JPH0638401Y2 - レ−ザトリミング装置 - Google Patents
レ−ザトリミング装置Info
- Publication number
- JPH0638401Y2 JPH0638401Y2 JP1986146101U JP14610186U JPH0638401Y2 JP H0638401 Y2 JPH0638401 Y2 JP H0638401Y2 JP 1986146101 U JP1986146101 U JP 1986146101U JP 14610186 U JP14610186 U JP 14610186U JP H0638401 Y2 JPH0638401 Y2 JP H0638401Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- irradiation position
- trimming
- axis
- laser trimming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案はレーザトリミング装置に関し、特に被加工基板
上にレーザ光を照射してレーザトリミング加工を行うレ
ーザトリミング装置に関する。
上にレーザ光を照射してレーザトリミング加工を行うレ
ーザトリミング装置に関する。
従来技術 従来、トリミングに際して必要な加工位置などのデータ
（以下トリミングデータとする）の作成は、図面上の抵
抗体の位置と載物台上の基板の位置とから計算するか、
または、実際の基板上の抵抗体の位置を測定し、その測
定値と載物台上の基板の位置とから計算して求めるかの
どちらかの方法によりトリミングデータを作成し、キー
ボードにより数値化されたこのデータをコンピュータに
入力していた。この入力されたデータにより、実際にレ
ーザトリミング装置を用いて、レーザ光を未照射の状態
でビームポジショナを制御し、加工開始点のチェックを
行っていた。
（以下トリミングデータとする）の作成は、図面上の抵
抗体の位置と載物台上の基板の位置とから計算するか、
または、実際の基板上の抵抗体の位置を測定し、その測
定値と載物台上の基板の位置とから計算して求めるかの
どちらかの方法によりトリミングデータを作成し、キー
ボードにより数値化されたこのデータをコンピュータに
入力していた。この入力されたデータにより、実際にレ
ーザトリミング装置を用いて、レーザ光を未照射の状態
でビームポジショナを制御し、加工開始点のチェックを
行っていた。
このような従来のトリミングデータの作成方法では、第
１に基板上の抵抗体の位置を求め、第２に載物台上の基
板の位置を求め、第３にそのデータをキーボードを用い
て入力し、第４に実際にレーザトリミング装置を用いて
確認するという４段階の操作が必要であったので、トリ
ミングデータを作成するのに多大な工数を必要とすると
いう問題があった。
１に基板上の抵抗体の位置を求め、第２に載物台上の基
板の位置を求め、第３にそのデータをキーボードを用い
て入力し、第４に実際にレーザトリミング装置を用いて
確認するという４段階の操作が必要であったので、トリ
ミングデータを作成するのに多大な工数を必要とすると
いう問題があった。
また、図面から抵抗体の位置を求めてトリミングデータ
を作成した場合には、基板の印刷ずれなどが生じると、
トリミングデータに誤差が生ずるという問題があった。
を作成した場合には、基板の印刷ずれなどが生じると、
トリミングデータに誤差が生ずるという問題があった。
考案の目的 本考案は上記のような従来のものの問題点を除去すべく
なされたもので、少ない工数で正確なトリミングデータ
を作成することができるレーザトリミング装置の提供を
目的とする。
なされたもので、少ない工数で正確なトリミングデータ
を作成することができるレーザトリミング装置の提供を
目的とする。
考案の構成 本考案によるレーザトリミング装置は、被加工基板上へ
のレーザ光の照射位置を可変する可変手段を有するレー
ザトリミング装置であって、前記レーザ光の光軸と同軸
上に設けられかつ前記レーザ光の照射位置をモニタ可能
なモニタ手段と、レーザトリミング加工前の前記モニタ
手段によるモニタ時にモニタ画面上で前記レーザ光の照
射位置を指定可能な指定手段と、前記指定手段によって
指定された前記レーザ光の照射開始位置及び終了位置情
報と前記照射位置の軌跡情報とを格納する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記照射開始位置及び終了位
置情報と前記照射位置の軌跡情報とを基に前記レーザト
リミング加工を行う手段とを含むことを特徴とする。
のレーザ光の照射位置を可変する可変手段を有するレー
ザトリミング装置であって、前記レーザ光の光軸と同軸
上に設けられかつ前記レーザ光の照射位置をモニタ可能
なモニタ手段と、レーザトリミング加工前の前記モニタ
手段によるモニタ時にモニタ画面上で前記レーザ光の照
射位置を指定可能な指定手段と、前記指定手段によって
指定された前記レーザ光の照射開始位置及び終了位置情
報と前記照射位置の軌跡情報とを格納する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記照射開始位置及び終了位
置情報と前記照射位置の軌跡情報とを基に前記レーザト
リミング加工を行う手段とを含むことを特徴とする。
実施例 次に、本考案の一実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本考案の一実施例を示すブロック図である。図
において、レーザ発振器１から出射されたレーザ光は固
定ミラー２と、Ｘ軸走査ミラー３と、Ｙ軸走査ミラー５
と、ｆθレンズ７とを介して被加工物８上に照射され
る。被加工物８上のレーザ光の照射位置は、レーザ光の
光軸と同軸上に設けられたモニタ光によりビデオカメラ
９で撮影され、十字線付加器10を経てモニタテレビ11に
映し出される。
において、レーザ発振器１から出射されたレーザ光は固
定ミラー２と、Ｘ軸走査ミラー３と、Ｙ軸走査ミラー５
と、ｆθレンズ７とを介して被加工物８上に照射され
る。被加工物８上のレーザ光の照射位置は、レーザ光の
光軸と同軸上に設けられたモニタ光によりビデオカメラ
９で撮影され、十字線付加器10を経てモニタテレビ11に
映し出される。
また、Ｘ軸走査ミラー３とＹ軸走査ミラー５とは夫々Ｘ
軸ガルバノメータ４とＹ軸ガルバノメータ６とによって
レーザ照射位置が検出されながら駆動され、レーザ光の
照射位置をＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる。その移
動量は、コンピュータ14からの指示によりコントローラ
12がＸ軸ガルバノメータ４とＹ軸ガルバノメータ６とを
用いて位置制御をして行われるものであり、Ｘ軸走査ミ
ラー３とＹ軸走査ミラー５との角度の変化量に対応して
いる。
軸ガルバノメータ４とＹ軸ガルバノメータ６とによって
レーザ照射位置が検出されながら駆動され、レーザ光の
照射位置をＸ軸方向とＹ軸方向とに移動させる。その移
動量は、コンピュータ14からの指示によりコントローラ
12がＸ軸ガルバノメータ４とＹ軸ガルバノメータ６とを
用いて位置制御をして行われるものであり、Ｘ軸走査ミ
ラー３とＹ軸走査ミラー５との角度の変化量に対応して
いる。
コンピュータ14へのデータの入力はコンソール13によっ
て行われ、そのデータの表示はディスプレイ15上に行わ
れる。
て行われ、そのデータの表示はディスプレイ15上に行わ
れる。
第２図はコンソール13上のレーザ照射位置制御用のスイ
ッチの構成を示す構成図である。図において、コンソー
ル13上には位置決定スイッチ16と、Ｘ軸方向の方向指定
スイッチ17,19と、Ｙ軸方向の方向指定スイッチ18,20と
が付加されて設置されている。方向指定スイッチ17,19
を押下することにより、Ｘ軸走査ミラー３が駆動され、
方向指定スイッチ18,20を押下することによりＹ軸走査
ミラー５が駆動され、これによりレーザ照射位置が移動
される。そのレーザ照射位置の移動は、ビデオカメラ９
を介してモニタテレビ11の画面に表示され直接観察でき
る。
ッチの構成を示す構成図である。図において、コンソー
ル13上には位置決定スイッチ16と、Ｘ軸方向の方向指定
スイッチ17,19と、Ｙ軸方向の方向指定スイッチ18,20と
が付加されて設置されている。方向指定スイッチ17,19
を押下することにより、Ｘ軸走査ミラー３が駆動され、
方向指定スイッチ18,20を押下することによりＹ軸走査
ミラー５が駆動され、これによりレーザ照射位置が移動
される。そのレーザ照射位置の移動は、ビデオカメラ９
を介してモニタテレビ11の画面に表示され直接観察でき
る。
また、方向指定スイッチ17〜20を押下する場合、同一の
方向指定スイッチ17〜20が押下され続けると、レーザ照
射位置の移動は一定速度まで速くなり、さらに、この状
態で異なる方向指定スイッチ17〜20が押下されると、そ
の移動は低速となり、レーザ照射位置を適切な位置に簡
単に移動させることができる。
方向指定スイッチ17〜20が押下され続けると、レーザ照
射位置の移動は一定速度まで速くなり、さらに、この状
態で異なる方向指定スイッチ17〜20が押下されると、そ
の移動は低速となり、レーザ照射位置を適切な位置に簡
単に移動させることができる。
第３図はディスプレイ15の表面画面を示した図である。
図において、ディスプレイ15の表示画面には、被加工物
８の全体図21と、レーザ照射位置22と、ビームポジショ
ンオフセットの表示（レーザ照射位置のズレを表わす）
と、トリミングデータ〔どの位置（スタートポイント）
からどの位置（ファーストストップポイント）まで加工
するのかを示す座標値を表わす。図において、Ｒ（1,
1）は何番目のカットかを示し、この場合、レジスタ１
の１番目のカットを示している〕とが表示されている。
図において、ディスプレイ15の表示画面には、被加工物
８の全体図21と、レーザ照射位置22と、ビームポジショ
ンオフセットの表示（レーザ照射位置のズレを表わす）
と、トリミングデータ〔どの位置（スタートポイント）
からどの位置（ファーストストップポイント）まで加工
するのかを示す座標値を表わす。図において、Ｒ（1,
1）は何番目のカットかを示し、この場合、レジスタ１
の１番目のカットを示している〕とが表示されている。
第４図はレーザトリミングにおけるカットの形状を示す
図である。図においてはａ〜ｈはレーザトリミングのカ
ットの種類を表わしている。
図である。図においてはａ〜ｈはレーザトリミングのカ
ットの種類を表わしている。
第５図はモニタテレビ11の表示画面を示す図である。図
において、モニタテレビ11の表示画面には、ビデオカメ
ラ９からの映像に十字線付加器10で付加されたクロスラ
ンイＸ軸23と、クロスラインＹ軸24とがビデオカメラ９
からの映像とともに表示され、ビデオカメラ９はレーザ
光の光軸と同軸上に設けられているので、クロスライン
Ｘ軸23とクロスラインＹ軸24との交点がレーザ照射位置
22となる。
において、モニタテレビ11の表示画面には、ビデオカメ
ラ９からの映像に十字線付加器10で付加されたクロスラ
ンイＸ軸23と、クロスラインＹ軸24とがビデオカメラ９
からの映像とともに表示され、ビデオカメラ９はレーザ
光の光軸と同軸上に設けられているので、クロスライン
Ｘ軸23とクロスラインＹ軸24との交点がレーザ照射位置
22となる。
次に、第１図〜第５図を用いて本考案の一実施例の動作
について説明する。
について説明する。
新規にトリミングデータを作成する場合、コンソール13
によりコンピュータ14にカット形状やカット速度、ある
いはレーザ周波数などのデータを入力しておき、図示せ
ぬ載物台上に被加工物８をセットする。被加工物８上の
レーザ照射位置22をモニタテレビ11で直接観察しなが
ら、コンソール13に設置された方向指定スイッチ17〜20
を押下することにより、Ｘ軸走査ミラー３とＹ軸走査ミ
ラー５とを駆動してレーザ照射位置22を適切な位置（正
しい加工位置）に移動させる。
によりコンピュータ14にカット形状やカット速度、ある
いはレーザ周波数などのデータを入力しておき、図示せ
ぬ載物台上に被加工物８をセットする。被加工物８上の
レーザ照射位置22をモニタテレビ11で直接観察しなが
ら、コンソール13に設置された方向指定スイッチ17〜20
を押下することにより、Ｘ軸走査ミラー３とＹ軸走査ミ
ラー５とを駆動してレーザ照射位置22を適切な位置（正
しい加工位置）に移動させる。
このとき、レーザ照射位置22はＸ軸ガルバノメータ４と
Ｙ軸ガルバノメータ６とに検出されて、コントローラ12
とコンピュータ14とを介してディスプレイ15上に常に座
標表示され、被加工物８上におけるレーザ照射位置22を
正確に把握できるので、レーザ照射位置22が被加工物８
上の適切な位置にきたときに、位置決定スイッチ16を押
下することによりコンピュータ14はこのときの座標をデ
ータとして取込む。
Ｙ軸ガルバノメータ６とに検出されて、コントローラ12
とコンピュータ14とを介してディスプレイ15上に常に座
標表示され、被加工物８上におけるレーザ照射位置22を
正確に把握できるので、レーザ照射位置22が被加工物８
上の適切な位置にきたときに、位置決定スイッチ16を押
下することによりコンピュータ14はこのときの座標をデ
ータとして取込む。
レーザトリミング加工のカッティングには第４図に示す
ように様々な形状が用いられており、どのカッティング
にするかは、加工開始点や第1,第2,第３加工終了点、あ
るいは、円の中心位置などをコンソール13上の位置決定
スイッチ16と方向指定スイッチ17〜20とで指定すること
により決定することができ、この指定によりトリミング
に必要な座標を得ることができる。たとえば、ストレー
トカットａの場合は、加工開始点と第１加工終了点とを
指定することにより、トリミングに必要な加工開始点
と、カット方向と、カットの長さなどといったデータを
得ることができる。
ように様々な形状が用いられており、どのカッティング
にするかは、加工開始点や第1,第2,第３加工終了点、あ
るいは、円の中心位置などをコンソール13上の位置決定
スイッチ16と方向指定スイッチ17〜20とで指定すること
により決定することができ、この指定によりトリミング
に必要な座標を得ることができる。たとえば、ストレー
トカットａの場合は、加工開始点と第１加工終了点とを
指定することにより、トリミングに必要な加工開始点
と、カット方向と、カットの長さなどといったデータを
得ることができる。
また、既に作成済みのトリミングデータを変更する場合
には、与えられたカットの形状によりコンピュータ14が
制御して、Ｘ軸走査ミラー３とＹ軸走査ミラー５とを駆
動し、加工開始点や第1,第2,第３加工終了点あるいは円
の中心位置などを、処理順序に応じてレーザ照射位置22
を移動させて変更する。すなわち、この時点で方向指定
スイッチ17〜20を用いてレーザ照射位置22の修正を行
い、適切な位置で位置決定スイッチ16を押下することに
より修正されたレーザ照射位置22の座標がデータとして
コンピュータ14に取込まれ、次の修正にうつる。このよ
うにして、実際のレーザ照射位置を確認しながら修正を
行うことができる。
には、与えられたカットの形状によりコンピュータ14が
制御して、Ｘ軸走査ミラー３とＹ軸走査ミラー５とを駆
動し、加工開始点や第1,第2,第３加工終了点あるいは円
の中心位置などを、処理順序に応じてレーザ照射位置22
を移動させて変更する。すなわち、この時点で方向指定
スイッチ17〜20を用いてレーザ照射位置22の修正を行
い、適切な位置で位置決定スイッチ16を押下することに
より修正されたレーザ照射位置22の座標がデータとして
コンピュータ14に取込まれ、次の修正にうつる。このよ
うにして、実際のレーザ照射位置を確認しながら修正を
行うことができる。
このように、被加工物８に照射されるレーザ光の光軸と
同軸上に設けられたビデオカメラ９の映像をモニタテレ
ビ11で観察しながら、方向指定スイッチ17〜20の押下に
よる位置制御を行い、位置決定スイッチ16を押下するこ
とによりコンピュータ14にその指定されたレーザ照射位
置22の座標をデータとして取込むことによって、新規に
トリミングデータを作成する場合には、加工開始点とカ
ット方向、または、第1,第2,第３加工終了点および、カ
ットの長さなどのトリミングデータを一度の処理動作で
正確に得ることができる。
同軸上に設けられたビデオカメラ９の映像をモニタテレ
ビ11で観察しながら、方向指定スイッチ17〜20の押下に
よる位置制御を行い、位置決定スイッチ16を押下するこ
とによりコンピュータ14にその指定されたレーザ照射位
置22の座標をデータとして取込むことによって、新規に
トリミングデータを作成する場合には、加工開始点とカ
ット方向、または、第1,第2,第３加工終了点および、カ
ットの長さなどのトリミングデータを一度の処理動作で
正確に得ることができる。
また、既に作成済みのトリミングデータの場合には、一
度の処理動作でレーザ照射位置22を確認しながら、さき
に作成したトリミングデータを修正することができるの
で、新規に作成する場合や作成し直す場合でも少ない工
数で正確なトリミングデータを作成することができる。
度の処理動作でレーザ照射位置22を確認しながら、さき
に作成したトリミングデータを修正することができるの
で、新規に作成する場合や作成し直す場合でも少ない工
数で正確なトリミングデータを作成することができる。
考案の効果 以上説明したように本考案によれば、被加工物に照射さ
れるレーザ光の光軸と同軸上に設けられたモニタからの
位置情報に基づいて位置制御信号を出力し、出力信号に
応じてレーザ照射位置を移動せしめて、この移動後のレ
ーザ照射位置と軌跡情報とを予め記憶させてからこれら
の情報によりレーザトリミング加工を行うようにするこ
とによって、少ない工数で正確なトリミングデータを作
成することができるという効果がある。
れるレーザ光の光軸と同軸上に設けられたモニタからの
位置情報に基づいて位置制御信号を出力し、出力信号に
応じてレーザ照射位置を移動せしめて、この移動後のレ
ーザ照射位置と軌跡情報とを予め記憶させてからこれら
の情報によりレーザトリミング加工を行うようにするこ
とによって、少ない工数で正確なトリミングデータを作
成することができるという効果がある。
第１図は本考案の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図のコンソール上に設けられたレーザ照射位置制御
用のスイッチの構成図、第３図は第１図のディスプレイ
の表示画面を示した図、第４図はレーザトリミングにお
けるカットの形状を示す図、第５図は第１図のモニタテ
レビの表示画面を示した図である。 主要部分の符号の説明 ３……Ｘ軸走査ミラー ４……Ｘ軸ガルバノメータ ５……Ｙ軸走査ミラー ６……Ｙ軸ガルバノメータ ９……ビデオカメラ 10……十字線付加器 11……モニタテレビ 13……コンソール 14……コンピュータ 15……ディスプレイ 16……位置決定スイッチ 17〜20……方向指定スイッチ
第１図のコンソール上に設けられたレーザ照射位置制御
用のスイッチの構成図、第３図は第１図のディスプレイ
の表示画面を示した図、第４図はレーザトリミングにお
けるカットの形状を示す図、第５図は第１図のモニタテ
レビの表示画面を示した図である。 主要部分の符号の説明 ３……Ｘ軸走査ミラー ４……Ｘ軸ガルバノメータ ５……Ｙ軸走査ミラー ６……Ｙ軸ガルバノメータ ９……ビデオカメラ 10……十字線付加器 11……モニタテレビ 13……コンソール 14……コンピュータ 15……ディスプレイ 16……位置決定スイッチ 17〜20……方向指定スイッチ
Claims (1)
- 【請求項１】被加工基板上へのレーザ光の照射位置を可
変する可変手段を有するレーザトリミング装置であっ
て、前記レーザ光の光軸と同軸上に設けられかつ前記レ
ーザ光の照射位置をモニタ可能なモニタ手段と、レーザ
トリミング加工前の前記モニタ手段によるモニタ時にモ
ニタ画面上で前記レーザ光の照射位置を指定可能な指定
手段と、前記指定手段によって指定された前記レーザ光
の照射開始位置及び終了位置情報と前記照射位置の軌跡
情報とを格納する記憶手段と、前記記憶手段に記憶され
た前記照射開始位置及び終了位置情報と前記照射位置の
軌跡情報とを基に前記レーザトリミング加工を行う手段
とを含むことを特徴とするレーザトリミング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986146101U JPH0638401Y2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | レ−ザトリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986146101U JPH0638401Y2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | レ−ザトリミング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6351406U JPS6351406U (ja) | 1988-04-07 |
| JPH0638401Y2 true JPH0638401Y2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=31058256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986146101U Expired - Lifetime JPH0638401Y2 (ja) | 1986-09-24 | 1986-09-24 | レ−ザトリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638401Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6604715B2 (ja) * | 2014-09-12 | 2019-11-13 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6086803A (ja) * | 1983-10-19 | 1985-05-16 | 株式会社日立製作所 | トリミング装置 |
| JPS60130490A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-07-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ−スキヤナ−制御装置 |
| JPS61112363A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-30 | Nec Corp | レ−ザ−トリミング装置 |
-
1986
- 1986-09-24 JP JP1986146101U patent/JPH0638401Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6351406U (ja) | 1988-04-07 |
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