JPH0637944B2 - 三方弁 - Google Patents
三方弁Info
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- JPH0637944B2 JPH0637944B2 JP61056646A JP5664686A JPH0637944B2 JP H0637944 B2 JPH0637944 B2 JP H0637944B2 JP 61056646 A JP61056646 A JP 61056646A JP 5664686 A JP5664686 A JP 5664686A JP H0637944 B2 JPH0637944 B2 JP H0637944B2
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- piezoelectric element
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- piston
- displacement
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Links
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- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は三方弁に関し、特に、弁の切換えに圧電性素
子を用いた三方弁に関するものである。
子を用いた三方弁に関するものである。
現在、圧電性素子を用いた弁としては、特開昭60年第
129481号公報、特開昭60年第129482号公
報および特開昭60年第136680号公報に示されて
いるものが知られているが、これらのものにあっては、
圧電性素子の電圧印加時の変位を直接に液圧変換して圧
電性素子の電圧印加時の変位を拡大して取出すようにな
っているが、液圧変換のための機構が大型化し、弁の全
体が大きくなってしまうとともに、圧電性素子の電圧印
加時の変位は微小であるために精度が充分でないという
問題点を有していた。
129481号公報、特開昭60年第129482号公
報および特開昭60年第136680号公報に示されて
いるものが知られているが、これらのものにあっては、
圧電性素子の電圧印加時の変位を直接に液圧変換して圧
電性素子の電圧印加時の変位を拡大して取出すようにな
っているが、液圧変換のための機構が大型化し、弁の全
体が大きくなってしまうとともに、圧電性素子の電圧印
加時の変位は微小であるために精度が充分でないという
問題点を有していた。
この発明は前記のような従来のもののもつ問題点を解決
してものであって、弁全体をを小型とすることができる
とともに、圧電性素子の電圧印加時の変位を確実に取出
すことのできる三方弁を提供することを目的とする。
してものであって、弁全体をを小型とすることができる
とともに、圧電性素子の電圧印加時の変位を確実に取出
すことのできる三方弁を提供することを目的とする。
この発明は前記の問題点を解決するために、本体内に、
温度補償部材を介して後端が取り付けられるとともに、
電圧の印加時に伸長変位する圧電性素子と、スチールボ
ールを介在させた状態で前記圧電性素子の先端と当接す
るとともに、その当接する一端側寄りが前記本体に枢着
されて前記圧電性素子の変位を拡大するアームを有する
テコ機構と、異径シリンダで構成された液圧室を有し、
かつ、この液圧室の大径部に位置しているピストンが前
記テコ機構のアームと連結されるとともに、この大径部
側のピストンが液体を介して小径部に位置するピストン
に連結され、前記テコ機構の作動によって拡大された変
位をさらに拡大する変位拡大機構と、この変位拡大機構
の小径部に位置するピストンに連結されるアームを有す
るとともに、このアームを介して付勢部材で付勢される
ポペットを有し、前記変位拡大機構の作動によりポペッ
トが第1流路と第2流路とを切り換える弁機構とを具
え、前記弁機構は、前記圧電性素子への非電圧印加時
に、前記付勢材によって前記ポペットが直接付勢されて
いずれか一方の流路のみを開放した状態に保持するとと
もに、電圧印加時に、前記付勢部材の付勢力に抗してい
ずれか他方の流路のみを開放するという手段を採用した
ものである。
温度補償部材を介して後端が取り付けられるとともに、
電圧の印加時に伸長変位する圧電性素子と、スチールボ
ールを介在させた状態で前記圧電性素子の先端と当接す
るとともに、その当接する一端側寄りが前記本体に枢着
されて前記圧電性素子の変位を拡大するアームを有する
テコ機構と、異径シリンダで構成された液圧室を有し、
かつ、この液圧室の大径部に位置しているピストンが前
記テコ機構のアームと連結されるとともに、この大径部
側のピストンが液体を介して小径部に位置するピストン
に連結され、前記テコ機構の作動によって拡大された変
位をさらに拡大する変位拡大機構と、この変位拡大機構
の小径部に位置するピストンに連結されるアームを有す
るとともに、このアームを介して付勢部材で付勢される
ポペットを有し、前記変位拡大機構の作動によりポペッ
トが第1流路と第2流路とを切り換える弁機構とを具
え、前記弁機構は、前記圧電性素子への非電圧印加時
に、前記付勢材によって前記ポペットが直接付勢されて
いずれか一方の流路のみを開放した状態に保持するとと
もに、電圧印加時に、前記付勢部材の付勢力に抗してい
ずれか他方の流路のみを開放するという手段を採用した
ものである。
上記の手段を採用したことによりこの発明は、圧電性素
子の微小な変位を2段階に拡大することにより大きな変
位としてポペットを移動させることができ、しかも、周
囲の環境の温度変化に影響されることなく弁を開閉させ
ることができることとなる。
子の微小な変位を2段階に拡大することにより大きな変
位としてポペットを移動させることができ、しかも、周
囲の環境の温度変化に影響されることなく弁を開閉させ
ることができることとなる。
以下、図面に示すこの発明の実施例について説明する。
第1図にはこの発明による三方弁の一部断面図が示され
ていて、本体1の内部に、圧電性素子2の配設室3、テ
コ駆動室4、液圧室5およびポペット室6が形成されて
いるとともに、本体1自体は低熱膨張係数の材質により
形成されている。
ていて、本体1の内部に、圧電性素子2の配設室3、テ
コ駆動室4、液圧室5およびポペット室6が形成されて
いるとともに、本体1自体は低熱膨張係数の材質により
形成されている。
そして、前記本体1に設けられた圧電性素子2の配設室
3内には本体1の内壁に、本体1を構成する材質の熱膨
張係数の約3倍の熱膨張係数を有する台座7の後端を固
設するとともに、この台座7の先端には、圧電性素子
(PZT)2の後端を固着し、また、圧電性素子2の先
端にはボル受け8を設けて、このボール受け8の円錐孔
8a内にスチールボール9を位置させてある。
3内には本体1の内壁に、本体1を構成する材質の熱膨
張係数の約3倍の熱膨張係数を有する台座7の後端を固
設するとともに、この台座7の先端には、圧電性素子
(PZT)2の後端を固着し、また、圧電性素子2の先
端にはボル受け8を設けて、このボール受け8の円錐孔
8a内にスチールボール9を位置させてある。
一方、前記テコ駆動室4の内部には圧電性素子2の配設
室3側がシャフト10によって本体1に枢着されている
アーム11が回動可能に設けられ、このアーム11の前
記圧電性素子2の先端に位置するスチールボール9に対
応する部分には前記ボール受け8との間でスチールボー
ル9を挾持するための窪み部12aが先端に設けられて
いるソケットスクリュー12が螺合されているととも
に、このソケットスクリュー12はナット13によって
前記アーム11に固定されている。
室3側がシャフト10によって本体1に枢着されている
アーム11が回動可能に設けられ、このアーム11の前
記圧電性素子2の先端に位置するスチールボール9に対
応する部分には前記ボール受け8との間でスチールボー
ル9を挾持するための窪み部12aが先端に設けられて
いるソケットスクリュー12が螺合されているととも
に、このソケットスクリュー12はナット13によって
前記アーム11に固定されている。
また、前記アーム11のソケットスクリュー12が設け
られている側と反対側には、液圧室5の大径部5aに位
置するピストン15の後端ロッド部15aがピン14に
よって枢着され、このピストン15の後端ロッド部15
aと、前記本体1にマニュアルガイド16を介して取付
けられたマニュアルピン17との間にはばね18が設け
られて前記ピストン15が液圧室5の大径部5aの容積
を減少するように付勢されている。
られている側と反対側には、液圧室5の大径部5aに位
置するピストン15の後端ロッド部15aがピン14に
よって枢着され、このピストン15の後端ロッド部15
aと、前記本体1にマニュアルガイド16を介して取付
けられたマニュアルピン17との間にはばね18が設け
られて前記ピストン15が液圧室5の大径部5aの容積
を減少するように付勢されている。
また、前記液圧室5の小径部5b内にはピストン19が
設けられ、このピストン19にはアーム20の一端が固
着されているとともに、このアーム20は、ポペット室
6内に位置する3つの弁箱21、22、23間を貫通し
て延びていて、他端が最外部に位置する弁箱23の内部
に至り、そして、アーム20の他端には弁受け24が固
着されている。
設けられ、このピストン19にはアーム20の一端が固
着されているとともに、このアーム20は、ポペット室
6内に位置する3つの弁箱21、22、23間を貫通し
て延びていて、他端が最外部に位置する弁箱23の内部
に至り、そして、アーム20の他端には弁受け24が固
着されている。
また、前記3つの弁箱21、22、23によって形成さ
れた室内には本体1に穿設された孔25、26、27が
それぞれ連通していて流路が形成され、また、中央部の
弁箱22内に位置するアーム20の部分には、中央部の
弁箱22と両側の弁箱21、23との間の流体の連通を
阻止するためのポペット28が取付けられ、さらに、前
記アーム20の他端に設けられた前記弁受け24と最外
部の弁箱23との間にはばね29が設けられていて、前
記ピストン19が液圧室5の小径部5bの容積を減少す
るように付勢している。
れた室内には本体1に穿設された孔25、26、27が
それぞれ連通していて流路が形成され、また、中央部の
弁箱22内に位置するアーム20の部分には、中央部の
弁箱22と両側の弁箱21、23との間の流体の連通を
阻止するためのポペット28が取付けられ、さらに、前
記アーム20の他端に設けられた前記弁受け24と最外
部の弁箱23との間にはばね29が設けられていて、前
記ピストン19が液圧室5の小径部5bの容積を減少す
るように付勢している。
この場合、前記両ばね18、29の付勢力に関しては、
弁受け24を右方に付勢するばね29の方が他のばね1
8よりも大きな付勢力を作用するようになっていて、し
たがって、初期の状態にあっては第1図に示す状態より
もピストン15、19、ポペット28等が右方にあり、
ポペット28が右側の弁箱21と当接して中央部の弁箱
22と右側の弁箱21との間の流通、すなわち、孔2
5、弁箱21、22の内部および孔26によって形成さ
れる第1流路の流通を阻止して、中央部の弁箱22と左
側の弁箱23との流通、すなわち、孔26、弁箱22、
23および孔27によって形成される第2流路の流通を
許容している状態となっている。
弁受け24を右方に付勢するばね29の方が他のばね1
8よりも大きな付勢力を作用するようになっていて、し
たがって、初期の状態にあっては第1図に示す状態より
もピストン15、19、ポペット28等が右方にあり、
ポペット28が右側の弁箱21と当接して中央部の弁箱
22と右側の弁箱21との間の流通、すなわち、孔2
5、弁箱21、22の内部および孔26によって形成さ
れる第1流路の流通を阻止して、中央部の弁箱22と左
側の弁箱23との流通、すなわち、孔26、弁箱22、
23および孔27によって形成される第2流路の流通を
許容している状態となっている。
なお、30は前記圧電性素子2に電圧を印加するための
端子、31は前記液圧室5の大径部5aに位置するピス
トン15を案内するためのピストンガイドである。
端子、31は前記液圧室5の大径部5aに位置するピス
トン15を案内するためのピストンガイドである。
そして、上記のように構成されているものを作動させる
に際しては、まず、端子30を介して前記圧電性素子2
に電圧を印加すると、この印加電圧に応じて前記圧電性
素子2が変位して伸張し、前記圧電性素子2の先端が伸
長変位するとスチールボール9を介して、前記アーム1
1を前記シャフト10を支点として回動させることにな
る。
に際しては、まず、端子30を介して前記圧電性素子2
に電圧を印加すると、この印加電圧に応じて前記圧電性
素子2が変位して伸張し、前記圧電性素子2の先端が伸
長変位するとスチールボール9を介して、前記アーム1
1を前記シャフト10を支点として回動させることにな
る。
この場合、既述の如く、アーム11はその中央よりも圧
電性素子2側に支点が位置しているためにアーム11の
反対端、すなわち液圧室5側においては前記圧電性素子
2の変位は拡大されることとなる。
電性素子2側に支点が位置しているためにアーム11の
反対端、すなわち液圧室5側においては前記圧電性素子
2の変位は拡大されることとなる。
さらに、前記アーム11の反対側には液圧室5の大径部
5a内に位置しているピストン15の後端が枢着されて
いるので、アーム11の回動時にピストン15は第1図
の左方に移動して液圧室5の大径部5aの容積を減少さ
せることとなる。
5a内に位置しているピストン15の後端が枢着されて
いるので、アーム11の回動時にピストン15は第1図
の左方に移動して液圧室5の大径部5aの容積を減少さ
せることとなる。
したがって、大径部5aと連通している小径部5b内の
ピストン19をばね29の付勢力に抗してアーム11と
一体に左方に移動し、しかも、大径部5a内のピストン
15の移動量よりも拡大して移動させるることになる。
ピストン19をばね29の付勢力に抗してアーム11と
一体に左方に移動し、しかも、大径部5a内のピストン
15の移動量よりも拡大して移動させるることになる。
そして、このアーム11に一体に取付けられているポペ
ット28も同時に左方に移動させることとなるので右側
の弁箱21の孔を閉塞している状態から、そこを開放し
て中央の弁箱22の孔を閉塞する状態に変化する。
ット28も同時に左方に移動させることとなるので右側
の弁箱21の孔を閉塞している状態から、そこを開放し
て中央の弁箱22の孔を閉塞する状態に変化する。
したがって、本体1に穿設した孔25と孔26との間の
第1流路は開放されるとともに、孔26と孔27との間
の第2流路が閉塞されることとなり、これによって流路
を確実に切換えることができるものである。
第1流路は開放されるとともに、孔26と孔27との間
の第2流路が閉塞されることとなり、これによって流路
を確実に切換えることができるものである。
この場合、圧電性素子に印加する電圧、変位量および発
生する力との関係は第2図および第3図に示すようにな
っているので最適な状態を選定して作動させるものであ
り、圧電性素子の発生変位量の30%〜40%の範囲を
用いるように印加電圧を考慮しておけば、発生力の40
%〜60%の力を得ることができ、この力をテコ、すな
わち、アーム11を用いて圧電性素子2自体の変位量の
4〜8倍に拡大して、発生力の1/4〜1/8を伝達す
ることができ、さらに拡大された変位量を、1/10〜
1/20の面積比の異径シリンダによって発生力を失う
ことなく前記ポペット28に伝達することができる。
生する力との関係は第2図および第3図に示すようにな
っているので最適な状態を選定して作動させるものであ
り、圧電性素子の発生変位量の30%〜40%の範囲を
用いるように印加電圧を考慮しておけば、発生力の40
%〜60%の力を得ることができ、この力をテコ、すな
わち、アーム11を用いて圧電性素子2自体の変位量の
4〜8倍に拡大して、発生力の1/4〜1/8を伝達す
ることができ、さらに拡大された変位量を、1/10〜
1/20の面積比の異径シリンダによって発生力を失う
ことなく前記ポペット28に伝達することができる。
こののち、再び流路を切換える場合には、前記圧電性素
子2への電圧印加を停止すれば、圧電性素子2は初期の
状態に復帰し、これによってアーム11への押圧は解除
し、ポペット28および両ピストン15、19等はばね
29の付勢力によって右方に移動して第1流路を閉塞し
て、第2流路を開放することとなり、これによって初期
の状態に復帰するとともに、流路を切り換えるものであ
る。
子2への電圧印加を停止すれば、圧電性素子2は初期の
状態に復帰し、これによってアーム11への押圧は解除
し、ポペット28および両ピストン15、19等はばね
29の付勢力によって右方に移動して第1流路を閉塞し
て、第2流路を開放することとなり、これによって初期
の状態に復帰するとともに、流路を切り換えるものであ
る。
第4図にはこの発明によるものの他の実施例が示されて
いて、この実施例に示すものにあっては、前記実施例の
ものと圧電性素子2の取付け状態が異なっており、その
部分だけを示してあるが、本体1の内部に、プレート4
0との間にサポート軸41を介して台座であるサポート
42を取付け、このサポート42に圧電性素子2の後端
を取付けてあり、このように構成することによっても前
記実施例と同様に作動するものである。
いて、この実施例に示すものにあっては、前記実施例の
ものと圧電性素子2の取付け状態が異なっており、その
部分だけを示してあるが、本体1の内部に、プレート4
0との間にサポート軸41を介して台座であるサポート
42を取付け、このサポート42に圧電性素子2の後端
を取付けてあり、このように構成することによっても前
記実施例と同様に作動するものである。
このような作動時に、周囲の環境温度が変化したとして
も、既述のように圧電性素子2は本体1を構成する材質
の約3倍の熱膨張係数を有する台座7またはサポート4
2によって取付けられているために、圧電性素子2の先
端とアーム11の枢着点との距離は変化しないこととな
る。
も、既述のように圧電性素子2は本体1を構成する材質
の約3倍の熱膨張係数を有する台座7またはサポート4
2によって取付けられているために、圧電性素子2の先
端とアーム11の枢着点との距離は変化しないこととな
る。
すなわち、前記圧電性素子2の熱膨張係数は約29×1
0-7であり、本体の熱膨張係数は約9〜11×10-6で
あるが、この差をなくすような熱膨張係数を有する材質
によって前記台座7およびサポート42が構成されてい
るものであるために、本体1が伸縮した場合であって
も、圧電性素子2も台座7またはサポート42と一体に
伸縮し、しかも、熱膨張係数の差によって圧電性素子2
の先端とアーム11の枢着点との距離の変化は生じない
ものである。
0-7であり、本体の熱膨張係数は約9〜11×10-6で
あるが、この差をなくすような熱膨張係数を有する材質
によって前記台座7およびサポート42が構成されてい
るものであるために、本体1が伸縮した場合であって
も、圧電性素子2も台座7またはサポート42と一体に
伸縮し、しかも、熱膨張係数の差によって圧電性素子2
の先端とアーム11の枢着点との距離の変化は生じない
ものである。
そして、上記のような三方弁は、その作動要素図は第5
図に示すように、また、シンボル部は第6図に示すよう
になるものである。
図に示すように、また、シンボル部は第6図に示すよう
になるものである。
この発明は前記のように構成したことにより、圧電性素
子の微小な変位は2段階で拡大することにより、正確に
取出すことができ、これによって作動精度の高い弁とす
ることができ、しかも、圧電性素子を用いているために
全体を小型とすることがきるなどのすぐれた効果を有す
るものである。
子の微小な変位は2段階で拡大することにより、正確に
取出すことができ、これによって作動精度の高い弁とす
ることができ、しかも、圧電性素子を用いているために
全体を小型とすることがきるなどのすぐれた効果を有す
るものである。
また、付勢部材によりポペットを直接流路に対して付勢
したので、ポペットによる流路の開閉切り換え操作を確
実にすることができる。さらに、単一のポペットで複数
の流路を開閉するようにしたことにより、弁機構の構成
を簡単化することができ、小型化実現に貢献するという
効果を奏するものである。
したので、ポペットによる流路の開閉切り換え操作を確
実にすることができる。さらに、単一のポペットで複数
の流路を開閉するようにしたことにより、弁機構の構成
を簡単化することができ、小型化実現に貢献するという
効果を奏するものである。
図面はこの発明を示し、第1図は第1実施例の一部断面
図、第2図は圧電性素子の印加電圧と変位量との関係を
示す図、第3図は圧電性素子の変位量と発生力との関係
を示す図、第4図は他の実施例の要部を示す図、第5図
は作動要素図、第6図はシンボル図である。 1……本体 2……圧電性素子 3……圧電性素子の配設室 4……テコ駆動室 5……液圧室 5a……大径部 5b……小径部 6……ポペット室 7……台座 8……ボール受け 8a……円錐孔 9……スチールボール 10……シャフト 11、20……アーム 12……ソケットスクリュー 12a……窪み部 13……ナット 14……ピン 15、19……ピストン 15a……後端ロッド部 16………マニュアルガイド 17……マニュアルピン 18、29……ばね 21、22、23……弁箱 24……弁受け 25、26、27……孔 28……ポペット 30……端子 31……ピストンガイド 40……プレート 41……サポート軸 42……サポート
図、第2図は圧電性素子の印加電圧と変位量との関係を
示す図、第3図は圧電性素子の変位量と発生力との関係
を示す図、第4図は他の実施例の要部を示す図、第5図
は作動要素図、第6図はシンボル図である。 1……本体 2……圧電性素子 3……圧電性素子の配設室 4……テコ駆動室 5……液圧室 5a……大径部 5b……小径部 6……ポペット室 7……台座 8……ボール受け 8a……円錐孔 9……スチールボール 10……シャフト 11、20……アーム 12……ソケットスクリュー 12a……窪み部 13……ナット 14……ピン 15、19……ピストン 15a……後端ロッド部 16………マニュアルガイド 17……マニュアルピン 18、29……ばね 21、22、23……弁箱 24……弁受け 25、26、27……孔 28……ポペット 30……端子 31……ピストンガイド 40……プレート 41……サポート軸 42……サポート
Claims (2)
- 【請求項1】本体(1)内に、温度補償部材(7)を介
して後端が取り付けられるとともに、電圧の印加時に伸
長変位する圧電性素子(2)と、スチールボール(9)
を介在させた状態で前記圧電性素子(2)の先端と当接
するとともに、その当接する一端側寄りが前記本体
(1)に枢着されて前記圧電性素子(2)の変位を拡大
するアーム(11)を有するテコ機構と、異径シリンダ
で構成された液圧室(5)を有し、かつ、この液圧室
(5)の大径部に位置しているピストン(15)が前記
テコ機構のアーム(11)と連結されるとともに、この
大径部側のピストン(15)が液体を介して小径部に位
置するピストン(19)に連結され、前記テコ機構の作
動によって拡大された変位をさらに拡大する変位拡大機
構と、該変位拡大機構の小径部に位置するピストン(1
9)に連結されるアーム(20)を有するとともに、こ
のアーム(20)を介して付勢部材(29)で付勢され
るポペット(28)を有し、前記変位拡大機構の作動に
よりポペット(28)が第1流路と第2流路とを切り換
える弁機構とを具え、前記弁機構は、前記圧電性素子
(2)への非電圧印加時に、前記付勢部材(29)によ
って前記ポペット(28)が直接付勢されていずれか一
方の流路のみを開放した状態に保持するとともに、電圧
印加時に、前記付勢部材(29)の付勢力に抗していず
れか他方の流路のみを開放することを特徴とする三方
弁。 - 【請求項2】前記温度補償部材(7)は、前記本体
(1)の約3倍の熱膨張係数を有している特許請求の範
囲第1項記載の三方弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61056646A JPH0637944B2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 三方弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61056646A JPH0637944B2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 三方弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62215177A JPS62215177A (ja) | 1987-09-21 |
| JPH0637944B2 true JPH0637944B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=13033108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61056646A Expired - Lifetime JPH0637944B2 (ja) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | 三方弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0637944B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100806058B1 (ko) * | 1999-09-30 | 2008-02-21 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 유체 제어 밸브 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2516824Y2 (ja) * | 1988-08-27 | 1996-11-13 | 株式会社エステック | 制御弁 |
| JPH11280932A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Taiheiyo Cement Corp | 駆動装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50141851U (ja) * | 1974-05-09 | 1975-11-21 | ||
| JPS5926839B2 (ja) * | 1975-05-02 | 1984-06-30 | 川崎重工業株式会社 | 高温高圧流体用配管の継手構造 |
| JPS60172095U (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-14 | ニチアス株式会社 | 低温流体輸送配管の着脱自在型断熱装置 |
-
1986
- 1986-03-14 JP JP61056646A patent/JPH0637944B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100806058B1 (ko) * | 1999-09-30 | 2008-02-21 | 로베르트 보쉬 게엠베하 | 유체 제어 밸브 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62215177A (ja) | 1987-09-21 |
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