JPH0636201U - 高温イオン源 - Google Patents
高温イオン源Info
- Publication number
- JPH0636201U JPH0636201U JP7721292U JP7721292U JPH0636201U JP H0636201 U JPH0636201 U JP H0636201U JP 7721292 U JP7721292 U JP 7721292U JP 7721292 U JP7721292 U JP 7721292U JP H0636201 U JPH0636201 U JP H0636201U
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- JP
- Japan
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- ion source
- insulating
- heater
- source block
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 大電力のヒータを用いずとも高い温度に設定
することのできる高温イオン源を提供すること。 【構成】 イオン源ブロック1には、イオン化室2,絶
縁支柱3〜6を貫通させる穴3a〜6a,GC用試料導
入口7,直接導入用試料導入口8,電子通過口9,10
及びイオン取出し口11が形成され、ヒータ12,13
及び温度センサ14が埋め込まれている。絶縁支柱3〜
6には、絶縁カラー18を介してレンズ電極19が間隔
を置いて貫通保持され、締付けナット20により、レン
ズ電極とイオン源ブロック全体が基台21に固定されて
いる。イオン源ブロック1には、ヒータ12,13と各
絶縁支柱の間を割くように切り込み23が形成される。
この切り込みにより、ヒータから発生した熱の絶縁支柱
への伝達が疎外されるため、ヒータから発生した熱によ
りイオン化室周囲のみを高温にすることができる。
することのできる高温イオン源を提供すること。 【構成】 イオン源ブロック1には、イオン化室2,絶
縁支柱3〜6を貫通させる穴3a〜6a,GC用試料導
入口7,直接導入用試料導入口8,電子通過口9,10
及びイオン取出し口11が形成され、ヒータ12,13
及び温度センサ14が埋め込まれている。絶縁支柱3〜
6には、絶縁カラー18を介してレンズ電極19が間隔
を置いて貫通保持され、締付けナット20により、レン
ズ電極とイオン源ブロック全体が基台21に固定されて
いる。イオン源ブロック1には、ヒータ12,13と各
絶縁支柱の間を割くように切り込み23が形成される。
この切り込みにより、ヒータから発生した熱の絶縁支柱
への伝達が疎外されるため、ヒータから発生した熱によ
りイオン化室周囲のみを高温にすることができる。
Description
【0001】
本考案は、質量分析装置用イオン源に関し、特に従来よりもイオン化室周囲を 高温に設定することのできる高温イオン源に関するものである。
【0002】
ガスクロマトグラフ−質量分析装置(GC−MS)の分野では、金属キャピラ リーカラムを用いて、400℃を超える温度での分析が提案されている。
【0003】 一方、固体試料をイオン化室内へ直接導入し加熱気化してイオン化する直接試 料導入方式では、例えば、100℃から500℃まで徐々に試料温度を上げて質 量分析を行い、温度と出現イオンの関係を測定することが行われている。この場 合、試料を支持したプローブの温度を変化させて試料温度を変化させることが従 来行われてきたが、最近では、イオン源の温度を変化させて試料温度を変化させ ることが試みられている。
【0004】
この様に、近年、高温での質量分析がルーチン化してきているが、通常用いら れるイオン源では、最高温度は350℃前後に設定されており、これを500℃ 程度まで上昇させるには、大出力のヒータを使用しなければならない。しかしな がら、ヒータを大型化したのでは、当然消費電力が増加するし、コスト的にも不 利である。さらに、イオン源(イオン源ブロック)の温度が上昇すると、イオン 源ブロックを支持する絶縁支柱の温度も上昇して絶縁が低下し、放電の危険性が 増大するなどの問題もある。
【0005】 本考案は上述した点に鑑みてなされたものであり、大電力のヒータを用いずと も高い温度に設定することのできる高温イオン源を提供することを目的としてい る。
【0006】
この目的を達成するため、本考案は、イオン化室が内部に形成されると共に加 熱用のヒータが埋めこまれたイオン源ブロックを絶縁支柱により外部から支持す るようにしたイオン源において、絶縁支柱とヒータとの間に切り込みを入れるこ とにより支柱への熱伝達を減少させるようにしたことを特徴としている。
【0007】
絶縁支柱とヒータとの間に切り込みを入れることにより支柱への熱伝達を減少 させるようにしたため、小さな電力のヒータを用いてイオン源ブロックを高温に 維持することが可能である。以下、図面を用いて本考案の実施例を詳説する。
【0008】
図1は本考案の一実施例を示し、図2はそのA−A断面図である。両図におい て1はイオン源ブロックである。イオン源ブロック1は、例えばステンレススチ ール製で、イオン化室2,絶縁支柱3〜6を貫通させる穴3a〜6a,GC用試 料導入口7,直接導入用試料導入口8,電子通過口9,10及びイオン取出し口 11が形成されている。さらに、イオン源ブロック1には、ヒータ12,13及 び温度センサ14が埋め込まれている。15は電子通過口9に接近して配置され る熱電子発生用フィラメント、16は電子通過口10に接近して配置されるトラ ップ電極、17は電子を集束させる磁場を発生する一対のマグネットである。
【0009】 イオン源ブロック1を貫通した絶縁支柱3〜6には、絶縁カラー18を介して レンズ電極19が間隔を置いて貫通保持され、その先端に螺合される締付けナッ ト20により、レンズ電極及びイオン源ブロック全体が基台21に固定されてい る。22は、イオン化室内に配置されるリペラ電極である。
【0010】 以上の構成が従来からの電子衝撃型イオン源の基本構成の一例であり、例えば 、GC用試料導入口7から導入された気体試料は、イオン化室2内で通過口9か ら通過口10へ通る電子による衝撃を受けてイオン化され、取出し口11から外 部へ取出される、という基本動作を行う。本考案では、さらに、イオン源ブロッ ク1に切り込み23が設けられている。この切り込みは、ヒータ12,13と各 絶縁支柱の間を割くように形成される。この切り込みにより、ヒータから発生し た熱の絶縁支柱への伝達が疎外されるため、ヒータから発生した熱によりイオン 化室周囲のみを高温にすることができる。
【0011】 なお、切り込みは、イオン源ブロックの表面から裏面へ完全に抜けていてもい なくても良く、完全に抜けずに溝のような形で設けても熱の伝達を疎外する役割 を果たす。その方が強度面からは有利である。
【0012】 本実施例では、切り込みがフィラメント15とイオン化室2との間を通るよう にも設けられているため、フィラメントからの輻射熱がイオン化室付近へ伝達さ れてイオン化室付近の温度に影響を与えることを防止することができる。
【0013】
以上詳述したごとく、本考案によれば、絶縁支柱とヒータとの間に切り込みを 入れることにより支柱への熱伝達を減少させるようにしたため、小さな電力のヒ ータを用いてイオン源ブロックを高温に維持することが可能になるし、温度変化 の応答性が向上し装置始動時の所要時間が短縮されると共に、測定時の昇温速度 も向上するという効果も併せて得られる。
【0014】 また、絶縁支柱の温度上昇が防止できるため、絶縁支柱の絶縁寿命が延びる。 さらに、絶縁支柱の電気抵抗は300℃を超えると大幅に低下し、例えば500 ℃では3桁程度下がる。そのため、絶縁支柱の温度上昇が避けられない従来は、 レンズ電極に印加される電圧が温度変化と共に変化しフォーカスのずれが発生す るが、絶縁支柱の温度上昇が防止できる本考案では、そのようなことがない。
【図1】本考案の一実施例を示す図である。
【図2】図1の実施例のA−A断面図である。
1 イオン源ブロック 2 イオン化室 3〜6 絶縁支柱 7 GC用試料導入口 8 直接導入用試料導入口 9,10 電子通過口 11 イオン取出し口 12,13 ヒータ 14 温度センサ 15 熱電子発生用フィラメント 16 トラップ電極 17 マグネット 18 絶縁カラー 19 レンズ電極 20 締付けナット 21 基台 22 リペラ電極 23 切り込み
Claims (1)
- 【請求項1】 イオン化室が内部に形成されると共に加
熱用のヒータが埋めこまれたイオン源ブロックを絶縁支
柱により外部から支持するようにしたイオン源におい
て、前記絶縁支柱と前記ヒータとの間に切り込みを入れ
ることにより支柱への熱伝達を減少させるようにしたこ
とを特徴とする高温イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7721292U JPH0636201U (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 高温イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7721292U JPH0636201U (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 高温イオン源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0636201U true JPH0636201U (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=13627530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7721292U Withdrawn JPH0636201U (ja) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | 高温イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636201U (ja) |
-
1992
- 1992-10-12 JP JP7721292U patent/JPH0636201U/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19970306 |