JPH0624507A - クリーン倉庫 - Google Patents
クリーン倉庫Info
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- JPH0624507A JPH0624507A JP4110789A JP11078992A JPH0624507A JP H0624507 A JPH0624507 A JP H0624507A JP 4110789 A JP4110789 A JP 4110789A JP 11078992 A JP11078992 A JP 11078992A JP H0624507 A JPH0624507 A JP H0624507A
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- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィルターの交換作業を行ない易くする。
【構成】 クリーン倉庫１内に上下・左右に多数の物品
収納棚１６を有するラック装置１５が設けられ、前記ラ
ック装置１５の背面とクリーン倉庫１の垂直壁との間
に、物品収納棚１６に向かって開口した空気噴出口２０
を有する空気ダクト１９が形成され、吸い引み口２３か
ら空気を吸引して空気ダクト１９に送り出すファン２２
がクリーン倉庫１下部に設けられ、前記ファン２２の空
気噴出口２０近くにフィルター２５が取り付けられ、前
記空気ダクト１９の空気噴出口２０に整流板２１が設け
られている。
収納棚１６を有するラック装置１５が設けられ、前記ラ
ック装置１５の背面とクリーン倉庫１の垂直壁との間
に、物品収納棚１６に向かって開口した空気噴出口２０
を有する空気ダクト１９が形成され、吸い引み口２３か
ら空気を吸引して空気ダクト１９に送り出すファン２２
がクリーン倉庫１下部に設けられ、前記ファン２２の空
気噴出口２０近くにフィルター２５が取り付けられ、前
記空気ダクト１９の空気噴出口２０に整流板２１が設け
られている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は半導体ウエハ等の塵埃
を嫌う物品を収納するクリーン倉庫に関する。
を嫌う物品を収納するクリーン倉庫に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来この種クリーン倉庫として以下の如
きものは知られている。即ち、クリーン倉庫内に設けら
れた、上下・左右に多数の物品収納棚を有するラック装
置と、このクリーン倉庫内において、ラック装置の前方
で左右動自在に設けられたスタッカークレーンとを有し
ており、前記スタッカークレーンが、走行台車と、この
走行台車に立設されたマストに昇降自在に設けられた昇
降台と、この昇降台に搭載されたロボットハンド等の物
品移載装置とを有しており、前記ラック装置の背面とク
リーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚に向かって開
口した空気噴出口を有する空気ダクトが形成され、吸い
引み口から空気を吸引して空気ダクトに送り出すファン
がクリーン倉庫下部に設けられ、前記空気ダクトの空気
噴出口にフィルターが取り付けられたものは知られてい
る。
きものは知られている。即ち、クリーン倉庫内に設けら
れた、上下・左右に多数の物品収納棚を有するラック装
置と、このクリーン倉庫内において、ラック装置の前方
で左右動自在に設けられたスタッカークレーンとを有し
ており、前記スタッカークレーンが、走行台車と、この
走行台車に立設されたマストに昇降自在に設けられた昇
降台と、この昇降台に搭載されたロボットハンド等の物
品移載装置とを有しており、前記ラック装置の背面とク
リーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚に向かって開
口した空気噴出口を有する空気ダクトが形成され、吸い
引み口から空気を吸引して空気ダクトに送り出すファン
がクリーン倉庫下部に設けられ、前記空気ダクトの空気
噴出口にフィルターが取り付けられたものは知られてい
る。
【０００３】
【従来技術の欠点】前記従来クリーン倉庫には以下の如
き欠点があった。即ち、物品収納棚に向かって開口した
空気噴出口にフィルターが設けられていたため、即ち、
ラック装置の背面にフィルターが設けられたものであっ
たため、フィルターの交換作業が行ないにくいという欠
点があった。
き欠点があった。即ち、物品収納棚に向かって開口した
空気噴出口にフィルターが設けられていたため、即ち、
ラック装置の背面にフィルターが設けられたものであっ
たため、フィルターの交換作業が行ないにくいという欠
点があった。
【０００４】
【前記欠点を解消するための手段】この発明は前記欠点
を解消するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、クリーン倉庫内に上下・左右に多数の物品収納棚を
有するラック装置が設けられ、前記ラック装置の背面と
クリーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚に向かって
開口した空気噴出口を有する空気ダクトが形成され、吸
い引み口から空気を吸引して空気ダクトに送り出すファ
ンがクリーン倉庫下部に設けられ、前記ファンの空気噴
出口近くにフィルターが取り付けられ、前記空気ダクト
の空気噴出口に整流板が設けられているものである。
を解消するために以下の如き手段を採用した。この発明
は、クリーン倉庫内に上下・左右に多数の物品収納棚を
有するラック装置が設けられ、前記ラック装置の背面と
クリーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚に向かって
開口した空気噴出口を有する空気ダクトが形成され、吸
い引み口から空気を吸引して空気ダクトに送り出すファ
ンがクリーン倉庫下部に設けられ、前記ファンの空気噴
出口近くにフィルターが取り付けられ、前記空気ダクト
の空気噴出口に整流板が設けられているものである。
【０００５】
【発明の作用】この発明は以下の如き作用をなすもので
ある。ファンの空気噴出口近くにフィルターが取り付け
られたものであるから、ラック装置の背面に設けられた
フィルターより交換が行ないやすい。
ある。ファンの空気噴出口近くにフィルターが取り付け
られたものであるから、ラック装置の背面に設けられた
フィルターより交換が行ないやすい。
【０００６】
【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１下
側を、後とは同図上側をいい、左とは図１左側を、右と
は同右側をいう。クリーン倉庫１は、図示略の物品搬入
搬出口（図示略）及び下部に設けられた外気取入口３等
の所定の開口を除いて密閉室となされている。前記クリ
ーン倉庫１の床６の上方に間隔７をあけるようにして水
平壁８が設けられ、この水平壁８の前後方向中央に左右
方向に長い開口９が形成されている。また、水平壁８の
前端部とクリーン倉庫１の前壁との間及び水平壁８の後
端部とクリーン倉庫１の後壁との間には開口１０が形成
されている。前記水平壁８の直ぐ下に空気通路１１を画
するようにして囲い壁体１２が設けられている。前記水
平壁８の、開口９の縁部とクリーン倉庫１の床６との間
に、垂直な仕切フィルター１３が渡されている。
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１下
側を、後とは同図上側をいい、左とは図１左側を、右と
は同右側をいう。クリーン倉庫１は、図示略の物品搬入
搬出口（図示略）及び下部に設けられた外気取入口３等
の所定の開口を除いて密閉室となされている。前記クリ
ーン倉庫１の床６の上方に間隔７をあけるようにして水
平壁８が設けられ、この水平壁８の前後方向中央に左右
方向に長い開口９が形成されている。また、水平壁８の
前端部とクリーン倉庫１の前壁との間及び水平壁８の後
端部とクリーン倉庫１の後壁との間には開口１０が形成
されている。前記水平壁８の直ぐ下に空気通路１１を画
するようにして囲い壁体１２が設けられている。前記水
平壁８の、開口９の縁部とクリーン倉庫１の床６との間
に、垂直な仕切フィルター１３が渡されている。
【０００７】前記水平壁８に、前後方向に所定間隔をあ
けて前後一対のラック装置１５が立設され、これらラッ
ク装置１５は上下・左右に多数の物品収納棚１６を有し
ており、これら前後の物品収納棚１６の物品出し入れ口
１７は相互に対向している。なお、水平壁８は物品収納
棚としても使用される。
けて前後一対のラック装置１５が立設され、これらラッ
ク装置１５は上下・左右に多数の物品収納棚１６を有し
ており、これら前後の物品収納棚１６の物品出し入れ口
１７は相互に対向している。なお、水平壁８は物品収納
棚としても使用される。
【０００８】前記ラック装置１５の背面（物品出し入れ
口１７と逆側の部分）とクリーン倉庫１の前後側壁との
間に、物品収納棚１６に向かって開口した空気噴出口２
０を有する空気ダクト１９が形成されている。前記空気
噴出口２０には、シルクスクリーン等からなる精密整流
板２１が設けられている。上記の構成を更に具体的に説
明すれば、精密整流板２１をクリーン倉庫１の前後側壁
との間に空気通路を形成するようにして、水平壁８の端
に立設したものである。
口１７と逆側の部分）とクリーン倉庫１の前後側壁との
間に、物品収納棚１６に向かって開口した空気噴出口２
０を有する空気ダクト１９が形成されている。前記空気
噴出口２０には、シルクスクリーン等からなる精密整流
板２１が設けられている。上記の構成を更に具体的に説
明すれば、精密整流板２１をクリーン倉庫１の前後側壁
との間に空気通路を形成するようにして、水平壁８の端
に立設したものである。
【０００９】前記クリーン倉庫１の下部に、ファン２２
が、吸い込み口２３を間隙７に位置させるようにして、
且つ、空気噴出口２４を囲い壁体１２に形成された開口
に接続させるようにして、設けられている。前記空気通
路１１には空気噴出口２４と開口１０とを画するように
して、フィルター２５が収納されている。また、前記外
気取入口３にもフィルター２６が取り付けられている。
このような構成によって、吸い込み口２３から吸引され
た空気は、空気噴出口２４、空気通路１１、開口１０、
空気ダクト１９、精密整流板２１を経て物品収納棚１６
の物品収納空間に噴出され、その空気はラック装置１５
間の間隙を上から下に向かって流れ仕切フィルター１３
を経て再びファン２２の吸い込み口２３に吸引される。
また、外気取入口３からも所要量の外気が吸い込み口２
３に吸引される。なお、ファン２２を２つ以上設けるよ
うにしてもよい。空気通路１１を構成するクリーン倉庫
１の側壁にフィルター２５の交換のための開口２７が形
成され、この開口２７は通常は閉塞され、フィルター２
５交換のときにのみ開かれるようになされている。
が、吸い込み口２３を間隙７に位置させるようにして、
且つ、空気噴出口２４を囲い壁体１２に形成された開口
に接続させるようにして、設けられている。前記空気通
路１１には空気噴出口２４と開口１０とを画するように
して、フィルター２５が収納されている。また、前記外
気取入口３にもフィルター２６が取り付けられている。
このような構成によって、吸い込み口２３から吸引され
た空気は、空気噴出口２４、空気通路１１、開口１０、
空気ダクト１９、精密整流板２１を経て物品収納棚１６
の物品収納空間に噴出され、その空気はラック装置１５
間の間隙を上から下に向かって流れ仕切フィルター１３
を経て再びファン２２の吸い込み口２３に吸引される。
また、外気取入口３からも所要量の外気が吸い込み口２
３に吸引される。なお、ファン２２を２つ以上設けるよ
うにしてもよい。空気通路１１を構成するクリーン倉庫
１の側壁にフィルター２５の交換のための開口２７が形
成され、この開口２７は通常は閉塞され、フィルター２
５交換のときにのみ開かれるようになされている。
【００１０】前記開口９の下方に位置するようにして左
右方向に長い前後一対のケーシング３１が配され、これ
らケーシング３１は上部に左右方向に長いスリット３２
を有している。前記ケーシング３１内には左右方向に長
い前後一対のガイドレール３３が設けられ、これらガイ
ドレール３３に左右摺動体３４が左右動自在に案内さ
れ、これら左右摺動体３４は図示略の駆動装置によって
左右に摺動するようになされている。前記左右摺動体３
４は連結板３５によって連結されており、この連結板３
５と左右摺動体３４とによってスタッカークレーン３７
の走行台車３８が構成されている。
右方向に長い前後一対のケーシング３１が配され、これ
らケーシング３１は上部に左右方向に長いスリット３２
を有している。前記ケーシング３１内には左右方向に長
い前後一対のガイドレール３３が設けられ、これらガイ
ドレール３３に左右摺動体３４が左右動自在に案内さ
れ、これら左右摺動体３４は図示略の駆動装置によって
左右に摺動するようになされている。前記左右摺動体３
４は連結板３５によって連結されており、この連結板３
５と左右摺動体３４とによってスタッカークレーン３７
の走行台車３８が構成されている。
【００１１】前記連結板３５に筒状のマスト４０が立設
され、このマスト４０に昇降台４１が、マスト４０内に
収納されたタイミングベルト等を含む昇降装置４２によ
って、昇降自在となされている。
され、このマスト４０に昇降台４１が、マスト４０内に
収納されたタイミングベルト等を含む昇降装置４２によ
って、昇降自在となされている。
【００１２】前記昇降台４１に中空状の水平旋回テーブ
ル４４が水平旋回自在に設けられ、この水平旋回テーブ
ル４４にロボットハンド４６が、水平旋回テーブル４４
内に納められたボールねじ機構やベルト駆動機構等の公
知の駆動機構によって水平摺動自在に設けられ、このロ
ボットハンド４６は、本体ケース４７と、この本体ケー
ス４７に、相互近接・離隔自在となされた一対のハンド
アーム４８とを有している。これらハンドアーム４８は
本体ケース４７内に収納された駆動機構によって、相互
に接近したり、相互に離隔したりするようになされてい
る。なお、物品移載装置として実施例以外のロボットハ
ンド等を使用し得ることは云うまでもない。
ル４４が水平旋回自在に設けられ、この水平旋回テーブ
ル４４にロボットハンド４６が、水平旋回テーブル４４
内に納められたボールねじ機構やベルト駆動機構等の公
知の駆動機構によって水平摺動自在に設けられ、このロ
ボットハンド４６は、本体ケース４７と、この本体ケー
ス４７に、相互近接・離隔自在となされた一対のハンド
アーム４８とを有している。これらハンドアーム４８は
本体ケース４７内に収納された駆動機構によって、相互
に接近したり、相互に離隔したりするようになされてい
る。なお、物品移載装置として実施例以外のロボットハ
ンド等を使用し得ることは云うまでもない。
【００１３】
【実施例の作用】次に実施例のクリーン倉庫の作用を説
明する。まず、クリーン倉庫１内の空気の流れについて
説明する。吸い込み口２３から吸引された空気は、空気
噴出口２４、空気通路１１、開口１０、空気ダクト１
９、精密整流板２１を経て物品収納棚１６の物品収納空
間に上方から噴出され、その空気はラック装置１５間の
間隙を上から下に向かって流れ仕切フィルター１３を経
て再びファン２２の吸い込み口２３に吸引される。ま
た、外気取入口３からも所要量の外気が吸い込み口２３
に吸引される。空気はフィルター２５、仕切フィルター
１３、フィルター２６を通過する間に清浄化される。
明する。まず、クリーン倉庫１内の空気の流れについて
説明する。吸い込み口２３から吸引された空気は、空気
噴出口２４、空気通路１１、開口１０、空気ダクト１
９、精密整流板２１を経て物品収納棚１６の物品収納空
間に上方から噴出され、その空気はラック装置１５間の
間隙を上から下に向かって流れ仕切フィルター１３を経
て再びファン２２の吸い込み口２３に吸引される。ま
た、外気取入口３からも所要量の外気が吸い込み口２３
に吸引される。空気はフィルター２５、仕切フィルター
１３、フィルター２６を通過する間に清浄化される。
【００１４】次に、物品Ｗを物品収納棚１６に収納する
作業について説明する。クリーン倉庫１内の物品搬入搬
出ステーションの台（図示略）上に物品Ｗが自動または
人手によって載置されると、その物品Ｗにハンドアーム
４８が対向するように、走行台車３８及び昇降台４１が
停止する。その後、ハンドアーム４８の自由端を物品Ｗ
に向けるように水平旋回テーブル４４が旋回する。その
後、ハンドアーム４８を離隔した状態でロボットハンド
４６が物品Ｗに向けて突出し、ハンドアーム４８を物品
Ｗの外側に位置させる。その後、ハンドアーム４８が相
互に接近して物品Ｗを挟持する。その後、昇降台４１が
やや上昇した後、ロボットハンド４６は物品Ｗを挟持し
たまま後退して、物品Ｗを水平旋回テーブル４４の上方
に引き込む。この説明から明らかなごとく、物品Ｗと水
平旋回テーブル４４とは衝突・干渉しないようになされ
ている。その後、走行台車３８が左右に走行し、昇降台
４１が昇降して、収納すべき物品収納棚１６の上面より
物品Ｗの底面がやや上方に位置するようにする。その間
に水平旋回テーブル４４が水平旋回して又はせずに、物
品Ｗを所定の物品収納棚１６に対向させる。その後、ロ
ボットハンド４６が当該物品収納棚１６に向かって突出
し、然る後、昇降台４１がやや下降して物品Ｗを物品収
納棚１６に降ろす。その後、ハンドアーム４８が相互に
離隔して物品Ｗを離す。その後、ロボットハンド４６は
水平旋回テーブル４４側に後退する。なお、前記と逆の
作動によって、物品Ｗを物品搬入搬出ステーションの台
（図示略）に搬出することが出来る。
作業について説明する。クリーン倉庫１内の物品搬入搬
出ステーションの台（図示略）上に物品Ｗが自動または
人手によって載置されると、その物品Ｗにハンドアーム
４８が対向するように、走行台車３８及び昇降台４１が
停止する。その後、ハンドアーム４８の自由端を物品Ｗ
に向けるように水平旋回テーブル４４が旋回する。その
後、ハンドアーム４８を離隔した状態でロボットハンド
４６が物品Ｗに向けて突出し、ハンドアーム４８を物品
Ｗの外側に位置させる。その後、ハンドアーム４８が相
互に接近して物品Ｗを挟持する。その後、昇降台４１が
やや上昇した後、ロボットハンド４６は物品Ｗを挟持し
たまま後退して、物品Ｗを水平旋回テーブル４４の上方
に引き込む。この説明から明らかなごとく、物品Ｗと水
平旋回テーブル４４とは衝突・干渉しないようになされ
ている。その後、走行台車３８が左右に走行し、昇降台
４１が昇降して、収納すべき物品収納棚１６の上面より
物品Ｗの底面がやや上方に位置するようにする。その間
に水平旋回テーブル４４が水平旋回して又はせずに、物
品Ｗを所定の物品収納棚１６に対向させる。その後、ロ
ボットハンド４６が当該物品収納棚１６に向かって突出
し、然る後、昇降台４１がやや下降して物品Ｗを物品収
納棚１６に降ろす。その後、ハンドアーム４８が相互に
離隔して物品Ｗを離す。その後、ロボットハンド４６は
水平旋回テーブル４４側に後退する。なお、前記と逆の
作動によって、物品Ｗを物品搬入搬出ステーションの台
（図示略）に搬出することが出来る。
【００１５】図４及び図５にこの発明の変形例を示す。
これら図において、実施例と同一の部材は同一の符号で
示す。この変形例においては、２個のファン２２が設備
されている。
これら図において、実施例と同一の部材は同一の符号で
示す。この変形例においては、２個のファン２２が設備
されている。
【００１６】
【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。 ファンの空気噴出口近くにフィルターが取り付けられ
たものであるから、ラック装置の背面に設けられたフィ
ルターより交換が行ないやすい。 前記空気ダクトの空気噴出口に整流板が設けられてい
るので、物品収納棚の物品収納空間に乱れのない空気の
流れを作って、物品収納空間をクリーンに保持すること
が出来る。
て、以下の如き効果を奏するものである。 ファンの空気噴出口近くにフィルターが取り付けられ
たものであるから、ラック装置の背面に設けられたフィ
ルターより交換が行ないやすい。 前記空気ダクトの空気噴出口に整流板が設けられてい
るので、物品収納棚の物品収納空間に乱れのない空気の
流れを作って、物品収納空間をクリーンに保持すること
が出来る。
【図１】この発明の実施例を示す簡略水平断面図であ
る。
る。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う拡大断面図であ
る。
る。
【図４】この発明の変形例を示す側面から見た断面図で
ある。
ある。
【図５】図４の変形例の正面から見た断面図である。
１ クリーン倉庫 １５ ラック装置 １６ 物品収納棚 １９ 空気ダクト ２０ 空気噴出口 ２１ 精密整流板 ２２ ファン ２３ 吸い込み口 ２４ 空気噴出口
Claims (1)
- 【請求項１】 クリーン倉庫内に上下・左右に多数の物
品収納棚を有するラック装置が設けられ、前記ラック装
置の背面とクリーン倉庫の垂直壁との間に、物品収納棚
に向かって開口した空気噴出口を有する空気ダクトが形
成され、吸い引み口から空気を吸引して空気ダクトに送
り出すファンがクリーン倉庫下部に設けられ、前記ファ
ンの空気噴出口近くにフィルターが取り付けられ、前記
空気ダクトの空気噴出口に整流板が設けられているクリ
ーン倉庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4110789A JP2623190B2 (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | クリーン倉庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4110789A JP2623190B2 (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | クリーン倉庫 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0624507A true JPH0624507A (ja) | 1994-02-01 |
| JP2623190B2 JP2623190B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=14544676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4110789A Expired - Lifetime JP2623190B2 (ja) | 1992-04-02 | 1992-04-02 | クリーン倉庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2623190B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004101027A (ja) * | 2002-09-06 | 2004-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | クリーンストッカー |
| JP2015190678A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 三機工業株式会社 | 立体倉庫の空調システム |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6290181A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-04-24 | バ−リ−・マニユフアクチユアリング・コ−ポレ−シヨン | 画像表示装置の付いた漕ぎ機 |
| JPS62217036A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | ストツカ |
| JPH03284505A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-16 | Daifuku Co Ltd | クリーン装置付き荷保管装置 |
| JP3001130U (ja) * | 1994-02-17 | 1994-08-23 | 林精工株式会社 | 曲面状鉄筋枠組み立て用治具 |
-
1992
- 1992-04-02 JP JP4110789A patent/JP2623190B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
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| JPS6290181A (ja) * | 1985-08-05 | 1987-04-24 | バ−リ−・マニユフアクチユアリング・コ−ポレ−シヨン | 画像表示装置の付いた漕ぎ機 |
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| JP2015190678A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 三機工業株式会社 | 立体倉庫の空調システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2623190B2 (ja) | 1997-06-25 |
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