JPH06338029A - 薄膜磁気ヘッド装置 - Google Patents
薄膜磁気ヘッド装置Info
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- JPH06338029A JPH06338029A JP5145492A JP14549293A JPH06338029A JP H06338029 A JPH06338029 A JP H06338029A JP 5145492 A JP5145492 A JP 5145492A JP 14549293 A JP14549293 A JP 14549293A JP H06338029 A JPH06338029 A JP H06338029A
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- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 45
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 14
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 6
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/02—Recording, reproducing, or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
- G11B5/09—Digital recording
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers
Landscapes
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来の薄膜ヘッドが備えている特長的なアン
ダーシュートを大巾に低減させ、これによって高精度で
生産性良好な薄膜磁気ヘッド装置を提供することを、そ
の目的とする。 【構成】 第１の磁性膜３と，非磁性膜から成るギャッ
プ層４と，第２の磁性膜５とを順次積層し、この内、第
２の磁性膜５は、その膜厚が、部分的に厚さを変えた凹
凸状に設定されていること。
ダーシュートを大巾に低減させ、これによって高精度で
生産性良好な薄膜磁気ヘッド装置を提供することを、そ
の目的とする。 【構成】 第１の磁性膜３と，非磁性膜から成るギャッ
プ層４と，第２の磁性膜５とを順次積層し、この内、第
２の磁性膜５は、その膜厚が、部分的に厚さを変えた凹
凸状に設定されていること。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録再生に用いら
れる薄膜磁気ヘッド装置に係り、とくに薄膜形式プロセ
スによって製作される薄膜磁気ヘッド装置に関するもの
である。
れる薄膜磁気ヘッド装置に係り、とくに薄膜形式プロセ
スによって製作される薄膜磁気ヘッド装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年のデータ保存磁気記録装置，特に大
容量で高速にランダムアクセスが可能な磁気ディスク装
置においては、薄膜磁気ヘッドが多く用いられている。
薄膜磁気ヘッドは、信号の書き込みや読み出しを行う磁
気回路が薄くしかも寸法的に小型の金属磁性膜で構成さ
れているため、信号読み出し時の出力効率が高く、高速
にデータ転送を行うことができるという利点を備えてい
る。
容量で高速にランダムアクセスが可能な磁気ディスク装
置においては、薄膜磁気ヘッドが多く用いられている。
薄膜磁気ヘッドは、信号の書き込みや読み出しを行う磁
気回路が薄くしかも寸法的に小型の金属磁性膜で構成さ
れているため、信号読み出し時の出力効率が高く、高速
にデータ転送を行うことができるという利点を備えてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一方、薄膜磁気ヘッド
は、その構造に起因する特長的な出力波形を有してい
る。このため、この特長的な波形に起因して、データを
読み間違える可能性が生じ、前述した高出力，高速デー
タ再生等の特質を十分に生かしきれないという面があっ
た。
は、その構造に起因する特長的な出力波形を有してい
る。このため、この特長的な波形に起因して、データを
読み間違える可能性が生じ、前述した高出力，高速デー
タ再生等の特質を十分に生かしきれないという面があっ
た。
【０００４】磁気ヘッドの磁気記録再生を行うギャップ
部は、非磁性体空隙部を二つの磁性体が挿んで極が構成
されているが、この二つの極は薄膜ヘッドでは磁性体の
薄膜で構成されており、薄膜の膜厚寸法が記録媒体に対
向するようになっている。従って、記録媒体に対向する
極の長さは、僅かに数ミクロンの有限長しかない。この
ため、このような有限長の極長さを有するヘッドで記録
再生を行うと、例えば特開昭６１−１０７５１５号公報
に開示されているように孤立波形にはアンダーシュート
又はネガティブパルスと呼ばれる特長的な小さなコブが
発生する。
部は、非磁性体空隙部を二つの磁性体が挿んで極が構成
されているが、この二つの極は薄膜ヘッドでは磁性体の
薄膜で構成されており、薄膜の膜厚寸法が記録媒体に対
向するようになっている。従って、記録媒体に対向する
極の長さは、僅かに数ミクロンの有限長しかない。この
ため、このような有限長の極長さを有するヘッドで記録
再生を行うと、例えば特開昭６１−１０７５１５号公報
に開示されているように孤立波形にはアンダーシュート
又はネガティブパルスと呼ばれる特長的な小さなコブが
発生する。
【０００５】この小さなコブ状信号はデータと誤認識さ
れることがあり、高密度記録用の薄膜ヘッドの用途を著
しく損なうものであった。このような薄膜ヘッドの欠点
を補うべく従来の薄膜ヘッドでは、例えば上述した特開
昭６１−１０７５１５号公報或いは特開昭６１−２１０
５１０号公報に示されるような対策が試みられている。
これらは、ギャップを構成する磁性層の媒体対向部に切
り欠きを形成することによりアンダーシュートを小さく
することを狙っている。
れることがあり、高密度記録用の薄膜ヘッドの用途を著
しく損なうものであった。このような薄膜ヘッドの欠点
を補うべく従来の薄膜ヘッドでは、例えば上述した特開
昭６１−１０７５１５号公報或いは特開昭６１−２１０
５１０号公報に示されるような対策が試みられている。
これらは、ギャップを構成する磁性層の媒体対向部に切
り欠きを形成することによりアンダーシュートを小さく
することを狙っている。
【０００６】しかしながら、かかる従来例にあっては、
その切り欠きの加工形成に多くの手間がかかり、生産性
が悪く、更には加工上のばらつきがあって均一な寸法精
度のものを得ることができないという不都合があった。
その切り欠きの加工形成に多くの手間がかかり、生産性
が悪く、更には加工上のばらつきがあって均一な寸法精
度のものを得ることができないという不都合があった。
【０００７】
【発明の目的】本発明は、かかる従来例の有する不都合
を改善し、とくに、従来の薄膜ヘッドに特長的なアンダ
ーシュートを大巾に低減することを可能とした生産性良
好な薄膜磁気ヘッド装置を提供することを、その目的と
する。
を改善し、とくに、従来の薄膜ヘッドに特長的なアンダ
ーシュートを大巾に低減することを可能とした生産性良
好な薄膜磁気ヘッド装置を提供することを、その目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明では、第１の磁性
膜と，非磁性膜から成るギャップ層と，第２の磁性膜と
が順次積層されてなる薄膜磁気ヘッド装置において、第
２の磁性膜の膜厚を、部分的に厚さを変えた凹凸状に設
定する、という構成をとっている。これによって前述し
た目的を達成しようとするものである。
膜と，非磁性膜から成るギャップ層と，第２の磁性膜と
が順次積層されてなる薄膜磁気ヘッド装置において、第
２の磁性膜の膜厚を、部分的に厚さを変えた凹凸状に設
定する、という構成をとっている。これによって前述し
た目的を達成しようとするものである。
【０００９】
【作 用】第２の磁性膜上の段差によって、アンダーシ
ュート効果が大巾に低減される。このため、よりデータ
の読み誤りの少ない優れた品質の波形を得ることができ
る。そして、このような波形を用いる信号においてはア
ンダーシュートによる擬似パルスはその振巾が十分に小
さいため、かなり小さい振巾の高周波信号も誤りなくデ
ータとして区分して扱えることができることになる、つ
まり高記録密度が可能となる。
ュート効果が大巾に低減される。このため、よりデータ
の読み誤りの少ない優れた品質の波形を得ることができ
る。そして、このような波形を用いる信号においてはア
ンダーシュートによる擬似パルスはその振巾が十分に小
さいため、かなり小さい振巾の高周波信号も誤りなくデ
ータとして区分して扱えることができることになる、つ
まり高記録密度が可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１に基づいて説
明する。この図１において、第１の磁性膜３と，非磁性
膜から成るギャップ層４と，第２の磁性膜５とが順次積
層されている。この内、第２の磁性膜５は、その膜厚
が、部分的に厚さを変えた凹凸状に設定されている。
明する。この図１において、第１の磁性膜３と，非磁性
膜から成るギャップ層４と，第２の磁性膜５とが順次積
層されている。この内、第２の磁性膜５は、その膜厚
が、部分的に厚さを変えた凹凸状に設定されている。
【００１１】これを更に詳述すると、図１はヘッドのギ
ャップ部の媒体対向面を示す。この図１において、符号
１は、アルミナチタン酸カーバイトから成るセラミック
基板を示す。このセラミック基板１上に、アルミナ下地
膜２をスパッタリングによって成膜し、その上に順次第
１の磁性膜３，ギャップ層４，第２の磁性膜５が積層さ
れている。
ャップ部の媒体対向面を示す。この図１において、符号
１は、アルミナチタン酸カーバイトから成るセラミック
基板を示す。このセラミック基板１上に、アルミナ下地
膜２をスパッタリングによって成膜し、その上に順次第
１の磁性膜３，ギャップ層４，第２の磁性膜５が積層さ
れている。
【００１２】第１乃至第２の各磁性膜３，５はともにパ
ーマロイからなり、いずれもフレームメッキ法にてメッ
キされ成膜される。このフレームメッキ法は、メッキ下
地が施されている部分に所望のパタンをメッキするに際
し、該パタンの外形輪郭をフォトレジストによる壁（フ
レーム）で囲んでからメッキし、その後に必要パターン
部をマスクして不要な部分のメッキをエッチングして除
去するという方法である。
ーマロイからなり、いずれもフレームメッキ法にてメッ
キされ成膜される。このフレームメッキ法は、メッキ下
地が施されている部分に所望のパタンをメッキするに際
し、該パタンの外形輪郭をフォトレジストによる壁（フ
レーム）で囲んでからメッキし、その後に必要パターン
部をマスクして不要な部分のメッキをエッチングして除
去するという方法である。
【００１３】第２の磁性膜５は、ここでは２回にわたっ
てメッキされており、第１回のメッキでは図における下
半分、すなわち符号５Ａ部分がメッキされ、その膜厚は
３〔μｍ〕に設定されている。続いて、第２磁性膜５の
第２回目のメッキを行う。このメッキは所望の凹凸状の
薄膜を得るためにフレームの内側に島状のパターンをレ
ジストにて形成しておく。これにより島状部分はメッキ
されないので第２の磁性膜の１回目の磁性膜５Ａの上に
２回目の磁性膜５Ｂがメッキされる。
てメッキされており、第１回のメッキでは図における下
半分、すなわち符号５Ａ部分がメッキされ、その膜厚は
３〔μｍ〕に設定されている。続いて、第２磁性膜５の
第２回目のメッキを行う。このメッキは所望の凹凸状の
薄膜を得るためにフレームの内側に島状のパターンをレ
ジストにて形成しておく。これにより島状部分はメッキ
されないので第２の磁性膜の１回目の磁性膜５Ａの上に
２回目の磁性膜５Ｂがメッキされる。
【００１４】そして、この符号５Ａと符号５Ｂとで形成
される段差の効果によって、アンダーシュート効果が大
巾に低減される。この結果、上記実施例によると、より
データの読み誤りの少ない優れた品質の波形を得ること
ができ、そして、このような波形を用いる信号において
はアンダーシュートによる擬似パルスはその振巾が十分
に小さいため、かなり小さい振巾の高周波信号も誤りな
くデータとして区分して扱えることができることにな
る、つまり高記録密度が可能となるという利点がある。
される段差の効果によって、アンダーシュート効果が大
巾に低減される。この結果、上記実施例によると、より
データの読み誤りの少ない優れた品質の波形を得ること
ができ、そして、このような波形を用いる信号において
はアンダーシュートによる擬似パルスはその振巾が十分
に小さいため、かなり小さい振巾の高周波信号も誤りな
くデータとして区分して扱えることができることにな
る、つまり高記録密度が可能となるという利点がある。
【００１５】この場合、段差はアンダーシュートが低減
されるために十分な大きさを有する必要があるが、例え
ば、５０，０００ＢＰＩ（ビット／インチ）の記録密度
のヘッドの場合、この段差は０．５ミクロン以上となる
ことが望ましい。また本実施例では磁性層をメッキにて
形成したが、他の方法，例えばスパッタ，イオンビーム
・デポジション等によって形成する場合も全く同じ方法
が適用できる。
されるために十分な大きさを有する必要があるが、例え
ば、５０，０００ＢＰＩ（ビット／インチ）の記録密度
のヘッドの場合、この段差は０．５ミクロン以上となる
ことが望ましい。また本実施例では磁性層をメッキにて
形成したが、他の方法，例えばスパッタ，イオンビーム
・デポジション等によって形成する場合も全く同じ方法
が適用できる。
【００１６】このように段差を有する第２の磁性膜５を
形成する方法は、上記のように二回のメッキを行うこと
以外の方法，例えばエッチングによって形成することを
可能である。
形成する方法は、上記のように二回のメッキを行うこと
以外の方法，例えばエッチングによって形成することを
可能である。
【００１７】以下、図２によりこれを説明する。
【００１８】この図２において、セラミック基板１１の
上のアルミナ下地膜１２上には、第１の磁性膜１３，ギ
ャップ層１４，第２の磁性膜１５が順次積層されてい
る。
上のアルミナ下地膜１２上には、第１の磁性膜１３，ギ
ャップ層１４，第２の磁性膜１５が順次積層されてい
る。
【００１９】第２の磁性膜１５は、はじめに図２中の符
号１５Ａで示す点線部分も含めてメッキされる。次に、
第２の磁性膜１５上にストライプ状にフォトレジストに
よりエッチングのマスクとするためのマスクパターンを
形成する（図示せず）。しかる後、第２の磁性膜１５を
イオンミリングによりエッチングし、このエッチング完
了後にフォトレジストマスクを溶融除去する。このよう
にして第２の磁性膜１５が形成される。
号１５Ａで示す点線部分も含めてメッキされる。次に、
第２の磁性膜１５上にストライプ状にフォトレジストに
よりエッチングのマスクとするためのマスクパターンを
形成する（図示せず）。しかる後、第２の磁性膜１５を
イオンミリングによりエッチングし、このエッチング完
了後にフォトレジストマスクを溶融除去する。このよう
にして第２の磁性膜１５が形成される。
【００２０】ここで、上記実施例におけるエッチング
は、イオンミリングにて行なったが、他の方法，例えば
ケミカルエッチングやスパッタエッチングによって実現
してもよい。
は、イオンミリングにて行なったが、他の方法，例えば
ケミカルエッチングやスパッタエッチングによって実現
してもよい。
【００２１】
【発明の効果】本発明は以上のように構成され機能する
ので、これによると、従来の薄膜ヘッドに特有なアンダ
ーシュートを大巾に低減することが可能となり、このた
めヘッドの本来的な精度及び信頼性を有効に向上させる
ことができ、エッチング等による加工を可能としたこと
から、製品の均一性を高めることができ、従って生産性
の著しい向上を図ることができるという従来にない優れ
た薄膜磁気ヘッド装置を提供することができる。
ので、これによると、従来の薄膜ヘッドに特有なアンダ
ーシュートを大巾に低減することが可能となり、このた
めヘッドの本来的な精度及び信頼性を有効に向上させる
ことができ、エッチング等による加工を可能としたこと
から、製品の均一性を高めることができ、従って生産性
の著しい向上を図ることができるという従来にない優れ
た薄膜磁気ヘッド装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す部分断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す部分断面図である。
１，１１ セラミック基板 ２，１２ アルミナ下地層 ３，１３ 第１磁性膜 ４，１４ ギャップ層 ５，１５ 第２磁性膜
Claims (2)
- 【請求項１】 第１の磁性膜と，非磁性膜からなるギャ
ップ層と，第２の磁性膜とが順次積層されてなる薄膜磁
気ヘッド装置において、 前記第２の磁性膜の膜厚を、部分的に厚さを変えた凹凸
状に設定したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド装置。 - 【請求項２】 前記第２の磁性膜における凹凸は、記録
密度が５０，０００〔ビット／インチ〕の記録密度のも
のにあっては０．５ミクロン以上であることを特徴とし
た請求項１記載の薄膜磁気ヘッド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5145492A JPH06338029A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 薄膜磁気ヘッド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5145492A JPH06338029A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 薄膜磁気ヘッド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06338029A true JPH06338029A (ja) | 1994-12-06 |
Family
ID=15386520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5145492A Pending JPH06338029A (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | 薄膜磁気ヘッド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06338029A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6175064A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-17 | Nissan Motor Co Ltd | ４ドアハ−ドトツプ車におけるセンタピラ−の下部結合構造 |
| JPH04341907A (ja) * | 1991-05-17 | 1992-11-27 | Victor Co Of Japan Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
-
1993
- 1993-05-25 JP JP5145492A patent/JPH06338029A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6175064A (ja) * | 1984-09-21 | 1986-04-17 | Nissan Motor Co Ltd | ４ドアハ−ドトツプ車におけるセンタピラ−の下部結合構造 |
| JPH04341907A (ja) * | 1991-05-17 | 1992-11-27 | Victor Co Of Japan Ltd | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19960806 |