JPH0639335Y2 - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH0639335Y2 JPH0639335Y2 JP1988034128U JP3412888U JPH0639335Y2 JP H0639335 Y2 JPH0639335 Y2 JP H0639335Y2 JP 1988034128 U JP1988034128 U JP 1988034128U JP 3412888 U JP3412888 U JP 3412888U JP H0639335 Y2 JPH0639335 Y2 JP H0639335Y2
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- Japan
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- acceleration sensor
- piezoelectric element
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- acceleration
- conductive resin
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は圧電素子を用いて加速度を検出する加速度セン
サに係り、特に、低周波，低加速度を検出できる加速度
センサに関する。
サに係り、特に、低周波，低加速度を検出できる加速度
センサに関する。
加速度は変位の２重微分で得られるので、低周波になる
ほど大きな変位でも実際の加速度は小さくなってくる。
例えば160Hz,10μｍの変位で加速度は1G,0.16Hzでは10m
の変位量で1Gとなる。低周波の振動測定を行う場合、実
際の変位はせいぜい1m以下であり、例えば1.6Hzでは、
0.1Gで、1cmの変位となる。
ほど大きな変位でも実際の加速度は小さくなってくる。
例えば160Hz,10μｍの変位で加速度は1G,0.16Hzでは10m
の変位量で1Gとなる。低周波の振動測定を行う場合、実
際の変位はせいぜい1m以下であり、例えば1.6Hzでは、
0.1Gで、1cmの変位となる。
従って、0.1〜10Hzの振動を測定するためには0.1〜0.01
Gの小さな加速度を測定できるものでなければならな
い。
Gの小さな加速度を測定できるものでなければならな
い。
従来の加速度センサは、圧電素子を絶縁して金属体で被
覆している。
覆している。
上記従来例は電磁シールド性が優れているが、断熱性が
劣るため温度変化によって焦電効果に基く直流出力が生
じ、1Hz以下の低周波で0.1G以下の低加速度ではドフト
が大きくなり実用に適さない。またセンサの金属体で被
測定物に接地してしまうため、静電誘導によってドリフ
トを生じ、わざわざ絶縁スペースを併用する煩わしさが
あった。
劣るため温度変化によって焦電効果に基く直流出力が生
じ、1Hz以下の低周波で0.1G以下の低加速度ではドフト
が大きくなり実用に適さない。またセンサの金属体で被
測定物に接地してしまうため、静電誘導によってドリフ
トを生じ、わざわざ絶縁スペースを併用する煩わしさが
あった。
本考案加速度センサは上記の課題を解決するため、図示
のように圧電素子１を導電性樹脂2,断熱体３及び熱伝導
体４により順次被覆し、これを絶縁性基台５に取付けて
なる構成としたものである。
のように圧電素子１を導電性樹脂2,断熱体３及び熱伝導
体４により順次被覆し、これを絶縁性基台５に取付けて
なる構成としたものである。
このように構成することにより圧電素子１が導電性樹脂
２で電磁シールドされるので、電気的ノイズに影響され
にくい。また断熱体３と熱伝導体４の二層構造になって
いるので、外部からの局所的加熱または冷却による温度
変化は先ず熱伝導体４で周囲に拡散され、更に断熱体３
で圧電素子１に急激な温度変化が加わらず、緩和され
る。更に絶縁性基台５が圧電素子１を被測定物から電気
的に絶縁するので、静電誘導やアース間電位などの誘導
障害を受けにくい。
２で電磁シールドされるので、電気的ノイズに影響され
にくい。また断熱体３と熱伝導体４の二層構造になって
いるので、外部からの局所的加熱または冷却による温度
変化は先ず熱伝導体４で周囲に拡散され、更に断熱体３
で圧電素子１に急激な温度変化が加わらず、緩和され
る。更に絶縁性基台５が圧電素子１を被測定物から電気
的に絶縁するので、静電誘導やアース間電位などの誘導
障害を受けにくい。
以下図面に基いて本考案加速度センサの一実施例を説明
する。
する。
図中１は圧電素子で、高分子系，セラミックス系のいず
れでもよい。圧電素子１は、例えば図例の如く１枚の圧
電膜６の両面に膜状電極7a,7bを形成し、この両電極7a,
7bにケーブル８のリード線9a,9bを接続してなる単層型
のもの、あるいは２枚の圧電膜の貼り合せ面と両外面に
膜状電極を形成し、この膜状電極にケーブルのリード線
を接続してなる積層型のものでもよい。
れでもよい。圧電素子１は、例えば図例の如く１枚の圧
電膜６の両面に膜状電極7a,7bを形成し、この両電極7a,
7bにケーブル８のリード線9a,9bを接続してなる単層型
のもの、あるいは２枚の圧電膜の貼り合せ面と両外面に
膜状電極を形成し、この膜状電極にケーブルのリード線
を接続してなる積層型のものでもよい。
圧電素子１は筒状絶縁架台10上に取付けられ、この架台
10を支持するように例えば厚さ2mmのカーボン混合樹脂
等の導電性樹脂２で全体が被覆されている。この導電性
樹脂２の下面は例えば厚さ5mmのベークライト等の絶縁
性基台５上に設置されており、導電性樹脂２の上，側面
を被うように例えば厚さ5mmの硬質ウレタン低発泡体等
の断熱材３及び例えば厚さ0.5mmのステンレス等の熱伝
導体４がこの順に被着され、絶縁性基台５に固着されて
いる。またケーブル８は導電性樹脂2,断熱体３及び熱伝
導体４を貫通して外部に引出されている。
10を支持するように例えば厚さ2mmのカーボン混合樹脂
等の導電性樹脂２で全体が被覆されている。この導電性
樹脂２の下面は例えば厚さ5mmのベークライト等の絶縁
性基台５上に設置されており、導電性樹脂２の上，側面
を被うように例えば厚さ5mmの硬質ウレタン低発泡体等
の断熱材３及び例えば厚さ0.5mmのステンレス等の熱伝
導体４がこの順に被着され、絶縁性基台５に固着されて
いる。またケーブル８は導電性樹脂2,断熱体３及び熱伝
導体４を貫通して外部に引出されている。
導電性樹脂２としては、カーボン混合樹脂以外にアルミ
等の金属粉、金属フレーク等を樹脂中に混入してなるも
のを用いることができる。
等の金属粉、金属フレーク等を樹脂中に混入してなるも
のを用いることができる。
断熱材３としては硬質ウレタン低発泡体以外にポリエチ
レン発泡体、塩化ビニル発泡体、ABS発泡体等プラスチ
ック、ゴムの発泡体で、独立気泡を有するものを用いる
ことができる。
レン発泡体、塩化ビニル発泡体、ABS発泡体等プラスチ
ック、ゴムの発泡体で、独立気泡を有するものを用いる
ことができる。
熱伝導体４としてはステンレス以外に銅，アルミ等の金
属を用いることができる。
属を用いることができる。
絶縁性基台５としてはベークライト以外にメラミン、ア
クリル樹脂、ポリエステル、ポリエチレン等の硬質樹脂
を用いることができる。
クリル樹脂、ポリエステル、ポリエチレン等の硬質樹脂
を用いることができる。
本実施例は上記のような構成であるから、圧電素子１が
導電性樹脂２で電磁シールドされるので、電気的ノイズ
に影響されにくい。従って0.001Gのような小さな加速度
も計測することができる。
導電性樹脂２で電磁シールドされるので、電気的ノイズ
に影響されにくい。従って0.001Gのような小さな加速度
も計測することができる。
また断熱体３と熱伝導体４の二層構造になっているの
で、外部からの局所的加熱または冷却による温度変化は
先づ熱伝導体４で周囲に拡散され、更に断熱体３で圧電
素子１に急激な温度変化が加わらず、緩和される。
で、外部からの局所的加熱または冷却による温度変化は
先づ熱伝導体４で周囲に拡散され、更に断熱体３で圧電
素子１に急激な温度変化が加わらず、緩和される。
換言すれば、外部からの加熱あるいは冷却による温度変
化は、断熱体３と熱伝導体４により大幅に緩和されるこ
とになる。従って20℃/minのような急激な温度変化を局
所的に与えても10μＶ程度しかドリフトせず、1G当たり
1mVの加速度出力に対して１％程度にドリフトを低減で
きる。
化は、断熱体３と熱伝導体４により大幅に緩和されるこ
とになる。従って20℃/minのような急激な温度変化を局
所的に与えても10μＶ程度しかドリフトせず、1G当たり
1mVの加速度出力に対して１％程度にドリフトを低減で
きる。
更に絶縁性基台５が圧電素子１を被測定物から電気的に
絶縁するので、静電誘導やアース間電位などの誘導障害
を受けにくい。
絶縁するので、静電誘導やアース間電位などの誘導障害
を受けにくい。
本考案では低周波，低加速度検出用の加速度センサとし
て自動車、鉄道車両，橋，建物等の加速度，振動計測用
に適するものである。
て自動車、鉄道車両，橋，建物等の加速度，振動計測用
に適するものである。
上述のように本考案によれば、圧電素子１を導電性樹脂
２により電磁シールドしているので、電気的ノイズに影
響されず、また断熱体３と熱伝導体４により外部からの
加熱あるいは冷却による温度変化を大幅に緩和できるば
かりでなく、絶縁性基台５により圧電素子１を被測定物
から電気的に絶縁しているので、静電誘導やアース間電
位などの誘導障害を受けにくいため、低周波，低加速度
の計測も高精度に行うことができる。
２により電磁シールドしているので、電気的ノイズに影
響されず、また断熱体３と熱伝導体４により外部からの
加熱あるいは冷却による温度変化を大幅に緩和できるば
かりでなく、絶縁性基台５により圧電素子１を被測定物
から電気的に絶縁しているので、静電誘導やアース間電
位などの誘導障害を受けにくいため、低周波，低加速度
の計測も高精度に行うことができる。
図面は本考案加速度センサの一実施例を示す断面図であ
る。 １……圧電素子、２……導電性樹脂、３……断熱体、４
……熱伝導体、５……絶縁性基台、10……筒状絶縁架
台。
る。 １……圧電素子、２……導電性樹脂、３……断熱体、４
……熱伝導体、５……絶縁性基台、10……筒状絶縁架
台。
Claims (2)
- 【請求項１】圧電素子１を導電性樹脂2,断熱体３及び熱
伝導体４により順次被覆し、これを絶縁性基台５に取付
けてなる加速度センサ。 - 【請求項２】導電性樹脂2,断熱体３及び熱伝導体４を１
つの樹脂で形成してなる実用新案登録請求の範囲第１項
記載の加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988034128U JPH0639335Y2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988034128U JPH0639335Y2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01137474U JPH01137474U (ja) | 1989-09-20 |
| JPH0639335Y2 true JPH0639335Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=31260847
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988034128U Expired - Lifetime JPH0639335Y2 (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639335Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5982889B2 (ja) * | 2012-03-12 | 2016-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーモジュール及び電子機器 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS548311B2 (ja) * | 1974-04-18 | 1979-04-14 | ||
| JPS61181319U (ja) * | 1985-05-02 | 1986-11-12 |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP1988034128U patent/JPH0639335Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01137474U (ja) | 1989-09-20 |
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