JPH0635979U - Ｉｃハンドラーのコンタクトブロック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ＩＣハンドラーにおける測定部の部品やスペー
スを減少させると共に加熱されたＩＣの放熱を防止す
る。 【構成】ＩＣを押圧するヘッド２３、ＩＣを加熱するヒ
ータ２４、ＩＣを吸引する吸着孔２６を１個のコンタク
トブロック１９に形成し、このコンタクトブロック１９
がウォーキングビーム１４と検査ステージ２１との間を
往復動できるようにしている。また、吸着ヘッド２３の
周囲をガイドブロック２５で被覆している。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ＩＣハンドラーおいてウォーキングビーム上のＩＣを検査ステージ に送り込むコンタクトブロックに関する。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣハンドラーは、量産されたＩＣを高温または低温状態にして順次データを 測定し、良品と不良品、さらにはデータに応じた分類を自動的に行なう装置であ る。この種のハンドラーは、ＩＣを供給するローダ部、ＩＣをウォーキングビー ムにより検査ステージに搬送する搬送部、ＩＣの検査ステージが設置された測定 部、測定後のＩＣをウォーキングビームで送り返す搬送部、ＩＣをデータ別に収 納するアンローダ部から構成されている。ウォーキングビームの途中には予熱ヒ ータが配置され、ここで予熱されたＩＣがビームの終端に達すると、送りハンド がＩＣを吸着して検査ステージのソケットに送り込む。続いてステージ上方のヒ ートブロックまたはプッシャが下降してソケット内のＩＣを押し付けると同時に 加熱し、この間にＩＣのデータがテスタで測定される。測定後のＩＣは、別設の 取り出しハンドでソケットから取り出され、戻り側のウォーキングビームに載置 されてアンローダ部に搬送される。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、従来のＩＣハンドラーは、測定部に送りハンド、ヒートブロック、取 り出しハンド等、移動する部材が多いのでそれだけスペースやコストも大きくな る欠点がある。また、予熱されたＩＣが一旦冷たい送りハンドで吸着移送される ため、この間にＩＣの温度が低下し、再びヒートブロックで設定温度まで加熱し ているので効率が悪い。さらに送りハンドによるＩＣの移送、ヒートブロックに よる押圧、取り出しハンドによる移送と順に行なわれるので、ＩＣの測定時間を 短縮するのにも限界があった。

【０００４】 本考案は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、測定部側の 部品点数及びスペースを減少できると共に加熱されたＩＣの温度を低下させるこ とのないＩＣハンドラーのコンタクトブロックを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、請求項１のコンタクトブロックは、下端にＩＣの吸 着孔が形成された吸着ヘッドと内部ヒータとを具備し、ウォーキングビームの終 端と検査ステージとの間を往復動可能に配置されている。また、請求項２の考案 では、コンタクトブロックの吸着孔の周囲が熱伝導の小さいガイドブロックで被 覆されている。

【０００６】

【作用】

請求項１の構成により、コンタクトブロックの吸着孔でＩＣが吸着移送され、 該ブロックはそのままＩＣをソケットに送り込んで押圧すると同時に内部ヒータ でＩＣが加熱される。請求項２の構成により、コンタクトブロックに吸着された ＩＣは、ヒータで加熱されている間もガイドブロックで放熱を抑制される。

【０００７】

【実施例】

図１及び図２は、各々本考案のコンタクトブロックが適用されたＩＣハンドラ ーの簡略平面図及び正面図、図３はコンタクトブロックを測定部側から見た一部 断面図で、このハンドラーは、ローダ部１、搬送部２、測定部３、戻り搬送部４ 、アンローダ部５から構成されている。

【０００８】 ローダ部１には、供給トレイ６を載置する支持台７、下方にトレイの自動セン タリング機構、支持台７の上方にトレイハンド８とローダハンド９が設置され、 供給トレイ６は多数のＩＣを受容した状態で支持台７に複数積み重ねられている 。支持台７は、４辺に対向して切欠き１０ａと溝１０ｂが形成され、下方のパル スモータ（図示せず）によりポスト１１に沿って上下動可能となっている。自動 センタリング機構は、トレイ６の両側を把持するＸ方向のチャックガイド１２と 、トレイ６の前後側を把持するＹ方向のチャックガイド１３に分かれ、図示して ないが下方のエアシリンダと歯車機構によってトレイ６を正規の位置にチャック するようになっている。

【０００９】 トレイハンド８は、図２に示すように空になったトレイ６をアンローダ部５側 に移送するもので、この実施例ではエアシリンダ（図示省略）により開閉動作、 モータで横移動する。ローダハンド９は、供給トレイ６内の各ＩＣを２個ずつ吸 着して搬送部３のウォーキングビーム１４に載置すると共にトレイ６上のＩＣの 有無をもバキュームチェックする。このためトレイ６のＩＣ収納箇所には各々小 孔（図示せず）が形成されており、ＩＣがない場合にローダハンド９がこれを検 出できるようになっている。

【００１０】 搬送部２には、ウォーキングビーム１４と予熱ヒータ１５が設置されている。 ウォーキングビーム１４は、中央の固定メインビーム１６と両側の可動サイドビ ーム１７から構成され、メインビーム１６上にはＩＣを受容する駒１８（図３） が等間隔で形成されている。サイドビーム１７は、図示しないパルスモータによ り上昇、前進、下降、後退のサイクルで動作し、駒１８上のＩＣの両側を持ち上 げて所定ピッチで前進するようになっている。予熱ヒータ１５は、ウォーキング ビーム１４の途中に配置され、高温試験時にビーム上のＩＣを予熱する。

【００１１】 測定部３には、上方にコンタクトブロック１９と取り出しハンド２０、下方に 検査ステージ２１が配置され、コンタクトブロック１９とハンド２０はアーム２ ２で一体に連結されている。コンタクトブロック１９は、従来の送りハンドとヒ ートブロック（プッシャ）を一体化したもので、図１及び図３から分かるように ２個の吸着ヘッド２３、内部ヒータ２４及びガイドブロック２５を具備している 。吸着ヘッド２３は、従来の吸着パッドと異なり、金属のブロック形状で下端に 複数の吸着孔２６が形成されている。この部分が吸着パッドだとＩＣをソケット に押圧する力に欠けると共に、ヒータ２４の熱がＩＣに伝わりにくいので金属ブ ロックにしたものである。ただし、パッドがない分だけ吸引力が落ちるのを防止 するため、吸着孔２６は３〜５個形成しておくのが望ましい。ガイドブロック２ ５は、熱伝導の小さい樹脂製でねじや嵌合方式でヘッドに取り付けられ、ＩＣの 種別に応じて簡単に交換できるようになっている。

【００１２】 取り出しハンド２０は、検査ステージ２１からのＩＣを取り出して戻り側のウ ォーキングビーム３０に移送するもので、２個の吸着パッド２７を有している。 検査ステージ２１には、２個のソケット２８が並設され、ベース２９の下面にＩ Ｃのデータを測定するテスタ（図示せず）が設置されている。コンタクトブロッ ク１９と取り出しハンド２０の間隔は、ウォーキングビーム１４，３０と検査ス テージ上のソケット２８との間隔に等しく、両者はパルスモータまたはエアシリ ンダにより横移動及び上下動可能となっている。

【００１３】 搬送部４には、戻り用のウォーキングビーム３０がアンローダ側に向かって設 置され、これは駒３３付きのメインビーム３１とサイドビーム３２から成り、Ｉ Ｃの送り方向が逆になるだけで機構的にはウォーキングビーム１４とほぼ同じで ある。

【００１４】 アンローダ部５には、アンローダハンド３４、支持台７’及び自動センタリン グ機構、分類ストッカ３５が設置されている。アンローダハンド３４は、吸着式 でローダハンド９と同様であり、ウォーキングビーム３０からのＩＣをデータに 応じてトレイ６’，６”に分類収納する。支持台７’と自動センタリング機構は 、ローダ側のものと全く同じである。トレイ６”は、一部の不良品やデータの異 なる良品を収納するもので、各ストッカ３５上に１枚ずつ載置され、１角が固定 ガイド３６により、対向角がマグネットガイド３７によって固定されている。従 って、トレイ６”の一角を固定ガイド３６に合わせてストッカ３５上に載置し、 対向側にマグネットガイド３７を押し当てればどんなサイズのトレイ６”でも簡 単に固定することができる。

【００１５】 次にコンタクトブロック１９を中心にＩＣハンドラーの動作を説明する。まず 、図１及び図２において作業員がトレイ６を積み重ねた状態で支持台７に載置し 、ハンドラーを動作させるとトレイ６の両側がチャックガイド１２により、トレ イ６の前後がチャックガイド１３によって正規の位置に挟持される。続いて、支 持台７はポスト１１に沿って上昇し、最上段のトレイ６がＩＣの供給位置に達す ると停止する。次にローダハンド９によりトレイ６からＩＣが２個ずつウォーキ ングビーム１４に載置され、ウォーキングビーム１４はピッチ毎にＩＣを測定部 ３側へ搬送する。支持台７上の空になったトレイ６’は、トレイハンド８によっ てアンローダ側の支持台７’に移され、ローダ側の支持台７はトレイ１枚分だけ 上昇する。この間、ウォーキングビーム１４上のＩＣは、搬送の途中で予熱ヒー タ１５で順次予熱される。

【００１６】 ウォーキングビーム１４の終端に達したＩＣは、コンタクトブロック１９によ って２個ずつソケット２８に送られるが、図３からも分かるようにこの時取り出 しハンド２０も一体に動作し、測定済みのＩＣをソケット２８から取り出してウ ォーキングビーム３０に載置する。コンタクトブロック１９は、ヘッド下面の吸 着孔２６でＩＣを吸引すると共にヒータ２４でＩＣを加熱し、この状態でＩＣを ソケット２８に押し込む。ウォーキングビーム１４からソケット２８に移送され る間のＩＣは、コンタクトブロック１９のヒータ２４とガイドブロック２５によ って設定温度を保たれる。ＩＣのデータが測定されるとコンタクトブロック１９ 及び取り出しハンド２０は上昇して図３の右側へ移動し、再びＩＣの送り込みと 取り出しを同時に行なう。

【００１７】 測定後のＩＣは、ウォーキングビーム３０によってアンローダ部５へ搬送され 、アンローダハンド３４によりデータ別にトレイ６’，６”に分類収納される。 この実施例では、最も多い良品のＩＣをトレイ６’に、不良品と他のデータを有 するＩＣをトレイ６”に収納している。各トレイ６’，６”のＩＣが満杯になる と、支持台７’や分類ストッカ３５は所定距離だけ下降または上昇する。

【００１８】

【考案の効果】 以上詳述したように請求項１のコンタクトブロックは、１個で吸着ハンド、ヒ ートブロック及びプッシャの役割を果たすのでハンドラー測定部の部品やスペー スが減少できると共に、従来の送りハンドによる移送段階がないので予熱された ＩＣの温度低下が抑制される。また、請求項２のガイドブロックでＩＣの周囲を 覆うことにより、さらにＩＣの放熱を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＩＣハンドラーの簡略平面図である。

【図２】ＩＣハンドラーの簡略正面図である。

【図３】コンタクトブロック及び取り出しハンドの一部
断面図である。

【符号の説明】

１４，３０ ウォーキングビーム １９ コンタクトブロック ２０ 取り出しハンド ２１ 検査ステージ ２２ アーム ２３ 吸着ヘッド ２４ 内部ヒータ ２５ ガイドブロック ２６ 吸着孔 ２８ ソケット

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】下端にＩＣの吸着孔２６が形成された吸着
   ヘッド２３と内部ヒータ２４とを具備し、ウォーキング
   ビーム１４の終端と検査ステージ２１との間を往復動可
   能に配置したことを特徴とするＩＣハンドラーのコンタ
   クトブロック。
2. 【請求項２】少なくとも吸着孔２６の周囲が熱伝導の小
   さいガイドブロック２５で被覆されている請求項１に記
   載のＩＣハンドラーのコンタクトブロック。