JPH044354Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH044354Y2 JPH044354Y2 JP19934984U JP19934984U JPH044354Y2 JP H044354 Y2 JPH044354 Y2 JP H044354Y2 JP 19934984 U JP19934984 U JP 19934984U JP 19934984 U JP19934984 U JP 19934984U JP H044354 Y2 JPH044354 Y2 JP H044354Y2
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- Japan
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- orifice
- electrode
- needle
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- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 31
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
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- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 3
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- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本考案は大気圧イオン化(API)イオン源を備
えた質量分析装置に関するものである。
えた質量分析装置に関するものである。
[従来の技術]
APIイオン源を備えた質量分析計装置として、
従来例えば第3図に示すような構造のものが知ら
れている。第3図において、APIイオン源1はガ
ラス製の筒体2、コロナ放電部3及び試料保持針
4から成る。上記コロナ放電部3においては、筒
状電極5内にアルゴンの如きキヤリアガスが導入
され、針状電極6と筒状電極5との間に発生せる
コロナ放電により、励起されたキヤリアガス原子
(励起種)又はイオンが作成される。このように
して得られた励起種又はイオンは、キヤリアガス
の流れに乗り適宜な電圧が印加されている試料保
持針4へ向けて流れ出し、該針4の先端に保持さ
れた試料をイオン化する。そして、該針4の先端
で生成された試料イオンは、オリフイス板7,8
を介して四重極電極9、レンズ電極10等から成
る四重極質量分析装置内へ導入される。
従来例えば第3図に示すような構造のものが知ら
れている。第3図において、APIイオン源1はガ
ラス製の筒体2、コロナ放電部3及び試料保持針
4から成る。上記コロナ放電部3においては、筒
状電極5内にアルゴンの如きキヤリアガスが導入
され、針状電極6と筒状電極5との間に発生せる
コロナ放電により、励起されたキヤリアガス原子
(励起種)又はイオンが作成される。このように
して得られた励起種又はイオンは、キヤリアガス
の流れに乗り適宜な電圧が印加されている試料保
持針4へ向けて流れ出し、該針4の先端に保持さ
れた試料をイオン化する。そして、該針4の先端
で生成された試料イオンは、オリフイス板7,8
を介して四重極電極9、レンズ電極10等から成
る四重極質量分析装置内へ導入される。
かかるAPIイオン源を用いれば、大気圧中で液
体試料を直接イオン化し、質量分析装置へ導入し
て質量分析できるため、今後の発達が期待されて
いる。
体試料を直接イオン化し、質量分析装置へ導入し
て質量分析できるため、今後の発達が期待されて
いる。
[考案が解決しようとする問題点]
ところで、APIイオン源内で生成された試料イ
オンを効率良く質量分析装置へ導入するために
は、上記オリフイス板7に開けられるオリフイス
の径をできるだけ大きくし、且つオリフイスとイ
オン生成部すなわち第3図の例では試料保持針と
を接近させる必要がある。しかしながら、オリフ
イス径を大きくすると、質量分析装置へのガス流
入による圧力減少領域がオリフイス周辺において
拡大し、第4図に示すようにイオン化が行われる
試料保持針4の尖端部にまで届いてしまう。この
尖端部の圧力が低下するとイオン化が正常に進ま
なくなり、生成されるイオン量が減少するため、
現状ではオリフイス板と試料保持針とを十分に離
し、尖端部が圧力減少領域に入らないようにして
おり、オリフイスの径を大きくしたことによる効
果が十分に得られない結果になつている。
オンを効率良く質量分析装置へ導入するために
は、上記オリフイス板7に開けられるオリフイス
の径をできるだけ大きくし、且つオリフイスとイ
オン生成部すなわち第3図の例では試料保持針と
を接近させる必要がある。しかしながら、オリフ
イス径を大きくすると、質量分析装置へのガス流
入による圧力減少領域がオリフイス周辺において
拡大し、第4図に示すようにイオン化が行われる
試料保持針4の尖端部にまで届いてしまう。この
尖端部の圧力が低下するとイオン化が正常に進ま
なくなり、生成されるイオン量が減少するため、
現状ではオリフイス板と試料保持針とを十分に離
し、尖端部が圧力減少領域に入らないようにして
おり、オリフイスの径を大きくしたことによる効
果が十分に得られない結果になつている。
本考案は、この点に鑑みてなれたものであり、
オリフイスの径を大きくした場合でもオリフイス
とイオン生成部とを接近させることのできるAPI
イオン源を提供することを目的としている。
オリフイスの径を大きくした場合でもオリフイス
とイオン生成部とを接近させることのできるAPI
イオン源を提供することを目的としている。
[問題点を解決するための手段]
この目的を達成するため、本考案は、大気圧イ
オン化イオン源と、該イオン源で生成された試料
イオンを質量分析装置の分析部に取り込むオリフ
イスを有する電極とを備えた質量分析装置におい
て、前記オリフイス電極とイオン源のイオン化部
との間に前記オリフイスよりも大きな径のオリフ
イスを有するバツフアプレートを配置するように
したことを特徴としている。
オン化イオン源と、該イオン源で生成された試料
イオンを質量分析装置の分析部に取り込むオリフ
イスを有する電極とを備えた質量分析装置におい
て、前記オリフイス電極とイオン源のイオン化部
との間に前記オリフイスよりも大きな径のオリフ
イスを有するバツフアプレートを配置するように
したことを特徴としている。
[作用]
オリフイス電極と針状電極尖端部との間にバツ
フアプレートを介在するため、質量分析装置へ流
入するガスはオリフイス電極とバツフアプレート
との間〓からのものが大部分となり、その間〓部
分の圧力が低下するものの、圧力減少領域はあま
り針状電極尖端部の方へ拡大せず、従つて針状電
極とオリフイスとを接近させることが可能であ
る。
フアプレートを介在するため、質量分析装置へ流
入するガスはオリフイス電極とバツフアプレート
との間〓からのものが大部分となり、その間〓部
分の圧力が低下するものの、圧力減少領域はあま
り針状電極尖端部の方へ拡大せず、従つて針状電
極とオリフイスとを接近させることが可能であ
る。
[実施例]
以下、図面を用いて本考案の一実施例を詳説す
る。
る。
第1図は本考案を実施した質量分析装置の一例
を示す断面図である。第1図において第3図の構
成と異なるのは、試料イオンを通過させるオリフ
イス11が開けられたバツフアプレート12がオ
リフイス電極7と針状電極4尖端部との間に配置
されている点である。このバツフアプレート12
とオリフイス電極7との間の領域には、筒体2内
に充満しているアルゴンガスが第1図において矢
印aで示すように周囲から流入可能になつてい
る。
を示す断面図である。第1図において第3図の構
成と異なるのは、試料イオンを通過させるオリフ
イス11が開けられたバツフアプレート12がオ
リフイス電極7と針状電極4尖端部との間に配置
されている点である。このバツフアプレート12
とオリフイス電極7との間の領域には、筒体2内
に充満しているアルゴンガスが第1図において矢
印aで示すように周囲から流入可能になつてい
る。
第2図は上記構成を持つ装置におけるオリフイ
ス部分の圧力減少領域の分布を示す。筒体2内の
アルゴンガスは、オリフイス11を通る経路(第
1図における矢印b)とオリフイス電極7とバツ
フアプレートの間を通る経路(同じく矢印a)を
介して質量分析装置へ流入するが、大部分は矢印
aの経路を通る。そのため第2図から分かるよう
に、オリフイス電極7とバツフアプレートの間〓
分の圧力は低下するものの、圧力減少領域はオリ
フイス11から針状電極4の方向へは余り伸びて
行かない。
ス部分の圧力減少領域の分布を示す。筒体2内の
アルゴンガスは、オリフイス11を通る経路(第
1図における矢印b)とオリフイス電極7とバツ
フアプレートの間を通る経路(同じく矢印a)を
介して質量分析装置へ流入するが、大部分は矢印
aの経路を通る。そのため第2図から分かるよう
に、オリフイス電極7とバツフアプレートの間〓
分の圧力は低下するものの、圧力減少領域はオリ
フイス11から針状電極4の方向へは余り伸びて
行かない。
そのため、従来例の場合の第4図と比較すれば
分るように、針状電極4をオリフイスへ近付ける
ことができる。従つて、針状電極4の尖端部で生
成される試料イオンを効率良く質量分析装置へ導
入することが可能である。
分るように、針状電極4をオリフイスへ近付ける
ことができる。従つて、針状電極4の尖端部で生
成される試料イオンを効率良く質量分析装置へ導
入することが可能である。
尚、上記実施例ではバツフアプレート12とオ
リフイス電極7との間の領域に筒体2内に充満し
ているアルゴンガスを流入させるようにしたが、
例えばバツフアプレート12とオリフイス電極7
との間の領域を周囲と隔離し、その領域へ外部か
らアルゴンガスなとのガスを供給するようにして
も良い。
リフイス電極7との間の領域に筒体2内に充満し
ているアルゴンガスを流入させるようにしたが、
例えばバツフアプレート12とオリフイス電極7
との間の領域を周囲と隔離し、その領域へ外部か
らアルゴンガスなとのガスを供給するようにして
も良い。
又、バツフアプレートは金属で作るのが好まし
く、その場合オリフイス電極7と同じ電位を与え
ても良いし、周囲と絶縁してオリフイス電極とは
異なつた電位を与えるおようにしても良い。
く、その場合オリフイス電極7と同じ電位を与え
ても良いし、周囲と絶縁してオリフイス電極とは
異なつた電位を与えるおようにしても良い。
尚、上記実施例は針状電極の先端に保持した試
料にイオンや励起種を当ててイオン化する方式の
APIイオン源に本考案を実施したが、APIイオン
源としては、例えばグロー放電方式、コロナ放電
方式、誘導結合プラズマ方式など各種方式に基づ
くイオン源を採用することができる。
料にイオンや励起種を当ててイオン化する方式の
APIイオン源に本考案を実施したが、APIイオン
源としては、例えばグロー放電方式、コロナ放電
方式、誘導結合プラズマ方式など各種方式に基づ
くイオン源を採用することができる。
[考案の効果]
以上詳述した如く、本考案によれば、オリフイ
ス電極とAPIイオン源のイオン化部との間にバツ
フアプレートを設けたため、イオン化部をオリフ
イスへ近付けることができ、試料イオンを効率良
く質量分析装置へ導入することが可能となる。
ス電極とAPIイオン源のイオン化部との間にバツ
フアプレートを設けたため、イオン化部をオリフ
イスへ近付けることができ、試料イオンを効率良
く質量分析装置へ導入することが可能となる。
第1図は本考案を実施した質量分析装置の一例
を示す断面図、第2図は本考案におけるオリフイ
ス部分の圧力減少領域の分布を示す図、第3図は
従来例を示す断面図、第4図は従来例におけるオ
リフイス部分の圧力減少領域の分布を示す図であ
る。 1……APIイオン源、2……筒体、3……コロ
ナ放電部、4……試料保持針、7,8……オリフ
イス板、11……イオン通過口、12……バツフ
アプレート。
を示す断面図、第2図は本考案におけるオリフイ
ス部分の圧力減少領域の分布を示す図、第3図は
従来例を示す断面図、第4図は従来例におけるオ
リフイス部分の圧力減少領域の分布を示す図であ
る。 1……APIイオン源、2……筒体、3……コロ
ナ放電部、4……試料保持針、7,8……オリフ
イス板、11……イオン通過口、12……バツフ
アプレート。
Claims (1)
- 試料をその尖端部に保持する針状電極を有し該
針状電極の尖端部で試料イオンを生成する大気圧
イオン源と、該大気圧イオン源の針状電極尖端部
で生成された試料イオンを高真空の質量分析部に
取り込むためのオリフイス電極を前記針状電極に
対向させて設けた質量分析装置において、前記オ
リフイス電極と針状電極尖端部との間に該オリフ
イス電極のオリフイスよりも大きな径のオリフイ
スを有するバツフアプレートを間隔をあけて配置
すると共に、該バツフアプレートとオリフイス電
極との間の領域に周辺部からガスを供給するよう
にしたことを特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19934984U JPH044354Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19934984U JPH044354Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61179652U JPS61179652U (ja) | 1986-11-10 |
| JPH044354Y2 true JPH044354Y2 (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=30759188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19934984U Expired JPH044354Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH044354Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6396618B1 (ja) * | 2018-04-03 | 2018-09-26 | グローテクノロジー株式会社 | グロー放電システム及びこれを用いたグロー放電質量分析装置 |
| JP6358726B1 (ja) * | 2018-04-03 | 2018-07-18 | グローテクノロジー株式会社 | グロー放電システムとそのイオン引き出し構造、グロー放電質量分析装置 |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP19934984U patent/JPH044354Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61179652U (ja) | 1986-11-10 |
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