JPH06339830A - 真空吸着テーブル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 吸着したワークの取り出しを簡単に行なうこ
とができる真空吸着テーブル装置を提供する 【構成】 表面に真空吸引孔１２とピン突出孔１６を設
けられたテーブル盤５の内部にバキュームチャンバ１５
を形成し、バキュームチャンバ１５内に昇降ベース１７
を納める。昇降ベース１７のピン突出孔１６と対向する
適宜位置にはエジェクタピン１９を立てる。昇降ベース
１７を上昇させると、エジェクタピン１９がピン突出孔
１６から突出し、テーブル盤５に吸着されていたワーク
２を剥離させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空吸着テーブル装置に
関する。具体的にいうと、本発明は、テーブル盤の上に
載置されたワークを吸着することによりテーブル盤の上
に固定させるための真空吸着テーブル装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図７は従来より用いられている真空吸着
テーブルのテーブル盤６１の構造を示す断面図である。
このテーブル盤６１は、上面にバキュームチャンバ６４
を凹設され、その底面に排気口６５を開口されたテーブ
ル本体６２の上面を吸着板６３によって覆い、吸着板６
３に多数の真空吸引孔６６を穿孔したものである。この
テーブル盤６１の上にワーク６７を載置し、排気口６５
を通じて排気装置（図示せず）によってバキュームチャ
ンバ６４内を減圧すると、真空吸引孔６６を通じてワー
ク６７の全体がテーブル盤６１の表面に吸着されるもの
である。また、このようにしてテーブル盤６１の上にワ
ーク６７を固定し、ワーク６７に必要な加工ないし処理
を施した後、ワーク６７を取り出す場合には、排気口６
５を開いてバキュームチャンバ６４内を常圧に開放し、
ワーク６７を解放する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一旦テ
ーブル盤に吸着されたワークは、テーブル盤の表面に密
着しているため、バキュームチャンバ内を開放しても容
易に剥がれにくく、ロボットハンド等によって剥離させ
るのが困難であった。特に、流体塗布装置の一部として
用いられている真空吸着テーブル装置の場合には、流体
を塗布されたガラス板のようなワークをテーブル盤から
剥がさなければならず、ワークの表面に塗布された塗膜
を傷付けないようワークをテーブル盤から取り出す作業
を自動化することが極めて困難であった。

【０００４】本発明は叙上の従来例の欠点に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは吸着したワ
ークの取り出しを簡単に行なうことができる真空吸着テ
ーブル装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の真空吸着テーブ
ル装置は、テーブル盤の表面にワークを吸着させるため
の真空吸引孔を形成し、ワークをテーブル盤から剥離さ
せるためのエジェクタピンの先端部をテーブル盤の表面
に設けたピン突出孔から突出させるようにしたことを特
徴としている。

【０００６】また、上記真空吸着テーブル装置において
は、前記テーブル盤を移動可能とし、前記エジェクタピ
ンを突出動作させるための駆動装置をワークの取り出し
位置に配置してもよい。

【０００７】

【作用】本発明の真空吸着テーブル装置にあっては、エ
ジェクタピンの先端部をテーブル盤の表面に設けたピン
突出孔から突出させるようにしたので、ワークの処理終
了後などにワークをテーブル盤から搬出させる場合に
は、エジェクタピンをテーブル盤から突出させてワーク
をエジェクタピンで突き出し、強制的に剥離させること
ができる。従って、テーブル盤に吸着されていたワーク
を容易にテーブル盤から剥離させ、搬出させることがで
きる。

【０００８】また、テーブル盤が移動可能となった真空
吸着テーブル装置においては、エジェクタピンを突出動
作させるための駆動装置をワークの取り出し位置に配置
すれば、駆動装置をテーブル盤と別体とすることができ
てテーブル盤の内部に内蔵させる必要がなくなり、真空
吸着テーブル装置の構造を簡略化することができる。

【０００９】

【実施例】図１は本発明の一実施例による真空吸着テー
ブル装置１を示す断面図である。この真空吸着テーブル
装置１は、ガラス基板のようなワーク２を吸着して一定
速度で水平に搬送するものである。ベース３の上面には
１対の平行なガイドレール４が設けられ、テーブル盤５
の下面に設けられた４つのスライダー６がガイドレール
４によってスライド自在に支持されており、テーブル盤
５はガイドレール４に沿って滑らかに走行する。また、
ベース３内の中央部には、雄ねじシャフト７がガイドレ
ール４と平行に配設されており、雄ねじシャフト７の両
端部はアンギュラベアリング８を介してベース３に回転
自在に支持され、テーブル盤５の下面部分に固定された
雌ねじ管９と雄ねじシャフト７とを互いに螺合させてボ
ールねじ機構を構成している。ベース３の端部にはサー
ボモータ１０が固定されており、サーボモータ１０の出
力軸は継手１１を介して雄ねじシャフト７と連結されて
いる。従って、サーボモータ１０によって雄ねじシャフ
ト７を一定の回転数で回転させることによりテーブル盤
５をガイドレール４に沿って定速で移動させることがで
きる。

【００１０】図２は上記真空吸着テーブル装置１のテー
ブル盤５を詳細に示す断面図であって、多数の真空吸引
孔１２と複数のピン突出孔１６を穿孔された板状の吸着
板１３をテーブル本体１４の上に載置してあり、テーブ
ル本体１４の上面にはバキュームチャンバ１５が凹設さ
れており、バキュームチャンバ１５内の底面には排気口
（図示せず）を設けてある。よって、バルブを開いて排
気口からバキュームチャンバ１５内のエアを排出する
と、バキュームチャンバ１５内を真空ないし負圧にする
ことができ、吸着板１３の上に置かれたワーク２の下面
を吸着することができる。

【００１１】バキュームチャンバ１５内には、図３に示
すような昇降ベース１７が納められており、昇降ベース
１７の上面のピン突出孔１６と対向する位置には１つ１
つピン座１８が設けられており、これらのピン座１８の
うちワーク２の形状等に合わせて適当な位置に樹脂製の
エジェクタピン１９の基端部が着脱自在に螺着されてお
り、昇降ベース１７の上面に立てられたエジェクタピン
１９の先端部は吸着板１３のピン突出孔１６内に挿入さ
れている。昇降ベース１７の下面には、４本の案内シャ
フト２０が設けられており、これらの案内シャフト２０
はテーブル本体１４の下面に開口された通孔２１に挿通
され、各案内シャフト２０の下端部は連結板２２によっ
て一体に連結されている。また、案内シャフト２０は、
通孔２１の下においてテーブル本体１４の下面に固定さ
れたリニアベアリング２３によってスライド自在に支持
されており、リニアベアリング２３と案内シャフト２０
の間に介在させたＯリング２４によってバキュームチャ
ンバ１５が通孔２１から真空漏れするのを防止してい
る。２５ａ，２５ｂはワーク２の供給位置及びワーク２
の取り出し位置において、連結板２２よりも低い位置に
設置されたエアシリンダ等の駆動装置であって、それぞ
れ連結板２２を押し上げるためのピストン２６を備えて
いる。

【００１２】つぎに、上記真空吸着テーブル装置１の動
作を説明する。まず、テーブル盤５がワーク２の供給位
置（駆動装置２５ａの上方）に移動すると、図４に示す
ように駆動装置２５ａからピストン２６が突出して連結
板２２と共に昇降ベース１７が押上げられ、これによっ
てエジェクタピン１９がピン突出孔１６から上方へ押し
出される。ついで、ローディング装置（図示せず）によ
ってエジェクタピン１９の上にワーク２が供給され、位
置決めされると、駆動装置２５ａのピストン２６が後退
してエジェクタピン１９がピン突出孔１６へ引っ込むと
共にワーク２がテーブル盤５の上面に静かに載置され
る。この後、バキュームチャンバ１５内が減圧される
と、ワーク２が真空吸引孔１２を通してテーブル盤５に
吸着されて固定され、ワーク２はテーブル盤５と共に加
工もしくは処理のために搬送される。

【００１３】ワーク２の加工もしくは処理が終了してテ
ーブル盤５がワーク２の取り出し位置（駆動装置２５ｂ
の上方）で停止すると、バキュームチャンバ１５内が常
圧に開放される。ついで、図４に示すように駆動装置２
５ｂからピストン２６が突出して連結板２２を押上げ、
エジェクタピン１９をピン突出孔１６から上方へ押し出
す。従って、ワーク２はエジェクタピン１９によって押
上げられ、強制的にテーブル盤５から剥離される。よっ
て、ワーク２はエジェクタピン１９によって空中に支持
された状態となるので、アンローディング装置（図示せ
ず）によってワーク２を容易に保持することができ、ワ
ーク２を容易に取り出すことができる。処理済みのワー
ク２が排出されると、再び、駆動装置２５ｂのピストン
２６が後退して図２のようにエジェクタピン１９がピン
突出孔１６へ引っ込み、テーブル盤５は再びワーク２の
供給位置へ戻る。

【００１４】図５は本発明のさらに別な実施例によるテ
ーブル盤３１を示す断面図である。このテーブル盤３１
にあっては、昇降ベース１７をテーブル本体１４の下方
に配置し、４本のガイドピン３２によって昇降ベース１
７を支持すると共に昇降ベース１７が水平な状態を保っ
たまま上下に昇降できるようにしている。また、昇降ベ
ース１７上面のピン突出孔１６と対向する位置にピン座
１８を設けてあり、テーブル本体１４のピン突出孔１６
と対向する位置にはそれぞれエジェクタピン１９を挿通
させるための通孔３３を穿孔してある。ワーク２の形状
や寸法等を考慮して適当なピン座１８にエジェクタピン
１９を螺着してあり、昇降ベース１７に立てたエジェク
タピン１９は通孔３３にスライド自在に挿通され、エジ
ェクタピン１９の先端部は対向するピン突出孔１６に挿
入されている。また、エジェクタピン１９は、通孔３３
に取り付けられたリニアベアリング３４によってスライ
ド自在に支持されている。さらに、エジェクタピン１９
を挿通された通孔３３においては、リニアベアリング３
４とエジェクタピン１９の間に介在させたＯリングによ
って真空漏れを防止されており、エジェクタピン１９を
取り付けられていないピン座１８と対向する通孔３３
は、盲状の栓３５によって封止されて真空漏れを防止さ
れている。

【００１５】しかして、このテーブル盤３１において
は、駆動装置３５ａ，３５ｂのピストン３６によって昇
降ベース１７を直接押し上げることによってエジェクタ
ピン１９をピン突出孔１６から突出させることができ
る。また、このテーブル盤３１では、エジェクタピン１
９を立てる昇降ベース１７をテーブル盤５の外部に配置
しているので、エジェクタピン１９の位置をワーク２に
合わせて変更する場合には、図２の真空吸着テーブル装
置３１のようにテーブル本体１４と吸着板１３を分解す
る必要がなく、テーブル盤５の外部から簡単にエジェク
タピン１９の位置や本数を変更することができる。すな
わち、エジェクタピン１９を追加する箇所では、通孔３
３から盲状の栓３５を外してリニアベアリング３４を取
り付け、昇降ベース１７に新たに立てたエジェクタピン
１９をリニアベアリング３４及び通孔３３に挿通させれ
ばよい。また、エジェクタピン１９を除く箇所では、エ
ジェクタピン１９をリニアベアリング３４及び通孔３３
から引き抜き、そのエジェクタピン１９を昇降ベース１
７から外し、エジェクタピン１９を挿通させていた通孔
３３からリニアベアリング３４を外して盲状の栓３５で
閉じればよい。

【００１６】なお、上記搬送用テーブル装置１の用途は
特に限定されるものではないが、例えば図６に示すよう
な流体塗布装置（スロット式粘液噴出塗布装置）４１に
用いることができる。この流体塗布装置４１は、主とし
て、搬送用テーブル装置１と、ワーク（塗布対象物）２
の表面に塗布液をコーティングする塗布ヘッド４２と、
ワーク２の板厚を計測する測定ヘッド４３とから構成さ
れている。塗布ヘッド４２はワーク２の搬送経路を跨ぐ
ように設けられた昇降自在な塗布アーム４４に取り付け
られており、塗布アーム４４はエアシリンダ４５等によ
って上下に駆動されると共に下降時には数値制御形のリ
ニアアクチュエータ４６によって下降位置を制限され
る。従って、テーブル盤５の上にワーク２を載置して搬
送すると、測定ヘッド４３によってワーク２の板厚が測
定され、塗布ヘッド４２が下降し、測定されたワーク２
の板厚に基づいてワーク２と塗布ヘッド４２の間隔が一
定間隔となるようリニアアクチュエータ４６によって塗
布ヘッド４２の高さを位置決めし、塗布ヘッド４２によ
って一定の膜厚に調整された塗布液がワーク２の表面に
塗布される。

【００１７】このような流体塗布装置４１に上記のよう
なテーブル盤５，３１を備えた真空吸着テーブル装置１
を用いれば、ワーク２に塗布された塗膜に傷を付けるこ
となく容易にワーク２を取り出すことができる。

【００１８】

【発明の効果】本発明によれば、エジェクタピンをテー
ブル盤のピン突出孔から突出させてワークをエジェクタ
ピンで突き出し、強制的に剥離させることができるの
で、テーブル盤に吸着されていたワークを容易にテーブ
ル盤から剥離させ、搬出させることができる。特に、エ
ジェクタピンでワークを押し上げることによってテーブ
ル盤とワークとの間に隙間を作ることができるので、ア
ンローディング装置等によるワーク取り出しの自動化を
容易にすることができる。

【００１９】また、テーブル盤が移動可能となって真空
吸着テーブル装置においては、エジェクタピンを突出動
作させるための駆動装置をワークの取り出し位置に配置
すれば、駆動装置をテーブル盤と別体とすることができ
てテーブル盤の内部に内蔵させる必要がなくなり、テー
ブル盤を小型化することができると共に真空吸着テーブ
ル装置の構造を簡略化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による真空吸着テーブル装置
を示す断面図である。

【図２】同上の真空吸着テーブル装置におけるテーブル
盤の詳細な断面図である。

【図３】同上のテーブル盤の内部を示す平面図である。

【図４】同上の真空吸着テーブルの動作説明図である。

【図５】本発明の別な実施例によるテーブル盤を示す断
面図である。

【図６】同上の搬送用テーブル装置を用いた流体塗布装
置を示す一部破断した斜視図である。

【図７】従来の真空吸着テーブルを示す断面図である。

【符号の説明】

５ テーブル盤 １２ 真空吸引孔 １５ バキュームチャンバ １６ ピン突出孔 １９ エジェクタピン ２５ａ，２５ｂ 駆動装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テーブル盤の表面にワークを吸着させる
   ための真空吸引孔を形成し、ワークをテーブル盤から剥
   離させるためのエジェクタピンの先端部をテーブル盤の
   表面に設けたピン突出孔から突出させるようにした真空
   吸着テーブル装置。
2. 【請求項２】 前記テーブル盤を移動可能とし、前記エ
   ジェクタピンを突出動作させるための駆動装置をワーク
   の取り出し位置に配置したことを特徴とする請求項１に
   記載の真空吸着テーブル装置。