JPH0637574A - 弾性表面波発振子および弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波発振子および弾性表面波フィルタInfo
- Publication number
- JPH0637574A JPH0637574A JP19122792A JP19122792A JPH0637574A JP H0637574 A JPH0637574 A JP H0637574A JP 19122792 A JP19122792 A JP 19122792A JP 19122792 A JP19122792 A JP 19122792A JP H0637574 A JPH0637574 A JP H0637574A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- acoustic wave
- surface acoustic
- thin film
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 26
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 21
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 6
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 6
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 5
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 abstract 3
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 abstract 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002592 echocardiography Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229920000592 inorganic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】有機系高分子薄膜へ印加する直流電圧を変化さ
せることにより共振周波数あるいは通過帯域の周波数，
幅を調整し、すだれ状電極部分の製作精度の緩和などを
改善する。 【構成】圧電単結晶基板８と、圧電単結晶基板８の表面
に蒸着により形成された有機系高分子薄膜２と、有機系
高分子薄膜２の表面にマスク蒸着により形成された櫛形
のすだれ状電極１と、有機系高分子薄膜の両端に共振周
波数調整用の直流電圧を印加するための電極６とで構成
される。
せることにより共振周波数あるいは通過帯域の周波数，
幅を調整し、すだれ状電極部分の製作精度の緩和などを
改善する。 【構成】圧電単結晶基板８と、圧電単結晶基板８の表面
に蒸着により形成された有機系高分子薄膜２と、有機系
高分子薄膜２の表面にマスク蒸着により形成された櫛形
のすだれ状電極１と、有機系高分子薄膜の両端に共振周
波数調整用の直流電圧を印加するための電極６とで構成
される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はすだれ状電極を有する弾
性表面波発振子および弾性表面波フィルタに関する。
性表面波発振子および弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の弾性表面波発振子は、圧
電体結晶基板の表面に櫛形のすだれ状電極が電極の幅と
電極と電極との間隔が全て等しく一様に、弾性表面波の
伝播方向に沿って配置されている。この幅と間隔は、通
常弾性表面波の波長の１／４に設計される。原則的には
この幅と間隔により共振周波数が決まるがしかし、所望
の共振周波数を得る為には、このような幅と間隔の一様
なすだれ状電極では十分でなく、電極の設計上で種々の
工夫が行なわれている。
電体結晶基板の表面に櫛形のすだれ状電極が電極の幅と
電極と電極との間隔が全て等しく一様に、弾性表面波の
伝播方向に沿って配置されている。この幅と間隔は、通
常弾性表面波の波長の１／４に設計される。原則的には
この幅と間隔により共振周波数が決まるがしかし、所望
の共振周波数を得る為には、このような幅と間隔の一様
なすだれ状電極では十分でなく、電極の設計上で種々の
工夫が行なわれている。
【０００３】また、この種の弾性表面波素子を応用した
弾性表面波フィルタは、同一圧電圧基板上に２組みの弾
性表面波素子を左右に配置しインターデジタル電極を構
成したもので、この左右の弾性表面波素子の間隔により
共振子のＱを下げ、通過帯域幅を確保している。
弾性表面波フィルタは、同一圧電圧基板上に２組みの弾
性表面波素子を左右に配置しインターデジタル電極を構
成したもので、この左右の弾性表面波素子の間隔により
共振子のＱを下げ、通過帯域幅を確保している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般にすだれ状電極に
より構成した弾性表面波の音速は、圧電体結晶基板のみ
の場合の音速とすだれ状電極を形成する金属表面の音速
とでは異なり、したがってすだれ状電極部分を通過する
弾性表面波の音速とすだれ状電極の無い圧電体結晶部分
を伝播する弾性表面波の音速とは異なる。すだれ状電極
の構成は、通常圧電体結晶基板上に櫛形に対向した電極
が設けられている。このすだれ状電極領域のうち、金属
表面の面積をａとし、圧電体部分の面積をＳとした時、
ａ／（ａ＋Ｓ）が大きくなるに従い音速は小さくなる。
その値は、ａ／（ａ＋Ｓ）が０．１変化する時に音速は
約１〜６ｍ／ｓｅｃ変化し金属表面の比率が電極部分の
圧電体結晶部分に比べ高くなるに従い、音速が小さくな
ることを示す。
より構成した弾性表面波の音速は、圧電体結晶基板のみ
の場合の音速とすだれ状電極を形成する金属表面の音速
とでは異なり、したがってすだれ状電極部分を通過する
弾性表面波の音速とすだれ状電極の無い圧電体結晶部分
を伝播する弾性表面波の音速とは異なる。すだれ状電極
の構成は、通常圧電体結晶基板上に櫛形に対向した電極
が設けられている。このすだれ状電極領域のうち、金属
表面の面積をａとし、圧電体部分の面積をＳとした時、
ａ／（ａ＋Ｓ）が大きくなるに従い音速は小さくなる。
その値は、ａ／（ａ＋Ｓ）が０．１変化する時に音速は
約１〜６ｍ／ｓｅｃ変化し金属表面の比率が電極部分の
圧電体結晶部分に比べ高くなるに従い、音速が小さくな
ることを示す。
【０００５】この様に素子の表面状態及び電極自体の寸
法の製作精度によって弾性表面波の音速が異なることか
ら、従来、この種の弾性表面波発振子においては、すだ
れ状電極間の間隔の違いにより音速に差を生ずると、共
振周波数に影響を及ぼし共振周波数がずれるので、製作
精度を高度に要求される問題がある。
法の製作精度によって弾性表面波の音速が異なることか
ら、従来、この種の弾性表面波発振子においては、すだ
れ状電極間の間隔の違いにより音速に差を生ずると、共
振周波数に影響を及ぼし共振周波数がずれるので、製作
精度を高度に要求される問題がある。
【０００６】本発明の目的は、このような問題を解決
し、製作精度をあまり要さず所望の共振周波数あるいは
通過帯域周波数を得られる弾性表面波発振子および弾性
表面波フィルタを提供することにある。
し、製作精度をあまり要さず所望の共振周波数あるいは
通過帯域周波数を得られる弾性表面波発振子および弾性
表面波フィルタを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波発振
子は圧電単結晶基板と、前記圧電単結晶基板の表面に蒸
着により形成された有機系高分子薄膜と、前記有機系高
分子薄膜の表面にマスク蒸着により形成された櫛形のす
だれ状電極と、前記有機系高分子薄膜の両端に共振用波
数調整用の直流電圧を印加するための電極とを備えてい
る。
子は圧電単結晶基板と、前記圧電単結晶基板の表面に蒸
着により形成された有機系高分子薄膜と、前記有機系高
分子薄膜の表面にマスク蒸着により形成された櫛形のす
だれ状電極と、前記有機系高分子薄膜の両端に共振用波
数調整用の直流電圧を印加するための電極とを備えてい
る。
【０００８】また、弾性表面波フィルタは、圧電基板
と、前記圧電基板の左側表面に設けられた櫛形の第１の
すだれ状電極と、前記圧電基板と前記第１のすだれ状電
極との間でかつ前記第１のすだれ状電極の櫛歯部分の全
長に亘って設けられた第１の有機系高分子薄膜と、前記
第１の有機系高分子薄膜の両端に設けられた共振周波数
調整用の直流電圧を印加するための第１の電極と前記第
１の直流電圧を発生する第１の直流電源と、前記圧電基
板の右側表面でかつ前記第１の電極とインターデジタル
電極を構成するように設けられた櫛形の第２のすだれ状
電極と、前記圧電基板と前記第２のすだれ状電極との間
でかつ前記第２のすだれ状電極の櫛歯部分の全長に亘っ
て設けられた第２の有機系高分子薄膜と、前記第２の有
機系高分子薄膜の両端に設けられた共振周波数調整用の
直流電圧を印加するための第２の電極と前記直流電圧を
発生する第２の直流電源とを備えている。
と、前記圧電基板の左側表面に設けられた櫛形の第１の
すだれ状電極と、前記圧電基板と前記第１のすだれ状電
極との間でかつ前記第１のすだれ状電極の櫛歯部分の全
長に亘って設けられた第１の有機系高分子薄膜と、前記
第１の有機系高分子薄膜の両端に設けられた共振周波数
調整用の直流電圧を印加するための第１の電極と前記第
１の直流電圧を発生する第１の直流電源と、前記圧電基
板の右側表面でかつ前記第１の電極とインターデジタル
電極を構成するように設けられた櫛形の第２のすだれ状
電極と、前記圧電基板と前記第２のすだれ状電極との間
でかつ前記第２のすだれ状電極の櫛歯部分の全長に亘っ
て設けられた第２の有機系高分子薄膜と、前記第２の有
機系高分子薄膜の両端に設けられた共振周波数調整用の
直流電圧を印加するための第２の電極と前記直流電圧を
発生する第２の直流電源とを備えている。
【０００９】尚、前記有機系高分子薄膜は一例としてポ
リフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）を用いても良い。
リフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）を用いても良い。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の実施例を図面により説明す
る。図１は第１の実施例として弾性表面波共振子の
（ａ）上面図および（ｂ）Ａ−Ａ線断面図である。
る。図１は第１の実施例として弾性表面波共振子の
（ａ）上面図および（ｂ）Ａ−Ａ線断面図である。
【００１１】図１（ａ）において、圧電体結晶基板８の
板面にすだれ状電極１の櫛形電極を対向配置し、その一
端にアルミニウム等の金属電極が入力端子１４及び出力
端子１５として設けられている。又これらすだれ状電極
１と圧電体結晶基板８との間には図示のように一軸延伸
性の有機系高分子薄膜２が蒸着により形成され、その両
端には電極６が設けられている。
板面にすだれ状電極１の櫛形電極を対向配置し、その一
端にアルミニウム等の金属電極が入力端子１４及び出力
端子１５として設けられている。又これらすだれ状電極
１と圧電体結晶基板８との間には図示のように一軸延伸
性の有機系高分子薄膜２が蒸着により形成され、その両
端には電極６が設けられている。
【００１２】この有機系高分子薄膜２は、例えば圧電定
数の大きなポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等を用
い、変調手段となる直流電源３からの直流電圧を電極１
６に印加することによって、薄膜１２が長さ方向に伸縮
する。このすだれ状電極１は、トランジェント・エコー
を極力除外する為に、電極の間隔を全て一様に等しくし
ており、電極の幅も間隔も全て等しくしたものである。
数の大きなポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）等を用
い、変調手段となる直流電源３からの直流電圧を電極１
６に印加することによって、薄膜１２が長さ方向に伸縮
する。このすだれ状電極１は、トランジェント・エコー
を極力除外する為に、電極の間隔を全て一様に等しくし
ており、電極の幅も間隔も全て等しくしたものである。
【００１３】この弾性表面波発振子の場合、図２のよう
にすだれ状電極１の幅をａ0 , その間隔をＳ0 とする
と、電極部分における金属表面の占める比率Ｒは次式の
ようになる。
にすだれ状電極１の幅をａ0 , その間隔をＳ0 とする
と、電極部分における金属表面の占める比率Ｒは次式の
ようになる。
【００１４】 Ｒ＝ｍ・ａ0 ／ｍ・ａ0 ＋（ｍ−１）・Ｓ0 ここで、弾性表面波発振子の共振周波数を正確にとり出
す為には、ａ0 ＝Ｓ0 が正確に成り立つ様に電極の幅と
間隔を規定する必要がある。
す為には、ａ0 ＝Ｓ0 が正確に成り立つ様に電極の幅と
間隔を規定する必要がある。
【００１５】圧電体結晶基板８の上に蒸着した有機系高
分子薄膜２に電源３から直流電圧を加えると、その高い
圧電性により生ずる薄膜の長さ方向の伸縮に伴う張力で
弾性表面波の伝播速度が連続的に変化する。即ち共振周
波数が変化するので、この直流電圧を変化させることに
より共振周波数を調整することができる。
分子薄膜２に電源３から直流電圧を加えると、その高い
圧電性により生ずる薄膜の長さ方向の伸縮に伴う張力で
弾性表面波の伝播速度が連続的に変化する。即ち共振周
波数が変化するので、この直流電圧を変化させることに
より共振周波数を調整することができる。
【００１６】これは無機系高分子材料に比べ、比較的高
い音響インピーダンスと電気機械結合係数の大きな有機
系高分子材料を利用することによって可能になると共に
電極素材の金属と圧電体結晶基板の無機系材料（例えば
水晶基板，アルミナ等）の媒質間の違いによる過渡応答
特性，伝搬損失等の特性改善をも兼ねている。尚、本実
施例は、すだれ状電極１１の間隔が一様で等しいものに
ついて説明したが、所望特性を得る様に所定間隔に配列
され、位相変調したすだれ状電極についても適用するこ
とができる。
い音響インピーダンスと電気機械結合係数の大きな有機
系高分子材料を利用することによって可能になると共に
電極素材の金属と圧電体結晶基板の無機系材料（例えば
水晶基板，アルミナ等）の媒質間の違いによる過渡応答
特性，伝搬損失等の特性改善をも兼ねている。尚、本実
施例は、すだれ状電極１１の間隔が一様で等しいものに
ついて説明したが、所望特性を得る様に所定間隔に配列
され、位相変調したすだれ状電極についても適用するこ
とができる。
【００１７】図２は第２の実施例の弾性表面波フィルタ
の（ａ）上面図，（ｂ）Ａ−Ａ線断面図である。図２は
図１で説明した弾性表面波共振子を応用したもので２つ
の弾性表面波共振子を左右に配置しその間の間隔により
共振子のＱを下げて通過帯域幅を設定する帯域通過フィ
ルタである。その構成と動作は図１の場合と同様である
ので説明は省略するが特性について図３を用いて説明す
る。図３は図２における特性図である。図２における直
流電源１６，１７を同時に同方向に変化させた場合図３
（ａ）に示すように通過周波数がシフトする。また直流
電源１６，１７を個別に変化させた場合図３（ｂ）に示
すように通過帯域幅を変化させることができる。図３
（ｂ）は直流電源１７のみを変化させた場合の特性図で
ある。
の（ａ）上面図，（ｂ）Ａ−Ａ線断面図である。図２は
図１で説明した弾性表面波共振子を応用したもので２つ
の弾性表面波共振子を左右に配置しその間の間隔により
共振子のＱを下げて通過帯域幅を設定する帯域通過フィ
ルタである。その構成と動作は図１の場合と同様である
ので説明は省略するが特性について図３を用いて説明す
る。図３は図２における特性図である。図２における直
流電源１６，１７を同時に同方向に変化させた場合図３
（ａ）に示すように通過周波数がシフトする。また直流
電源１６，１７を個別に変化させた場合図３（ｂ）に示
すように通過帯域幅を変化させることができる。図３
（ｂ）は直流電源１７のみを変化させた場合の特性図で
ある。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による弾性
表面波発振子は、有機系高分子薄膜に加える直流電圧に
よって共振周波数を調整することができるので、共振周
波数に対する設計上の自由度の拡大及び製作精度の緩和
などの効果がある。
表面波発振子は、有機系高分子薄膜に加える直流電圧に
よって共振周波数を調整することができるので、共振周
波数に対する設計上の自由度の拡大及び製作精度の緩和
などの効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例の（ａ）上面図及び
（ｂ）Ａ−Ａ線断面図である。
（ｂ）Ａ−Ａ線断面図である。
【図２】第２の実施例の（ａ）上面図及び（ｂ）Ａ−Ａ
線断面図である。
線断面図である。
【図３】図２における特性図で（ａ）周波数特性，
（ｂ）帯域幅特性である。
（ｂ）帯域幅特性である。
１，２２ すだれ状電極 ２，１５ 有機系高分子薄膜 ３，１６，１７ 直流電源 ４，１３ 入力端子 ５，１４ 出力端子 ６，７，１８〜２１ 電極 ８，１１ 圧電体単結晶基板
フロントページの続き (72)発明者 工藤 裕之 宮城県黒川郡大和町吉岡字雷神２番地宮城 日本電気株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 圧電基板と、前記圧電基板の表面に設け
られた櫛形のすだれ状電極と、前記圧電基板と前記すだ
れ状電極との間でかつ前記すだれ状電極の櫛歯部分の全
長に亘って設けられた有機系高分子薄膜と、前記有機系
高分子薄膜の両端に共振周波数調整用の直流電圧を印加
するための電極と、前記直流電圧を発生する直流電源と
を備えることを特徴とする弾性表面波発振子。 - 【請求項２】 圧電基板と、前記圧電基板の左側表面に
設けられた櫛形の第１のすだれ状電極と、前記圧電基板
と前記第１のすだれ状電極との間でかつ前記第１のすだ
れ状電極の櫛歯部分の全長に亘って設けられた第１の有
機系高分子薄膜と、前記第１の有機系高分子薄膜の両端
に設けられた共振周波数調整用の直流電圧を印加するた
めの第１の電極と前記第１の直流電圧を発生する第１の
直流電源と前記圧電基板の右側表面でかつ前記第１の電
極とインターデジタル電極を構成するように設けられた
櫛形の第２のすだれ状電極と、前記圧電基板と前記第２
のすだれ状電極との間でかつ前記第２のすだれ状電極の
櫛歯部分の全長に亘って設けられた第２の有機系高分子
薄膜と、前記第２の有機系高分子薄膜の両端に設けられ
た共振周波数調整用の直流電圧を印加するための第２の
電極と前記直流電圧を発生する第２の直流電源とを備え
ることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項３】 前記有機系高分子薄膜はポリフッ化ビニ
リデン（ＰＶＤＦ）を用いることを特徴とする請求項１
および２記載の弾性表面波発振子および弾性表面波フィ
ルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19122792A JPH0637574A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 弾性表面波発振子および弾性表面波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19122792A JPH0637574A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 弾性表面波発振子および弾性表面波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0637574A true JPH0637574A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16271014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19122792A Pending JPH0637574A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 弾性表面波発振子および弾性表面波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637574A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011007315A3 (en) * | 2009-07-16 | 2011-08-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A system and method for measuring a resonance frequency of a tube |
-
1992
- 1992-07-20 JP JP19122792A patent/JPH0637574A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011007315A3 (en) * | 2009-07-16 | 2011-08-11 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | A system and method for measuring a resonance frequency of a tube |
| CN102472661A (zh) * | 2009-07-16 | 2012-05-23 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于测量管的共振频率的系统和方法 |
| US9958316B2 (en) | 2009-07-16 | 2018-05-01 | Koninklijke Philips N.V. | System and method for measuring a resonance frequency of a tube |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1557945B1 (en) | Piezoelectric vibrator, filter using same, and method for adjusting piezoelectric vibrator | |
| US4489250A (en) | Temperature compensated surface acoustic wave device | |
| JP2001524295A (ja) | 分離されたくし形電極を含む表面弾性波デバイス | |
| JPH0590872A (ja) | 表面弾性波素子 | |
| CN103196438A (zh) | 一种基于行波模式的声表面波陀螺仪 | |
| GB2118745A (en) | Tuning fork resonator | |
| KR20020032585A (ko) | 교번 분극영역들을 포함하는 탄성파 장치 | |
| US4363990A (en) | Surface acoustic wave transducer | |
| EP0751615B1 (en) | Method for manufacturing surface wave devices of the end-face reflection type | |
| US3952269A (en) | Surface acoustic wave delay line | |
| JPH0637574A (ja) | 弾性表面波発振子および弾性表面波フィルタ | |
| US4276524A (en) | Acoustic surface wave device | |
| JPH0410764B2 (ja) | ||
| CN116633305A (zh) | 声表面波谐振器、mems设备 | |
| JP5433697B2 (ja) | 界面音響波デバイス | |
| CN113992178A (zh) | 板波谐振器的反射结构、板波谐振器和mems设备 | |
| JPH0356013B2 (ja) | ||
| JPH10502237A (ja) | ＫＴｉＯＰＯ▲下４▼及びその類似体における表面スキムバルク波の生成 | |
| JPH02260908A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS6172408A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH01123514A (ja) | 導波路 | |
| JPH0265405A (ja) | 弾性表面波共振子の周波数調整法 | |
| WO2025192328A1 (ja) | 弾性波装置 | |
| JPH03128517A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPS61222312A (ja) | 弾性表面波装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19990518 |