JPH0637175A - 保管箱のキャップ開閉装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電源が切れてもキャップの吸着ができ、キャ
ップのズレも生じず、発熱しにくく、しかも構造の簡単
な保管箱のキャップ開閉装置を提供すること。 【構成】 保管箱本体１１の内部を真空にしてキャップ
１３をその開口に吸着せしめる保管箱１０を具備し、キ
ャップ１３をキャップ吸着部３５に吸着して保管箱本体
１１から着脱する保管箱１０のキャップ開閉装置３１で
ある。キャップ１３には磁性体１５を埋め込み、キャッ
プ開閉装置３１には永久磁石３７とコイル３９からなる
電磁石４１を取り付ける。キャップ開閉装置３１のキャ
ップ１３への接近時及び離脱時にはコイル３９に電流を
流して電磁石４１の磁力を弱め又は０とし、それ以外の
ときはコイル３９への電流の供給を停止して永久磁石３
７の磁力のみでキャップ１３の磁性体１５を吸引せし
め、キャップ１３の保管箱本体１１への押し付けはキャ
ップ開閉装置３１自体の押付力で行わしめるようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造プロセスそ
の他において、ウエハ，ガラス基板，ディスク等の搬送
・保管に用いる保管箱に関し、特に該保管箱のキャップ
開閉装置に関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来、保管箱は容器状の保管箱本体の内部
にウエハ，ガラス基板，ディスク等のキャリヤを収納し
てその開口にキャップを取り付け、該保管箱本体内部を
真空にすることで該キャップを保管箱本体に吸着・固定
せしめて構成されている。

【０００３】図６は特願平２−３１２８２５号において
本願出願人が提案した保管箱のキャップ開閉装置を示す
図であり、同図は保管箱８０を接続室９０に接続した状
態を示している。

【０００４】ここで保管箱８０はウエハ等のキャリヤを
収納する保管箱本体８１の開口にキャップ８３を取り付
け、該保管箱本体８１内部を真空にすることで該キャッ
プ８３を保管箱本体８１に吸着・固定せしめて構成され
ている。

【０００５】一方接続室９０は、接続室本体９１内に作
業室９２を設け、該作業室９２内にキャップ開閉装置９
５を挿入して構成されている。このキャップ開閉装置９
５は駆動機構９３によって上下左右に駆動可能である。
またキャップ開閉装置９５内には電磁石９６，９７が埋
設されており、電源９８によって電流が流される。

【０００６】そしてこの保管箱８０からキャップ８３を
取り外すには、まずキャップ開閉装置９５を移動してキ
ャップ８３に接触せしめ、電源９８から電磁石９６，９
７に電流を流して該キャップ開閉装置９５をキャップ８
３に吸着させる。

【０００７】次に接続室本体９１に取り付けられた切換
バルブ９４を真空側に切り換えて、作業室９２内を真空
にする。これによって作業室９２の内部圧力と保管箱８
０の内部圧力が同一となるので、キャップ８３は保管箱
本体８１に吸着しなくなる。

【０００８】次に駆動機構９３によってキャップ開閉装
置９５を後退，下降させ、下部室９９内に収納すると、
キャップ開閉装置９５の電磁石９６，９７の磁力によっ
て吸着されたキャップ８３もこれと共に移動して保管箱
本体８１から取り外され、下部室９９内に収納される。

【０００９】そして切換バルブ９４によって作業室９２
と保管箱本体８１内を大気圧とした後に、扉１００を開
いて、保管箱本体８１からのウエハ等の取り出しや収納
作業を行う。

【００１０】そして扉１００を閉じた後、切換バルブ９
４によって作業室９２と保管箱本体８１内を再び真空と
した後に、キャップ開閉装置９５を上昇，前進させてキ
ャップ８３で保管箱本体８１の開口を覆い、且つ該キャ
ップ開閉装置９５自体の押圧力によってキャップ８３を
保管箱本体８１に押し付ける。そして切換バルブ９４に
よって作業室９２内を大気圧とすれば、キャップ８３は
保管箱本体８１に吸着した状態となる。そして電磁石９
６，９７への通電を停止してアーム９５を後退させる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例には以下のような問題点があった。 キャップ開閉装置９５がキャップ８３を吸引している
ときに停電などにより電磁石９６，９７への電流の供給
が切れると、キャップ８３が落下してしまう。

【００１２】キャップ開閉装置９５に取り付けた電磁
石９６，９７によって長時間キャップ８３を吸引してい
ると発熱してしまう。この対策として冷却機構を内部に
設ける方法が考えられるが、その構造が複雑化してしま
う。

【００１３】キャップ８３を保管箱本体８１から取り
外してキャップ開閉装置９５に吸着して移動または保管
しているときにもし該キャップ開閉装置９５へのキャッ
プ８３の吸着位置がズレると、再度キャップ８３を保管
箱本体８１に取り付けるとき、元の取り付け位置とズレ
が生じてしまう。

【００１４】上記各問題点に対する対策としてメカニカ
ルなクランプ機構を設けたり、キャップを安定状態に収
容する場所を設けることが考えられるが、いずれも構造
が複雑化してしまう。

【００１５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、電源が切れてもキャップの吸着がで
き、キャップのズレも生じず、発熱しにくく、しかも構
造の簡単な保管箱のキャップ開閉装置を提供することに
ある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、図１に示すように、内容物を収納する保管
箱本体１１と該保管箱本体１１の開口を塞ぐキャップ１
３からなり該保管箱本体１１の内部を真空にして前記キ
ャップ１３を保管箱本体１１の開口に吸着せしめる保管
箱１０を具備し、該キャップ１３を保管箱本体１１から
着脱する保管箱１０のキャップ開閉装置３１において、
前記保管箱１０のキャップ１３又は前記キャップ開閉装
置３１のいずれか一方には少なくとも１個の磁性体１５
を埋め込み、前記キャップ１３又は前記キャップ開閉装
置３１のもう一方には磁性体１５に対向する位置に少な
くとも１個の永久磁石３７とコイル３９からなる電磁石
４１を取り付け、前記キャップ開閉装置３１のキャップ
１３への接近時及び離脱時には前記電磁石４１のコイル
３９に電流を流して該電磁石４１の前記磁性体１５への
吸引力を弱め又は０とし、それ以外のときはコイル３９
への電流を切って永久磁石３７の磁力のみで前記磁性体
１５を吸引せしめ、キャップ１３の保管箱本体１１への
押し付けは機械的な押付力で行わしめる制御手段を設け
た。

【００１７】また本発明は、図１に示すように、内容物
を収納する保管箱本体１１と該保管箱本体１１の開口を
塞ぐキャップ１３からなり該保管箱本体１１の内部を真
空にして前記キャップ１３を保管箱本体１１の開口に吸
着せしめる保管箱１０を具備し、該キャップ１３を保管
箱本体１１から着脱する保管箱１０のキャップ開閉装置
３１において、前記保管箱１０のキャップ１３又は前記
キャップ開閉装置３１のいずれか一方には少なくとも１
個の永久磁石６５を埋め込み、前記キャップ１３又は前
記キャップ開閉装置３１のもう一方には永久磁石６５に
対向する位置に少なくとも１個の磁性体６７とコイル３
９からなる電磁石４１を取り付け、前記キャップ開閉装
置３１のキャップ１３への接近時及び離脱時には前記電
磁石４１のコイル３９に電流を流して該電磁石４１の前
記永久磁石６５への吸引力を弱め又は０とし、キャップ
１３を保管箱本体１１へ押し付ける時は前記コイル３９
により大きな電流を流して前記永久磁石６５に対して反
発力を発生させ、それ以外のときはコイル３９への電流
を切って磁性体６７を永久磁石６５にその磁力のみで吸
引せしめる制御手段を設けた。

【００１８】また本発明は、前記キャップ開閉装置３１
に前記キャップ１３の側面に当接してこれを付勢するこ
とでキャップ１３の横ずれを防止する複数個の位置決め
用のストッパー４５，４６，４７，４８を設けた。

【００１９】

【作用】キャップ１３とキャップ開閉装置３１の吸着は
永久磁石３７又は６５の磁力のみによって行われる。従
って停電などによってコイル３９に電流が供給されなく
なっても、キャップ１３は永久磁石３７又は６５によっ
て吸着されているので、キャップ開閉装置３１から落下
することはない。

【００２０】またキャップ開閉装置３１がキャップ１３
を保持しているときはコイル３９に通電を行う必要がな
いので、コイル３９への通電時間が短く、発熱量が少な
い。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。 〔第１実施例〕図１は保管箱のキャップ開閉装置を示す
要部拡大断面図である。同図において１０は保管箱であ
り、３１はキャップ開閉装置である。

【００２２】保管箱１０は内容物１２０を収納した断面
略コ字状の保管箱本体１１と、該保管箱本体１１の開口
を塞ぐキャップ１３を具備し、該保管箱本体１１の内部
を真空にして前記キャップ１３を保管箱本体１１に吸着
・固定せしめて構成されている。キャップ１３の中央に
は、内部に磁性体１５を収納した部材１７によって突起
部１９が設けられている。

【００２３】一方接続室２０は、接続室本体２１内に作
業室２３を設けるとともに、該作業室２３内にキャップ
開閉装置３１を収納して構成されている。ここで接続室
本体２１には、保管箱１０を取り付ける装着口２５を設
けるとともに、ゲートバルブ７１に連通する開口２７を
設け、またキャップ開閉装置３１を挿入する穴２９が設
けられている。またこの接続室本体２１には配管２８が
取り付けられており、該配管２８には図示しない真空バ
ルブとリークバルブが接続され、リークバルブを閉じて
真空バルブを開くと作業室２３内は真空となり、真空バ
ルブを閉じてリークバルブを開くと作業室２３内は大気
圧となる。

【００２４】キャップ開閉装置３１は中空の棒部材３３
の先端にキャップ吸着部３５を設けて構成されており、
このキャップ吸着部３５は内部に永久磁石３７とコイル
３９とからなる電磁石４１を収納している。なおコイル
３９の引き出しリード線は、前記棒部材３３の中空部か
ら外に引き出されている。一方キャップ吸着部３５の外
周には、前記キャップ１３の突起部１９の側面を覆うよ
うに断面略コ字状のストッパー保持部４３が設けられ、
該ストッパー保持部４３の内周面の上下左右には４つの
ストッパー４５，４６，４７，４８（同図にはストッパ
ー４６，４８は図示せず）が取り付けられている。

【００２５】これらストッパー４５，４６，４７，４８
は、例えば圧電アクチュエータで構成され、通電してい
ないときは同図の点線の位置にあり、通電すると突出し
てキャップ１３の突起部１９の側面を押圧して付勢しそ
の位置決めを行うものである。ここで図２はキャップ１
３の突起部１９とストッパー４５，４６，４７，４８の
位置関係を示す図である。同図に示すようにストッパー
４５，４６，４７，４８が突出したときは、それぞれが
キャップ１３の突起部１９の側面を押圧して付勢し、そ
の力はキャップ１３の突起部１９をストッパー保持部４
３の中心位置に位置決めするように働く。

【００２６】ここで図３は図１に示すキャップ開閉装置
３１を用いた内容物搬送・保管装置の全体概略構成図で
ある。同図に示すように、接続室２０の開口２７はゲー
トバルブ７１，保管箱内容物収納取出装置７３，ゲート
バルブ７５を介してプロセスシステム７７に接続されて
いる。

【００２７】またキャップ開閉装置３１は駆動機構７９
によって上下左右に駆動可能に支持されており、該駆動
機構７９側の穴２９はベローズ５１によって密封されて
いる。

【００２８】次にこのキャップ開閉装置３１の動作を図
１乃至図４を用いて説明する。ここで図４はキャップ開
閉装置３１を用いてキャップ１３を開閉する工程を示す
図である。同図に示すように時間ｔ＝０においては、作
業室２３内の圧力は大気圧であり、キャップ開閉装置３
１は後退している（即ちキャップ１３から離れてい
る）。従ってキャップ開閉装置３１が最も後退した位置
近傍でオンする後退端リミットスイッチ（図示せず）が
オンしている。またこのときコイル３９への電流は停止
されており、このため電磁石４１全体としては永久磁石
３７の磁力を生じている。またストッパ４５，４６，４
７，４８はいずれも図１，２の点線で示す位置に後退し
ている。またこのとき保管箱１０は図示しない搬送装置
によって接続室２０の装着口２５に外側から押し付けら
れているものとする。

【００２９】キャップ１３を取り外すには、まずコイル
３９に電流を流して永久磁石３７の磁力を打ち消す方向
に励磁し、これによって電磁石４１の磁力を０とする
（時間ｔ₁）。

【００３０】次にキャップ開閉装置３１の前進を開始す
る（時間ｔ₂）。このとき、後退端リミットスイッチが
オフする（時間ｔ₃）。

【００３１】キャップ開閉装置３１はそのキャップ吸着
部３５がキャップ１３の突起部１９に当接してさらにキ
ャップ開閉装置３１自体の押付力によってキャップ吸着
部３５をキャップ１３に所定の押圧力で強く押し付ける
まで前進する（時間ｔ₄）。この押圧力は図示しないロ
ードセルが検出する。なおこのとき電磁石４１の磁界は
コイル３９によって消磁されているので、磁性体１５に
対して吸着力は働かず、このため両者が当接する際に両
者間の吸着による振動などが生じない。

【００３２】次にストッパ４５，４６，４７，４８が突
出してキャップ１３の突起部１９を把持する（時間ｔ₅
〜ｔ₆）。但しこのときキャップ１３は保管箱本体１１
に強く吸着して固定されているので、たとえキャップ１
３の突起部１９がストッパー保持部４３の中心位置に対
してずれていても、ストッパー４５，４６，４７，４８
によってその位置が動くことはない。

【００３３】そしてここでコイル３９への通電を停止し
て電磁石４１に永久磁石３７による磁界を生じさせ、該
電磁石４１をキャップ１３の磁性体１５に吸着させる
（ｔ₆）。

【００３４】次に作業室２３の配管２８に接続された図
示しない真空バルブを開いて作業室２３内を真空にする
（時間ｔ₇〜ｔ₈）。このとき保管箱本体１１は外部の大
気圧に押されて装置本体２１に強く吸着されるので、両
者間を密封しているＯリング６１（図１参照）は潰され
て図１に示す右方向に若干移動して保管箱本体１１は装
置本体２１に強く密着し、また保管箱本体１１内の圧力
と作業室２３内の圧力が同一となるのでキャップ１３は
保管箱本体１１に吸着されなくなってＯリング６３の弾
性力によってキャップ１３は保管箱本体１１から図１に
示す右方向に若干浮き上がる。このため、キャップ開閉
装置３１は図４に示す時間ｔ₇〜ｔ₈の間に若干後退す
る。

【００３５】そして作業室２３内が所定の真空状態とな
った後に、キャップ開閉装置３１の後退を開始すれば
（時間ｔ₉）、保管箱本体１１への吸着力のなくなった
キャップ１３もこのキャップ開閉装置３１とともに後退
する。なおこのときロードセルに加わっていた荷重はな
くなる。

【００３６】そしてキャップ開閉装置３１が後退端リミ
ットスイッチをオンして（時間ｔ₁₀）、その後退を終了
する（時間ｔ₁₁）。なおキャップ開閉装置３１は後退完
了後に下方に向かって移動する。

【００３７】なおこのようにキャップ１３がキャップ開
閉装置３１に吸着・保持されている状態のときに、瞬間
的にコイル３９への通電をカットすると、瞬間的にキャ
ップ１３はキャップ開閉装置３１への吸着・固定を解除
されるので、ストッパー４５，４６，４７，４８の付勢
力によってキャップ１３の位置が補正されてその突起部
１９がストッパー保持部４３の中心位置に移動し、この
状態で再びキャップ１３はキャップ開閉装置３１に吸着
・固定される。

【００３８】次に保管箱本体１１から内容物１２０が取
り出されるが、その説明は図３を用いて簡単に行う。

【００３９】即ちキャップ開閉装置３１によってキャッ
プ１３を矢印Ｆ方向に退避した後、ゲートバルブ７１を
開いて保管箱内容物収納取出装置７３内に収納されてい
る図示しないロボットのアームによって前記保管箱本体
１１内に収納していた内容物１２０を取り出し、ゲート
バルブ７５を介してプロセスシステム７７内に移送す
る。

【００４０】一方プロセスシステム７７内での処理が終
了した内容物１２０は、保管箱内容物収納取出装置７３
の図示しないロボットのアームによって該プロセスシス
テム７７内から前記保管箱本体１１内に移送され、ゲー
トバルブ７１が閉じられる。そして次にキャップ開閉装
置３１によってキャップ１３が保管箱本体１１に被せら
れるが、その工程は再び主として図１と図４を用いて説
明する。

【００４１】即ち、保管箱本体１１内に内容物１２０を
収納した後、まずキャップ開閉装置３１を上昇・前進さ
せてキャップ１３を保管箱本体１１に当接させさらにキ
ャップ開閉装置３１自体の押付力によってロードセルが
所定の荷重を検出するまでキャップ１３を保管箱本体１
１に強く押し付ける（時間ｔ₁₂〜ｔ₁₄）。

【００４２】次に作業室２３の配管２８に接続された真
空バルブを閉じてリークバルブを開き、作業室２３内を
大気圧にする（時間ｔ₁₅〜ｔ₁₆）。作業室２３が大気圧
となることで保管箱本体１１は装置本体２１に吸着され
なくなり、両者間を密封しているＯリング６１（図１参
照）の弾発力によって保管箱本体１１は装置本体２１か
ら図１の左方向に若干浮き上がり、またキャップ１３は
保管箱本体１１に強く吸着されるのでＯリング６３は潰
され、キャップ１３は図１の左方向に若干移動して保管
箱本体１１との当接面は密着する。このためキャップ開
閉装置３１は図４に示す時間ｔ₁₅〜ｔ₁₆の間に若干さら
に前進する。

【００４３】次にコイル３９への通電を開始して電磁石
４１の磁力をなくしてキャップ１３の磁性体１５への吸
着を解除し（時間ｔ₁₇）、次にストッパー４５，４６，
４７，４８を引っ込め（時間ｔ₁₈〜ｔ₁₉）、キャップ開
閉装置３１の後退を開始する（時間ｔ₂₀）。このときロ
ードセルに加わっていた荷重はなくなる（時間ｔ₂₀）。
そして後退端リミットスイッチがオンした（時間ｔ₂₁）
後に、キャップ開閉装置３１の後退を停止する（時間ｔ
₂₂）。そして最後にコイル３９への通電をオフする（時
間ｔ₂₃）。

【００４４】〔第２実施例〕第２実施例にかかるキャッ
プ開閉装置３１もその構成は前記第１実施例のキャップ
開閉装置３１と同様であり、相違する点は、図１に示す
ように、キャップ１３に埋設した磁性体１５を永久磁石
６５に変更し、電磁石４１を構成する永久磁石３７を磁
性体６７に変更した点である。

【００４５】次にこのキャップ開閉装置３１の動作を図
１乃至図３及び図５を用いて説明する。ここで図５はキ
ャップ開閉装置３１を用いてキャップ１３を開閉する工
程を示す図である。同図に示すように時間ｔ＝０におい
ては、作業室２３内の圧力は大気圧であり、キャップ開
閉装置３１は後退している。従って後退端リミットスイ
ッチ（図示せず）がオンしている。またこのときコイル
３９へは通電されておらず、電磁石４１全体としては磁
力を生じていない。またストッパ４５，４６，４７，４
８はいずれも図１，２の点線で示す位置に後退してい
る。

【００４６】キャップ１３を取り外すには、まずコイル
３９に所定の電流（ＯＮ１）を流して前記キャップ１３
の永久磁石６５の吸引力を打ち消す方向の磁界を生じさ
せ、これによって該永久磁石６５と電磁石４１の吸引・
反発力を０とし（時間ｔ₁）、次にキャップ開閉装置３
１を前進する（時間ｔ₂）。このとき後退端リミットス
イッチがオフする（時間ｔ₃）。

【００４７】次にキャップ開閉装置３１が前進を終了し
てそのキャップ吸着部３５がキャップ１３の突起部１９
に当接する（時間ｔ₄）。この当接の検知は図示しない
ギャップセンサが行う。このとき電磁石４１と磁性体の
間には吸着力が働いていないので、両者が当接する際に
両者の吸着による振動などが生じない。

【００４８】次にストッパ４５，４６，４７，４８が突
出してキャップ１３の突起部１９を把持する（時間ｔ₅
〜ｔ₆）。

【００４９】そして次にコイル３９にさらに大きな電流
（ＯＮ２）を流して前記キャップ１３の永久磁石６５に
対して反発力を生じさせる（時間ｔ₇）。これによっ
て、キャップ開閉装置３１自体をキャップ１３に押圧し
なくても、キャップ１３を所定の力で保管箱本体１１に
押圧できる。

【００５０】次に作業室２３の配管２８に接続された真
空バルブを開いて作業室２３内を真空にする（時間ｔ₈
〜ｔ₉）。

【００５１】そして作業室２３内が所定の真空状態とな
った後に、コイル３９への通電をオフしてキャップ１３
とキャップ開閉装置３１間を吸着させる（時間ｔ₁₀）。

【００５２】次にキャップ開閉装置３１の後退を開始す
れば（時間ｔ₁₁）、保管箱本体１１への吸着力のなくな
ったキャップ１３もこのキャップ開閉装置３１とともに
後退する。そして後退端リミットスイッチがオンした
（時間ｔ₁₂）後に、キャップ開閉装置３１の後退を停止
する（時間ｔ₁₃）。なおキャップ開閉装置３１は後退完
了後に下方に向かって移動させる。

【００５３】次に保管箱本体１１から内容物１２０が取
り出されるが、その説明は前記第１実施例と同一なので
省略する。

【００５４】次にキャップ開閉装置３１によってキャッ
プ１３を保管箱本体１１に取り付けるには、まずキャッ
プ開閉装置３１を上昇・前進させてキャップ１３を保管
箱本体１１に当接する（時間ｔ₁₄〜ｔ₁₆）。この間に後
退端リミットスイッチはオフとなる（時間ｔ₁₅）。

【００５５】次にコイル３９に大きな電流（ＯＮ２）を
流してキャップ１３の永久磁石６５に対して反発力を生
じさせ（時間ｔ₁₇）、これによってキャップ１３を保管
箱本体１１に所定の力で押圧する。

【００５６】次に作業室２３の配管２８に接続された真
空バルブを閉じてリークバルブを開き、室２３内を大気
圧にする（時間ｔ₁₈〜ｔ₁₉）。

【００５７】次にコイル３９へ通電する電流値を（ＯＮ
２）から（ＯＮ１）に切り換えて電磁石４１のキャップ
１３の磁性体１５への吸着力をなくして（時間ｔ₂₀）、
次にストッパー４５，４６，４７，４８を引っ込め（時
間ｔ₂₁〜ｔ₂₂）、キャップ開閉装置３１を後退端リミッ
トスイッチがオンする（時間ｔ₂₄）まで後退させる（時
間ｔ₂₃〜ｔ₂₅）。この間にギャップセンサはオフとなる
（時間ｔ₂₃）。そして最後にコイル３９への通電をオフ
する（時間ｔ₂₆）。

【００５８】〔第３実施例〕図１の実施例では、中央に
１個の電磁石４１を取り付けているが、２個以上複数個
を配しても良い。それ以外でも、電磁石，磁性体，永久
磁石の取り付け位置や個数は種々の変形が可能であるこ
とは言うまでもない。

【００５９】〔第４実施例〕図１の実施例では、キャッ
プ１３は１個だが、図７（ａ），（ｂ）に示すように、
保管箱本体１１′又はキャップ１３′に穴Ｂを設け、且
つこれを塞ぐ第２のキャップＡを設け、この第２のキャ
ップＡに磁性体や電磁石を取り付け、これを本発明を用
いて開閉するようにしてもよい。

【００６０】ここで第２のキャップＡは例えば以下のよ
うに利用できる。 １）保管箱を保存する際に、該保管箱内部の圧力を保持
するため、キャップＡを常時又は定期的に開き、他の真
空装置を用いて真空排気する。

【００６１】２）第１のキャップ１３′の開閉バルブと
して用いる（第２のキャップＡを開いた後に、保管箱本
体１１′内部を大気圧とすることによって第１のキャッ
プ１３′を開閉する）。

【００６２】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる保管箱のキャップ開閉装置によれば、以下のような
優れた効果を有する。 キャップ開閉装置がキャップを吸着してこれを保持し
ているときに電源が切れても、キャップは永久磁石によ
って吸着されているので、キャップ開閉装置から落下す
ることはなく、安全である。

【００６３】またコイルへ通電を行うのはキャップ開
閉装置をキャップに接近するときと離脱する時だけなの
で、電流を流している時間が短く、発熱量が少なくて済
む。

【００６４】キャップ開閉装置に簡単なストッパー機
構を設けるだけでキャップのメカニカルな位置決めがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１，第２実施例にかかる保管箱のキャップ開
閉装置を示す要部拡大断面図である。

【図２】キャップ１３の突起部１９とストッパー４５，
４６，４７，４８の位置関係を示す図である。

【図３】図１に示すキャップ開閉装置３１を用いた内容
物搬送・保管装置の全体概略構成図である。

【図４】第１実施例にかかるキャップ開閉装置３１を用
いてキャップ１３を開閉する工程を示す図である。

【図５】第２実施例にかかるキャップ開閉装置３１を用
いてキャップ１３を開閉する工程を示す図である。

【図６】本願出願人が先に提案した保管箱のキャップ開
閉装置を示す図である。

【図７】本願発明の第４実施例を示す図である。

【符号の説明】

１０ 保管箱 １１ 保管箱本体 １３ キャップ １５ 磁性体 １９ 突起部 ２０ 接続室 ３１ キャップ開閉装置 ３７ 永久磁石 ３９ コイル ４１ 電磁石 ４５，４６，４７，４８ ストッパー ６５ 永久磁石 ６７ 磁性体

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内容物を収納する保管箱本体と該保管箱
   本体の開口を塞ぐキャップからなり該保管箱本体の内部
   を真空にして前記キャップを保管箱本体の開口に吸着せ
   しめる保管箱を具備し、該キャップを保管箱本体から着
   脱する保管箱のキャップ開閉装置において、 前記保管箱のキャップ又は前記キャップ開閉装置のいず
   れか一方には少なくとも１個の磁性体を埋め込み、前記
   キャップ又は前記キャップ開閉装置のもう一方には前記
   磁性体に対向する位置に少なくとも１個の永久磁石とコ
   イルからなる電磁石を取り付け、 前記キャップ開閉装置のキャップへの接近時及び離脱時
   には前記電磁石のコイルに電流を流して該電磁石の前記
   磁性体への吸引力を弱め又は０とし、それ以外のときは
   コイルへの電流を切って永久磁石の磁力のみで前記磁性
   体を吸引せしめ、キャップの保管箱本体への押し付けは
   機械的な押付力で行わしめる制御手段を設けたことを特
   徴とする保管箱のキャップ開閉装置。
2. 【請求項２】 内容物を収納する保管箱本体と該保管箱
   本体の開口を塞ぐキャップからなり該保管箱本体の内部
   を真空にして前記キャップを保管箱本体の開口に吸着せ
   しめる保管箱を具備し、該キャップを保管箱本体から着
   脱する保管箱のキャップ開閉装置において、 前記保管箱のキャップ又は前記キャップ開閉装置のいず
   れか一方には少なくとも１個の永久磁石を埋め込み、前
   記キャップ又は前記キャップ開閉装置のもう一方には前
   記永久磁石に対向する位置に少なくとも１個の磁性体と
   コイルからなる電磁石を取り付け、 前記キャップ開閉装置のキャップへの接近時及び離脱時
   には前記電磁石のコイルに電流を流して該電磁石の前記
   永久磁石への吸引力を弱め又は０とし、キャップを保管
   箱本体へ押し付ける時は前記コイルにより大きな電流を
   流して前記永久磁石に対して反発力を発生させ、それ以
   外のときはコイルへの電流を切って磁性体を永久磁石に
   その磁力のみで吸引せしめる制御手段を設けたことを特
   徴とする保管箱のキャップ開閉装置。
3. 【請求項３】 前記キャップ開閉装置には前記キャップ
   の側面に当接してこれを付勢することでキャップの横ず
   れを防止する複数個の位置決め用のストッパーを設けた
   ことを特徴とする請求項１又は２記載の保管箱のキャッ
   プ開閉装置。