JPH0638572B2 - 電歪共振装置 - Google Patents
電歪共振装置Info
- Publication number
- JPH0638572B2 JPH0638572B2 JP63059771A JP5977188A JPH0638572B2 JP H0638572 B2 JPH0638572 B2 JP H0638572B2 JP 63059771 A JP63059771 A JP 63059771A JP 5977188 A JP5977188 A JP 5977188A JP H0638572 B2 JPH0638572 B2 JP H0638572B2
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- JP
- Japan
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- electrostrictive
- electrostrictive material
- polarization
- material layer
- electrodes
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 30
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、エネルギー閉じ込め型の電歪共振装置に関
し、特に3以上の電極に挟まれた複数の電歪材料層を有
する積層型の電歪共振装置の改良に関する。
し、特に3以上の電極に挟まれた複数の電歪材料層を有
する積層型の電歪共振装置の改良に関する。
〔従来の技術〕 第2図に示すように、従来のエネルギー閉じ込め型の積
層電歪共振装置は、電歪材料体1の両主面に電極2,3
を形成し、内部に電極2,3と厚み方向において重なり
合うように電極4を配置した構造を有する。電極2,4
間に挟まれた電歪材料層5および電極4,3間に配置さ
れた電歪材料層6は、それぞれ、図示の矢印方向に分極
処理されている。従って、電極2,3間に電界を印加す
ることにより共振駆動することができる。
層電歪共振装置は、電歪材料体1の両主面に電極2,3
を形成し、内部に電極2,3と厚み方向において重なり
合うように電極4を配置した構造を有する。電極2,4
間に挟まれた電歪材料層5および電極4,3間に配置さ
れた電歪材料層6は、それぞれ、図示の矢印方向に分極
処理されている。従って、電極2,3間に電界を印加す
ることにより共振駆動することができる。
上記の構造は、電極2,3,4を構成するための電極ペ
ーストが印刷された複数枚の電歪材料グリーンシートを
積層し、厚み方向に圧着した後焼成し、さらに分極処理
を施すことにより得られる。よって、各電歪材料層5,
6の厚みを薄くし得るので、小型でかつ共振特性に優れ
た電歪共振装置を得ることができる。
ーストが印刷された複数枚の電歪材料グリーンシートを
積層し、厚み方向に圧着した後焼成し、さらに分極処理
を施すことにより得られる。よって、各電歪材料層5,
6の厚みを薄くし得るので、小型でかつ共振特性に優れ
た電歪共振装置を得ることができる。
〔発明が解決しようとする技術的課題〕 しかしながら、上記の電歪共振装置のインピーダンス−
周波数特性を調べたところ、第3図に破線Aで示すよう
に、共振周波数近傍に比較的大きなスプリアスモードが
励振されることがわかった。これは、電極2〜4が厚み
方向に重なり合うことにより構成されたエネルギー閉じ
込め領域の外側にも電歪材料体部分が存在することや、
電極2〜4が正確に重なり合わないことにより、Lam
b波等に起因する不要振動が励振されるためと考えられ
る。
周波数特性を調べたところ、第3図に破線Aで示すよう
に、共振周波数近傍に比較的大きなスプリアスモードが
励振されることがわかった。これは、電極2〜4が厚み
方向に重なり合うことにより構成されたエネルギー閉じ
込め領域の外側にも電歪材料体部分が存在することや、
電極2〜4が正確に重なり合わないことにより、Lam
b波等に起因する不要振動が励振されるためと考えられ
る。
上記のような共振周波数近傍におけるスプリアスモード
に基づくリップル応答が存在すると、所望の共振特性を
得ることができないだけでなく、はなはだしき場合には
この装置を組み込んだ発振回路の発振停止に至ることさ
えあった。
に基づくリップル応答が存在すると、所望の共振特性を
得ることができないだけでなく、はなはだしき場合には
この装置を組み込んだ発振回路の発振停止に至ることさ
えあった。
よって、本発明の目的は、エネルギー閉じ込め型の積層
電歪共振装置において、共振周波数近傍におけるスプリ
アスモードを効果的に抑制し得る構造を備えたものを提
供することにある。
電歪共振装置において、共振周波数近傍におけるスプリ
アスモードを効果的に抑制し得る構造を備えたものを提
供することにある。
本発明の電歪共振装置は、電歪材料体と、この電歪材料
体の厚み方向において、間に分極処理された電歪材料層
を介して重なり合うように配置された3以上の電極とを
備えるエネルギー閉じ込め型の電歪共振装置において、 電極間に挟まれた複数の電歪材料層の分極度合が一様で
はないように、各電歪材料層が分極処理されていること
を特徴とするものである。
体の厚み方向において、間に分極処理された電歪材料層
を介して重なり合うように配置された3以上の電極とを
備えるエネルギー閉じ込め型の電歪共振装置において、 電極間に挟まれた複数の電歪材料層の分極度合が一様で
はないように、各電歪材料層が分極処理されていること
を特徴とするものである。
本願発明者は、積層型のエネルギー閉じ込め型電歪共振
装置におけるスプリアス振動を抑制すべく種々の電歪共
振装置を製作し、実験したところ、電極間に配置された
電歪材料層の分極の度合を一様ではないようにした場合
に共振周波数の近傍におけるスプリアスを効果的に抑制
し得ることを見出し、本発明を成すに至った。これは、
この構造がスプリアス振動を緩和することによるものと
考えられる。
装置におけるスプリアス振動を抑制すべく種々の電歪共
振装置を製作し、実験したところ、電極間に配置された
電歪材料層の分極の度合を一様ではないようにした場合
に共振周波数の近傍におけるスプリアスを効果的に抑制
し得ることを見出し、本発明を成すに至った。これは、
この構造がスプリアス振動を緩和することによるものと
考えられる。
第2図に示した従来の電歪共振装置と同様にして、第1
図に示す実施例の電歪共振装置を得た。異なるところ
は、電歪材料層5,6の分極度合を異ならせたことにあ
る。ここでは、電歪材料層5に比べて電歪材料層6の分
極度合が相対的に弱くされている。
図に示す実施例の電歪共振装置を得た。異なるところ
は、電歪材料層5,6の分極度合を異ならせたことにあ
る。ここでは、電歪材料層5に比べて電歪材料層6の分
極度合が相対的に弱くされている。
上記の電歪共振装置に、図示のように電極2,3から電
界を印加したところ、第3図の実線Bで示すインピーダ
ンス−周波数特性が得られた。この実線Bで示す特性を
従来例の特性である破線Aと比較すればわかるように、
実施例では、分極度合を異ならせることにより、共振周
波数近傍にスプリアスモードによるリップル応答が現れ
ていないことがわかる。
界を印加したところ、第3図の実線Bで示すインピーダ
ンス−周波数特性が得られた。この実線Bで示す特性を
従来例の特性である破線Aと比較すればわかるように、
実施例では、分極度合を異ならせることにより、共振周
波数近傍にスプリアスモードによるリップル応答が現れ
ていないことがわかる。
また、第1図実施例の構造において、全体の径を5.0
mm、各電歪材料層5,6の厚みを200μm、電極2〜
4を直径1mmの円板状とした形状のものを製作し、電歪
材料層5を分極電圧2.0KV/mmで分極し、電歪材料
層6を異なる種々の分極電圧で分極したものを複数個製
作し、共振周波数−反共振周波数間の周波数領域におけ
る電流と電圧の位相のゆらぎ(すなわち位相回転)を調
べたところ、第4図に示す結果が得られた。第4図から
明らかなように、電歪材料層6の分極電圧を電歪材料層
5の分極電圧と等しくした場合(すなわち分極電圧が2
KV/mmの場合)に比べて、電歪材料層6の分極電圧を
異ならせた場合には位相回転が極めて小さくなる。他
方、位相回転の大きさとスプリアスレベルとの間には第
5図(a),(b)の関係がある。従って、上記周波数
領域において両電歪材料層5,6の分極電圧が等しい場
合には、不要スプリアスモードが大きく励振されている
のに対し、電歪材料層6の分極電圧を異ならせた場合に
は、スプリアスレベルが非常に小さくなることがわか
る。よって、各電歪材料層5,6の分極電圧を異ならせ
ることにより、共振周波数−反共振周波数間の周波数領
域における不要スプリアスモードを効果的に抑制するこ
とができる。
mm、各電歪材料層5,6の厚みを200μm、電極2〜
4を直径1mmの円板状とした形状のものを製作し、電歪
材料層5を分極電圧2.0KV/mmで分極し、電歪材料
層6を異なる種々の分極電圧で分極したものを複数個製
作し、共振周波数−反共振周波数間の周波数領域におけ
る電流と電圧の位相のゆらぎ(すなわち位相回転)を調
べたところ、第4図に示す結果が得られた。第4図から
明らかなように、電歪材料層6の分極電圧を電歪材料層
5の分極電圧と等しくした場合(すなわち分極電圧が2
KV/mmの場合)に比べて、電歪材料層6の分極電圧を
異ならせた場合には位相回転が極めて小さくなる。他
方、位相回転の大きさとスプリアスレベルとの間には第
5図(a),(b)の関係がある。従って、上記周波数
領域において両電歪材料層5,6の分極電圧が等しい場
合には、不要スプリアスモードが大きく励振されている
のに対し、電歪材料層6の分極電圧を異ならせた場合に
は、スプリアスレベルが非常に小さくなることがわか
る。よって、各電歪材料層5,6の分極電圧を異ならせ
ることにより、共振周波数−反共振周波数間の周波数領
域における不要スプリアスモードを効果的に抑制するこ
とができる。
なお、電歪材料層5,6の分極度合を異ならせるには種
々の方法を採用することができる。例えば、素子の厚み
方向に温度分布を与え、それによって相対的に高温側に
位置する電歪材料層の分極度合を弱めてもよい。また、
分極度合を弱めたい電歪材料層に、分極方向と逆方向に
電界を印加してもよく、逆に分極度合を強めたい電歪材
料層に分極方向と同一方向の電界をさらに印加してもよ
い。さらに、分極処理された各電歪材料層を熱等により
一旦部分的に脱分極し、しかる後各電歪材料層により分
極度合が異なるように所定の電圧を印加してもよい。
々の方法を採用することができる。例えば、素子の厚み
方向に温度分布を与え、それによって相対的に高温側に
位置する電歪材料層の分極度合を弱めてもよい。また、
分極度合を弱めたい電歪材料層に、分極方向と逆方向に
電界を印加してもよく、逆に分極度合を強めたい電歪材
料層に分極方向と同一方向の電界をさらに印加してもよ
い。さらに、分極処理された各電歪材料層を熱等により
一旦部分的に脱分極し、しかる後各電歪材料層により分
極度合が異なるように所定の電圧を印加してもよい。
また、第1図実施例では、電歪材料層5,6の分極方向
は互いに逆向きにされていたが、第6図に示すように、
電歪材料層5,6の分極方向が同一方向である形式の電
歪共振装置においても本発明を同様に適用することがで
きる。この場合には、駆動に際しての電界の印加は、内
部に位置する電極4を引き出し、図示のように電極2,
3と、電極4とを利用して行う。
は互いに逆向きにされていたが、第6図に示すように、
電歪材料層5,6の分極方向が同一方向である形式の電
歪共振装置においても本発明を同様に適用することがで
きる。この場合には、駆動に際しての電界の印加は、内
部に位置する電極4を引き出し、図示のように電極2,
3と、電極4とを利用して行う。
同様に、第7図に示すように、4以上の電極が電歪材料
層を介して重なり合うように配置された電歪共振装置に
おいても本発明を適用することよりスプリアスモードを
効果的に抑制することができる。なお、第7図の構造で
は、電極12〜15間に位置する電歪材料層16〜18
の分極度合は、すべての電歪材料層の分極度合を異なら
せてもよく、いずれか2つの電歪材料層の分極度合を等
しくしておいてもよい。いずれにしても、スプリアスモ
ードを効果的に抑制し得るように、電歪材料層16〜1
8全体としての分極度合を厚み方向で適宜変更すればよ
い。
層を介して重なり合うように配置された電歪共振装置に
おいても本発明を適用することよりスプリアスモードを
効果的に抑制することができる。なお、第7図の構造で
は、電極12〜15間に位置する電歪材料層16〜18
の分極度合は、すべての電歪材料層の分極度合を異なら
せてもよく、いずれか2つの電歪材料層の分極度合を等
しくしておいてもよい。いずれにしても、スプリアスモ
ードを効果的に抑制し得るように、電歪材料層16〜1
8全体としての分極度合を厚み方向で適宜変更すればよ
い。
以上のように、本発明によれば、積層型のエネルギー閉
じ込め型電歪共振装置において、電極間に挟まれた複数
の電歪材料層の分極度合が一様ではないように各電歪材
料層が分極処理されているので、共振周波数−反共振周
波数間の周波数領域におけるスプリアスモードを効果的
に抑制あるいは除去することが可能となる。従って、所
望通りの共振特性を示し、かつ発振停止の恐れのない電
歪共振装置を実現することが可能となる。
じ込め型電歪共振装置において、電極間に挟まれた複数
の電歪材料層の分極度合が一様ではないように各電歪材
料層が分極処理されているので、共振周波数−反共振周
波数間の周波数領域におけるスプリアスモードを効果的
に抑制あるいは除去することが可能となる。従って、所
望通りの共振特性を示し、かつ発振停止の恐れのない電
歪共振装置を実現することが可能となる。
第1図は本発明の一実施例の断面図、第2図は従来例の
断面図、第3図は実施例および従来例のインピーダンス
−周波数特性を示す図、第4図は一方の電歪材料層を分
極する際の分極電圧を変えた場合の位相回転の変化を示
す図、第5図(a)および(b)は位相回転とスプリア
スレベルとの関係を示す各図、第6図は本発明が適用さ
れる電歪共振装置の他の例を示す断面図、第7図は本発
明が適用される電歪共振装置のさらに他の例を示す断面
図である。 図において、1は電歪材料体、2〜4は電極、5,6は
電歪材料層を示す。
断面図、第3図は実施例および従来例のインピーダンス
−周波数特性を示す図、第4図は一方の電歪材料層を分
極する際の分極電圧を変えた場合の位相回転の変化を示
す図、第5図(a)および(b)は位相回転とスプリア
スレベルとの関係を示す各図、第6図は本発明が適用さ
れる電歪共振装置の他の例を示す断面図、第7図は本発
明が適用される電歪共振装置のさらに他の例を示す断面
図である。 図において、1は電歪材料体、2〜4は電極、5,6は
電歪材料層を示す。
Claims (1)
- 【請求項1】電歪材料体と、 前記電歪材料体の厚み方向において、間に分極処理され
た電歪材料層を介して重なり合うように配置された3以
上の電極とを備えるエネルギー閉じ込め型の電歪共振装
置において、 前記電極間に挟まれた複数の電歪材料層の分極度合が一
様でないように各電歪材料層が分極処理されていること
を特徴とする電歪共振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63059771A JPH0638572B2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 電歪共振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63059771A JPH0638572B2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 電歪共振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01232816A JPH01232816A (ja) | 1989-09-18 |
| JPH0638572B2 true JPH0638572B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=13122884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63059771A Expired - Lifetime JPH0638572B2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 電歪共振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638572B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2881251B2 (ja) * | 1990-04-25 | 1999-04-12 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子 |
| JPH04365213A (ja) * | 1991-06-13 | 1992-12-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振装置 |
| JP2003008391A (ja) * | 2001-06-27 | 2003-01-10 | Murata Mfg Co Ltd | 厚み縦圧電共振子及びその製造方法 |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP63059771A patent/JPH0638572B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01232816A (ja) | 1989-09-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |