JPH0648856Y2 - ウエハキャリア載置台 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、ウエハキャリア載置台に関する。

さらに詳しくは、多数枚のウエハを並列収納してなるウ
エハキャリアを複数個並列載置することを可能にし、ウ
エハのウエハキャリアから石英ボートへの移替えまたは
その逆の移替えの際に供するウエハキャリア載置台に関
する。

［従来の技術］ 一般に、シリコン単結晶基板からなるウエハは、複数枚
を並列収納可能な収納溝を有し管理番号が付されたウエ
ハキャリアに収納されて各種加工工程に提供され、管理
番号で統一される１群のウエハが統一的な加工処理が施
されて均質性が確保されるようになっている。

このような１群のウエハの取扱いにおいて、熱処理加工
（拡散処理加工を含む）では、ウエハをウエハキャリア
から石英ボートに移替える作業が行なわれる。この移替
え作業は、本考案の実施例を説明する第４図に示される
自動化された移替え装置Ａによって行なわれる。

この移替え装置Ａを第４図を借りて説明すると、石英ボ
ートＢおよびウエハキャリアＣが載置されるテーブルAa
がクランク機構等からなる駆動部Abによって機体Acに対
して第１段，第２段の２段階の水平移動が可能になって
おり、テーブルAaの水平移動部にはその下方にクランク
機構等からなる駆動部Abによって上下動するウエハ押上
げロッドAeが設けられその上方にウエハ押上げロッドAe
の直上方向にウエハ保持アームAfが設けられている。こ
のため、テーブルAaを第１段移動させてウエハキャリア
Ｃをウエハ押上げロッドAe、ウエハ保持アームAfの間に
移動させ、ウエハ押上げロッドAe、ウエハ保持アームAf
を動作させると、ウエハキャリアＣに収納されているウ
エハＤはウエハキャリアＣの開口された底中央部から上
昇するウエハ押上げロッドAeに押上げられてウエハ保持
アームAfに保持されることになる。さらに、テーブルAe
を第２段移動させて石英ボートＢをウエハ押上げロッド
Ae,ウエハ保持アームAfの間に移動させ、ウエハ押上げ
ロッドAe,ウエハ保持アームAfを動作させると、ウエハ
保持アームAfに保持されているウエハＤは石英ボートＢ
の開口底から上昇するウエハ押上げロッドAeに載せられ
石英ボートＢへ降下収納されることになる。この結果、
ウエハＤのウエハキャリアＣから石英ボートＢへの移替
えが達成されることになる。

なお、前記石英ボートＢはかなり長尺状に形成されてお
り、石英ボートB1個に対して複数個のウエハキャリアＣ
をテーブルAaに並列載置して対応している。

また、熱処理加工後には、逆に石英ボート１からウエハ
キャリアＣへの移替えが行われることになる。

従来、この移替え装置Ａにおいては、複数個のウエハキ
ャリアＣをテーブルAa上に個別に並列載置している。

［考案が解決しようとする課題］ 前述の従来の移替え装置ＡにおけるウエハキャリアＣの
載置手段では、複数個のウエハキャリアＣをテーブルAa
上に個別に並列載置するために、載置，除去のための運
搬が面倒であると共に、複数群のウエハＤと複数個のウ
エハキャリアＣとの対応管理が面倒であるという問題点
を有している。

本考案はこのような問題点を解決するためになされたも
のであり、その目的は、移替え装置におけるウエハキャ
リアおよびウエハの取扱性が良好なウエハキャリア載置
台を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 前述の目的を達成するため、本考案に係るウエハキャリ
ア載置台は、長尺枠体形状に形成された本体部と、本体
部の端部に設けられた運搬用の把手と、本体部に、一定
間隔を介して設けられ本体部の長さ方向を複数に区画し
てウエハキャリアを複数個並列載置することを可能にす
る位置決めガイドと、位置決めガイドに区画される各区
画内に設けられウエハキャリアの下縁部を支承するキャ
リアガイドと、同じく各区画内に設けられウエハキャリ
アの底中央部に対向する開口部とを備えてなる手段を採
用する。

［作用］ 前述の手段によると、本体部に複数個のウエハキャリア
を並列載置することが可能であることから、移替え装置
のテーブルに対する載置，除去のための運搬を一体的に
行なうことができるため、また複数個のウエハキャリア
の位置を確定させて複数群のウエハと正確に対応させる
ことができるため、移替え装置におけるウエハキャリア
およびウエハの取扱性が良好なウエハキャリア載置台を
提供するという目的が達成される。

［実施例］ 以下、本考案に係るウエハキャリア載置台の実施例を図
面に基づいて説明する。

この実施例では、本考案に係るウエハキャリア載置台が
Ｅで示されている。

このウエハキャリア載置台Ｅの本体部１はアルマイト処
理されたアルミ材で長尺枠体形状に形成されており、長
尺平板状の長板部11の長手辺沿いに長尺角板状の側板部
12を固着してなる。

この本体部１の長板部11の両短手辺の端部には、作業者
が手を掛けることが可能なコ字形の把手２が夫々設けら
れている。この把手２は、作業者が手を掛けて運搬しや
すいように、必要に応じて他の箇所に変更しまたは追加
して設けることも可能である。

また、本体部１の長板部11には、長さ方向へ一定間隔を
介して平面Ｔ字形の位置決めガイド３が前記側板部12側
から内側へ突出するように設けられている。この位置決
めガイド３はネジ４で長板部11に固定されており、本体
部１の長さ方向へ複数の区画５を並列形成している。ま
た、この区画５の長さ方向の巾は、ウエハキャリアＣの
長さに相当しウエハキャリアＣが収納され載置される大
きさに形成されている。

この区画５内の長手側には、高分子ポリエチレン等から
なるキャリアガイド６が両側から対向するように夫々設
けられている。このキャリアガイド６はウエハキャリア
Ｃの長手辺の下縁部に対応する段部６′が形成されてこ
れを支承するもので、ボルト７で前記長板部11に固定さ
れている。また、この区画５内には、開口部８が夫々設
けられている。この開口部８はウエハキャリアＣの開口
底からなる底中央部Ｃ′に対向するようになっており、
前記長板部11に穿設形成されている。

このような実施例によると、各区画５内に多数枚のウエ
ハＤを並列収納したウエハキャリアＣを夫々載置し複数
個のウエハキャリアＣを並列することができ、この状態
で第４図に示す移替え装置ＡのテーブルAa上に載置する
ことになる。

このため、第４図に示す移替え装置Ａに対しては、複数
個のウエハキャリアＣを一体的に運搬し載置，除去する
ことができるため個別の運搬に比し可搬性が良好とな
り、さらにテーブルAa上でのウエハキャリアＣの個別の
位置決めが不要になるため載置を正確に行なうことがで
きる。

さらに、ウエハキャリア載置台Ｅ上においては、複数個
のウエハキャリアＣの夫々の位置が確定されており、ウ
エハキャリアＣと移替えられる複数群のウエハＤとの対
応が食違うことはなくなる。なお、ウエハキャリア載置
台Ｅに左右の表示等を設けておけば、テーブルAa上での
載置を誤ることがなくより正確に対応させることができ
る。

［考案の効果］ 以上のように本考案に係るウエハキャリア載置台は、本
体部に複数個のウエハキャリアを並列載置することが可
能であることから、移替え装置のテーブルに対する載
置，除去のための運搬を一体的に行なうことができるた
め、また複数個のウエハキャリアの位置を確定させて複
数群のウエハと正確に対応させることができるため、移
替え装置におけるウエハキャリアおよびウエハの取扱性
が良好となる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るウエハキャリア載置台の実施例を
示す平面図、第２図は第１図の一部切欠側面図、第３図
は第１図のＸ−Ｘ線拡大断面図、第４図は本考案に係る
ウエハキャリア載置台が使用されるウエハ移替え装置の
正面図である。 １……本体部、２……把手 ３……位置決めガイド、５……区画 ６……キャリアガイド、８……開口部 Ａ……移替え装置、Ｂ……石英ボート Ｃ……ウエハキャリア、Ｄ……ウエハ Ｅ……ウエハキャリア載置台

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】長尺枠体形状に形成された本体部と、本体
   部の端部に設けられた運搬用の把手と、本体部に一定間
   隔を介して設けられ本体部の長さ方向を複数に区画して
   ウエハキャリアを複数個並列載置することを可能にする
   位置決めガイドと、位置決めガイドに区画される各区画
   内に設けられウエハキャリアの下縁部を支承するキャリ
   アガイドと、同じく各区画内に設けられウエハキャリア
   の底中央部に対向する開口部とを備えてなるウエハキャ
   リア載置台。