JPH06339829A - 真空吸着テーブル - Google Patents
真空吸着テーブルInfo
- Publication number
- JPH06339829A JPH06339829A JP15441393A JP15441393A JPH06339829A JP H06339829 A JPH06339829 A JP H06339829A JP 15441393 A JP15441393 A JP 15441393A JP 15441393 A JP15441393 A JP 15441393A JP H06339829 A JPH06339829 A JP H06339829A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- work
- vacuum suction
- vacuum chamber
- chambers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 １台の真空吸着テーブルにより複数寸法のワ
ークを吸着できるようにする。 【構成】 複数のバキュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，
１５ｃを凹設したテーブル本体１４の上面に、多数の真
空吸引孔１２を穿孔された吸着板１３を載置してテーブ
ル盤５を形成する。各バキュームチャンバ１５ａ，１５
ｂ，１５ｃは独立した室となるよう仕切り壁１６によっ
て互いに仕切られており、バルブ操作によって各バキュ
ームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内を互いに単独で
減圧できるようにする。
ークを吸着できるようにする。 【構成】 複数のバキュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，
１５ｃを凹設したテーブル本体１４の上面に、多数の真
空吸引孔１２を穿孔された吸着板１３を載置してテーブ
ル盤５を形成する。各バキュームチャンバ１５ａ，１５
ｂ，１５ｃは独立した室となるよう仕切り壁１６によっ
て互いに仕切られており、バルブ操作によって各バキュ
ームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内を互いに単独で
減圧できるようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空吸着テーブルに関す
る。具体的にいうと、本発明は、テーブル盤の上に載置
されたワークを吸着することによりテーブル盤の上に固
定させるための真空吸着テーブルに関する。
る。具体的にいうと、本発明は、テーブル盤の上に載置
されたワークを吸着することによりテーブル盤の上に固
定させるための真空吸着テーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】図６は従来の真空吸着テーブル６１を示
す分解斜視図である。テーブル盤６２はテーブル本体６
３と吸着板６４とからなり、テーブル本体６３の上面に
はほぼ全体にわたって１箇所のバキュームチャンバ６５
を凹設し、バキュームチャンバ６５の底面に排気口６６
を設け、吸着板６４には多数の真空吸引孔６７を穿孔し
てある。吸着板６４はテーブル本体６３の上に一体的に
固定され、テーブル本体６３と吸着板６４とによりバキ
ュームチャンバ６５内を気密的に構成している。
す分解斜視図である。テーブル盤６２はテーブル本体６
３と吸着板６４とからなり、テーブル本体６３の上面に
はほぼ全体にわたって１箇所のバキュームチャンバ６５
を凹設し、バキュームチャンバ６５の底面に排気口６６
を設け、吸着板６４には多数の真空吸引孔６７を穿孔し
てある。吸着板６４はテーブル本体６３の上に一体的に
固定され、テーブル本体６３と吸着板６４とによりバキ
ュームチャンバ６５内を気密的に構成している。
【０００３】しかして、全ての真空吸引孔を覆うように
テーブル盤の上に例えばガラス板のようなワークを載
せ、真空吸引孔を通してバキュームチャンバ内を減圧す
ると、真空吸引孔によりワークが吸着され、ワークがテ
ーブル盤の上に固定される。
テーブル盤の上に例えばガラス板のようなワークを載
せ、真空吸引孔を通してバキュームチャンバ内を減圧す
ると、真空吸引孔によりワークが吸着され、ワークがテ
ーブル盤の上に固定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
真空吸着テーブル６１にあっては、小さなワーク６８を
テーブル盤６２の上に吸着させようとすると、図７に示
すように、一部の真空吸引孔６７がワーク６８よりも外
に出て塞がれなくなるので、この真空吸引孔６７から真
空が漏れ、バキュームチャンバ６５内が減圧されなくな
る。このため、真空吸着テーブル６１によって固定でき
るワーク６８の寸法が制限され、一定の寸法のテーブル
盤６２についてはほぼ一定の寸法のワーク６８にしか用
いることができず、汎用性がなかった。
真空吸着テーブル６１にあっては、小さなワーク６８を
テーブル盤６２の上に吸着させようとすると、図７に示
すように、一部の真空吸引孔６７がワーク６８よりも外
に出て塞がれなくなるので、この真空吸引孔６７から真
空が漏れ、バキュームチャンバ６５内が減圧されなくな
る。このため、真空吸着テーブル６１によって固定でき
るワーク６８の寸法が制限され、一定の寸法のテーブル
盤６２についてはほぼ一定の寸法のワーク６８にしか用
いることができず、汎用性がなかった。
【０００５】このため、ワークの品種やサイズ等が変更
されると、その都度真空吸着テーブルのテーブル盤を取
り替えるか、あるいは、真空吸引孔のパターンの異なる
吸着板と交換しなければならず、段取替えの手間が大き
かった。
されると、その都度真空吸着テーブルのテーブル盤を取
り替えるか、あるいは、真空吸引孔のパターンの異なる
吸着板と交換しなければならず、段取替えの手間が大き
かった。
【０００６】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは複数寸法の
ワークを吸着することができる汎用性の高い真空吸着テ
ーブルを提供することにある。
れたものであって、その目的とするところは複数寸法の
ワークを吸着することができる汎用性の高い真空吸着テ
ーブルを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の真空吸着テーブ
ルは、テーブル盤の内部に独立した複数のバキュームチ
ャンバを設け、各バキュームチャンバと連通した真空吸
引孔をテーブル盤の表面に形成し、各バキュームチャン
バ内を独立して減圧させられるようにしたことを特徴と
している。
ルは、テーブル盤の内部に独立した複数のバキュームチ
ャンバを設け、各バキュームチャンバと連通した真空吸
引孔をテーブル盤の表面に形成し、各バキュームチャン
バ内を独立して減圧させられるようにしたことを特徴と
している。
【０００８】
【作用】本発明の真空吸着テーブルにあっては、複数の
バキュームチャンバを設けて、各バキュームチャンバ内
を独立して減圧させられるようにしているので、ワーク
の寸法や形状に応じてバキュームチャンバの一部もしく
は全体を減圧させることができ、あるいは、減圧させる
バキュームチャンバの位置を自由に選択することができ
る。
バキュームチャンバを設けて、各バキュームチャンバ内
を独立して減圧させられるようにしているので、ワーク
の寸法や形状に応じてバキュームチャンバの一部もしく
は全体を減圧させることができ、あるいは、減圧させる
バキュームチャンバの位置を自由に選択することができ
る。
【０００９】例えば、小さなバキュームチャンバと大き
なバキュームチャンバを設けてあれば、減圧するバキュ
ームチャンバを選択することによってワークの寸法に対
応することができる。あるいは、複数のバキュームチャ
ンバのうち、減圧するバキュームチャンバの数を調整す
ることによりワークの寸法に対応することができる。
なバキュームチャンバを設けてあれば、減圧するバキュ
ームチャンバを選択することによってワークの寸法に対
応することができる。あるいは、複数のバキュームチャ
ンバのうち、減圧するバキュームチャンバの数を調整す
ることによりワークの寸法に対応することができる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の一実施例による真空吸着テー
ブルＡを用いた搬送用テーブル装置１を示す断面図であ
る。この搬送用テーブル装置１は、ガラス基板のような
ワーク２を吸着して一定速度で水平に搬送するものであ
る。ベース３の上面には１対の平行なガイドレール４が
設けられ、テーブル盤５の下面に設けられた４つのスラ
イダー６がガイドレール４によってスライド自在に支持
されており、テーブル盤５はガイドレール４に沿って滑
らかに走行する。また、ベース３内の中央部には、雄ね
じシャフト７がガイドレール４と平行に配設されてお
り、雄ねじシャフト７の両端部はアンギュラベアリング
８を介してベース３に回転自在に支持され、テーブル盤
５の下面部分に固定された雌ねじ管９と雄ねじシャフト
７とを互いに螺合させてボールねじ機構を構成してい
る。ベース３の端部にはサーボモータ１０が固定されて
おり、サーボモータ１０の出力軸は継手１１を介して雄
ねじシャフト７と連結されている。従って、サーボモー
タ１０によって雄ねじシャフト７を一定の回転数で回転
させることによりテーブル盤５をガイドレール４に沿っ
て定速で移動させることができる。
ブルＡを用いた搬送用テーブル装置１を示す断面図であ
る。この搬送用テーブル装置１は、ガラス基板のような
ワーク２を吸着して一定速度で水平に搬送するものであ
る。ベース３の上面には１対の平行なガイドレール４が
設けられ、テーブル盤５の下面に設けられた４つのスラ
イダー６がガイドレール４によってスライド自在に支持
されており、テーブル盤５はガイドレール４に沿って滑
らかに走行する。また、ベース３内の中央部には、雄ね
じシャフト７がガイドレール４と平行に配設されてお
り、雄ねじシャフト７の両端部はアンギュラベアリング
８を介してベース３に回転自在に支持され、テーブル盤
５の下面部分に固定された雌ねじ管９と雄ねじシャフト
７とを互いに螺合させてボールねじ機構を構成してい
る。ベース３の端部にはサーボモータ１０が固定されて
おり、サーボモータ１０の出力軸は継手１１を介して雄
ねじシャフト７と連結されている。従って、サーボモー
タ１０によって雄ねじシャフト７を一定の回転数で回転
させることによりテーブル盤５をガイドレール４に沿っ
て定速で移動させることができる。
【００１１】図２は上記真空吸着テーブルＡのテーブル
盤５を示す分解斜視図であって、多数の真空吸引孔１２
を穿孔された板状の吸着板１３をテーブル本体１４の上
に載置してあり、テーブル本体１４の上面には複数のバ
キュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃが凹設されて
おり、各バキュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃは
独立した室となるよう仕切り壁１６によって互いに仕切
られている。また、各バキュームチャンバ１５ａ，１５
ｂ，１５ｃ内の底面にはそれぞれ排気口１７ａ，１７
ｂ，１７ｃを設けてあり、各排気口１７ａ，１７ｂ，１
７ｃはホース１８を介して排気装置１９に接続されてお
り、各排気口１７ａ，１７ｂ，１７ｃはバルブ２０ａ，
２０ｂ，２０ｃによって開閉操作されるようになってい
る。よって、いずれかのバルブ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ
を開いてバキュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内
のエアを排出すると、当該バキュームチャンバ１５ａ，
１５ｂ，１５ｃ内を互いに単独で真空ないし負圧にする
ことができ、吸着板１３の上に置かれたワーク２の下面
を吸着することができる。なお、図示しないが、テーブ
ル盤５内にはエジェクタピンが納められており、バキュ
ームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内を常圧に開放し
た後、吸着板１３のピン突出し孔からエジェクタピンを
突出させることにより、ワーク２の下面を押し上げ、ワ
ーク２をテーブル盤５から強制的に剥離することができ
る。
盤５を示す分解斜視図であって、多数の真空吸引孔１２
を穿孔された板状の吸着板１３をテーブル本体１４の上
に載置してあり、テーブル本体１４の上面には複数のバ
キュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃが凹設されて
おり、各バキュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃは
独立した室となるよう仕切り壁１６によって互いに仕切
られている。また、各バキュームチャンバ１５ａ，１５
ｂ，１５ｃ内の底面にはそれぞれ排気口１７ａ，１７
ｂ，１７ｃを設けてあり、各排気口１７ａ，１７ｂ，１
７ｃはホース１８を介して排気装置１９に接続されてお
り、各排気口１７ａ，１７ｂ，１７ｃはバルブ２０ａ，
２０ｂ，２０ｃによって開閉操作されるようになってい
る。よって、いずれかのバルブ２０ａ，２０ｂ，２０ｃ
を開いてバキュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内
のエアを排出すると、当該バキュームチャンバ１５ａ，
１５ｂ，１５ｃ内を互いに単独で真空ないし負圧にする
ことができ、吸着板１３の上に置かれたワーク２の下面
を吸着することができる。なお、図示しないが、テーブ
ル盤５内にはエジェクタピンが納められており、バキュ
ームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃ内を常圧に開放し
た後、吸着板１３のピン突出し孔からエジェクタピンを
突出させることにより、ワーク２の下面を押し上げ、ワ
ーク２をテーブル盤５から強制的に剥離することができ
る。
【００１２】上記真空吸着テーブルＡの使用方法を図３
（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。図３（ａ）は全ての真空吸
引孔１２を覆うような最も大きなワーク２をテーブル盤
５の上に載置した状態を示しており、バルブ２０ａ，２
０ｂ，２０ｃを開いて全バキュームチャンバ１５ａ，１
５ｂ，１５ｃ内を減圧し、テーブル盤５の全体でワーク
２を吸着している。図３（ｂ）はバキュームチャンバ１
５ｂ，１５ｃに対応する真空吸引孔１２を覆うような大
きさのワーク２をテーブル盤５の上に載置した状態を示
しており、バルブ２０ｂ，２０ｃを開いて２つのバキュ
ームチャンバ１５ｂ，１５ｃ内を減圧し、テーブル盤５
の一部でワーク２を吸着している。また、図３（ｃ）は
バキュームチャンバ１５ｂに対応する真空吸引孔１２を
覆うような小さなワーク２をテーブル盤５の上に載置し
た状態を示しており、バルブ２０ｂを開いて１つのバキ
ュームチャンバ１５ｂ内を減圧し、テーブル盤５の一部
でワーク２を吸着している。従って、ワーク２の寸法や
形状に合わせて３種以上の吸着方法を選択することがで
きる。
（ａ）（ｂ）（ｃ）に示す。図３（ａ）は全ての真空吸
引孔１２を覆うような最も大きなワーク２をテーブル盤
５の上に載置した状態を示しており、バルブ２０ａ，２
０ｂ，２０ｃを開いて全バキュームチャンバ１５ａ，１
５ｂ，１５ｃ内を減圧し、テーブル盤５の全体でワーク
２を吸着している。図３（ｂ）はバキュームチャンバ１
５ｂ，１５ｃに対応する真空吸引孔１２を覆うような大
きさのワーク２をテーブル盤５の上に載置した状態を示
しており、バルブ２０ｂ，２０ｃを開いて２つのバキュ
ームチャンバ１５ｂ，１５ｃ内を減圧し、テーブル盤５
の一部でワーク２を吸着している。また、図３（ｃ）は
バキュームチャンバ１５ｂに対応する真空吸引孔１２を
覆うような小さなワーク２をテーブル盤５の上に載置し
た状態を示しており、バルブ２０ｂを開いて１つのバキ
ュームチャンバ１５ｂ内を減圧し、テーブル盤５の一部
でワーク２を吸着している。従って、ワーク２の寸法や
形状に合わせて３種以上の吸着方法を選択することがで
きる。
【００１３】図４は本発明のさらに別な実施例による真
空吸着テーブルＢを示す分解斜視図である。この実施例
にあっては、バキュームチャンバ１５ａの内側にバキュ
ームチャンバ１５ｂを設け、さらにバキュームチャンバ
１５ｂの内側にバキュームチャンバ１５ｃを設けてあ
り、各バキュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃを単
独で減圧できるようにしている。
空吸着テーブルＢを示す分解斜視図である。この実施例
にあっては、バキュームチャンバ１５ａの内側にバキュ
ームチャンバ１５ｂを設け、さらにバキュームチャンバ
１５ｂの内側にバキュームチャンバ１５ｃを設けてあ
り、各バキュームチャンバ１５ａ，１５ｂ，１５ｃを単
独で減圧できるようにしている。
【００１４】バキュームチャンバの形状や配置は図２や
図４に示した実施例に限られるものでなく、予想される
ワークの形状や寸法に合わせて任意の配置を選択するこ
とができる。例えばバキュームチャンバの数は３個に限
らず、２個あるいは４個以上でもよく、また、例えば碁
盤目のようにテーブル盤を細かく分割するように設ける
こともできる。
図４に示した実施例に限られるものでなく、予想される
ワークの形状や寸法に合わせて任意の配置を選択するこ
とができる。例えばバキュームチャンバの数は３個に限
らず、２個あるいは４個以上でもよく、また、例えば碁
盤目のようにテーブル盤を細かく分割するように設ける
こともできる。
【００１５】なお、上記搬送用テーブル装置１の用途は
特に限定されるものではないが、例えば図５に示すよう
な流体塗布装置（スロット式粘液噴出塗布装置）２１に
用いることができる。この流体塗布装置２１は、主とし
て、搬送用テーブル装置１と、ワーク（塗布対象物）２
の表面に塗布液をコーティングする塗布ヘッド２２と、
ワーク２の板厚を計測する測定ヘッド２３とから構成さ
れている。塗布ヘッド２２はワーク２の搬送経路を跨ぐ
ように設けられた昇降自在な塗布アーム２４に取り付け
られており、塗布アーム２４はエアシリンダ２５等によ
って上下に駆動されると共に下降時には数値制御形のリ
ニアアクチュエータ２６によって下降位置を制限され
る。従って、テーブル盤５の上にワーク２を載置して搬
送すると、測定ヘッド２３によってワーク２の板厚が測
定され、塗布ヘッド２２が下降し、測定されたワーク２
の板厚に基づいてワーク２と塗布ヘッド２２の間隔が一
定間隔となるようリニアアクチュエータ２６によって塗
布ヘッド２２の高さを位置決めし、塗布ヘッド２２によ
って一定の膜厚に調整された塗布液がワーク２の表面に
塗布される。
特に限定されるものではないが、例えば図５に示すよう
な流体塗布装置（スロット式粘液噴出塗布装置）２１に
用いることができる。この流体塗布装置２１は、主とし
て、搬送用テーブル装置１と、ワーク（塗布対象物）２
の表面に塗布液をコーティングする塗布ヘッド２２と、
ワーク２の板厚を計測する測定ヘッド２３とから構成さ
れている。塗布ヘッド２２はワーク２の搬送経路を跨ぐ
ように設けられた昇降自在な塗布アーム２４に取り付け
られており、塗布アーム２４はエアシリンダ２５等によ
って上下に駆動されると共に下降時には数値制御形のリ
ニアアクチュエータ２６によって下降位置を制限され
る。従って、テーブル盤５の上にワーク２を載置して搬
送すると、測定ヘッド２３によってワーク２の板厚が測
定され、塗布ヘッド２２が下降し、測定されたワーク２
の板厚に基づいてワーク２と塗布ヘッド２２の間隔が一
定間隔となるようリニアアクチュエータ２６によって塗
布ヘッド２２の高さを位置決めし、塗布ヘッド２２によ
って一定の膜厚に調整された塗布液がワーク２の表面に
塗布される。
【００１６】ワーク２の種類や寸法が変更された場合に
は、真空吸着テーブルＡ，Ｂの使用モードを変更するの
に対応して、塗布ヘッド２２も塗布幅の異なるものと交
換する必要があるが、複数の塗布アームを設けておき、
各塗布アームにそれぞれ塗布幅の異なる塗布ヘッドを取
り付けておき、真空吸着テーブルＡ，Ｂの使用モードに
対応する塗布ヘッドを用いるようにしてもよい。
は、真空吸着テーブルＡ，Ｂの使用モードを変更するの
に対応して、塗布ヘッド２２も塗布幅の異なるものと交
換する必要があるが、複数の塗布アームを設けておき、
各塗布アームにそれぞれ塗布幅の異なる塗布ヘッドを取
り付けておき、真空吸着テーブルＡ，Ｂの使用モードに
対応する塗布ヘッドを用いるようにしてもよい。
【００１７】
【発明の効果】本発明の真空吸着テーブルにあっては、
複数のバキュームチャンバを設けて、各バキュームチャ
ンバ内を独立して減圧させられるようにしているので、
ワークの寸法や形状に応じてバキュームチャンバの一部
もしくは全体を減圧させることができ、あるいは、減圧
させるバキュームチャンバの位置を自由に選択すること
ができる。
複数のバキュームチャンバを設けて、各バキュームチャ
ンバ内を独立して減圧させられるようにしているので、
ワークの寸法や形状に応じてバキュームチャンバの一部
もしくは全体を減圧させることができ、あるいは、減圧
させるバキュームチャンバの位置を自由に選択すること
ができる。
【００１８】従って、１つのテーブル盤によって複数の
寸法のワークを吸着させることができ、真空吸着テーブ
ルの汎用性を高めることができる。この結果、ワークを
変更する際の段取替えの手間を簡単にすることができ、
真空吸着テーブルのインライン化が可能になる。
寸法のワークを吸着させることができ、真空吸着テーブ
ルの汎用性を高めることができる。この結果、ワークを
変更する際の段取替えの手間を簡単にすることができ、
真空吸着テーブルのインライン化が可能になる。
【図１】本発明の一実施例による搬送用テーブル装置を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】同上の搬送用テーブル装置に用いられている真
空吸着テーブルを示す分解斜視図である。
空吸着テーブルを示す分解斜視図である。
【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）は同上の真空吸着テーブル
の使用状態を示す平面図である。
の使用状態を示す平面図である。
【図４】本発明の別な実施例による真空吸着テーブルを
示す分解斜視図である。
示す分解斜視図である。
【図５】同上の搬送用テーブル装置を用いた流体塗布装
置を示す一部破断した斜視図である。
置を示す一部破断した斜視図である。
【図６】従来の真空吸着テーブルを示す分解斜視図であ
る。
る。
【図７】同上の真空吸着テーブルの使用状態を示す平面
図である。
図である。
【符号の説明】 ５ テーブル盤 １２ 真空吸引孔 １５ａ，１５ｂ，１５ｃ バキュームチャンバ
Claims (1)
- 【請求項１】 テーブル盤の内部に独立した複数のバキ
ュームチャンバを設け、各バキュムチャンバと連通した
真空吸引孔をテーブル盤の表面に形成し、各バキューム
チャンバ内を独立して減圧させられるようにしたことを
特徴とする真空吸着テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15441393A JPH06339829A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 真空吸着テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15441393A JPH06339829A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 真空吸着テーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06339829A true JPH06339829A (ja) | 1994-12-13 |
Family
ID=15583617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15441393A Pending JPH06339829A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 真空吸着テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06339829A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006136948A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-06-01 | Yokogawa Electric Corp | 吸着板 |
| KR100606233B1 (ko) * | 2001-08-15 | 2006-07-28 | 유에이치티 가부시키가이샤 | 천공장치용 작업테이블 및 그 천공장치 |
| JP2010088958A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 枚葉シートの塗布方法 |
| WO2013011805A1 (ja) * | 2011-07-19 | 2013-01-24 | 株式会社日本製鋼所 | 吸着装置および処理装置 |
| WO2018168002A1 (ja) * | 2017-03-16 | 2018-09-20 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
| DE102024126474A1 (de) * | 2024-09-13 | 2026-03-19 | TRUMPF Laser- und Systemtechnik SE | Vorrichtung zum spannen von wenigstens zwei zu einem bauteil zu verbindenden formteilen sowie verfahren zum herstellen eines bauteils |
-
1993
- 1993-05-31 JP JP15441393A patent/JPH06339829A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100606233B1 (ko) * | 2001-08-15 | 2006-07-28 | 유에이치티 가부시키가이샤 | 천공장치용 작업테이블 및 그 천공장치 |
| JP2006136948A (ja) * | 2004-10-13 | 2006-06-01 | Yokogawa Electric Corp | 吸着板 |
| JP2010088958A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 枚葉シートの塗布方法 |
| WO2013011805A1 (ja) * | 2011-07-19 | 2013-01-24 | 株式会社日本製鋼所 | 吸着装置および処理装置 |
| JP2013022669A (ja) * | 2011-07-19 | 2013-02-04 | Japan Steel Works Ltd:The | 吸着装置および処理装置 |
| CN103717349A (zh) * | 2011-07-19 | 2014-04-09 | 株式会社日本制钢所 | 吸附装置及处理装置 |
| WO2018168002A1 (ja) * | 2017-03-16 | 2018-09-20 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
| JP2018157000A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 株式会社日本製鋼所 | レーザ照射装置、レーザ照射方法、及び半導体装置の製造方法 |
| CN110418691A (zh) * | 2017-03-16 | 2019-11-05 | 株式会社日本制钢所 | 激光照射装置、激光照射方法以及半导体器件制造方法 |
| US10950474B2 (en) | 2017-03-16 | 2021-03-16 | The Japan Steel Works, Ltd. | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing semiconductor device |
| CN110418691B (zh) * | 2017-03-16 | 2022-02-15 | 株式会社日本制钢所 | 激光照射装置、激光照射方法以及半导体器件制造方法 |
| US11676831B2 (en) | 2017-03-16 | 2023-06-13 | Jsw Aktina System Co., Ltd | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method, and method for manufacturing semiconductor device |
| DE102024126474A1 (de) * | 2024-09-13 | 2026-03-19 | TRUMPF Laser- und Systemtechnik SE | Vorrichtung zum spannen von wenigstens zwei zu einem bauteil zu verbindenden formteilen sowie verfahren zum herstellen eines bauteils |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3990689A (en) | Adjustable holder assembly for positioning a vacuum chuck | |
| US6481951B1 (en) | Multiple sided robot blade for semiconductor processing equipment | |
| TWI738404B (zh) | 搬送機器人 | |
| JPH11135600A (ja) | ロボット装置および処理装置 | |
| KR101117256B1 (ko) | 가변형 진공흡착테이블 | |
| KR100855324B1 (ko) | 진공 흡착기 및 이를 이용한 곡면 패널 흡착장치 | |
| JP2008198882A (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2006150538A (ja) | 把持型搬送装置並びにこれを用いるロボット、円盤状物加工設備及び円盤状物搬送方法。 | |
| CN100408872C (zh) | 真空吸附式工具支架 | |
| JP2002057498A (ja) | 配線板作業システム | |
| JP2015013737A (ja) | ワーク吸着装置およびワーク吸着方法 | |
| JP2012129248A (ja) | アライメント装置及び半導体製造装置 | |
| JP2003273584A (ja) | 電子回路部品保持ヘッド | |
| JPH0566021B2 (ja) | ||
| JP2973344B2 (ja) | 搬送位置決めロボット | |
| KR100491928B1 (ko) | 리버싱테이블장치 | |
| JP3716008B2 (ja) | 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置 | |
| JPH0516048A (ja) | 位置決め装置 | |
| JPH0429993Y2 (ja) | ||
| JPH06339830A (ja) | 真空吸着テーブル装置 | |
| JPS61241088A (ja) | 真空吸着装置 | |
| JPH07291469A (ja) | 板状体の移送装置 | |
| JP2552197B2 (ja) | 自動露光装置および投入ステージ | |
| JPS63123683A (ja) | 部品吸着搬送装置 | |
| JPH0516088A (ja) | 吸着保持具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990810 |