JPH0636006B2 - 多数配線検査法 - Google Patents
多数配線検査法Info
- Publication number
- JPH0636006B2 JPH0636006B2 JP61076693A JP7669386A JPH0636006B2 JP H0636006 B2 JPH0636006 B2 JP H0636006B2 JP 61076693 A JP61076693 A JP 61076693A JP 7669386 A JP7669386 A JP 7669386A JP H0636006 B2 JPH0636006 B2 JP H0636006B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- electrodes
- electrode
- disconnection
- inspection method
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ストライプ状に形成された多数の電極を有す
る基板の断線検査法に関するものである。
る基板の断線検査法に関するものである。
［開示の概要］ 本明細書及び図面は、ストライプ状に形成された多数の
電極を有する基板において、この基板をメッキ液中に浸
漬して通電し、析出するメッキ層の形成状態から断線ま
たは短絡の有無を判定することにより、電極構成に制約
を受けず、且つ検査時間を短縮できるようにしたもので
ある。
電極を有する基板において、この基板をメッキ液中に浸
漬して通電し、析出するメッキ層の形成状態から断線ま
たは短絡の有無を判定することにより、電極構成に制約
を受けず、且つ検査時間を短縮できるようにしたもので
ある。
［従来の技術］ 従来、この種の断線検査法としては、プロービングマシ
ーンを用いる方法がある。この方法は、ストライプ状電
極の一端を全て共通に接続し、他端をプロ・バーにより
順次接続しながら、各電極の電気的な導通を確認する方
法である。
ーンを用いる方法がある。この方法は、ストライプ状電
極の一端を全て共通に接続し、他端をプロ・バーにより
順次接続しながら、各電極の電気的な導通を確認する方
法である。
［発明が解決しようとする問題点］ A4サイズ（210mm×300mm｝の有効部を持つガラス基板の
短辺に対して、16／mm（ライン50μｍ、スペース12.5μ
ｍ）のストライプ電極を形成すると、電極本数は３３６
０本となる。一方、現在の汎用プロービングマシーンの
スキャンスピードは１本／sec程度であり、前述した基
板の検査には約１時間を要し、検査終了後には基板上の
断線位置を測定テスター等で確認しなければならなかっ
た。また、プロービングマシーンの可動性能、ステージ
寸法等により、被測定基板の構成が制約を受けるという
欠点があった。
短辺に対して、16／mm（ライン50μｍ、スペース12.5μ
ｍ）のストライプ電極を形成すると、電極本数は３３６
０本となる。一方、現在の汎用プロービングマシーンの
スキャンスピードは１本／sec程度であり、前述した基
板の検査には約１時間を要し、検査終了後には基板上の
断線位置を測定テスター等で確認しなければならなかっ
た。また、プロービングマシーンの可動性能、ステージ
寸法等により、被測定基板の構成が制約を受けるという
欠点があった。
本発明、上記従来例の欠点を除去し、測定基板の電極構
成に制約を受けず、且つ、検査時間を短縮した多数配線
検査法を提供することを目的とするものである。
成に制約を受けず、且つ、検査時間を短縮した多数配線
検査法を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、多数のストライプ状電極を設けた基板と、こ
の基板と対向する電極基板をメッキ液中に浸し、両電極
間を通電することによりストライプ電極上にメッキ層を
析出させ、このメッキ層の形成状態からストライプ電極
の断線または短絡の有無を判断するものである。
の基板と対向する電極基板をメッキ液中に浸し、両電極
間を通電することによりストライプ電極上にメッキ層を
析出させ、このメッキ層の形成状態からストライプ電極
の断線または短絡の有無を判断するものである。
［作用］ ストライプ電極に異常がない場合、メッキ層は電極表面
に一様に形成される。一方、電極が何らかの原因により
断線している場合は、その部分だけメッキ層が形成され
ないため、すべての電極における断線の有無を一度に判
定することができる。しかも、この検査と同時に断線箇
所が直接メッキ層の有無によって目印されるため、断線
した位置を容易に確認することができる。
に一様に形成される。一方、電極が何らかの原因により
断線している場合は、その部分だけメッキ層が形成され
ないため、すべての電極における断線の有無を一度に判
定することができる。しかも、この検査と同時に断線箇
所が直接メッキ層の有無によって目印されるため、断線
した位置を容易に確認することができる。
［実施例］ 第１図は本発明の検査法に使用する装置の一例を示す概
略構成図である。第１図において、１はストライプ電極
の形成された基板であり、前述したA4サイズの有効面積
を持つ基板上に、 ITO(Indium-Tin-Oxide)より成る透明
電極が、基板の短辺に対して16本／mm（ライン50μｍ、
スペース12.5μｍ）のストライプ状に形成されている。
２はメッキ時に陽極となる金属板、３は基板１と金属板
２の間に電流を流すための直流電源であり、基板１が陰
極、金属板２が陽極となるように接続されている。この
極性は、互いに反対であってもよい。４はメッキ液５を
満たしたメッキ槽である。一般的な銅メッキの場合にお
ける硫酸銅浴の条件を以下に示す。
略構成図である。第１図において、１はストライプ電極
の形成された基板であり、前述したA4サイズの有効面積
を持つ基板上に、 ITO(Indium-Tin-Oxide)より成る透明
電極が、基板の短辺に対して16本／mm（ライン50μｍ、
スペース12.5μｍ）のストライプ状に形成されている。
２はメッキ時に陽極となる金属板、３は基板１と金属板
２の間に電流を流すための直流電源であり、基板１が陰
極、金属板２が陽極となるように接続されている。この
極性は、互いに反対であってもよい。４はメッキ液５を
満たしたメッキ槽である。一般的な銅メッキの場合にお
ける硫酸銅浴の条件を以下に示す。
組 成：硫酸銅 200 〜250 （ｇ／） 硫 酸 40 〜 60 （ｇ／） 温 度：20〜50℃ 電流密度：２〜８（Ａ／m2） 上記構成において、まず、基板１の電極の一端に導電性
テープ６を貼り付け、すべての電極を共通に接続する。
次に、導電性テープ６を貼り付けた部分を残して基板１
を金属板２と共にメッキ液５に漬け、上記の条件により
直流電圧を印加する。この時、基板１のストライプ電極
に異常がない場合、メッキ液に漬けた部分の電極には正
常な電位が発生し、金属板２との間に電流が流れ、電極
表面には一様に銅がメッキされる。これに対し、ストラ
イプ電極の一部にエッチング不良、キズなどの原因によ
り断線がある場合、その部分はメッキされない。したが
って、断線の有無はこのメッキの形成状態により判定す
ることができる。また、断線箇所もこのメッキの有無に
よって目印されるため、特別な装置を用いることなく容
易にその位置を確認することができる。
テープ６を貼り付け、すべての電極を共通に接続する。
次に、導電性テープ６を貼り付けた部分を残して基板１
を金属板２と共にメッキ液５に漬け、上記の条件により
直流電圧を印加する。この時、基板１のストライプ電極
に異常がない場合、メッキ液に漬けた部分の電極には正
常な電位が発生し、金属板２との間に電流が流れ、電極
表面には一様に銅がメッキされる。これに対し、ストラ
イプ電極の一部にエッチング不良、キズなどの原因によ
り断線がある場合、その部分はメッキされない。したが
って、断線の有無はこのメッキの形成状態により判定す
ることができる。また、断線箇所もこのメッキの有無に
よって目印されるため、特別な装置を用いることなく容
易にその位置を確認することができる。
なお、基板上に形成された銅メッキは、塩化第二銅など
の銅のエッチング液により、簡単に剥離することができ
る。
の銅のエッチング液により、簡単に剥離することができ
る。
本発明による検査法は、このようなストライプ電極の断
線検査以外にも、例えば第２図に示すような千鳥状電極
の取り出し部における隣接する電極との短絡検査や、第
３図に示すような、わずかな間隔をもって組合わされた
上下電極間の短絡検査にも使用することができる。
線検査以外にも、例えば第２図に示すような千鳥状電極
の取り出し部における隣接する電極との短絡検査や、第
３図に示すような、わずかな間隔をもって組合わされた
上下電極間の短絡検査にも使用することができる。
また、本発明による検査法は、電極材に合わせてメッキ
液の成分を変えることにより、電極材の種類に制限され
ることなく使用することができる。さらには、ストライ
プ電極の一端に発生する電位によって任意の電流電界を
発生させ、これらの作用により形状変化する物質、例え
ば液晶、感熱材などを用いても、前記実施例と同様の効
果を得ることができる。
液の成分を変えることにより、電極材の種類に制限され
ることなく使用することができる。さらには、ストライ
プ電極の一端に発生する電位によって任意の電流電界を
発生させ、これらの作用により形状変化する物質、例え
ば液晶、感熱材などを用いても、前記実施例と同様の効
果を得ることができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、ストライプ電極
の断線の有無及びその位置の確認を同時に行うことがで
き、検査工程及び検査時間を大幅に短縮することができ
る。また、従来の方法に比べ、被測定基板の構成（サイ
ズ、電極本数、電極ピッチ等）に制約されずに、同時に
多数の電極を検査することができる。さらには、高精度
の装置を必要としないため、簡単で安価な設備で検査を
行うことが可能となる。
の断線の有無及びその位置の確認を同時に行うことがで
き、検査工程及び検査時間を大幅に短縮することができ
る。また、従来の方法に比べ、被測定基板の構成（サイ
ズ、電極本数、電極ピッチ等）に制約されずに、同時に
多数の電極を検査することができる。さらには、高精度
の装置を必要としないため、簡単で安価な設備で検査を
行うことが可能となる。
第１図は装置の一例を示す概略構成図、第２図及び第３
図は電極の構成例を示す図である。 １……基板、２……金属板、３……直流電源、 ４……メッキ槽、５……メッキ液、 ６……導電性テープ。
図は電極の構成例を示す図である。 １……基板、２……金属板、３……直流電源、 ４……メッキ槽、５……メッキ液、 ６……導電性テープ。
Claims (1)
- 【請求項１】多数のストライプ状電極を設けた基板と、
対向する電極基板をメッキ液中に浸漬した後、両電極間
を通電し、析出するメッキ層の形成状態により前記スト
ライプ状電極の断線または短絡の有無を判定することを
特徴とする多数配線検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61076693A JPH0636006B2 (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | 多数配線検査法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61076693A JPH0636006B2 (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | 多数配線検査法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62233777A JPS62233777A (ja) | 1987-10-14 |
| JPH0636006B2 true JPH0636006B2 (ja) | 1994-05-11 |
Family
ID=13612556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61076693A Expired - Lifetime JPH0636006B2 (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | 多数配線検査法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636006B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0619404B2 (ja) * | 1988-06-17 | 1994-03-16 | 共栄制御機器株式会社 | 液晶電極基板の通電検出装置 |
-
1986
- 1986-04-04 JP JP61076693A patent/JPH0636006B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62233777A (ja) | 1987-10-14 |
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