JPH0637081A - ウエハの乾燥方法及びこの方法におけるウエハ乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 キャリアの変形等のトラブルのないウェハの
遠心力乾燥装置を提供する。 【構成】 回転軸８に固定支持された回転台１を内部に
擁し、傾斜底と有蓋の筒型本体６から成るウエハ乾燥装
置において、ウェハキャリア３を収納する容器がターン
テーブル１上に載置され、この容器によりキャリア３の
開放部を遠心側に向けて回転台１上に固定される。ま
た、キャリア３の開放部側にはストッパが設けられ、回
転台１が回転してウエハに遠心力が加わってもこのスト
ッパによりウエハが係止されて外に飛び出すのを防いで
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はキャリアに収納されたウ
ェハを遠心力により乾燥させる方法とその装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、複数のウェハをキャリアに収
納したまま言わゆるバッチ方式で遠心力を利用した乾燥
装置は知られている。図５はこの要部の中央縦断面図で
図６は図５におけるＶ−Ｖ線断面図である。

【０００３】この装置は図示のとおり、固定された円筒
状の本体６は、底板６ａが傾斜面を形成し、最低部に排
水口７が設けられ、上縁開口部には中央部に円形の切欠
部５ａを有する蓋５が設置されている。そして、本体１
の底板６ａの中央部に設けた穴を貫通する回転軸８が設
けられ、本体内部には回転台１が配置され回転軸８の上
端に固定支持されている。

【０００４】ＰＦＡ等からなるウェハ２のキャリア３は
複数が一体となり、これを収容するために回転台の上面
周縁に固定された箱（以下クレードルと呼ぶ）の中に装
入される。図７に示すように、キャリア３のウエハが収
納される個所はそれぞれ、概ね八の字状を呈し、縮幅部
において急な段付部３ａを形成している。更に同部材は
内側面に溝３ｂを有し、ウェハ２はキャリア３の拡幅開
放部にウェハのオリエンテーションフラット部（以下、
フラット部という）の反対側から差込まれ、この溝３ｂ
に周縁部を遊嵌させ挟持される。図６の（ｂ）は（ａ）
図におけるｂ−ｂ線断面図でこの状態を表わしている。

【０００５】このようにしてキャリア３と共にクレード
ル４に収容されたウェハ２は、前記回転台１の上面にキ
ャリア３の縮幅部を遠心側にして配置され、図示しない
駆動源による回転によって回転軸８の回転に伴って回転
させられる。軸部の円弧矢印はこれの回転方向を表わ
し、８００〜１２００ｒ．ｐ．ｍの高速で回転する。し
たがって、回転台１上のクレードル４に収容されたキャ
リア３の中のウェハ２は遠心力によりウェハに付着した
水滴を振り切って乾燥するものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このようにして遠心力
によって乾燥させる従来のウェハ乾燥装置は、ウェハ２
の遠心力によってキャリア３に加圧すると共に、キャリ
ア３の段付部３ａを押し開くような圧力を与える。図７
はこの状態を示し、ウエハ上に描かれた太い矢印は遠心
力の働らく方向を、直角方向の矢印はキャリア３の縮幅
部が押し開かれる方向を表わしている。このような加圧
の結果、キャリアは仮想線で示す形に徐々に変形するこ
とになる。更にこれらの圧力はキャリア３のみならずこ
れを擁するクレードル４が、ウェハ２及びキャリア３の
総合的な遠心力を向けてその奥壁部４ａがふくらむ傾向
は避けられない。図８（ａ）はこの状態を表わし、
（ｂ）はキャリア３がウェハに押し開かれる結果、クレ
ードル４も中央部が両側方向へふくらみ変形することを
示している。

【０００７】このような結果、従来技術ではキャリア３
のウェハの挟持手段のピッチ等に狂いが生じ、自動機に
よるウェハ２の移載時にウェハ２の割れや、インターロ
ックにより装置が稼働しなくなる等のトラブルを発生さ
せるという問題が生じた。

【０００８】本発明はこのような従来技術の欠点を解消
し、キャリアが変形することのないウエハの乾燥方法及
びこの方法におけるウエハ乾燥装置を適用することを目
的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するために、複数枚のウエハが収納されたキャリアを
ターンテーブルに載置し、このターンテーブルを回転さ
せることによりキャリア内のウエハを乾燥させるウエハ
乾燥装置は、ウエハの出し入れを行うキャリアのウエハ
収納間口がターンテーブルの外側に向くように載置する
キャリア載置部材と、キャリアがキャリア載置部材に載
置された際に、ウエハ収納間口側にウエハが外に出ない
ように係止する係止部材とを有する。

【００１０】

【作用】本発明によれば、キャリアの収納間口がターン
テーブルの外側に向けて載置され、キャリア内の各ウエ
ハは係止部材で係止されて回転するので、回転に伴う遠
心力を直接キャリアの各部材が受けるのを避けられ、キ
ャリアの変形を防止できる。

【００１１】

【実施例】以下、ウエハの乾燥方法及びこの方法におけ
るウエハ乾燥装置の実施例について説明するが、従来と
同一部材については同一符号を用いる。

【００１２】図１〜図４は本発明に係るものであって、
図１は本例要部の中央部縦断面図、図２は（ａ）が図１
におけるII−II線断面図、（ｂ）は（ａ）図におけるｂ
−ｂ線断面図である。本例は図示の如く従来例と共通点
が多い。したがって、共通点の詳細は省略し従来との相
違点を中心に説明することにより本例の特徴が顕著にな
る筈である。

【００１３】即ち、本例の本体６及びこれに内設された
回転台１やウェハ２のキャリア３も従来と変りはない。
異る点は図２に示すとおり、キャリア３の回転台１の上
における向きである。キャリア３の開放部、すなわちウ
エハ収納間口側の向きが従来は求心側であるのに対して
本例の場合は遠心側に位置している。これによりキャリ
ア３はウェハ２の遠心圧力を全く受けることがなくな
る。

【００１４】したがって、ウェハの遠心圧力を処理する
方法として次の措置が採られている。そして図２及び図
３がその核心となる部材とその位置を表現している。即
ち、ストッパ１３が本実施例で新たに追加された係止部
材である。両図に示す如く、ウェハ２のフラット部２ａ
が、それより遠心側に位置するストッパ１３に当接し、
図３において矢印で方向を示したウェハ２の遠心力をス
トッパ１３が集中的に受け止めている。そしてこれが可
能な方法として次のようなキャリア３の収納手段が構じ
られている。

【００１５】図４は本例におけるキャリアの収納手段の
斜視図である。先ず、ウェハ２はフラット部２ａをキャ
リア３の開放部側にしてキャリア３の溝３ｂに挟持さ
れ、第一の収納手段たる容器１１にその開口側にキャリ
ア３の開放部を置いて収納される。図において仮想線は
収納状態のウェハ２及びキャリア３を示している。そし
て、同容器１１の底面中央部には切欠き穴１１ａが設け
られ、これは後述する重要な通気孔となっている。

【００１６】同容器１１の両側面にはピン１１ｂが設け
られ、次に述べるクレードル１１から突設されたガイド
１２ｃの溝に前記ピン１１ｂを係合させるものである。
これによりウェハ２等を収納した容器１１は容易にクレ
ードル１２内へ収納される。

【００１７】クレードル１２は予め回転台１の円周に背
面を合せて設置されている。したがってその開口は求心
側に向いており、これに収納された状態のキャリア３の
開放部及びウェハ２のフラット部２ａは共に遠心側に位
置することになる。クレードル１２も同じく背面中央に
切欠き部１２ｂが設けられ、そして、背面の残る縁どり
部１２ａに当接してその中央垂直にストッパ１３が固定
され設置されている。したがって、ここに収納された容
器１１内のウェハ２はそのフラット部２ａが必然的にス
トッパ１３に当接し、一方、キャリア３の開放部先端の
フランヂ部３ｃはクレードル１２の縁どり部１２ａの内
面に当接する。このような構造により、ウェハ２の遠心
圧力はストッパ１３が、キャリア３及び容器１１の遠心
圧力は縁どり部１２ａが夫々受けることになり、キャリ
ア３の変形要因は避けられる。

【００１８】回転台１にセットされたウェハ２は前記収
納手段に収容されたまま、８００〜１２００ｒ．ｐ．ｍ
の高速回転をさせられ、付着した水滴を振り切って乾燥
される。然し、この高速回転中の装置６内に於ては、内
部の各物体のみならず全てに遠心力が発生する。したが
って、ウェハ２の収納手段の中に於ても速い空気の流れ
を伴うことになり、各切欠き部１１ａ、１２ｂを設けて
いる所以である。振り切られた水滴もこの切欠き部から
放出されるが、一部分は収納手段内部に留ることにもな
るので、更に空気の流通性能を高めることも兼ねて容器
１１及びクレードル１２は無数に小孔をパンチングした
金属板を素材としている。

【００１９】

【発明の効果】以上、本発明のウェハの乾燥方法及びそ
の装置について詳述したが、本発明によれば、ウェハの
遠心力による圧力によってキャリアが変形することもな
く、キャリアの遠心力もキャリアのフランヂ部に集中し
てクレードルの背面で受止め、クレードル自体の変形も
発生しない。更に、下部を回転台に固定されたクレード
ルも、回転中は遠心力の作用により上部が遠心方向へ傾
くことにより、内部のウェハもキャリアの溝の中で上方
へ偏在することになる。したがってキャリアとの接触面
積が少くなるため、接触部に発生し易い乾燥不足や、し
み状の汚れ等の発生も防ぐことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェハ乾燥装置要部の縦断面図、

【図２】（ａ）は図１におけるII−II線断面図、（ｂ）
は（ａ）図におけるｂ−ｂ線断面図、

【図３】本発明のウェハ乾燥装置における遠心力の方
向、

【図４】本発明におけるキャリア、ウェハ収納手段の斜
視図、

【図５】従来のウェハ乾燥装置要部の縦断面図、

【図６】（ａ）は図５におけるＶ−Ｖ線断面図、（ｂ）
は（ａ）図におけるｂ−ｂ線断面図、

【図７】従来のウェハ乾燥装置における遠心力の方向、

【図８】（ａ）は変形したキャリアの正面図、（ｂ）は
同平面図である。

【符号の説明】 １ 回転台 ２ ウェハ ３ キャリア ４，１２ クレードル ５ 蓋 ６ 本体 ７ 排水口 ８ 回転軸 １１ 容器

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚のウエハが収納されたキャリアを
   ターンテーブルに載置し、このターンテーブルを回転さ
   せることにより前記キャリア内のウエハを乾燥させるウ
   エハ乾燥方法において、 前記キャリアはウエハの出し入れを行うウエハ収納間口
   が前記ターンテーブル外側に向けて載置され、 前記ウエハの収納間口には前記ターンテーブルが回転し
   た際に前記ウエハがこの収納間口より飛び出さないよう
   係止する係止部材が配設され、 前記ウエハが回転すると、前記キャリア内の各ウエハが
   前記係止部材に係止されながら回転することを特徴とす
   るウエハの乾燥方法。
2. 【請求項２】 複数枚のウエハが収納されたキャリアを
   ターンテーブルに載置し、このターンテーブルを回転さ
   せることにより前記キャリア内のウエハを乾燥させるウ
   エハ乾燥装置において、 ウエハの出し入れを行う前記キャリアのウエハ収納間口
   が前記ターンテーブルの外側に向くように載置するキャ
   リア載置部材と、 前記キャリアが前記キャリア載置部材に載置された際
   に、前記ウエハ収納間口側に前記ウエハが外に出ないよ
   うに係止する係止部材とを有し、 前記ウエハが回転すると、前記キャリア内の各ウエハが
   前記係止部材に係止されながら回転することを特徴とす
   るウエハ乾燥装置。