JPH0634486A - ビーム形状測定装置 - Google Patents
ビーム形状測定装置Info
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- JPH0634486A JPH0634486A JP18656792A JP18656792A JPH0634486A JP H0634486 A JPH0634486 A JP H0634486A JP 18656792 A JP18656792 A JP 18656792A JP 18656792 A JP18656792 A JP 18656792A JP H0634486 A JPH0634486 A JP H0634486A
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- JP
- Japan
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- shape measuring
- corner cube
- optical path
- beam shape
- incident
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 出射直後のビーム径及び光路長を長くした状
態での任意の位置でのビーム径を測定することが可能な
ビーム形状測定装置を提供する。 【構成】 レーザ光源より出射されたビーム４をビーム
形状測定器５に導くことによりビーム成形を行うビーム
形状測定装置において、レーザ光源から出射されたビー
ム４がビーム形状測定器５に向かう間の出射直後の光路
上に入射ビームを分岐するための第１波長板６と偏光ビ
ームスプリッタ７とよりなる光路分離光学系１１を設
け、この偏光ビームスプリッタ７により分岐された光路
上に光路長を長くとるための一対のコーナーキューブプ
リズム１２，１３を配置した。
態での任意の位置でのビーム径を測定することが可能な
ビーム形状測定装置を提供する。 【構成】 レーザ光源より出射されたビーム４をビーム
形状測定器５に導くことによりビーム成形を行うビーム
形状測定装置において、レーザ光源から出射されたビー
ム４がビーム形状測定器５に向かう間の出射直後の光路
上に入射ビームを分岐するための第１波長板６と偏光ビ
ームスプリッタ７とよりなる光路分離光学系１１を設
け、この偏光ビームスプリッタ７により分岐された光路
上に光路長を長くとるための一対のコーナーキューブプ
リズム１２，１３を配置した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク原盤を作製
する原盤露光装置等に利用されるビーム形状測定装置に
関する。
する原盤露光装置等に利用されるビーム形状測定装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のビーム形状測定装置としては、例
えば、実開平２−１１８２３２号公報に「ビーム径測定
装置」なるタイトルで開示されているものがある。そこ
で、今、この種の装置の従来例を図７に基づいて説明す
る。レーザ光源１から出射されたビームは、レンズ２や
図示しないＡＯ変調器等の光学素子を通過することによ
りビーム成形された後、ビーム形状測定器３に導かれる
ことによりビーム形状の測定がなされる。この場合、出
射ビームの形状を正確に把握するために、ビーム成形直
後の位置Ａと遠く離れた位置Ｂ（１〜３ｍ）とにおいて
ビームの拡がり状態が測定され、もし、そのビーム径の
拡がりが大きいようであれば光学素子を適正なビーム形
状となるように微調整を行い、これにより、ビームがな
るべく拡がりをもたない平行光となるようにしている。
えば、実開平２−１１８２３２号公報に「ビーム径測定
装置」なるタイトルで開示されているものがある。そこ
で、今、この種の装置の従来例を図７に基づいて説明す
る。レーザ光源１から出射されたビームは、レンズ２や
図示しないＡＯ変調器等の光学素子を通過することによ
りビーム成形された後、ビーム形状測定器３に導かれる
ことによりビーム形状の測定がなされる。この場合、出
射ビームの形状を正確に把握するために、ビーム成形直
後の位置Ａと遠く離れた位置Ｂ（１〜３ｍ）とにおいて
ビームの拡がり状態が測定され、もし、そのビーム径の
拡がりが大きいようであれば光学素子を適正なビーム形
状となるように微調整を行い、これにより、ビームがな
るべく拡がりをもたない平行光となるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、レーザ光源１
を出射したビームは、φ１ｍｍと細く、ビーム形状の不
具合を判断できないと同時に、ビームは０．５ｍｒａｄ
（１ｍでφ０．５ｍｍ）の広がり角をもっている。この
場合、レーザ光源１から離れた位置で測定すると、ＴＥ
Ｍモードが明確になるが、上述したようなビーム形状測
定器３においては、測定した位置Ａ，Ｂにおいてしか測
定を行うことができなかった。このため、ビームの拡が
りやビーム形状を調べる場合、ビーム形状測定器３を移
動させなければならず、大きなスペースを必要とする。
を出射したビームは、φ１ｍｍと細く、ビーム形状の不
具合を判断できないと同時に、ビームは０．５ｍｒａｄ
（１ｍでφ０．５ｍｍ）の広がり角をもっている。この
場合、レーザ光源１から離れた位置で測定すると、ＴＥ
Ｍモードが明確になるが、上述したようなビーム形状測
定器３においては、測定した位置Ａ，Ｂにおいてしか測
定を行うことができなかった。このため、ビームの拡が
りやビーム形状を調べる場合、ビーム形状測定器３を移
動させなければならず、大きなスペースを必要とする。
【０００４】また、近年、ディスクの高密度化により多
彩な光学系が要求され、記録装置のような光学系の場
合、スペースがなく、上述したような位置を移動させて
測定を行うものは困難である。
彩な光学系が要求され、記録装置のような光学系の場
合、スペースがなく、上述したような位置を移動させて
測定を行うものは困難である。
【０００５】さらに、ディスク原盤の記録に用いられる
ビームは光学系内でビーム成形されるが、光学素子の配
置が悪く、ビームの収差があると、記録されたグルーブ
（案内溝）及びピットは所望のものを得ることができな
い。
ビームは光学系内でビーム成形されるが、光学素子の配
置が悪く、ビームの収差があると、記録されたグルーブ
（案内溝）及びピットは所望のものを得ることができな
い。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、レーザ光源より出射されたビームをビーム形状測定
器に導くことによりビーム成形を行うビーム形状測定装
置において、前記レーザ光源から出射されたビームが前
記ビーム形状測定器に向かう間の出射直後の光路上に入
射ビームを分岐するための第１波長板と偏光ビームスプ
リッタとからなる光路分離光学系を設け、この偏光ビー
ムスプリッタにより分岐された光路上に光路長を長くと
るための一対のコーナーキューブプリズムを配置した。
は、レーザ光源より出射されたビームをビーム形状測定
器に導くことによりビーム成形を行うビーム形状測定装
置において、前記レーザ光源から出射されたビームが前
記ビーム形状測定器に向かう間の出射直後の光路上に入
射ビームを分岐するための第１波長板と偏光ビームスプ
リッタとからなる光路分離光学系を設け、この偏光ビー
ムスプリッタにより分岐された光路上に光路長を長くと
るための一対のコーナーキューブプリズムを配置した。
【０００７】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明において、一対のコーナーキューブプリズムは大小
の異なる大きさで形成され、かつ、コーナーキューブ交
点の中心軸を互いに位置ズレを生じた状態で配置した。
発明において、一対のコーナーキューブプリズムは大小
の異なる大きさで形成され、かつ、コーナーキューブ交
点の中心軸を互いに位置ズレを生じた状態で配置した。
【０００８】請求項３記載の発明では、請求項１又は２
記載の発明において、大小のコーナーキューブプリズム
のどちらか一方のコーナーキューブ交点に入射ビームを
導くようにした。
記載の発明において、大小のコーナーキューブプリズム
のどちらか一方のコーナーキューブ交点に入射ビームを
導くようにした。
【０００９】請求項４記載の発明では、請求項１，２又
は３記載の発明において、第１波長板及び偏光ビームス
プリッタを備えた光路分離光学系に、第２波長板及び全
反射板を付加させた。
は３記載の発明において、第１波長板及び偏光ビームス
プリッタを備えた光路分離光学系に、第２波長板及び全
反射板を付加させた。
【００１０】請求項５記載の発明では、請求項２又は３
記載の発明において、コーナーキューブプリズムの入射
ビーム位置にターゲットを配置した。
記載の発明において、コーナーキューブプリズムの入射
ビーム位置にターゲットを配置した。
【００１１】請求項６記載の発明では、請求項１，２，
３，４又は５記載の発明において、小さな形状のコーナ
ーキューブプリズムにこのプリズムを光軸回りに回転さ
せることが可能な回転機構を付設した。
３，４又は５記載の発明において、小さな形状のコーナ
ーキューブプリズムにこのプリズムを光軸回りに回転さ
せることが可能な回転機構を付設した。
【００１２】請求項７記載の発明では、請求項１，２，
３，４，５又は６記載の発明において、大きな形状のコ
ーナーキューブプリズムにこのプリズムをビーム入射方
向に移動可能な移動機構を付設した。
３，４，５又は６記載の発明において、大きな形状のコ
ーナーキューブプリズムにこのプリズムをビーム入射方
向に移動可能な移動機構を付設した。
【００１３】請求項８記載の発明では、請求項１，２，
３，４，５，６又は７記載の発明において、ビーム形状
測定器をその入射光軸と直交する方向に移動させること
が可能な移動機構を付設した。
３，４，５，６又は７記載の発明において、ビーム形状
測定器をその入射光軸と直交する方向に移動させること
が可能な移動機構を付設した。
【００１４】
【作用】請求項１記載の発明においては、ビームは一対
のコーナーキューブプリズム内で何回も折り返して進行
していくため、従来のようにわざわざ光路長を長くとる
必要がなく、小さなスペースで大きな光路長をとること
が可能となる。
のコーナーキューブプリズム内で何回も折り返して進行
していくため、従来のようにわざわざ光路長を長くとる
必要がなく、小さなスペースで大きな光路長をとること
が可能となる。
【００１５】請求項２記載の発明においては、コーナー
キューブプリズム内へのビームの入射位置と同一の位置
に出射位置を戻すことができるため、従来のようにビー
ム形状測定器へ導くためのミラー等が不要となる。
キューブプリズム内へのビームの入射位置と同一の位置
に出射位置を戻すことができるため、従来のようにビー
ム形状測定器へ導くためのミラー等が不要となる。
【００１６】請求項３記載の発明においては、大小コー
ナーキューブプリズムの交点のどちらかにビームを入射
させるように配置しているため、入出射ビームの位置を
同一にすることができ、これによりビーム形状測定器へ
導くためのミラー等が不要となる。
ナーキューブプリズムの交点のどちらかにビームを入射
させるように配置しているため、入出射ビームの位置を
同一にすることができ、これによりビーム形状測定器へ
導くためのミラー等が不要となる。
【００１７】請求項４記載の発明においては、ビームの
分岐及び合成を、単純化して配置された構成の光学系に
より行うことが可能となる。
分岐及び合成を、単純化して配置された構成の光学系に
より行うことが可能となる。
【００１８】請求項５記載の発明においては、入射ビー
ム位置にターゲットを置くことにより、入射ビーム位置
と出射ビーム位置とを合わせることが可能となる。
ム位置にターゲットを置くことにより、入射ビーム位置
と出射ビーム位置とを合わせることが可能となる。
【００１９】請求項６記載の発明においては、小コーナ
ーキューブプリズムをキューブ回転機構により光軸回り
に回転させることにより、ビーム形状測定器に入射する
ビーム位置を変えることが可能となる。
ーキューブプリズムをキューブ回転機構により光軸回り
に回転させることにより、ビーム形状測定器に入射する
ビーム位置を変えることが可能となる。
【００２０】請求項７記載の発明においては、大コーナ
ーキューブプリズムをキューブ移動機構によりビーム入
射方向に移動させることにより、光路長を自由に選択す
ることが可能となる。
ーキューブプリズムをキューブ移動機構によりビーム入
射方向に移動させることにより、光路長を自由に選択す
ることが可能となる。
【００２１】請求項８記載の発明においては、ビーム形
状測定器を移動機構により入射光軸方向に移動させるこ
とにより、コーナーキューブプリズムへの入射位置ズレ
及び戻り光の影響によるビームの位置ズレ（小コーナー
キューブプリズムの回転）を、ビーム形状測定範囲から
外れても対応させることが可能となる。
状測定器を移動機構により入射光軸方向に移動させるこ
とにより、コーナーキューブプリズムへの入射位置ズレ
及び戻り光の影響によるビームの位置ズレ（小コーナー
キューブプリズムの回転）を、ビーム形状測定範囲から
外れても対応させることが可能となる。
【００２２】
【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図６に基づい
て説明する。まず、本装置の構成を図１に基づいて述べ
る。図示しないレーザ光源からの出射された入射ビーム
４がビーム形状測定器５に向かう間の出射直後の光路上
には、入射ビーム４を分岐及び合成するために、第１波
長板としてのλ／２板６と、偏光ビームスプリッタ７
と、この偏光ビームスプリッタ７から分岐された位置に
配置された第２波長板としてのλ／４板８と、全反射板
としての全反射ミラー９と、前記λ／４板８と反対側の
光路上にはλ／４板１０が配設されている。これら４〜
１０の部材は光路分離光学系１１を構成している。
て説明する。まず、本装置の構成を図１に基づいて述べ
る。図示しないレーザ光源からの出射された入射ビーム
４がビーム形状測定器５に向かう間の出射直後の光路上
には、入射ビーム４を分岐及び合成するために、第１波
長板としてのλ／２板６と、偏光ビームスプリッタ７
と、この偏光ビームスプリッタ７から分岐された位置に
配置された第２波長板としてのλ／４板８と、全反射板
としての全反射ミラー９と、前記λ／４板８と反対側の
光路上にはλ／４板１０が配設されている。これら４〜
１０の部材は光路分離光学系１１を構成している。
【００２３】前記λ／４板１０を通過した光路上には、
光路長を長くとるためのコーナーキューブプリズムとし
ての大コーナーキューブプリズム１２と小コーナーキュ
ーブプリズム１３とが配置されている。これら大小のコ
ーナーキューブプリズム１２，１３は、コーナーキュー
ブ交点の中心軸Ｐ，Ｑが互いに位置ズレΔを生じた状態
で配置されている。ここでは、大コーナーキューブプリ
ズム１２のコーナーキューブ交点ａに入射ビーム４が導
かれるようになっている。また、前記λ／４板１０と前
記大コーナーキューブプリズム１２との間の光路上に
は、ターゲットとしてのピンホール１４が配置されてい
る。
光路長を長くとるためのコーナーキューブプリズムとし
ての大コーナーキューブプリズム１２と小コーナーキュ
ーブプリズム１３とが配置されている。これら大小のコ
ーナーキューブプリズム１２，１３は、コーナーキュー
ブ交点の中心軸Ｐ，Ｑが互いに位置ズレΔを生じた状態
で配置されている。ここでは、大コーナーキューブプリ
ズム１２のコーナーキューブ交点ａに入射ビーム４が導
かれるようになっている。また、前記λ／４板１０と前
記大コーナーキューブプリズム１２との間の光路上に
は、ターゲットとしてのピンホール１４が配置されてい
る。
【００２４】また、前記大コーナーキューブプリズム１
２は、その側面を支持板１５により支持され、その底面
部はキューブ移動機構としてのガイドレール１６上に固
定されている。このガイドレール１６はべース１７上に
ビーム入射方向Ｘに移動自在に置かれているため、大コ
ーナーキューブプリズム１２をビーム入射方向Ｘに移動
させることができる。
２は、その側面を支持板１５により支持され、その底面
部はキューブ移動機構としてのガイドレール１６上に固
定されている。このガイドレール１６はべース１７上に
ビーム入射方向Ｘに移動自在に置かれているため、大コ
ーナーキューブプリズム１２をビーム入射方向Ｘに移動
させることができる。
【００２５】一方、前記小コーナーキューブプリズム１
３は、その側面を保持具１８により保持され、この保持
具１８はベアリング１９を介して保持板２０に保持され
ている。これにより、小コーナーキューブプリズム１３
は入射光軸回りに回転自在とされている。この場合、前
記保持具１８と前記ベアリング１９と前記保持板２０と
は、キューブ回転機構２１を構成している。前記保持板
２０はネジ２２を用いて保持具１８にネジ止めできるよ
うになっており、これにより回転を停止させることがで
きる。
３は、その側面を保持具１８により保持され、この保持
具１８はベアリング１９を介して保持板２０に保持され
ている。これにより、小コーナーキューブプリズム１３
は入射光軸回りに回転自在とされている。この場合、前
記保持具１８と前記ベアリング１９と前記保持板２０と
は、キューブ回転機構２１を構成している。前記保持板
２０はネジ２２を用いて保持具１８にネジ止めできるよ
うになっており、これにより回転を停止させることがで
きる。
【００２６】さらに、ビーム形状測定器５は、移動機構
としてのガイドレール２３上に置かれ、入射光軸Ｙと直
交する方向に移動させることができるようになってい
る。このガイドレール２３は、ベース１７の一端に取付
けられるネジ２４により固定できるようになっている。
としてのガイドレール２３上に置かれ、入射光軸Ｙと直
交する方向に移動させることができるようになってい
る。このガイドレール２３は、ベース１７の一端に取付
けられるネジ２４により固定できるようになっている。
【００２７】このような構成において、光路長を変えた
場合のビーム形状の測定方法について述べる。まず、出
射直後のビーム形状を知りたい場合には、入射ビーム４
をλ／２板６に通過させることにより位相差が生じてい
ないビーム状態とし、このような状態の入射ビーム４を
偏光ビームスプリッタ７に入射させることにより、入射
ビーム４はそのまま透過してビーム形状測定器５に直接
入ることになるため、これにより出射直後のビーム形状
を測定することができる。
場合のビーム形状の測定方法について述べる。まず、出
射直後のビーム形状を知りたい場合には、入射ビーム４
をλ／２板６に通過させることにより位相差が生じてい
ないビーム状態とし、このような状態の入射ビーム４を
偏光ビームスプリッタ７に入射させることにより、入射
ビーム４はそのまま透過してビーム形状測定器５に直接
入ることになるため、これにより出射直後のビーム形状
を測定することができる。
【００２８】一方、光路長を長くした場合のビーム形状
を知りたい場合には、λ／２板６を回転させることによ
り入射ビーム４に位相差が生じさせる。このような位相
差の生じたビームは偏光ビームスプリッタ７に入射する
ことにより進行方向を変えて、λ／４板８を介して、全
反射ミラー９の方向に向かう。そして、この全反射ミラ
ー９により反射されたビームは、偏光ビームスプリッタ
７を透過してそのまま直進し、大コーナーキューブプリ
ズム１２のコーナーキューブ交点ａ（入射ビーム位置）
に導かれる。そして、その入射ビーム４は、互いに向い
合う大コーナーキューブプリズム１２と小コーナーキュ
ーブプリズム１３との間を数回〜数十回折り返して進行
していき、再び、大コーナーキューブプリズム１２のコ
ーナーキューブ交点ａ（今度は出射ビーム位置となる）
に戻って、この位置から出射する。その後、このように
して長い光路長とされた入射ビーム４は、λ／４板１０
により位相差が生じ、偏光ビームスプリッタ７により光
路を変えてビーム形状測定器５に導かれ、これにより、
光路長の長い場合のビーム形状を測定することができ
る。
を知りたい場合には、λ／２板６を回転させることによ
り入射ビーム４に位相差が生じさせる。このような位相
差の生じたビームは偏光ビームスプリッタ７に入射する
ことにより進行方向を変えて、λ／４板８を介して、全
反射ミラー９の方向に向かう。そして、この全反射ミラ
ー９により反射されたビームは、偏光ビームスプリッタ
７を透過してそのまま直進し、大コーナーキューブプリ
ズム１２のコーナーキューブ交点ａ（入射ビーム位置）
に導かれる。そして、その入射ビーム４は、互いに向い
合う大コーナーキューブプリズム１２と小コーナーキュ
ーブプリズム１３との間を数回〜数十回折り返して進行
していき、再び、大コーナーキューブプリズム１２のコ
ーナーキューブ交点ａ（今度は出射ビーム位置となる）
に戻って、この位置から出射する。その後、このように
して長い光路長とされた入射ビーム４は、λ／４板１０
により位相差が生じ、偏光ビームスプリッタ７により光
路を変えてビーム形状測定器５に導かれ、これにより、
光路長の長い場合のビーム形状を測定することができ
る。
【００２９】大コーナーキューブプリズム１２に入射ビ
ーム位置ａから入射した光路長を図１を原寸として概算
すると、約１６００ｍｍにも達し、交点Ｏ1 〜交点Ｏ2
の距離６５ｍｍと比較すると、２４倍にもなる。そし
て、光路長３ｍを得るには、大コーナーキューブプリズ
ム１２と小コーナーキューブプリズム１３との位置の距
離Ｌを１５４ｍｍにすることにより得ることができる。
光路長Ｌｋ−４ｂ４の拡大が困難な場合は、コーナーキ
ューブプリズム１２，１３の径を大きくし、光路の往復
回数を増やすことにより、光路長の拡大を行うことがで
き、スペースを考慮して設計すればよい。
ーム位置ａから入射した光路長を図１を原寸として概算
すると、約１６００ｍｍにも達し、交点Ｏ1 〜交点Ｏ2
の距離６５ｍｍと比較すると、２４倍にもなる。そし
て、光路長３ｍを得るには、大コーナーキューブプリズ
ム１２と小コーナーキューブプリズム１３との位置の距
離Ｌを１５４ｍｍにすることにより得ることができる。
光路長Ｌｋ−４ｂ４の拡大が困難な場合は、コーナーキ
ューブプリズム１２，１３の径を大きくし、光路の往復
回数を増やすことにより、光路長の拡大を行うことがで
き、スペースを考慮して設計すればよい。
【００３０】大コーナーキューブプリズム１２の入射直
前の光路中にはピンホール１４が配置されており、これ
により、入射ビーム位置と出射ビーム位置とを合わせる
ことが可能となる。これにより、ビーム形状測定器５を
移動させる必要がなくなる。なお、ビーム形状を測定す
る時には、そのピンホール１４は取り除かれる。
前の光路中にはピンホール１４が配置されており、これ
により、入射ビーム位置と出射ビーム位置とを合わせる
ことが可能となる。これにより、ビーム形状測定器５を
移動させる必要がなくなる。なお、ビーム形状を測定す
る時には、そのピンホール１４は取り除かれる。
【００３１】小コーナーキューブプリズム１３は、回転
自在に取付けられているため、入射ビーム位置と出射ビ
ーム位置とを一致させたり、離したりすることが可能で
あり、これにより、戻り光（裏面反射）の影響をなくす
ことができる。
自在に取付けられているため、入射ビーム位置と出射ビ
ーム位置とを一致させたり、離したりすることが可能で
あり、これにより、戻り光（裏面反射）の影響をなくす
ことができる。
【００３２】大コーナーキューブプリズム１２は、ガイ
ドレール１６により入射光軸方向Ｘに移動自在とされて
いるため、光路長を自由に選定することができ、これに
よりビームのケラレを防止することができる。
ドレール１６により入射光軸方向Ｘに移動自在とされて
いるため、光路長を自由に選定することができ、これに
よりビームのケラレを防止することができる。
【００３３】図２は、コーナーキューブプリズム１２，
１３の構成を斜視図的に描いたものである。図３は、図
１の構成における大小のコーナーキューブプリズム１
２，１３におけるビーム状態を示すものであり、入射ビ
ーム位置と出射ビーム位置とが一致している。これに対
して、図４は、大コーナーキューブプリズム１２に入射
位置がズレて入射した場合の様子を示すものであり、入
射ビーム位置の点ａに対してその折り返し点となる出射
ビーム位置は点ｂとなる。また、図５は、同径のコーナ
ーキューブプリズム１２（大同士又は小同士のプリズ
ム）をΔａだけ交点を移動させた場合の様子を示すもの
であり、このような場合には図３のような同一の位置に
は戻らず、図４のような位置関係となる。従って、この
ように位置ズレが生じた場合には、ビーム形状測定器５
をガイドレール２３を用いてＹ軸と直交する方向に移動
して微調整することにより、図４の位置関係から図３の
位置関係に戻すことができる。これにより、コーナーキ
ューブプリズム１２，１３への入射位置ズレ及び戻り光
の影響によるビームの位置ズレ（小コーナーキューブプ
リズム１３の回転）を、ビーム形状測定範囲から外れて
も微調整して元の正常な状態に戻すことが可能である。
１３の構成を斜視図的に描いたものである。図３は、図
１の構成における大小のコーナーキューブプリズム１
２，１３におけるビーム状態を示すものであり、入射ビ
ーム位置と出射ビーム位置とが一致している。これに対
して、図４は、大コーナーキューブプリズム１２に入射
位置がズレて入射した場合の様子を示すものであり、入
射ビーム位置の点ａに対してその折り返し点となる出射
ビーム位置は点ｂとなる。また、図５は、同径のコーナ
ーキューブプリズム１２（大同士又は小同士のプリズ
ム）をΔａだけ交点を移動させた場合の様子を示すもの
であり、このような場合には図３のような同一の位置に
は戻らず、図４のような位置関係となる。従って、この
ように位置ズレが生じた場合には、ビーム形状測定器５
をガイドレール２３を用いてＹ軸と直交する方向に移動
して微調整することにより、図４の位置関係から図３の
位置関係に戻すことができる。これにより、コーナーキ
ューブプリズム１２，１３への入射位置ズレ及び戻り光
の影響によるビームの位置ズレ（小コーナーキューブプ
リズム１３の回転）を、ビーム形状測定範囲から外れて
も微調整して元の正常な状態に戻すことが可能である。
【００３４】また、図６は、大コーナーキューブプリズ
ム１２と小コーナーキューブプリズム１３との径の差を
図１の場合よりもさらに大きくとった場合の例を示すも
のである。この場合、図３のように同一位置に戻ってく
るビーム位置はとの場合であり、の入射位置では
’の出射位置となり、異なった位置となる。従って、
このように小コーナーキューブプリズム１３を小さくし
すぎると、折返し回数は、少なくなり、しかも、光路長
は長くとれないことから、光学系の設計に当っては十分
な注意を要する必要がある。
ム１２と小コーナーキューブプリズム１３との径の差を
図１の場合よりもさらに大きくとった場合の例を示すも
のである。この場合、図３のように同一位置に戻ってく
るビーム位置はとの場合であり、の入射位置では
’の出射位置となり、異なった位置となる。従って、
このように小コーナーキューブプリズム１３を小さくし
すぎると、折返し回数は、少なくなり、しかも、光路長
は長くとれないことから、光学系の設計に当っては十分
な注意を要する必要がある。
【００３５】
【発明の効果】請求項１記載の発明は、レーザ光源より
出射されたビームをビーム形状測定器に導くことにより
ビーム成形を行うビーム形状測定装置において、前記レ
ーザ光源から出射されたビームが前記ビーム形状測定器
に向かう間の出射直後の光路上に入射ビームを分岐する
ための第１波長板と偏光ビームスプリッタとを備えた光
路分離光学系を設け、前記偏光ビームスプリッタにより
分岐された光路上に光路長を長くとるための一対のコー
ナーキューブプリズムを配置したので、ビームは一対の
コーナーキューブプリズム内で何回も折り返して進行し
ていき、従来のようにわざわざ光路長を長くとる必要が
なく、小さなスペースで大きな光路長をとることが可能
となり、これにより、狭い光ディスク原盤露光機の光学
系の中での評価が行え、光学系の収差を減少させ、適性
な溝形状を得ることができるものである。
出射されたビームをビーム形状測定器に導くことにより
ビーム成形を行うビーム形状測定装置において、前記レ
ーザ光源から出射されたビームが前記ビーム形状測定器
に向かう間の出射直後の光路上に入射ビームを分岐する
ための第１波長板と偏光ビームスプリッタとを備えた光
路分離光学系を設け、前記偏光ビームスプリッタにより
分岐された光路上に光路長を長くとるための一対のコー
ナーキューブプリズムを配置したので、ビームは一対の
コーナーキューブプリズム内で何回も折り返して進行し
ていき、従来のようにわざわざ光路長を長くとる必要が
なく、小さなスペースで大きな光路長をとることが可能
となり、これにより、狭い光ディスク原盤露光機の光学
系の中での評価が行え、光学系の収差を減少させ、適性
な溝形状を得ることができるものである。
【００３６】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、一対のコーナーキューブプリズムは大小の
異なる大きさで形成され、かつ、コーナーキューブ交点
の中心軸を互いに位置ズレを生じた状態で配置したの
で、コーナーキューブプリズム内へのビームの入射位置
と同一の位置に出射位置を戻すことができ、従来のよう
にビーム形状測定器へ導くためのミラー等が不要とな
り、これにより、装置の小型化を図ることができると共
に、ビーム形状測定器を移動させる必要をなくすことが
できるものである。
明において、一対のコーナーキューブプリズムは大小の
異なる大きさで形成され、かつ、コーナーキューブ交点
の中心軸を互いに位置ズレを生じた状態で配置したの
で、コーナーキューブプリズム内へのビームの入射位置
と同一の位置に出射位置を戻すことができ、従来のよう
にビーム形状測定器へ導くためのミラー等が不要とな
り、これにより、装置の小型化を図ることができると共
に、ビーム形状測定器を移動させる必要をなくすことが
できるものである。
【００３７】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明において、大小のコーナーキューブプリズムの
どちらか一方のコーナーキューブ交点に入射ビームを導
くようにしたので、入出射ビームの位置を同一にするこ
とができ、ビーム形状測定器へ導くためのミラー等が不
要となり、これにより、装置の小型化を図ることができ
ると共に、ビーム形状測定器を移動させる必要をなくす
ことができるものである。
載の発明において、大小のコーナーキューブプリズムの
どちらか一方のコーナーキューブ交点に入射ビームを導
くようにしたので、入出射ビームの位置を同一にするこ
とができ、ビーム形状測定器へ導くためのミラー等が不
要となり、これにより、装置の小型化を図ることができ
ると共に、ビーム形状測定器を移動させる必要をなくす
ことができるものである。
【００３８】請求項４記載の発明は、請求項１，２又は
３記載の発明において、第１波長板と偏光ビームスプリ
ッタとを備えた光路分離光学系に第２波長板及び全反射
板を付加させたので、ビームの分岐及び合成を単純化し
て配置された構成の光学系により行うことができ、小ス
ペース化を図ることができるものである。
３記載の発明において、第１波長板と偏光ビームスプリ
ッタとを備えた光路分離光学系に第２波長板及び全反射
板を付加させたので、ビームの分岐及び合成を単純化し
て配置された構成の光学系により行うことができ、小ス
ペース化を図ることができるものである。
【００３９】請求項５記載の発明は、請求項２又は３記
載の発明において、コーナーキューブプリズムの入射ビ
ーム位置にターゲットを配置したので、入射ビーム位置
と出射ビーム位置とを合わせることが可能となり、ビー
ム形状測定器を移動させる必要がなくなるものである。
載の発明において、コーナーキューブプリズムの入射ビ
ーム位置にターゲットを配置したので、入射ビーム位置
と出射ビーム位置とを合わせることが可能となり、ビー
ム形状測定器を移動させる必要がなくなるものである。
【００４０】請求項６記載の発明は、請求項１，２，
３，４又は５記載の発明において、小さな形状のコーナ
ーキューブプリズムにこのプリズムを光軸回りに回転さ
せることが可能な回転機構を付設したので、ビーム形状
測定器に入射するビーム位置を変えることが可能とな
り、これにより、戻り光（裏面反射）の影響をなくすこ
とができるものである。
３，４又は５記載の発明において、小さな形状のコーナ
ーキューブプリズムにこのプリズムを光軸回りに回転さ
せることが可能な回転機構を付設したので、ビーム形状
測定器に入射するビーム位置を変えることが可能とな
り、これにより、戻り光（裏面反射）の影響をなくすこ
とができるものである。
【００４１】請求項７記載の発明は、請求項１，２，
３，４，５又は６記載の発明において、大きな形状のコ
ーナーキューブプリズムにこのプリズムをビーム入射方
向に移動可能な移動機構を付設したので、光路長を自由
に選択できることにより、ビームのケラレを防止させる
ことができるものである。
３，４，５又は６記載の発明において、大きな形状のコ
ーナーキューブプリズムにこのプリズムをビーム入射方
向に移動可能な移動機構を付設したので、光路長を自由
に選択できることにより、ビームのケラレを防止させる
ことができるものである。
【００４２】請求項８記載の発明は、請求項１，２，
３，４，５，６又は７記載の発明において、ビーム形状
測定器をその入射光軸と直交する方向に移動させること
が可能な移動機構を付設したので、コーナーキューブプ
リズムへの入射位置ズレ及び戻り光の影響によるビーム
の位置ズレをビーム形状測定範囲から外れても対応させ
ることができるものである。
３，４，５，６又は７記載の発明において、ビーム形状
測定器をその入射光軸と直交する方向に移動させること
が可能な移動機構を付設したので、コーナーキューブプ
リズムへの入射位置ズレ及び戻り光の影響によるビーム
の位置ズレをビーム形状測定範囲から外れても対応させ
ることができるものである。
【図１】本発明の一実施例であるビーム形状測定装置の
様子を示す断面図である。
様子を示す断面図である。
【図２】コーナーキューブプリズムの構成を示す外観図
である。
である。
【図３】ビームの入出射位置を示す模式図である。
【図４】ビームの入出射位置にズレが生じている状態を
示す模式図である。
示す模式図である。
【図５】同径のコーナーキューブプリズムに位置ズレが
生じている場合の様子を示す光路図である。
生じている場合の様子を示す光路図である。
【図６】大小のコーナーキューブプリズムの径の差を大
きくとった場合の様子を示す光路図である。
きくとった場合の様子を示す光路図である。
【図７】従来のビーム形状測定装置の様子を示す光路図
である。
である。
４ ビーム ５ ビーム形状測定器 ６ 第１波長板 ７ 偏光ビームスプリッタ ８ 第２波長板 ９ 全反射板 １１ 光路分離光学系 １２ 大コーナーキューブプリズム １３ 小コーナーキューブプリズム １４ ターゲット １６ キューブ移動機構 ２１ キューブ回転機構 ２３ 移動機構
Claims (8)
- 【請求項１】 レーザ光源より出射されたビームをビー
ム形状測定器に導くことによりビーム成形を行うビーム
形状測定装置において、前記レーザ光源から出射された
ビームが前記ビーム形状測定器に向かう間の出射直後の
光路上に入射ビームを分岐するための第１波長板と偏光
ビームスプリッタとを備えた光路分離光学系を設け、前
記偏光ビームスプリッタにより分岐された光路上に光路
長を長くとるための一対のコーナーキューブプリズムを
配置したことを特徴とするビーム形状測定装置。 - 【請求項２】 一対のコーナーキューブプリズムは大小
の異なる大きさで形成され、かつ、コーナーキューブ交
点の中心軸を互いに位置ズレを生じた状態で配置したこ
とを特徴とする請求項１記載のビーム形状測定装置。 - 【請求項３】 大小のコーナーキューブプリズムのどち
らか一方のコーナーキューブ交点に入射ビームを導くよ
うにしたことを特徴とする請求項１又は２記載のビーム
形状測定装置。 - 【請求項４】 第１波長板と偏光ビームスプリッタとを
備えた光路分離光学系に第２波長板及び全反射板を付加
したことを特徴とする請求項１，２又は３記載のビーム
形状測定装置。 - 【請求項５】 コーナーキューブプリズムの入射ビーム
位置にターゲットを配置したことを特徴とする請求項２
又は３記載のビーム形状測定装置。 - 【請求項６】 小さな形状のコーナーキューブプリズム
にこのプリズムを光軸回りに回転させることが可能なキ
ューブ回転機構を付設したことを特徴とする請求項１，
２，３，４又は５記載のビーム形状測定装置。 - 【請求項７】 大きな形状のコーナーキューブプリズム
にこのプリズムをビーム入射方向に移動可能なキューブ
移動機構を付設したことを特徴とする請求項１，２，
３，４，５又は６記載のビーム形状測定装置。 - 【請求項８】 ビーム形状測定器をその入射光軸と直交
する方向に移動させることが可能な移動機構を付設した
ことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６又は７
記載のビーム形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18656792A JPH0634486A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | ビーム形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18656792A JPH0634486A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | ビーム形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0634486A true JPH0634486A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=16190793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18656792A Pending JPH0634486A (ja) | 1992-07-14 | 1992-07-14 | ビーム形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0634486A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7130312B1 (en) | 1998-09-29 | 2006-10-31 | Juniper Networks, Inc. | Packet processing apparatus, packet processing method, and packet exchange |
| JP2008026229A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Shimadzu Corp | 反射型光学装置 |
| CN114895445A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-12 | 湖北久之洋红外系统股份有限公司 | 一种具备像平移特性的180度反射棱镜组 |
-
1992
- 1992-07-14 JP JP18656792A patent/JPH0634486A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7130312B1 (en) | 1998-09-29 | 2006-10-31 | Juniper Networks, Inc. | Packet processing apparatus, packet processing method, and packet exchange |
| US7515610B2 (en) | 1998-09-29 | 2009-04-07 | Juniper Networks, Inc. | Packet processing using a multi-port memory |
| US7970012B2 (en) | 1998-09-29 | 2011-06-28 | Juniper Networks, Inc. | Packet processing using a multi-port memory |
| JP2008026229A (ja) * | 2006-07-24 | 2008-02-07 | Shimadzu Corp | 反射型光学装置 |
| CN114895445A (zh) * | 2022-05-19 | 2022-08-12 | 湖北久之洋红外系统股份有限公司 | 一种具备像平移特性的180度反射棱镜组 |
| CN114895445B (zh) * | 2022-05-19 | 2024-05-28 | 湖北久之洋红外系统股份有限公司 | 一种具备像平移特性的180度反射棱镜组 |
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