JPH0635471Y2

JPH0635471Y2 - ウエーハ持ち替え用治具

Info

Publication number: JPH0635471Y2
Application number: JP3905990U
Authority: JP
Inventors: 隆広森口; 修二谷ケ久保
Original assignee: コマツ電子金属株式会社
Priority date: 1990-04-13
Filing date: 1990-04-13
Publication date: 1994-09-14
Anticipated expiration: 2004-09-14
Also published as: JPH04749U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、半導体ウェーハの製造工程、とくに、鏡面ウ
ェーハの製造工程にあって、ウェーハ表面の傷、シミ、
汚れ等を目視により外観検査する際用いる、ウェーハ持
ち替え用治具に関する［従来の技術］従来、鏡面ウェーハの外観検査に当たっては、ウェーハ
ケース中より取り出した鏡面ウェーハ表面に、集光ラン
プからの光を当て、その反射状態の僅かな差を目視によ
り確認し、傷、シミ、汚れ等の不良を検出している。こ
の検出操作は、光のウェーハに対する照射角度によって
は、異物等があっても乱反射を起こさないことがあるた
め、ウェーハを持ち替え、光の当たる角度を変化させ
て、再度確認するようにしている。

［考案が解決しようとする課題］ところで、ウェーハを持ち替えるためには、ケースより
取りだしたウェーハを、一度ケース内に納めてから、適
当に回し、再度取り出さなくてはならない。ケース内の
回転は、ウェーハのエッジ部に傷や汚れを発生させるこ
とがあるし、作業性も悪くする。また、ウェーハをつか
む真空ピンセツトとの接触回数が増加することから、ウ
ェーハ裏面にも傷を生じることがある。

［課題を解決するための手段］本考案によるウェーハ持ち替え用治具は、上記のような
問題点を解決するためになされたもので、支持台により
回転可能に垂直に支持された回転軸の頂部に、回転軸を
中心として、放射状に斜め上方に向けて少なくとも３本
の腕を設け、回転軸途中に、回転軸と同心的に円盤を固
定したことを特徴とする。また、腕は、凹状にわん曲し
た構造であることが望ましい。

［作用］本考案によるウェーハ持ち替え用治具は、上部に斜め上
方に伸びる数本の腕を放射状に備えており、取りだした
ウェーハを持ち替えるときは、この上に一旦乗せ、回転
軸途中に設けた円盤を適当に回転させて、先に検査を行
なった箇所と異なる部位が来るまで回転軸を回す。腕を
凹状にわん曲させたものは、ウェーハとの接触部分が減
るが、ウェーハは落下しにくくなる。

［実施例１］第１図は、本考案のウェーハ持ち替え用治具の一実施例
の斜視図である。ウェーハ持ち替え時の、ウェーハを載
せた状態を示す。

腕４は、４本で、凹状にわん曲している。このため、ウ
ェーハ７との接触が点接触となり、傷、汚れ防止がで
き、回転による落下も防げる。また、小径のウェーハか
ら大径のウェーハまで、同一治具で対応できる。さら
に、腕４は、ウェーハへの汚染を防ぐために、表面がコ
ーテイングされている。回転軸１途中に固定された円盤
５は、支持台１より直径が大きく、また、側面にはすべ
り止めが設けられているため、指で回転しやすい構成と
なっている。また、支持台１には、回転軸２が、ベアリ
ング（図示せず）を介して、回転可能に支持される。支
持台１は、治具全体の安定性を増すため、重くしてあ
る。なお、治具全体は、材質は、鉄及び円盤５は帯電防
止塩化ビニルで作られるが、光の反射を防止する意味
で、黒色のつや消し仕上げとなっている。

第１図に示した、本実施例のウェーハ持ち替え用治具を
用いて、10,000枚の鏡面ウェーハの外観検査を行なった
ところ、従来の場合、約86時間程度を要していたもの
が、約77時間に短縮され、作業効率としては、10％向上
した。また、従来作業では、ウェーハ持ち替えの際のケ
ース内での回転等のため、傷や汚れ不良をウェーハに与
えることが多かったが、本治具を用いることにより、こ
れが半減した。

ちなみに、腕がわん曲しないものについても、同様の効
果があるが、誤って強い回転を与えると、ウェーハが落
下することもある。

［考案の効果］本考案のウェーハ持ち替え用治具によれば、支持台によ
り回転可能に垂直に支持された回転軸の頂部に、回転軸
を中心として、放射状に斜め上方に向けて少なくとも３
本の腕を設けてあるため、ウェーハを載せたり、降ろし
たりする作業が素早く行なえるし、回転後任意の位置で
ウェーハが取り出せる。ウェーハ直径に違いがあって
も、腕の長さに余裕をもたせれば、一つの治具で対応で
きる。さらに、腕と支持台間に位置する回転軸の一定高
さには、回転軸と同心的に円盤を固定してあるため、軸
の回転がスムーズに行なえる。

また、腕を凹状にわん曲させたものは、回転によるウェ
ーハの落下防止に効果がある。

本考案のウェーハ持ち替え用治具をもちいれば、鏡面ウ
ェーハの外観検査作業を、従来より効率的に行なうこと
ができるし、検査作業で、ウェーハに損傷を与えること
も激減し、歩留り向上に寄与する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案のウェーハ持ち替え用治具の一実施例
を示す、斜視図。第２図は、本考案のウェーハ持ち替え用治具の一実施例
を示す、正面図。１…支持台２…回転軸３…頂部４…腕５…円盤６…ウェーハ持ち替え用治具７…ウェーハ

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】支持台により回転可能に垂直に支持された
回転軸の頂部に、回転軸を中心として、放射状に斜め上
方に向けて少なくとも３本の腕を設け、腕と支持台間に
位置する回転軸の一定高さには、回転軸と同心的に円盤
を固定したことを特徴とするウェーハ持ち替え用治具。
【請求項２】腕は、凹状にわん曲した構造であることを
特徴とする請求項１記載のウェーハ持ち替え用治具。