JPH0639091B2 - 加圧焼結用モ−ルド - Google Patents
加圧焼結用モ−ルドInfo
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- JPH0639091B2 JPH0639091B2 JP18810085A JP18810085A JPH0639091B2 JP H0639091 B2 JPH0639091 B2 JP H0639091B2 JP 18810085 A JP18810085 A JP 18810085A JP 18810085 A JP18810085 A JP 18810085A JP H0639091 B2 JPH0639091 B2 JP H0639091B2
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Landscapes
- Moulds, Cores, Or Mandrels (AREA)
- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は炭素材料製モールドの耐久性を向上させかつ焼
成体への不純物の混入防止を目的とした加圧焼結用モー
ルドに関する。
成体への不純物の混入防止を目的とした加圧焼結用モー
ルドに関する。
従来技術と発明が解決しようとする問題点 1500℃以上の超高温で不活性雰囲気又は真空中で加圧を
行ないながら焼結する加工焼結法は、セラミック等の難
焼結材に対して多く用いられてる。該焼結時のモールド
として耐熱性と焼結体との反応性が少ないことより炭素
材料で作られたものが多く用いられている。
行ないながら焼結する加工焼結法は、セラミック等の難
焼結材に対して多く用いられてる。該焼結時のモールド
として耐熱性と焼結体との反応性が少ないことより炭素
材料で作られたものが多く用いられている。
実際には1500℃以上の高温と200kg/cm2程度の圧力をモ
ールドを通して焼結体に加えるとモールドと焼結体の間
で反応を引起こし、両者の融着がおこる。
ールドを通して焼結体に加えるとモールドと焼結体の間
で反応を引起こし、両者の融着がおこる。
これを回避するためモールドと焼結体との間に窒化硼素
等の粉末を充填して、両者の融着を防止している。
等の粉末を充填して、両者の融着を防止している。
しかし液相を多く出す焼結体又は1900℃以上では窒化硼
素粉末ではモールドと焼結体の融着を防止することがで
きず、モールドと焼結体の融着を引起こし焼結体を取出
す為には、モールドを破壊する必要があった。よって従
来液相を多く出す焼結体又は1900℃以上の高温での焼結
には加圧焼結用モールドをくり返し使用することができ
なかった。
素粉末ではモールドと焼結体の融着を防止することがで
きず、モールドと焼結体の融着を引起こし焼結体を取出
す為には、モールドを破壊する必要があった。よって従
来液相を多く出す焼結体又は1900℃以上の高温での焼結
には加圧焼結用モールドをくり返し使用することができ
なかった。
更に窒化硼素等の粉末でモールドと焼結体の融着を防止
する場合、焼結前の粉末をモールドに充填する際に窒化
硼素等の粉末が焼結用粉末に混入するため焼結体内部に
窒化硼素等の不純物を生じる。
する場合、焼結前の粉末をモールドに充填する際に窒化
硼素等の粉末が焼結用粉末に混入するため焼結体内部に
窒化硼素等の不純物を生じる。
問題点を解決するための手段 本発明は加圧焼結用モールドと焼結体との間に可撓性か
つ耐熱性のあるシートを用いて、両者を隔てモールドと
焼結体との融着を防止し、従来用いられてきた窒化ケイ
素等の融着防止剤では効果のなかった液相を多く発生す
る焼結体においても融着防止効果があり、加圧焼結用モ
ールドの耐久性を向上し、かつ融着防止剤として窒化硼
素等の粉末を用いないことで、これら粉末の焼結体への
混入を防止することを可能とした。
つ耐熱性のあるシートを用いて、両者を隔てモールドと
焼結体との融着を防止し、従来用いられてきた窒化ケイ
素等の融着防止剤では効果のなかった液相を多く発生す
る焼結体においても融着防止効果があり、加圧焼結用モ
ールドの耐久性を向上し、かつ融着防止剤として窒化硼
素等の粉末を用いないことで、これら粉末の焼結体への
混入を防止することを可能とした。
本発明を更に詳細に説明すると、加圧焼結用モールドを
炭素材料で作る。従来の構成部品を第２図に示す。モー
ルドの焼結体が接触する部分に可撓性かつ耐熱性を有す
る厚さ0.05〜５mmのシートを所要の形状に裁断して貼付
ける。
炭素材料で作る。従来の構成部品を第２図に示す。モー
ルドの焼結体が接触する部分に可撓性かつ耐熱性を有す
る厚さ0.05〜５mmのシートを所要の形状に裁断して貼付
ける。
本発明の加圧焼結用モールドの構成を第１図に示す。
該シート材料として薄片状グラファイトにたとえば硫酸
と硝酸の混合物のような酸化剤で処理して350〜600℃に
加熱して得られる膨張性グラファイト等が使用出来る。
と硝酸の混合物のような酸化剤で処理して350〜600℃に
加熱して得られる膨張性グラファイト等が使用出来る。
また加圧焼結用モールドと該シートとの接着は焼結原料
粉末がモールドに充填されるまでのわずかなあいだ効果
のあるもので良く、接着剤の耐熱性等の性能を有する必
要はない。
粉末がモールドに充填されるまでのわずかなあいだ効果
のあるもので良く、接着剤の耐熱性等の性能を有する必
要はない。
理想的には焼成中に分解ガスを多量に発生しないものが
望ましい。更に該シートと加圧焼結用モールドは高温加
圧下で融着しない材料を用い、焼結体とモールド間の分
離を容易にする。又用いる可撓性かつ耐熱性を有するシ
ートの厚みとしては0.05mm以下のものは、モールドと焼
結体の隔壁効果が少なく、５mm以上になると加圧時のシ
ートの歪みが大きくなって焼結体の寸法精度が悪くな
る。
望ましい。更に該シートと加圧焼結用モールドは高温加
圧下で融着しない材料を用い、焼結体とモールド間の分
離を容易にする。又用いる可撓性かつ耐熱性を有するシ
ートの厚みとしては0.05mm以下のものは、モールドと焼
結体の隔壁効果が少なく、５mm以上になると加圧時のシ
ートの歪みが大きくなって焼結体の寸法精度が悪くな
る。
上記で説明した可撓性かつ耐熱性を有するシートを必要
部に接着した加圧焼結用モールドに焼結用粉末を充填し
て加圧焼結することで、従来融着防止剤として使用して
きた粉末の焼結体への混入を防止し、加圧焼結終了後の
焼結体とモールドとの分離を容易にすることができた。
部に接着した加圧焼結用モールドに焼結用粉末を充填し
て加圧焼結することで、従来融着防止剤として使用して
きた粉末の焼結体への混入を防止し、加圧焼結終了後の
焼結体とモールドとの分離を容易にすることができた。
実施例 １ 焼結用に擂潰機で粉砕混合された炭化硅素を用意した。
（尚この炭化硅素粉末中に焼結用助剤として５重量％の
アルミナを添加している。） 可撓性かつ耐熱性の有するシートとして0.5mm厚の膨張
性グラファイトを用いた本発明の加圧焼結用モールドに
用意した焼結用窒化硅素粉末を充填し、窒素雰囲気中で
200kg/cm2の圧力を加えながら2000℃で１時間焼成し
た。
（尚この炭化硅素粉末中に焼結用助剤として５重量％の
アルミナを添加している。） 可撓性かつ耐熱性の有するシートとして0.5mm厚の膨張
性グラファイトを用いた本発明の加圧焼結用モールドに
用意した焼結用窒化硅素粉末を充填し、窒素雰囲気中で
200kg/cm2の圧力を加えながら2000℃で１時間焼成し
た。
冷却後、焼結体はモールドに融着することなく取出すこ
とができた。
とができた。
比較例 １ 加圧焼結用炭素材料モールドに焼結体との融着防止の
為、窒化硼素粉末をアルコールに分散させてモールドに
塗布し、アルコールを除去した後実施例１で用いた焼結
用炭化珪硅素粉末をモールドへ充填し、実施例１と同一
条件で加圧焼結を行った。
為、窒化硼素粉末をアルコールに分散させてモールドに
塗布し、アルコールを除去した後実施例１で用いた焼結
用炭化珪硅素粉末をモールドへ充填し、実施例１と同一
条件で加圧焼結を行った。
冷却後、焼結体はモールドと融着したため、モールドを
破壊して取出した。
破壊して取出した。
発明の効果 本発明のモールドを使用すると、加圧焼結中、モールド
と焼結体との融着を防止し加圧焼結用モールドをくり返
し使用することができる。
と焼結体との融着を防止し加圧焼結用モールドをくり返
し使用することができる。
第１図は本発明の加圧焼結用モールドの略図的断面図、
第２図は従来の加圧焼結用モールドの略図的断面図であ
る。 １……モールド、２……下パンチ、３……上パンチ、４
……可撓性かつ耐熱性を有するシート。
第２図は従来の加圧焼結用モールドの略図的断面図であ
る。 １……モールド、２……下パンチ、３……上パンチ、４
……可撓性かつ耐熱性を有するシート。
Claims (2)
- 【請求項１】加圧焼結用炭素材料製モールドと焼結体と
が接触する部分に可撓性かつ耐熱性を有するシートを隔
壁として使用することを特徴とする加圧焼結用モール
ド。 - 【請求項２】可撓性かつ耐熱性を有するシートとして薄
片状の膨張性グラファイトを使用することを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の加圧焼結用モールド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18810085A JPH0639091B2 (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | 加圧焼結用モ−ルド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18810085A JPH0639091B2 (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | 加圧焼結用モ−ルド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6246604A JPS6246604A (ja) | 1987-02-28 |
| JPH0639091B2 true JPH0639091B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=16217699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18810085A Expired - Lifetime JPH0639091B2 (ja) | 1985-08-26 | 1985-08-26 | 加圧焼結用モ−ルド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639091B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0613168B2 (ja) * | 1988-12-26 | 1994-02-23 | イビデン株式会社 | 成形型 |
| JPH05318427A (ja) * | 1992-05-21 | 1993-12-03 | Ngk Insulators Ltd | ホットプレス用加圧機構及びそれを利用した加圧焼結方法 |
| US5498146A (en) * | 1994-04-05 | 1996-03-12 | General Electric Company | Apparatus for making metal alloy foils |
| JP5386747B2 (ja) | 2008-02-21 | 2014-01-15 | 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー | 半導体基板、半導体素子、発光素子及び電子素子 |
-
1985
- 1985-08-26 JP JP18810085A patent/JPH0639091B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6246604A (ja) | 1987-02-28 |
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