JPH0637158A - 半導体試験装置のハンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの方法を採用した半導体同時測定方法 - Google Patents
半導体試験装置のハンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの方法を採用した半導体同時測定方法Info
- Publication number
- JPH0637158A JPH0637158A JP4188285A JP18828592A JPH0637158A JP H0637158 A JPH0637158 A JP H0637158A JP 4188285 A JP4188285 A JP 4188285A JP 18828592 A JP18828592 A JP 18828592A JP H0637158 A JPH0637158 A JP H0637158A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- dut
- measured
- handler
- test
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- Withdrawn
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 パフォーマンス・ボードの配線に誤接続が存
在してハンドラ側の認識する被測定半導体番号と半導体
試験装置側の認識する被測定半導体番号とが異なること
に起因する被測定半導体の誤分類を防止する半導体試験
装置のハンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの
方法を採用した半導体同時測定方法を提供する。 【構成】 複数の被測定半導体ＤＵＴを同時に測定する
ことができる半導体試験装置により複数の被測定半導体
を同時測定するに際して、複数の被測定半導体ソケット
１ないし４に個別に被測定半導体を接続し、個別に測定
を実施してハンドラの被測定半導体番号確認後に半導体
同時測定を実施する半導体試験装置のハンドラの被測定
半導体番号確認方法およびこの方法を採用した半導体同
時測定方法
在してハンドラ側の認識する被測定半導体番号と半導体
試験装置側の認識する被測定半導体番号とが異なること
に起因する被測定半導体の誤分類を防止する半導体試験
装置のハンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの
方法を採用した半導体同時測定方法を提供する。 【構成】 複数の被測定半導体ＤＵＴを同時に測定する
ことができる半導体試験装置により複数の被測定半導体
を同時測定するに際して、複数の被測定半導体ソケット
１ないし４に個別に被測定半導体を接続し、個別に測定
を実施してハンドラの被測定半導体番号確認後に半導体
同時測定を実施する半導体試験装置のハンドラの被測定
半導体番号確認方法およびこの方法を採用した半導体同
時測定方法
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体試験装置のハ
ンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの方法を採
用した半導体同時測定方法に関し、特に半導体試験装置
（以下、ＩＣテスタ、と称す）のハンドラの認識する被
測定半導体（以下、ＤＵＴ、と称す）番号とＩＣテスタ
の認識するＤＵＴ番号とが一致していることを確認する
ＩＣテスタのハンドラのＤＵＴ番号確認方法およびこの
方法を採用した半導体同時測定方法に関する。
ンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの方法を採
用した半導体同時測定方法に関し、特に半導体試験装置
（以下、ＩＣテスタ、と称す）のハンドラの認識する被
測定半導体（以下、ＤＵＴ、と称す）番号とＩＣテスタ
の認識するＤＵＴ番号とが一致していることを確認する
ＩＣテスタのハンドラのＤＵＴ番号確認方法およびこの
方法を採用した半導体同時測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】複数のＤＵＴを同時に測定することがで
きるＩＣテスタのハンドラを使用して複数のＤＵＴを同
時測定する場合、ハンドラ側のＤＵＴ番号の認識はハン
ドラ側とＩＣテスタ側とを電気的に接続するパフォーマ
ンス・ボード上のＤＵＴソケットの位置に基づいて物理
的、固定的に認識する。これに対して、ＩＣテスタ側の
認識は物理的、固定的なものではなく、パフォーマンス
・ボードの配線の結果に対応するＤＵＴ番号を当該ＤＵ
Ｔ番号として認識する。そのために、パフォーマンス・
ボードの配線に誤接続があると、ハンドラ側の認識する
ＤＵＴ番号とＩＣテスタ側の認識するＤＵＴ番号とが異
なることとなり、結局ＤＵＴを誤まった分類をする結果
になる。
きるＩＣテスタのハンドラを使用して複数のＤＵＴを同
時測定する場合、ハンドラ側のＤＵＴ番号の認識はハン
ドラ側とＩＣテスタ側とを電気的に接続するパフォーマ
ンス・ボード上のＤＵＴソケットの位置に基づいて物理
的、固定的に認識する。これに対して、ＩＣテスタ側の
認識は物理的、固定的なものではなく、パフォーマンス
・ボードの配線の結果に対応するＤＵＴ番号を当該ＤＵ
Ｔ番号として認識する。そのために、パフォーマンス・
ボードの配線に誤接続があると、ハンドラ側の認識する
ＤＵＴ番号とＩＣテスタ側の認識するＤＵＴ番号とが異
なることとなり、結局ＤＵＴを誤まった分類をする結果
になる。
【０００３】これを図２を参照して説明する。図２にお
いて、ハンドラ側のＤＵＴ１はＩＣテスタ側のＤＵＴ１
に接続されているべき筈のものがＤＵＴ４に誤接続され
ている。同様に、ハンドラ側のＤＵＴ２はＩＣテスタ側
のＤＵＴ２に接続されているべき筈のものがＤＵＴ１に
誤接続されており、ハンドラ側のＤＵＴ３はＩＣテスタ
側のＤＵＴ３に接続されているべき筈のものがＤＵＴ２
に誤接続されており、ハンドラ側のＤＵＴ４はＩＣテス
タ側のＤＵＴ４に接続されているべき筈のものがＤＵＴ
３に誤接続されている。
いて、ハンドラ側のＤＵＴ１はＩＣテスタ側のＤＵＴ１
に接続されているべき筈のものがＤＵＴ４に誤接続され
ている。同様に、ハンドラ側のＤＵＴ２はＩＣテスタ側
のＤＵＴ２に接続されているべき筈のものがＤＵＴ１に
誤接続されており、ハンドラ側のＤＵＴ３はＩＣテスタ
側のＤＵＴ３に接続されているべき筈のものがＤＵＴ２
に誤接続されており、ハンドラ側のＤＵＴ４はＩＣテス
タ側のＤＵＴ４に接続されているべき筈のものがＤＵＴ
３に誤接続されている。
【０００４】ここで、テスト開始に際して、ハンドラ側
からＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号
としてＤＵＴ番号１を送信すると、ＩＣテスタ側はＤＵ
Ｔ番号２のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ
番号１のＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識してＤ
ＵＴ番号１テスト終了信号を返送することとなる。即
ち、実際はＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施したに
もかかわらず、これをＤＵＴ番号１のＤＵＴのテストを
実施したものと認識するのである。同様に、ハンドラ側
からＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号
としてＤＵＴ番号２を送信すると、ＩＣテスタ側はＤＵ
Ｔ番号３のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ
番号２のＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識してＤ
ＵＴ番号２テスト終了信号を返送する。ハンドラ側から
ＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号とし
てＤＵＴ番号３を送信すると、ＩＣテスタ側はＤＵＴ番
号４のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ番号
３のＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識してＤＵＴ
番号３テスト終了信号を返送する。ハンドラ側からＩＣ
テスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号としてＤ
ＵＴ番号４を送信すると、ＩＣテスタ側はＤＵＴ番号１
のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ番号４の
ＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識してＤＵＴ番号
４テスト終了信号を返送する。図２の例の場合、すべて
誤りとなる。
からＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号
としてＤＵＴ番号１を送信すると、ＩＣテスタ側はＤＵ
Ｔ番号２のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ
番号１のＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識してＤ
ＵＴ番号１テスト終了信号を返送することとなる。即
ち、実際はＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施したに
もかかわらず、これをＤＵＴ番号１のＤＵＴのテストを
実施したものと認識するのである。同様に、ハンドラ側
からＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号
としてＤＵＴ番号２を送信すると、ＩＣテスタ側はＤＵ
Ｔ番号３のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ
番号２のＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識してＤ
ＵＴ番号２テスト終了信号を返送する。ハンドラ側から
ＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号とし
てＤＵＴ番号３を送信すると、ＩＣテスタ側はＤＵＴ番
号４のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ番号
３のＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識してＤＵＴ
番号３テスト終了信号を返送する。ハンドラ側からＩＣ
テスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号としてＤ
ＵＴ番号４を送信すると、ＩＣテスタ側はＤＵＴ番号１
のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ番号４の
ＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識してＤＵＴ番号
４テスト終了信号を返送する。図２の例の場合、すべて
誤りとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、複数のＤ
ＵＴを同時に測定することができるＩＣテスタにより複
数のＤＵＴを同時測定するに際して、ハンドラ側のＤＵ
ＴソケットにＤＵＴを個別にセットすることによりハン
ドラのＤＵＴ番号を確認する方法およびこの方法を採用
した半導体同時測定方法を提供するものである。
ＵＴを同時に測定することができるＩＣテスタにより複
数のＤＵＴを同時測定するに際して、ハンドラ側のＤＵ
ＴソケットにＤＵＴを個別にセットすることによりハン
ドラのＤＵＴ番号を確認する方法およびこの方法を採用
した半導体同時測定方法を提供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】複数のＤＵＴを同時に測
定することができるＩＣテスタにより複数のＤＵＴを同
時測定するに際して、複数のＤＵＴソケットに個別にＤ
ＵＴを接続し、個別に測定を実施するＩＣテスタのハン
ドラのＤＵＴ番号確認方法を構成し、そして複数のＤＵ
Ｔを同時に測定することができるＩＣテスタにより複数
のＤＵＴを同時測定するに際して、複数のＤＵＴソケッ
トに個別にＤＵＴを接続し、個別に測定を実施してハン
ドラのＤＵＴ番号確認後に半導体同時測定を実施する半
導体同時測定方法をも構成した。
定することができるＩＣテスタにより複数のＤＵＴを同
時測定するに際して、複数のＤＵＴソケットに個別にＤ
ＵＴを接続し、個別に測定を実施するＩＣテスタのハン
ドラのＤＵＴ番号確認方法を構成し、そして複数のＤＵ
Ｔを同時に測定することができるＩＣテスタにより複数
のＤＵＴを同時測定するに際して、複数のＤＵＴソケッ
トに個別にＤＵＴを接続し、個別に測定を実施してハン
ドラのＤＵＴ番号確認後に半導体同時測定を実施する半
導体同時測定方法をも構成した。
【０００７】
【実施例】この発明の実施例を図１を参照して説明す
る。図１において、１ないし４はソケット番号であり、
それぞれ対応するＤＵＴが接続されるＤＵＴでもある。
左下りの斜線の部分はＤＵＴが接続されていることを示
す部分である。においては、番号１のソケットにＤＵ
Ｔ番号１のＤＵＴを接続し、ソケット番号２ないし４の
ソケットにはＤＵＴを接続しないものとする。ここで、
この通りに接続されているものとすると、ハンドラ側か
らＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号と
してＤＵＴ番号１を送信すれば、ＩＣテスタ側はＤＵＴ
番号１のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ番
号１のＤＵＴのテスト結果であるものと認識してＤＵＴ
番号１テスト終了信号を返送する。即ち、実際にＤＵＴ
番号１のＤＵＴのテストを実施し、これを当然ＤＵＴ番
号１のＤＵＴのテストを実施したものと認識する。
る。図１において、１ないし４はソケット番号であり、
それぞれ対応するＤＵＴが接続されるＤＵＴでもある。
左下りの斜線の部分はＤＵＴが接続されていることを示
す部分である。においては、番号１のソケットにＤＵ
Ｔ番号１のＤＵＴを接続し、ソケット番号２ないし４の
ソケットにはＤＵＴを接続しないものとする。ここで、
この通りに接続されているものとすると、ハンドラ側か
らＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信号と
してＤＵＴ番号１を送信すれば、ＩＣテスタ側はＤＵＴ
番号１のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤＵＴ番
号１のＤＵＴのテスト結果であるものと認識してＤＵＴ
番号１テスト終了信号を返送する。即ち、実際にＤＵＴ
番号１のＤＵＴのテストを実施し、これを当然ＤＵＴ番
号１のＤＵＴのテストを実施したものと認識する。
【０００８】ところで、図２の例の如く誤接続されてい
ると、ハンドラ側からＩＣテスタ側にテスト・スタート
・リクエスト信号としてＤＵＴ番号１を送信すれば、Ｉ
Ｃテスタ側はＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施しよ
うとするのであるが、番号２のソケットにはＤＵＴは存
在しないところから、ＩＣテスタ側においてこれを異常
として検知し、ハンドラ停止指令処置をとり、誤接続を
校正することは容易である。ＤＵＴ番号２のＤＵＴのテ
ストを実施しようとしても不可能であり、これをＤＵＴ
番号１のＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識する余
地はない。
ると、ハンドラ側からＩＣテスタ側にテスト・スタート
・リクエスト信号としてＤＵＴ番号１を送信すれば、Ｉ
Ｃテスタ側はＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施しよ
うとするのであるが、番号２のソケットにはＤＵＴは存
在しないところから、ＩＣテスタ側においてこれを異常
として検知し、ハンドラ停止指令処置をとり、誤接続を
校正することは容易である。ＤＵＴ番号２のＤＵＴのテ
ストを実施しようとしても不可能であり、これをＤＵＴ
番号１のＤＵＴのテスト結果であるものと誤認識する余
地はない。
【０００９】においては、番号２のソケットにＤＵＴ
番号２のＤＵＴを接続し、ソケット番号１、３および４
のソケットにはＤＵＴを接続しない。ここで、ハンドラ
側からＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信
号としてＤＵＴ番号２を送信するので、ＩＣテスタ側は
ＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤ
ＵＴ番号２のＤＵＴのテスト結果であるものと認識して
ＤＵＴ番号２のテスト終了信号を返送する。即ち、実際
にＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施し、これを当然
ＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施したものと認識す
る。図２の例の如く誤接続されていると、ＤＵＴ番号３
のＤＵＴのテストを実施しようとしても、番号２のソケ
ットにはＤＵＴは存在しないところから、ＤＵＴ番号２
のＤＵＴのテストを実施しようとしても不可能であり、
これを異常として検知し、ハンドラ停止指令処置をと
る。以下、、についても同様である。
番号２のＤＵＴを接続し、ソケット番号１、３および４
のソケットにはＤＵＴを接続しない。ここで、ハンドラ
側からＩＣテスタ側にテスト・スタート・リクエスト信
号としてＤＵＴ番号２を送信するので、ＩＣテスタ側は
ＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施してこの結果をＤ
ＵＴ番号２のＤＵＴのテスト結果であるものと認識して
ＤＵＴ番号２のテスト終了信号を返送する。即ち、実際
にＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施し、これを当然
ＤＵＴ番号２のＤＵＴのテストを実施したものと認識す
る。図２の例の如く誤接続されていると、ＤＵＴ番号３
のＤＵＴのテストを実施しようとしても、番号２のソケ
ットにはＤＵＴは存在しないところから、ＤＵＴ番号２
のＤＵＴのテストを実施しようとしても不可能であり、
これを異常として検知し、ハンドラ停止指令処置をと
る。以下、、についても同様である。
【００１０】ないしを実施することにより、パフォ
ーマンス・ボードに誤接続があるか否かを確認すること
ができる。パフォーマンス・ボードに誤接続は存在せず
に接続は正常であることを確認して後、ＤＵＴソケット
の全てにＤＵＴを接続して同時測定を実施する。
ーマンス・ボードに誤接続があるか否かを確認すること
ができる。パフォーマンス・ボードに誤接続は存在せず
に接続は正常であることを確認して後、ＤＵＴソケット
の全てにＤＵＴを接続して同時測定を実施する。
【００１１】
【発明の効果】以上の通りであって、複数のＤＵＴソケ
ットに個別にＤＵＴを接続し、個別に測定を実施するこ
とにより、パフォーマンス・ボードの配線に誤接続が存
在してハンドラ側の認識するＤＵＴ番号とＩＣテスタ側
の認識するＤＵＴ番号とが異なることを検知してこの誤
接続を校正し、これに起因するＤＵＴの誤分類を防止す
ることができる。
ットに個別にＤＵＴを接続し、個別に測定を実施するこ
とにより、パフォーマンス・ボードの配線に誤接続が存
在してハンドラ側の認識するＤＵＴ番号とＩＣテスタ側
の認識するＤＵＴ番号とが異なることを検知してこの誤
接続を校正し、これに起因するＤＵＴの誤分類を防止す
ることができる。
【図１】パフォーマンス・ボードの配線を示す図。
【図２】この発明の実施例を説明する図。
１、２、３、４ 被測定半導体ソケット ＤＵＴ 被測定半導体
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の被測定半導体を同時に測定するこ
とができる半導体試験装置により複数の被測定半導体を
同時測定するに際して、複数の被測定半導体ソケットに
個別に被測定半導体を接続し、個別に測定を実施するこ
とを特徴とする半導体試験装置のハンドラの被測定半導
体番号確認方法。 - 【請求項２】 複数の被測定半導体を同時に測定するこ
とができる半導体試験装置により複数の被測定半導体を
同時測定するに際して、複数の被測定半導体ソケットに
個別に被測定半導体を接続し、個別に測定を実施してハ
ンドラの被測定半導体番号確認後に半導体同時測定を実
施することを特徴とする半導体同時測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4188285A JPH0637158A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | 半導体試験装置のハンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの方法を採用した半導体同時測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4188285A JPH0637158A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | 半導体試験装置のハンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの方法を採用した半導体同時測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0637158A true JPH0637158A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16220965
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4188285A Withdrawn JPH0637158A (ja) | 1992-07-15 | 1992-07-15 | 半導体試験装置のハンドラの被測定半導体番号確認方法およびこの方法を採用した半導体同時測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637158A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010160133A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | King Yuan Electronics Co Ltd | テストステーションの自動位置合わせ方法と装置 |
-
1992
- 1992-07-15 JP JP4188285A patent/JPH0637158A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010160133A (ja) * | 2009-01-09 | 2010-07-22 | King Yuan Electronics Co Ltd | テストステーションの自動位置合わせ方法と装置 |
| TWI386659B (zh) * | 2009-01-09 | 2013-02-21 | 京元電子股份有限公司 | 測試站自動對位方法與裝置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |