングに吸入されるガスを圧縮して排
出する真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１１に示す従来の４段式ドライ真空ポ
ンプ１００は、４組の吸気側ロータ１０１と、４組の排
気側ロータ１０２と、これらロータ１０１、１０２を覆
うハウジング１０３とを備えている。図８に示すよう
に、各ロータ１０１、１０２は、円周方向に沿う外周面
１０４ａ、１０５ａを有する本体部１０４、１０５と、
この本体部１０４、１０５から径方向外方に突出する歯
部１０６、１０７とを有し、その歯部１０６、１０７に
隣接する本体部１０４、１０５は切欠部１０４ｂ、１０
５ｂとされている。各吸気側ロータ１０１と各排気側ロ
ータ１０２とに、それぞれ一本のロータ軸１１８、１１
９が圧入されている。各ロータ軸１１８、１１９の両端
は、ベアリング１２０、１２１、１２２を介しハウジン
グ１０３により支持されている。各ロータ軸１１８、１
１９の一端に、互いに噛み合うギヤ１２３、１２４が取
り付けられ、これらギヤ１２３、１２４を介して各ロー
タ軸１１８、１１９は駆動装置（図示省略）により回転
駆動される。
ンプ１００は、４組の吸気側ロータ１０１と、４組の排
気側ロータ１０２と、これらロータ１０１、１０２を覆
うハウジング１０３とを備えている。図８に示すよう
に、各ロータ１０１、１０２は、円周方向に沿う外周面
１０４ａ、１０５ａを有する本体部１０４、１０５と、
この本体部１０４、１０５から径方向外方に突出する歯
部１０６、１０７とを有し、その歯部１０６、１０７に
隣接する本体部１０４、１０５は切欠部１０４ｂ、１０
５ｂとされている。各吸気側ロータ１０１と各排気側ロ
ータ１０２とに、それぞれ一本のロータ軸１１８、１１
９が圧入されている。各ロータ軸１１８、１１９の両端
は、ベアリング１２０、１２１、１２２を介しハウジン
グ１０３により支持されている。各ロータ軸１１８、１
１９の一端に、互いに噛み合うギヤ１２３、１２４が取
り付けられ、これらギヤ１２３、１２４を介して各ロー
タ軸１１８、１１９は駆動装置（図示省略）により回転
駆動される。
【０００３】そのハウジング１０３は、ロータ軸１１
８、１１９の一端を支持する図１１において最右方の第
１部材１０３ａと、この第１部材１０３ａに隣接する第
２部材１０３ｂと、この第２部材１０３ｂに隣接する第
３部材１０３ｃと、この第３部材１０３ｃに隣接する第
４部材１０３ｄと、この第４部材１０３ｄに隣接する第
５部材１０３ｅとを有する。図１０に、その第２部材１
０３ｂを示す。その第２部材１０３ｂに、図中最右方の
吸排気ロータ１０１、１０２と右方から２番目の吸排気
ロータ１０１、１０２との仕切り壁１０３ｂ′が形成さ
れ、その第３部材１０３ｃに、図中右方から２番目の吸
排気ロータ１０１、１０２と右方から３番目の吸排気ロ
ータ１０１、１０２との仕切り壁１０３ｃ′が形成さ
れ、その第４部材１０３ｄに、図中右方から３番目の吸
排気ロータ１０１、１０２と最左方の吸排気ロータ１０
１、１０２との仕切り壁１０３ｄ′が形成されている。
８、１１９の一端を支持する図１１において最右方の第
１部材１０３ａと、この第１部材１０３ａに隣接する第
２部材１０３ｂと、この第２部材１０３ｂに隣接する第
３部材１０３ｃと、この第３部材１０３ｃに隣接する第
４部材１０３ｄと、この第４部材１０３ｄに隣接する第
５部材１０３ｅとを有する。図１０に、その第２部材１
０３ｂを示す。その第２部材１０３ｂに、図中最右方の
吸排気ロータ１０１、１０２と右方から２番目の吸排気
ロータ１０１、１０２との仕切り壁１０３ｂ′が形成さ
れ、その第３部材１０３ｃに、図中右方から２番目の吸
排気ロータ１０１、１０２と右方から３番目の吸排気ロ
ータ１０１、１０２との仕切り壁１０３ｃ′が形成さ
れ、その第４部材１０３ｄに、図中右方から３番目の吸
排気ロータ１０１、１０２と最左方の吸排気ロータ１０
１、１０２との仕切り壁１０３ｄ′が形成されている。
【０００４】その第１〜第４部材１０３ａ、１０３ｂ、
１０３ｃ、１０３ｄに、吸気側ロータ１０１の本体部１
０４の円周方向に沿う外周面１０４ａよりも径方向内方
に位置する吸気口１０８が形成され、その第２〜第５部
材１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄ、１０３ｅに、排気側
ロータ１０２の本体部１０５の円周方向に沿う外周面１
０５ａよりも径方向内方に位置する排気口１０９が形成
されている。図８において、仮想線により吸排気口１０
８、１０９とハウジング１０３の内周面とを示す。その
第１部材１０３ａに形成された吸気口１０８は、第１部
材１０３ａに形成された吸気導入路１３７に連通し、そ
の第５部材１０３ｅに形成された排気口１０９は、第５
部材１０３ｅに形成された排気排出路１３８に連通す
る。また、第２部材１０３ｂに形成された吸気口１０８
と排気口１０９とは連通路（図示省略）を介し連通し、
第３部材１０３ｃに形成された吸気口１０８と排気口１
０９とは連通路（図示省略）を介し連通し、第４部材１
０３ｄに形成された吸気口１０８と排気口１０９とは連
通路（図示省略）を介し連通する。
１０３ｃ、１０３ｄに、吸気側ロータ１０１の本体部１
０４の円周方向に沿う外周面１０４ａよりも径方向内方
に位置する吸気口１０８が形成され、その第２〜第５部
材１０３ｂ、１０３ｃ、１０３ｄ、１０３ｅに、排気側
ロータ１０２の本体部１０５の円周方向に沿う外周面１
０５ａよりも径方向内方に位置する排気口１０９が形成
されている。図８において、仮想線により吸排気口１０
８、１０９とハウジング１０３の内周面とを示す。その
第１部材１０３ａに形成された吸気口１０８は、第１部
材１０３ａに形成された吸気導入路１３７に連通し、そ
の第５部材１０３ｅに形成された排気口１０９は、第５
部材１０３ｅに形成された排気排出路１３８に連通す
る。また、第２部材１０３ｂに形成された吸気口１０８
と排気口１０９とは連通路（図示省略）を介し連通し、
第３部材１０３ｃに形成された吸気口１０８と排気口１
０９とは連通路（図示省略）を介し連通し、第４部材１
０３ｄに形成された吸気口１０８と排気口１０９とは連
通路（図示省略）を介し連通する。
【０００５】その吸気側ロータ１０１と排気側ロータ１
０２とが回転することで、吸気導入路１３７から導入さ
れた気体は、まず、第１部材１０３ａの吸気口１０８か
ら吸気側ロータ１０１の切欠部１０４ｂを介しハウジン
グ１０３内に導入され、吸排気ロータの本体部１０４、
１０５とハウジング１０３の内外周間で圧縮され、排気
側ロータ１０２の切欠部１０５ｂを介し第２部材１０３
ｂの排気口１０９から排出される。次に、その気体は第
２部材１０３ｂの吸気口１０８から吸気側ロータ１０１
の切欠部１０４ｂを介しハウジング１０３内に導入さ
れ、同様にして圧縮される。これが繰り返された後に、
気体は第５部材１０３ｅの排気口１０９から排気排出路
１３８を通って排出される。
０２とが回転することで、吸気導入路１３７から導入さ
れた気体は、まず、第１部材１０３ａの吸気口１０８か
ら吸気側ロータ１０１の切欠部１０４ｂを介しハウジン
グ１０３内に導入され、吸排気ロータの本体部１０４、
１０５とハウジング１０３の内外周間で圧縮され、排気
側ロータ１０２の切欠部１０５ｂを介し第２部材１０３
ｂの排気口１０９から排出される。次に、その気体は第
２部材１０３ｂの吸気口１０８から吸気側ロータ１０１
の切欠部１０４ｂを介しハウジング１０３内に導入さ
れ、同様にして圧縮される。これが繰り返された後に、
気体は第５部材１０３ｅの排気口１０９から排気排出路
１３８を通って排出される。
【０００６】図９の（１）は、その吸気側ロータ１０１
と排気側ロータ１０２との相対回転位置を示し、また、
仮想線により吸排気口１０８、１０９とハウジング１０
３の内周面とを示す。その相対回転位置が〜に示す
ように順次変化することで、吸気口１０８からハウジン
グ１０３内にガスが吸入されると共に、そのガスが圧縮
されて排気口１０９から排出される。図９の（２）は、
図中横軸で示す両ロータ１０１、１０２の回転角度に対
する吸気口１０８と排気口１０９の開閉状態を示し、図
中実線で示す回転角度範囲に亘る部分で開き、それ以外
の部分で閉じられている。
と排気側ロータ１０２との相対回転位置を示し、また、
仮想線により吸排気口１０８、１０９とハウジング１０
３の内周面とを示す。その相対回転位置が〜に示す
ように順次変化することで、吸気口１０８からハウジン
グ１０３内にガスが吸入されると共に、そのガスが圧縮
されて排気口１０９から排出される。図９の（２）は、
図中横軸で示す両ロータ１０１、１０２の回転角度に対
する吸気口１０８と排気口１０９の開閉状態を示し、図
中実線で示す回転角度範囲に亘る部分で開き、それ以外
の部分で閉じられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図８においては、開き
角度θａの小さな排気口１０９だけでなく、開き角度θ
ｂの大きな排気口１０９′も併せて示し、排気ロータ１
０２の各回転において、開き角度θｂの大きな排気口１
０９′の方が開き角度θａの小さな排気口１０９よりも
排気の開始は早くされる。そのように開き角度θａの小
さな排気口１０９では、排気ロータ１０２の各回転にお
けるガスの圧縮範囲を大きくできるため真空性能を向上
することはできるが、ガスの圧縮仕事に要する消費動力
は増大してしまう。逆に、開き角度θｂの大きな排気口
１０９′では、ガスの圧縮仕事に要する消費動力は低減
できるが真空性能は低下してしまう。
角度θａの小さな排気口１０９だけでなく、開き角度θ
ｂの大きな排気口１０９′も併せて示し、排気ロータ１
０２の各回転において、開き角度θｂの大きな排気口１
０９′の方が開き角度θａの小さな排気口１０９よりも
排気の開始は早くされる。そのように開き角度θａの小
さな排気口１０９では、排気ロータ１０２の各回転にお
けるガスの圧縮範囲を大きくできるため真空性能を向上
することはできるが、ガスの圧縮仕事に要する消費動力
は増大してしまう。逆に、開き角度θｂの大きな排気口
１０９′では、ガスの圧縮仕事に要する消費動力は低減
できるが真空性能は低下してしまう。
【０００８】本発明は上記従来技術に鑑み、真空性能を
できるだけ低下させることなくガスの圧縮仕事に要する
消費動力を低減できる真空ポンプを提供することを目的
とする。
できるだけ低下させることなくガスの圧縮仕事に要する
消費動力を低減できる真空ポンプを提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、吸気側ロータ
と、排気側ロータと、両ロータを覆うハウジングとを備
え、各ロータは、円周方向に沿う外周面を有する本体部
と、この本体部から径方向外方に突出する歯部とを有
し、そのハウジングに本体部の円周方向に沿う外周面よ
りも径方向内方に位置する吸気口と排気口とが形成さ
れ、排気側ロータの外側面とハウジングの内側面との間
の隙間が、排気口から排気前に漏れるガスのシールとし
て機能し、両ロータの回転により吸気口からハウジング
内に吸入されるガスを圧縮して排気口から排出する真空
ポンプにおいて、その排気口は、径方向の幅の小さな部
分と大きな部分とを有し、その径方向の幅の小さな部分
は、その径方向の幅の大きな部分よりも径方向内方に位
置する。
と、排気側ロータと、両ロータを覆うハウジングとを備
え、各ロータは、円周方向に沿う外周面を有する本体部
と、この本体部から径方向外方に突出する歯部とを有
し、そのハウジングに本体部の円周方向に沿う外周面よ
りも径方向内方に位置する吸気口と排気口とが形成さ
れ、排気側ロータの外側面とハウジングの内側面との間
の隙間が、排気口から排気前に漏れるガスのシールとし
て機能し、両ロータの回転により吸気口からハウジング
内に吸入されるガスを圧縮して排気口から排出する真空
ポンプにおいて、その排気口は、径方向の幅の小さな部
分と大きな部分とを有し、その径方向の幅の小さな部分
は、その径方向の幅の大きな部分よりも径方向内方に位
置する。
【００１０】
【作用】本発明の構成の真空ポンプにあっては、各ロー
タの外側面とハウジングの内側面との間の隙間がガス漏
れ防止用シールとして機能するので、その排気口の径方
向の幅の中央が径方向内方に位置する程に真空性能は向
上する。よって、本発明の構成のように、径方向の幅の
小さな部分が径方向の幅の大きな部分よりも径方向内方
に位置する排気口を有する真空ポンプにおいては、径方
向の幅の大きな部分のみからなる排気口を有する真空ポ
ンプに比べ、排気口から排気前に漏れるガスは少なくな
るので、ガスの圧縮仕事に要する消費動力を増大させる
ことなく真空性能を向上することができる。また、本発
明の構成の排気口を有する真空ポンプにおいては、径方
向の幅の小さな部分のみからなる排気口を有する真空ポ
ンプに比べ、排気抵抗を小さくすることができるので、
ガスの圧縮仕事に要する消費動力を増大させることなく
真空性能を向上することができる。
タの外側面とハウジングの内側面との間の隙間がガス漏
れ防止用シールとして機能するので、その排気口の径方
向の幅の中央が径方向内方に位置する程に真空性能は向
上する。よって、本発明の構成のように、径方向の幅の
小さな部分が径方向の幅の大きな部分よりも径方向内方
に位置する排気口を有する真空ポンプにおいては、径方
向の幅の大きな部分のみからなる排気口を有する真空ポ
ンプに比べ、排気口から排気前に漏れるガスは少なくな
るので、ガスの圧縮仕事に要する消費動力を増大させる
ことなく真空性能を向上することができる。また、本発
明の構成の排気口を有する真空ポンプにおいては、径方
向の幅の小さな部分のみからなる排気口を有する真空ポ
ンプに比べ、排気抵抗を小さくすることができるので、
ガスの圧縮仕事に要する消費動力を増大させることなく
真空性能を向上することができる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００１２】図２に示す４段式ドライ真空ポンプ１は、
４組の吸気側ロータ２と、４組の排気側ロータ３と、こ
れらロータ２、３を覆うハウジング２０とを備えてい
る。
４組の吸気側ロータ２と、４組の排気側ロータ３と、こ
れらロータ２、３を覆うハウジング２０とを備えてい
る。
【００１３】各ロータ２、３は、図１、図３、図５に示
すように、円周方向に沿う外周面４ａ、５ａを有する本
体部４、５と、この本体部４、５から径方向外方に突出
するクロウ形の歯部６、７とを有し、その歯部６、７に
隣接する本体部４、５の一部は切欠部４ｂ、５ｂとされ
ている。各吸気側ロータ２と各排気側ロータ３とに、そ
れぞれ一本のロータ軸８、９が圧入されている。各ロー
タ軸８、９の両端は、ベアリング１０、１１、１２を介
しハウジング２０により支持されている。各ロータ軸
８、９の一端に、互いに噛み合うギヤ１３、１４が取り
付けられ、これらギヤ１３、１４を介して各ロータ軸
８、９は駆動装置（図示省略）により回転駆動される。
すように、円周方向に沿う外周面４ａ、５ａを有する本
体部４、５と、この本体部４、５から径方向外方に突出
するクロウ形の歯部６、７とを有し、その歯部６、７に
隣接する本体部４、５の一部は切欠部４ｂ、５ｂとされ
ている。各吸気側ロータ２と各排気側ロータ３とに、そ
れぞれ一本のロータ軸８、９が圧入されている。各ロー
タ軸８、９の両端は、ベアリング１０、１１、１２を介
しハウジング２０により支持されている。各ロータ軸
８、９の一端に、互いに噛み合うギヤ１３、１４が取り
付けられ、これらギヤ１３、１４を介して各ロータ軸
８、９は駆動装置（図示省略）により回転駆動される。
【００１４】そのハウジング２０は、ロータ軸８、９の
一端を支持する図２において最右方の第１部材２０ａ
と、この第１部材２０ａに隣接する第２部材２０ｂと、
この第２部材２０ｂに隣接する第３部材２０ｃと、この
第３部材２０ｃに隣接する第４部材２０ｄと、この第４
部材２０ｄに隣接する第５部材２０ｅとを有し、各部材
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅはボルト２１
により連結されている。その第２部材２０ｂに、図中最
右方の吸排気ロータ２、３と右方から２番目の吸排気ロ
ータ２、３との仕切り壁２０ｂ′が形成され、その第３
部材２０ｃに、図中右方から２番目の吸排気ロータ２、
３と右方から３番目の吸排気ロータ２、３との仕切り壁
２０ｃ′が形成され、その第４部材２０ｄに、図中右方
から３番目の吸排気ロータ２、３と最左方の吸排気ロー
タ２、３との仕切り壁２０ｄ′が形成されている。ま
た、第１部材２０ａと第５部材２０ｅとにロータ軸８、
９の軸端を覆うカバー２２、２３が取り付けられてい
る。
一端を支持する図２において最右方の第１部材２０ａ
と、この第１部材２０ａに隣接する第２部材２０ｂと、
この第２部材２０ｂに隣接する第３部材２０ｃと、この
第３部材２０ｃに隣接する第４部材２０ｄと、この第４
部材２０ｄに隣接する第５部材２０ｅとを有し、各部材
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、２０ｅはボルト２１
により連結されている。その第２部材２０ｂに、図中最
右方の吸排気ロータ２、３と右方から２番目の吸排気ロ
ータ２、３との仕切り壁２０ｂ′が形成され、その第３
部材２０ｃに、図中右方から２番目の吸排気ロータ２、
３と右方から３番目の吸排気ロータ２、３との仕切り壁
２０ｃ′が形成され、その第４部材２０ｄに、図中右方
から３番目の吸排気ロータ２、３と最左方の吸排気ロー
タ２、３との仕切り壁２０ｄ′が形成されている。ま
た、第１部材２０ａと第５部材２０ｅとにロータ軸８、
９の軸端を覆うカバー２２、２３が取り付けられてい
る。
【００１５】その第１〜第４部材２０ａ、２０ｂ、２０
ｃ、２０ｄに、吸気側ロータ２の本体部４の円周方向に
沿う外周面４ａよりも径方向内方に位置する吸気口２５
が形成され、その第２〜第５部材２０ｂ、２０ｃ、２０
ｄ、２０ｅに、排気側ロータ３の本体部５の円周方向に
沿う外周面５ａよりも径方向内方に位置する排気口２６
が形成されている。図３、５において、仮想線により吸
排気口２５、２６とハウジング２０の内周面とを示す。
その第１部材２０ａに形成された吸気口２５は、第１部
材２０ａに形成された吸気導入路２７に連通し、その第
５部材２０ｅに形成された排気口２６は、第５部材２０
ｅに形成された排気排出路２８に連通する。また、第２
部材２０ｂに形成された吸気口２５と排気口２６とは連
通路（図示省略）を介し連通し、第３部材２０ｃに形成
された吸気口２５と排気口２６とは連通路（図示省略）
を介し連通し、第４部材２０ｄに形成された吸気口２５
と排気口２６とは連通路（図示省略）を介し連通する。
ｃ、２０ｄに、吸気側ロータ２の本体部４の円周方向に
沿う外周面４ａよりも径方向内方に位置する吸気口２５
が形成され、その第２〜第５部材２０ｂ、２０ｃ、２０
ｄ、２０ｅに、排気側ロータ３の本体部５の円周方向に
沿う外周面５ａよりも径方向内方に位置する排気口２６
が形成されている。図３、５において、仮想線により吸
排気口２５、２６とハウジング２０の内周面とを示す。
その第１部材２０ａに形成された吸気口２５は、第１部
材２０ａに形成された吸気導入路２７に連通し、その第
５部材２０ｅに形成された排気口２６は、第５部材２０
ｅに形成された排気排出路２８に連通する。また、第２
部材２０ｂに形成された吸気口２５と排気口２６とは連
通路（図示省略）を介し連通し、第３部材２０ｃに形成
された吸気口２５と排気口２６とは連通路（図示省略）
を介し連通し、第４部材２０ｄに形成された吸気口２５
と排気口２６とは連通路（図示省略）を介し連通する。
【００１６】その吸気側ロータ２と排気側ロータ３とが
回転することで、吸気導入路２７から導入された気体
は、まず、第１部材２０ａの吸気口２５から吸気側ロー
タ２の切欠部４ｂを介しハウジング２０に導入され、吸
排気ロータ２、３の本体部４、５とハウジング２０の内
外周間で圧縮され、排気側ロータ３の切欠部５ｂを介し
第２部材２０ｂの排気口２６から排出される。次に、そ
の気体は第２部材２０ｂの吸気口２５から吸気側ロータ
２の切欠部４ｂを介しハウジング２０に導入され、同様
にして圧縮される。これが繰り返された後に、気体は第
５部材２０ｅの排気口２６から排気排出路２８を通って
排出される。
回転することで、吸気導入路２７から導入された気体
は、まず、第１部材２０ａの吸気口２５から吸気側ロー
タ２の切欠部４ｂを介しハウジング２０に導入され、吸
排気ロータ２、３の本体部４、５とハウジング２０の内
外周間で圧縮され、排気側ロータ３の切欠部５ｂを介し
第２部材２０ｂの排気口２６から排出される。次に、そ
の気体は第２部材２０ｂの吸気口２５から吸気側ロータ
２の切欠部４ｂを介しハウジング２０に導入され、同様
にして圧縮される。これが繰り返された後に、気体は第
５部材２０ｅの排気口２６から排気排出路２８を通って
排出される。
【００１７】図４に示すように、各吸排気側ロータ２、
３の外側面と、その外側面に対向するハウジング２０の
内側面との間の軸方向隙間δは、可及的微小なものとさ
れ、排気前に吸排気口２５、２６からガスが漏れるのを
防止するシールとして機能する。
３の外側面と、その外側面に対向するハウジング２０の
内側面との間の軸方向隙間δは、可及的微小なものとさ
れ、排気前に吸排気口２５、２６からガスが漏れるのを
防止するシールとして機能する。
【００１８】図１、図５に示すように、その排気口２６
は、径方向の幅の小さな部分２６ａと大きな部分２６ｂ
とを有する。本実施例では、その幅の小さな部分２６ａ
と大きな部分２６ｂとは不連続であって、幅の小さな部
分２６ａは円形の孔状であり、幅の大きな部分２６ｂは
円弧状であり、幅の小さな部分２６ａの幅方向中央２６
ａ′は幅の大きな部分２６ｂの幅方向中央２６ｂ′より
も径方向内方に位置し、また、その幅の小さな部分２６
ａは大きな部分２６ｂに対し、排気側ロータ３の回転方
向前方に位置する。そして、排気側ロータ３の各回転に
おいて、図５において仮想線で示すように、先ず幅の小
さな部分２６ａから排気側ロータ３の切欠部５ｂを介し
図中回転角度θｍに亘り排気が行なわれ、次に、その幅
の小さな部分２６ａからの排気が終了すると同時に、幅
の大きな部分２６ｂから排気側ロータ３の切欠部５ｂを
介し排気が行なわれる。
は、径方向の幅の小さな部分２６ａと大きな部分２６ｂ
とを有する。本実施例では、その幅の小さな部分２６ａ
と大きな部分２６ｂとは不連続であって、幅の小さな部
分２６ａは円形の孔状であり、幅の大きな部分２６ｂは
円弧状であり、幅の小さな部分２６ａの幅方向中央２６
ａ′は幅の大きな部分２６ｂの幅方向中央２６ｂ′より
も径方向内方に位置し、また、その幅の小さな部分２６
ａは大きな部分２６ｂに対し、排気側ロータ３の回転方
向前方に位置する。そして、排気側ロータ３の各回転に
おいて、図５において仮想線で示すように、先ず幅の小
さな部分２６ａから排気側ロータ３の切欠部５ｂを介し
図中回転角度θｍに亘り排気が行なわれ、次に、その幅
の小さな部分２６ａからの排気が終了すると同時に、幅
の大きな部分２６ｂから排気側ロータ３の切欠部５ｂを
介し排気が行なわれる。
【００１９】上記構成によれば、各ロータ２、３の外側
面とハウジング２０の内側面との間の隙間δはガス漏れ
防止用シールとして機能するので、排気口２６の径方向
の幅の小さな部分２６ａは幅の大きな部分２６ｂよりも
シール効果が大きい。よって、その幅の小さな部分２６
ａの径方向幅を仮に幅の大きな部分２６ｂに一致させた
場合に比べ、排気口２６から排気前に漏れるガスは少な
くなるので、ガスの圧縮仕事に要する消費動力を増大さ
せることなく真空性能を向上することができる。また、
その幅の大きな部分２６ｂの径方向幅を仮に幅の小さな
部分２６ａに一致させた場合に比べ、排気抵抗は小さく
なるので、ガスの圧縮仕事に要する消費動力を増大させ
ることなく真空性能を向上することができる。
面とハウジング２０の内側面との間の隙間δはガス漏れ
防止用シールとして機能するので、排気口２６の径方向
の幅の小さな部分２６ａは幅の大きな部分２６ｂよりも
シール効果が大きい。よって、その幅の小さな部分２６
ａの径方向幅を仮に幅の大きな部分２６ｂに一致させた
場合に比べ、排気口２６から排気前に漏れるガスは少な
くなるので、ガスの圧縮仕事に要する消費動力を増大さ
せることなく真空性能を向上することができる。また、
その幅の大きな部分２６ｂの径方向幅を仮に幅の小さな
部分２６ａに一致させた場合に比べ、排気抵抗は小さく
なるので、ガスの圧縮仕事に要する消費動力を増大させ
ることなく真空性能を向上することができる。
【００２０】図６は本発明の第１変形例を示す。上記実
施例との相違は、排気口２６は径方向の幅の小さな部分
２６ｃと大きな部分２６ｂとを有し、その径方向の幅の
小さな部分２６ｃと大きな部分２６ｂとは連続であっ
て、幅の小さな部分２６ｃは長孔状とされ、幅の小さな
部分２６ｃは幅の大きな部分２６ｂよりも径方向内方に
位置されている。そして、排気側ロータ３の各回転にお
いて、先ず幅の小さな部分２６ｃから排気が行なわれ、
次に、その幅の大きな部分２６ｂから排気が行なわれ
る。この第１変形例によっても上記実施例と同様の作用
効果を奏することができる。
施例との相違は、排気口２６は径方向の幅の小さな部分
２６ｃと大きな部分２６ｂとを有し、その径方向の幅の
小さな部分２６ｃと大きな部分２６ｂとは連続であっ
て、幅の小さな部分２６ｃは長孔状とされ、幅の小さな
部分２６ｃは幅の大きな部分２６ｂよりも径方向内方に
位置されている。そして、排気側ロータ３の各回転にお
いて、先ず幅の小さな部分２６ｃから排気が行なわれ、
次に、その幅の大きな部分２６ｂから排気が行なわれ
る。この第１変形例によっても上記実施例と同様の作用
効果を奏することができる。
【００２１】図７は本発明の第２変形例を示す。上記実
施例および第１変形例との相違は、排気口２６は径方向
の幅の小さな部分２６ａ、２６ｃと大きな部分２６ｂと
を有し、その径方向の幅の小さな部分２６ａ、２６ｃは
円形の孔状部分２６ａと長孔状部分２６ｃとからなり、
その円形の孔状部分２６ａは長孔状部分２６ｃよりも排
気側ロータ３の回転方向前方に位置し、また、長孔状部
分２６ｃと幅の大きな部分２６ｂとに対し不連続とさ
れ、その長孔状部分２６ｃと幅の大きな部分２６ｂとは
連続する。そして、排気側ロータ３の各回転において、
図５において仮想線で示すように、先ず幅の小さな円形
の孔状部分２６ａから排気側ロータ３の切欠部５ｂを介
し図中回転角度θｎに亘り排気が行なわれ、次に、その
幅の小さな部分２６ａからの排気が終了すると同時に、
幅の小さな長孔状部分２６ｃから排気が開始され、次い
で幅の大きな部分２６ｂから排気が行なわれる。この第
２変形例によっても上記実施例と同様の作用効果を奏す
ることができる。
施例および第１変形例との相違は、排気口２６は径方向
の幅の小さな部分２６ａ、２６ｃと大きな部分２６ｂと
を有し、その径方向の幅の小さな部分２６ａ、２６ｃは
円形の孔状部分２６ａと長孔状部分２６ｃとからなり、
その円形の孔状部分２６ａは長孔状部分２６ｃよりも排
気側ロータ３の回転方向前方に位置し、また、長孔状部
分２６ｃと幅の大きな部分２６ｂとに対し不連続とさ
れ、その長孔状部分２６ｃと幅の大きな部分２６ｂとは
連続する。そして、排気側ロータ３の各回転において、
図５において仮想線で示すように、先ず幅の小さな円形
の孔状部分２６ａから排気側ロータ３の切欠部５ｂを介
し図中回転角度θｎに亘り排気が行なわれ、次に、その
幅の小さな部分２６ａからの排気が終了すると同時に、
幅の小さな長孔状部分２６ｃから排気が開始され、次い
で幅の大きな部分２６ｂから排気が行なわれる。この第
２変形例によっても上記実施例と同様の作用効果を奏す
ることができる。
【００２２】
【発明の効果】本発明の真空ポンプによれば、真空性能
を低下させることなくガスの圧縮仕事に要する消費動力
を低減できる。
を低下させることなくガスの圧縮仕事に要する消費動力
を低減できる。
【図１】本発明の実施例の真空ポンプの要部の側断面図
【図２】本発明の実施例の真空ポンプの断面図
【図３】本発明の実施例の真空ポンプの構成説明用斜視
図
図
【図４】本発明の実施例の真空ポンプの部分正断面図
【図５】本発明の実施例の真空ポンプの作用説明図
【図６】本発明の第１変形例の真空ポンプの作用説明図
【図７】本発明の第２変形例の真空ポンプの作用説明図
【図８】従来例の真空ポンプの作用説明図
【図９】（１）は従来例の真空ポンプの動作順序を示す
図、（２）は従来例の真空ポンプの吸排気口の開閉状態
とロータ回転角度との関係を示す図
図、（２）は従来例の真空ポンプの吸排気口の開閉状態
とロータ回転角度との関係を示す図
【図１０】従来例の真空ポンプのハウジングを構成す部
材の（１）は正面図、（２）は（１）の（２）‐（２）
線断面図、（３）は背面図
材の（１）は正面図、（２）は（１）の（２）‐（２）
線断面図、（３）は背面図
【図１１】従来例の真空ポンプの断面図
２ 吸気側ロータ ３ 排気側ロータ ４、５ 本体部 ６、７ 歯部 ２０ ハウジング ２５ 吸気口 ２６ 排気口
Claims (1)
- 【請求項１】 吸気側ロータと、排気側ロータと、両ロ
ータを覆うハウジングとを備え、各ロータは、円周方向
に沿う外周面を有する本体部と、この本体部から径方向
外方に突出する歯部とを有し、そのハウジングに本体部
の円周方向に沿う外周面よりも径方向内方に位置する吸
気口と排気口とが形成され、各ロータの外側面とハウジ
ングの内側面との間の隙間がガス漏れ防止用シールとし
て機能し、両ロータの回転により吸気口からハウジング
内に吸入されるガスを圧縮して排気口から排出する真空
ポンプにおいて、その排気口は、径方向の幅の小さな部
分と大きな部分とを有し、その径方向の幅の小さな部分
は、その径方向の幅の大きな部分よりも径方向内方に位
置する真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5151095A JPH06336990A (ja) | 1993-05-29 | 1993-05-29 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5151095A JPH06336990A (ja) | 1993-05-29 | 1993-05-29 | 真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06336990A true JPH06336990A (ja) | 1994-12-06 |
Family
ID=15511232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5151095A Pending JPH06336990A (ja) | 1993-05-29 | 1993-05-29 | 真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06336990A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011077930A1 (ja) * | 2009-12-24 | 2011-06-30 | アネスト岩田株式会社 | 多段真空ポンプ |
| CN115199539A (zh) * | 2022-08-12 | 2022-10-18 | 桂林华标信息技术有限公司 | 一种双转子真空泵 |
-
1993
- 1993-05-29 JP JP5151095A patent/JPH06336990A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011077930A1 (ja) * | 2009-12-24 | 2011-06-30 | アネスト岩田株式会社 | 多段真空ポンプ |
| JP2011132869A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Anest Iwata Corp | 多段真空ポンプ |
| US20120257961A1 (en) * | 2009-12-24 | 2012-10-11 | Anest Iwata Corporation | Multistage vacuum pump |
| US8517701B2 (en) | 2009-12-24 | 2013-08-27 | Anest Iwata Corporation | Multistage vacuum pump |
| CN115199539A (zh) * | 2022-08-12 | 2022-10-18 | 桂林华标信息技术有限公司 | 一种双转子真空泵 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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