JPH0634251U - フレーム挿入補助治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体ウェーハを載置したフレームを、手作
業でカセットの収納溝に挿入して複数枚収納する場合に
おいて、カセットの収納溝の間隔が狭くても簡単に挿入
できるようにしたフレーム挿入補助治具を提供する。 【構成】 カセット内の両側面に形成された収納溝にフ
レームの両側部が適正に位置付けられるようにするため
に、収納溝と同じ間隔でガイドプレートを複数配設し、
各々のガイドプレートが対応する収納溝までフレームを
案内するように構成する。ガイドプレートを階段状に形
成すると良い。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、特に半導体ウェーハを載置固定したフレームをカセット内に挿入す る際に使用するフレーム挿入補助治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体ウェーハの洗浄、ダイシング、ダイボンダー工程等において、通常半導 体ウェーハはフレームに載置固定された状態で取り扱われ、この場合フレームは 箱状のカセットに一定の間隔をあけて複数枚並べて収納され且つ工程時に出し入 れされる。前記カセットは両側壁の内面に収納溝が一定の間隔をあけて対設され 、この収納溝にフレームの両端部を挿入し収納するようになっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記フレームを人手によってカセットに収納する場合、収納溝の間隔が狭い時 には目視による挿入作業が厄介であり、目が疲れて作業能率が低下したり、或は 左右の収納溝を間違えて段違いに挿入する等の不都合が生じる。 そこで、本考案は、このような従来の不都合を解消するためになされ、カセッ トにフレームを手作業で挿入する場合において、カセットの収納溝の間隔が狭く てもフレームの挿入作業を簡単に能率良くでき、しかも段違いの挿入を未然に防 止できるようにしたフレーム挿入補助治具を提供することを課題としたものであ る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、フレームをカセッ ト内に挿入する際に使用するフレーム挿入補助治具であって、カセット内の両側 面に形成された収納溝と同じ間隔でガイドプレートを複数配設し、各々のガイド プレートが対応する収納溝までフレームを案内するように構成したことを要旨と するものである。 更に、ガイドプレートが階段状に形成されていることを要旨とするものである 。

【０００５】

【作 用】

フレーム挿入補助治具のガイドプレートの上にフレームを載せ、そのままフレ ームを押してスライドさせればカセットの適正な収納溝内に挿入することができ る。ガイドプレートが階段状になっているため、フレームを順に載せる作業がし 易くなる。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳説する。 図１において、１はフレーム挿入補助治具の基板であり、その上面にフレームガ イド部Ａとカセット載置部Ｂとが形成されている。

【０００７】 前記フレームガイド部Ａは、一対の傾斜側板２と、この傾斜側板２に両側部が 支持されて階段状に取り付けた複数のガイドプレート３とから構成され、各ガイ ドプレート３の前端縁の中央部には切欠き３ａがそれぞれ設けられ、これらの切 欠き３ａは下位のもの程漸次深く形成され、奥端部はほぼ垂直に揃えてある。

【０００８】 前記カセット載置部Ｂは、フレームガイド部Ａの後方に位置して設けられ、基 板１の上面に一対の鉤型保持片４が取り付けられ、この保持片４と前記傾斜側板 ２の後端縁との間にカセットＣを落とし込んで保持し、又カセットＣを上方に持 ち上げてカセット載置部Ｂから外せるようにしてある。

【０００９】 前記カセットＣは、一対の側板５と、この側板の上下に差し渡して固定した上 板６及び下板７とから構成され、側板５の内面側には収納溝８が複数段対設され 、この収納溝８の間隔ｔ₁ に合わせて前記ガイドプレート３の間隔ｔ₂ を設定し てある。つまり、このカセットＣをカセット載置部Ｂ上にセットすると、図２に 示すように収納溝８の下面８ａとガイドプレート３の上面３ｂとがそれぞれ同一 平面内に位置するようにしてある。又、前記上板６の前端縁の中央部には切欠き ６ａが形成されている。

【００１０】 本考案に係るフレーム挿入補助治具は上記のように構成され、空のカセットＣ をカセット載置部Ｂに落とし込んでセットすると共に、ガイドプレート３の上に フレームＤを１枚ずつ載せてスライドさせれば、カセットＣ内の適正な収納溝に 容易に収納することができる。

【００１１】 先ず、空のカセットＣをカセット載置部Ｂに落とし込むと側板５が傾斜側板２ と保持片４との間に嵌り込んで位置決めと固定とが同時に行われ、この時側板５ の内面と傾斜側板２の内面とが同一面内に位置し、かつ前記のように収納溝８の 下面８ａとガイドプレート３の上面３ｂとがそれぞれ同一平面内に位置すること になる。

【００１２】 次に、階段状のガイドプレート３の上に図３に示す半導体ウェーハＷをテープ Ｔを介して載置したフレームＤを１枚ずつ載せてカセットＣ側にそれぞれスライ ドさせると、各フレームＤの両端部が収納溝８迄ガイドされると共にそれぞれ収 納溝８内に挿入されて、フレームＤをカセットＣ内に収納することができる。

【００１３】 この際、フレームＤを一番下のガイドプレート３から上に向かってつまり下か ら順に載せていけば作業がし易いと共に、目視し易くなるから載せ忘れを未然に 防止することができる。更にフレームＤを全部載せてから前記切欠き３ａを利用 して全フレームＤを一気にスライドさせることも可能であり、作業能率の向上が 図れる。

【００１４】 但し、切欠き３ａの再奥端まで押し込んでもフレームＤはカセットＣ内に完全 に入り込まないので、最終的には１枚ずつ押し込むことになる。最も、各切欠き をガイドプレート３の後縁まで抜けるスリット状に形成しておけば全フレームを 一気にカセットＣ内に収納することが可能となる。 又、カセットＣの上板６に設けた切欠き６ａは、フレームＤをカセットＣから 取り出す際に、上方の収納溝８に収納されたフレームを手指を入れて掴み易くな るため便利である。

【００１５】 尚、カセットＣとフレーム挿入補助治具とは予めセット品にしても良いし、既 存のカセットに合わせてフレーム挿入補助治具を形成するようにしても良い。 又、ガイドプレート３は階段状に構成されているが、此れに限らず必要に応じ て棚状に構成しても良い。更に、切欠き３ａを形成しなくても良い。

【００１６】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、カセットの収納溝にフレームを挿入し 収納する場合に、フレーム挿入補助治具のガイドプレートの上にフレームを載せ 、そのままフレームを押してスライドさせればカセットの収納溝までガイドされ て挿入することができるように構成したので、カセットの収納溝の間隔が狭くて もフレームの挿入作業を簡単に能率良くでき、しかも段違いの挿入を未然に防止 できる等の優れた効果を奏する。又、ガイドプレートは階段状に形成されるとフ レームを載せ易いと共に、目視し易く載せ忘れを未然に防止できる等の効果も奏 する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例を示す斜視図である。

【図２】 ガイドプレートとカセットの収納溝の位置関
係を示す説明図である。

【図３】 半導体ウェーハを載置したフレームの平面図
である。

【符号の説明】

１…基板 ２…傾斜側板 ３…ガイドプレート
３ａ…切欠き ３ｂ…上面 ４…保持片 ５…側
板 ６…上板 ６ａ…切欠き ７…下板 ８…収納溝 ８ａ…下面 Ａ…フレームガイド部 Ｂ…カセット載置部 Ｃ…
カセット Ｄ…フレーム Ｔ…テープ Ｗ…半導
体ウェーハ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 フレームをカセット内に挿入する際に使
   用するフレーム挿入補助治具であって、カセット内の両
   側面に形成された収納溝と同じ間隔でガイドプレートを
   複数配設し、各々のガイドプレートが対応する収納溝ま
   でフレームを案内するように構成したフレーム挿入補助
   治具。
2. 【請求項２】 ガイドプレートが階段状に形成されてい
   る、請求項１記載のフレーム挿入補助治具。