JPH0640731A

JPH0640731A - 光学素子部材の吸着搬送方法

Info

Publication number: JPH0640731A
Application number: JP21551392A
Authority: JP
Inventors: Isamu Shigyo; 勇執行; Nobuyuki Nakagawa; 伸行中川
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1992-07-21
Filing date: 1992-07-21
Publication date: 1994-02-15
Anticipated expiration: 2014-11-02
Also published as: JP2970790B2

Abstract

(57)【要約】【目的】成形された最終製品である光学素子に有害な
欠陥を発生させることなく、又、成形型から成形された
光学素子を取り出す際に、成形型と光学素子が再密着を
起こすことなく、スムースに光学素子を成形型から取り
出させる事により、欠陥のない光学素子を、連続的に製
造できる光学素子部材の吸着搬送方法を提供する。【構成】光学素子部材を吸着搬送し、あるいは、載置
する工程において、前記光学素子部材を吸着部材で吸着
する際に、前記吸着部材の吸着面と光学素子部材との間
に所定の間隔をあけた状態で、前記光学素子部材を前記
吸着部材に吸着させ、あるいは、吸着部材で吸着された
前記光学素子部材を成形型の下型成形面上あるいは受け
台上に載置する際に、前記下型成形面上あるいは受け台
の受け面上と前記光学素子部材との間に所定の間隔をあ
けた状態で、前記光学素子部材に対する吸着を解除し、
前記間隔で前記光学素子を落下させ、前記下型成形面上
あるいは受け台の受け面上に載置させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、非球面レンズ
などの高精度な光学素子をプレス成形で形成する場合
に、プレス成形の前後で、光学素子の素材や、成形され
た光学素子を、吸引作用により吸着し、搬送する時に用
いる光学素子部材の吸着搬送方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、研削・研磨による光学素子の加工
方法に代わり、加熱軟化させたガラス素材を、成形型内
で直接プレス成形する方法が注目されている。通常、こ
の種の成形には、胴型内で前記胴型に摺動する上下型よ
りなる成形用型部材を用いて、軟化状態に有るガラス素
材をプレスし、前記型部材の成形面に対応した光学機能
面を前記ガラス素材に形成し、その後、冷却を行い、前
記型部材を分解したり、場合によっては、上下型のどち
らかを、形成された光学素子より引き離し、その後、前
記光学素子を取り出す方法が用いられている。

【０００３】この種の取出しの方法として、特開昭６３
−２９７２２９号公報には、金型冷却機構を備えた真空
チャック式のプレス成形品の離型装置が提案されてい
る。これは、プレス終了後、上型を上昇させ、型内から
プレス成形品を取り出す時、金型冷却機構を備えた真空
チャックが、下型上部に進入して、下型を冷却し、ベロ
ーズを介して、真空チャックのホルダーに取りつけられ
た吸着板を、成形品に接触させ、真空吸着により成形品
を取り出すというものである。

【０００４】又、特開昭６４−４２３３２にも、同様の
真空吸着による搬送方法として、下方に弾性的に押圧付
勢されて上下動可能に支持された吸着保持手段によるレ
ンズ成形用材料及びレンズ成形品の吸着搬送方法が開示
されている。

【０００５】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、プ
レス成形による光学素子の成形は、数百度の高温で行わ
れる為、吸着搬送される光学素子部材の温度も必然的に
高くなり、それに用いる吸着部材や受け台にゴム等の弾
性体を用いることが出来ず、金属等の耐熱性を有する材
料を用いなければならない。それ故、前記従来例では、
成形された光学素子や、成形前の光学素子素材等の光学
素子部材が、吸着に際して、先ず、吸着部材に接触され
る為、接触時に、押圧力が働き、光学素子部材と吸着部
材とのわずかな位置ずれや、装置側から発生する振動な
どにより、吸着部材に対して擦られ、光学的に有害な傷
が発生し、最終製品である光学素子に欠陥を残すという
問題があった。又、光学素子部材を下型の成形面上や受
け台上に載置する際にも、光学素子部材が下型や受け台
の受け面に接触させる際、押圧がなされ、同様の問題が
発生していた。更に、成形型から成形された光学素子を
取り出す際に、成形された光学素子が成形型から離型さ
れていても、成形型と光学素子の形状がほぼ同一であ
り、両者ともに接触面が光学機能を有するように、非常
に平滑になっている為、成形型と光学素子とは、わずか
に圧力を加えただけで、再度、密着を起こし易く、真空
吸着による離型取出しが不可能になるという問題があっ
た。

【０００６】

【発明の目的】そこで、本発明は、成形された最終製品
である光学素子に有害な欠陥を発生させることなく、
又、成形型から成形された光学素子を取り出す際に、成
形型と光学素子が再密着を起こすことなく、スムースに
光学素子を成形型から取り出させる事により、欠陥のな
い光学素子を、連続的に製造できる光学素子部材の吸着
搬送方法を提供しようとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】このため、本発明では、
例えば、光学素子部材の吸着の際に、吸着部と光学素子
の間に２ｍｍ以下の隙間を設けた状態で真空吸着を行う
事で、吸着部が金属等の固い材質で作られていても、光
学素子部材に有害な傷等を発生させない事により、更
に、鏡面状に研磨された成形型上から、成形型の面形状
を転写させられた光学素子を吸着する際には、１ｍｍ以
下の隙間を設けた状態で真空吸着を行う事で、再密着を
発生させない事により、及び、吸着搬送後の光学素子部
材の下型上や、受け台上への載置の際に、下型や受け台
と、吸着された光学素子部材との間に２ｍｍ以下の隙間
を開けた状態から吸着を解除し、多少の自由落下をとも
ないながら吸着解除を行う事により、欠陥のない光学素
子を安定的に、連続して製造できる様にしている。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照して具
体的に説明する。図１には、本発明の自動プレス成形装
置が概略的に示されており、窒素ガス雰囲気等の不活性
ガス雰囲気中で光学素子素材を加熱し、プレス成形を行
う成形部Ａと；成形部Ａへ光学素子素材を供給し、更
に、成形された光学素子を成形部Ａより大気中に取り出
す供給部Ｂと；供給部Ｂにあらかじめストックされてい
る光学素子素材を順次供給し、又、成形された光学素子
を供給部Ｂより搬出し、順次ストックして行くロボット
部Ｃと；から構成されている。

【０００９】上記成形部Ａは、気密構造の成形チャンバ
ー１と、その中に設置されている成形型２と、成形型２
の開閉および加圧を行う為のプレス機構６と、成形型２
へ光学素子素材を挿入し、成形された光学素子を取り出
す為の旋回ハンド機構１２とより成り立っている。成形
型２は、光学素子部材の挿入取り出し用の開口部３ｂを
有した胴型３に、その、ほぼ中心に開けられた貫通穴の
上下から、上型４と下型５とを挿入することで、組み立
てられており、更に、その底部に、下型５の位置規制の
為の底板３ａがねじ止めされた構造になっている。

【００１０】プレス機構６は、成形型２の上型４を引き
上げる為のフツク８を有したプレス軸７と、プレス軸７
の上昇と加圧下降の為のプレスシリンダー９と、プレス
軸７に締結されているプレスシリンダーシャフト１０と
から構成されており、更に、プレス軸７は成形チャンバ
ー１内の気密を保持する為、図示の様に、成形チャンバ
ー１との間をＯリング１１によりシールされていて、プ
レスシリンダー９の動きに合わせ、光学素子素材の挿
入、成形された光学素子の取り出しの為の上型４の上
昇、及び、プレス成形の為の上型４への加圧が出来る様
になっている。

【００１１】又、旋回ハンド機構１２は、成形チャンバ
ー１の底部を貫通して垂直に立てられた旋回軸１３と、
旋回軸１３に水平に取りつけられた旋回アーム１５と、
旋回アーム１５の先端に釣り下げられた状態で取りつけ
られた吸着ハンド１４とより構成されている。旋回軸１
３はプレス軸７と同様に、気密保持の為、成形チャンバ
ー１に、Ｏリング（図示せず）を介して、取りつけられ
て、同様に、回転旋回機構（図示せず）と、上下動機構
とにより、図示の様に、旋回及び上下動作が可能な構造
となっており、更に、旋回軸１３の軸内に設けられた吸
着用の吸気穴（図示せず）に接続された吸着配管１６
が、吸着ハンド１４の吸着用吸気穴１４ａに接続されて
いて、供給部Ｂにより供給された光学素子素材を、成形
型２の下型５上に挿入し、更に、成形された光学素子を
下型５から取り出し、供給部Ｂ上に載置することが出来
る様になっている。又、成形チャンバー１の供給部Ｂと
の接続部には、ゲート弁１７が設けられており、供給部
Ｂとの接続、分離の際に成形室内の気密を保持出来る様
になっている。

【００１２】供給部Ｂでは、架台２２がスライドベース
２１の上に取り付けられており、シリンダー２３のシリ
ンダーシャフト２３ａが架台２２に締結されており、シ
リンダー２３の動きに合わせ、架台２２がスライドベー
ス２１の上を水平に移動出来る様になっている。更に、
架台２２の上部にはシリンダー３１が固定されていて、
シリンダー３１のシリンダーシャフト３１ａを介して置
換室２７が上下動作可能に設けられている。

【００１３】又、置換室２７の中央部を貫通して、シフ
ター２４が配置されていて、その上部に光学素子素材の
受け台２５と成形された光学素子の受け台２６とが取り
つけられている。そして、シリンダー３０が架台２２の
下部に固定されており、シリンダー３０のシリンダーシ
ャフト３０ａがシフター２４の底部に締結されている。
置換室２７の上部開放面とシフター２４との擦り合わせ
部には、それぞれ、Ｏリング２８．２９が設けられてい
て、ゲート弁１７との接続時に、成形チャンバー内の気
密を保持出来る構造になっている。

【００１４】ロボット部Ｃは、光学素子素材と成形され
た光学素子とをストックして置くパレット３２と、吸着
用排気配管３４が接続された吸着フィンガー３３と、吸
着フィンガー３３の上下動を行う為のシリンダー３５及
び３６と、吸着フィンガー３３をパレット３２上の任意
の点に水平移動させる為のＸＹステージ３７とから構成
されている。

【００１５】又、図２、図３は、上記システムにおい
て、光学素子素材である、外周表面を研磨、火炎処理又
は酸処理により、滑らかに加工されたボール状のブラン
ク４０、あるいは、成形された光学素子４１を、それぞ
れの工程で吸着し、あるいはその吸着を解除する時の隙
間の状態を示している。

【００１６】そして、図２（ａ）は、吸着フィンガー３
３で、ブランク４０をパレット３２から吸着する時、そ
のブランク４０と吸着フィンガー３３の接触部との隙間
Ｌａの状態を示しており、図２（ｂ）は、前記パレット
３２から吸着したブランク４０を、光学素子素材の受け
台２５に載置する時、そのブランク４０と、受け台２５
の接触部との隙間Ｌｂの状態を示している。

【００１７】以下、同様に、図２（ｃ）は、吸着ハンド
１４で、受け台２５からブランク４０を吸着する時の状
態、図２（ｄ）は、吸着ハンド１４からブランク４０を
離して、下型５に載置する時の状態、図３（ａ）は、吸
着ハンド１４で、成形された光学素子４１を下型５から
吸着し、取出しする時の状態、図３（ｂ）は、吸着ハン
ド１４から光学素子４１を離して、光学素子の受け台２
６に載置する時の状態、図３（ｃ）は、吸着フィンガー
３３で、受け台２６から光学素子４１を吸着する時の状
態、図３（ｄ）は、吸着フィンガー３３から光学素子４
１を離して、パレット３２に載置する時の状態を示して
おり、それぞれ、吸着、吸着解除の時に、必要な隙間Ｌ
ｃ，Ｌｄ，Ｌｅ，Ｌｆ，Ｌｇ，Ｌｈがあけられた様子が
示されている。又、それぞれの隙間の内、吸着フィンガ
ー３３に関係する隙間Ｌａ，Ｌｂ，Ｌｇ，Ｌｈは、前記
シリンダー３５，３６のストロークを規制する事で調整
可能であり、吸着ハンド１４に関係する隙間Ｌｃ，Ｌ
ｄ，Ｌｅ，Ｌｆは、図示の様に、吸着ハンド１４に設け
られたストッパー１４ｂを、受け台２５，２６と胴型３
の一部とに、突き当てる事で確保される。

【００１８】更に、吸着ハンド１４、吸着フィンガー３
３、および、受け台２６には、温度調節の為のヒーター
（図示せず）が内蔵されていて、高温での成形直後の光
学素子に急激な温度変化による割れが発生しない様に、
温度調節されており、また、吸着ハンド１４はモリブデ
ンで、大気中でも用いられる吸着フィンガー３３および
受け台２６はステンレスで、更に、比較的高温（２００
〜３５０℃）の光学素子が載置されるパレット３２、お
よび、高温の雰囲気にさらされる受け台２５は、同様
に、ステンレスでそれぞれ作られている。又、受け台２
５，２６及びパレット３２には、吸着時に光学素子部材
の反吸着面に正圧がかかりやすくする事で吸着を安定さ
せる目的のため、息抜き穴２５ａ，２６ａ，３２ａが設
けられている。

【００１９】次に、前述のシステムを使用して光学素子
成形品を成形する工程を、より具体的に説明する。な
お、ここで成形される光学素子は、カメラ、ビデオカメ
ラ等に用いられる、上型により形成される面の曲率がＲ
＝１６ｍｍ、下型で形成される面の非球面の近似の曲率
が約Ｒ＝１５ｍｍの形状を有する直径１４ｍｍの非球面
レンズで有り、ここで用いられた硝材は、温度が６２０
℃の時に１０^9.5 ポアズ、５３４℃の時に１０¹³ポア
ズ、４８０℃の時に１０¹⁶ポアズの粘度となる粘性特性
を持ったＳＫ１２である。又、成形は、型の酸化を防止
する為にＮ₂ 雰囲気の密閉炉内で行った。

【００２０】成形開始前に、吸着及び吸着解除に必要な
吸着ハンド１４、吸着フィンガー３３の吸着中心と、下
型５、受け台２５，２６及びパレット３２の置き位置の
中心とのずれ量が±０．１ｍｍ以内となる様に軸芯合わ
せを行った後に、図２、３に示すように、それぞれの隙
間の内、Ｌｅ＝０．３ｍｍ、とし、残りの隙間を全て
０．６±０．２ｍｍとなる様に調整した。次に、吸着ハ
ンド１４を４００℃、受け台２６を２７５℃、吸着フィ
ンガー３３を２００℃の温度に設定し、成形チャンバー
１の内部を窒素雰囲気に置換した。

【００２１】吸着ハンド１４と受け台２６と吸着フィン
ガー３３とが所定の温度に到達後、成形を開始した。ま
ず初めに、シリンダー３５，３６を上昇させ、ＸＹステ
ージ３７により、吸着フィンガー３３をパレット３２上
の最初のブランク４０の真上に移動させ、シリンダー３
５及び３６を降下させ、図２（ａ）に示す状態にし、吸
着用吸気配管３４に接続されている吸着源（図示せず）
を作動させ、ブランク４０を吸着フィンガー３３に吸着
させた。

【００２２】次に、シリンダー３５，３６を上昇させ、
吸着フィンガー３３が受け台２６の真上に来る様に、Ｘ
Ｙステージ３７を移動させてから、シリンダー３５を下
降させ、図２（ｂ）に示す状態にし、吸着を解除し、ブ
ランク４０を受け台２５の上に自由落下させた。次い
で、ブランク４０を受け台２５の上に乗せた状態で、シ
リンダー２３を引き込み、供給部Ｂをゲート弁１７の下
に移動させ、シリンダー３１を作動させ、置換室２７を
上昇させ、置換室の上部とゲート弁１７の下部とがＯリ
ング２８を介して密着した後に、真空排気装置および窒
素供給装置（図示せず）により、置換室２７とゲート弁
１７とで囲われた部分を窒素雰囲気に置換した。

【００２３】その後、ゲート弁１７を開け、シリンダー
３０を作動させる事により、シフター２４を成形チャン
バー１の内部に挿入し、旋回軸１３を旋回下降させて、
吸着ハンド１４のストッパー１４ｂを受け台２５の肩の
部分につき当て、図２（ｃ）に示す状態にし、同時に成
形型３の加熱を開始した。成形型の温度が４５０℃にな
った所で、吸着源を作動させ、ブランク４０を吸着ハン
ド１４に吸着させ、旋回軸１３を上昇、旋回させる事に
より、吸着ハンド１４を成形型２の胴型３の開口部３ｂ
に挿入し、旋回軸１３を再度下降させて、吸着ハンドの
ストッパー１４ｂを胴型につき当て、図２（ｄ）に示す
状態にしてから、吸着を解除し、ブランク４０を下型上
に自由落下させた。

【００２４】ブランク４０を下型５上に載置した後、旋
回軸１３を上昇、旋回させ、吸着ハンド１４を図１に示
す位置に戻し、成形型２が６２０℃になった所で、プレ
スシリンダー９を下降させ、ブランク４０が上型４と下
型５とで形成されるキャビティ形状に一致する様に圧力
を加え、加圧１分後に成形型の冷却を開始した。

【００２５】一方、シフター２４は、吸着ハンド１４が
受け台２５よりブランク４０を吸着した直後に、シリン
ダー３０を戻してから、ゲート弁１７を閉じ、シリンダ
ー３１を戻し、更にシリンダー２３を出す事により、図
１の破線で示される初期の位置に戻され、その状態で、
前述のごとく、ＸＹステージ３７、シリンダー３５，３
６及び吸着フィンガー３３により、次のブランクが受け
台２５の上に載置され、前述と同じ工程を経て、再度成
形チャンバー１の内部に挿入され、前のブランクが光学
素子に成形され成形型２から取り出されるまで、待機さ
せた。

【００２６】成形型２の温度が４５０℃迄冷却された時
点で、プレスシリンダー９が上昇し、プレスシリンダー
シャフト１０のフック８により上型４が引き上げられる
と、旋回軸１３が旋回し、吸着ハンド１４を胴型３の開
口部３ｂに挿入させ、更に旋回軸１３が下降する事によ
り、図３（ａ）の状態にさせた。この時の成形された光
学素子４１と吸着ハンドの隙間Ｌａは、前述の様に、光
学素子４１と吸着ハンド１４とを直接に接触させず、か
つ、確実に吸着する寸法である、０．３ｍｍに設定され
ている。

【００２７】図３（ａ）の状態で、光学素子４１を吸着
ハンド１４に吸着させ、旋回軸１３を上昇、旋回させ、
吸着ハンド１４を受け台２６の上に持って行き、旋回軸
１３を下降させ、図３（ｂ）の状態にし、吸着を解除
し、光学素子４１を受け台２６の上に自由落下させた。
この時点で、成形型２の加熱を開始し、成形型の温度が
４５０℃になった所で、受け台２５の上で、既に、待機
状態にあるブランク４０を、前述と同じ工程により成形
型２の下型５上に載置した。

【００２８】受け台２５上のブランク４０が吸着ハンド
１４に吸着された時点で、シフター２４は、前述と同様
にして図１の破線で示す最初の位置に戻され、吸着フィ
ンガー３３が、ＸＹステージ３７の水平動作とシリンダ
ー３５の下降とにより、図３（ｃ）に示す状態の位置に
来る。図３（ｃ）に示す隙間Ｌｇ（＝０．６±０．２ｍ
ｍ）を保った状態で、光学素子４１は、吸着フィンガー
３３に吸着され、シリンダー３５の上昇、ＸＹステージ
の移動、シリンダー３５の下降の動作を経て、図３
（ｄ）の状態にされ、吸着解除により、すでにブランク
を取り出して空の状態になっているパレット３２の所定
の位置に、自由落下で載置された。

【００２９】その後、前述と同様に、新たな次のブラン
クが受け台２５の上に載置され、また、すでに成形型２
に挿入されて成形途中の光学素子を搬出して、次に成形
されるブランクをその成形型２に供給する為に、シタフ
ー２４が、成形チャンバー内に挿入され、前述の工程が
繰り返され、光学素子素材が順次成形され、所望の形状
の光学素子が連続的に生産された。

【００３０】このようにして、上記のシステムを用い、
数千ショットの成形を試みたが、吸着及び吸着解除の際
に、上記の隙間を設けた条件で成形された光学素子は、
吸着ハンド１４や吸着フィンガー３３による吸着搬送に
よる、光学的に有害なすり傷等の発生が皆無であり、
又、成形型２からの取り出しの際にも、吸着ハンド１４
で、成形された光学素子を押圧することがなく、その再
密着による取りだし不能の現象が全く発生しなかった。

【００３１】それに反し、従来のように、各部の隙間を
０とした条件、及び、吸着ハンド１４と旋回アーム１５
との間、および、吸着フィンガー３３とシリンダー３５
との間に、接触時の衝撃を和らげる為にバネ状の緩衝材
を設け、光学素子部材が、吸着時と吸着解除時に、吸着
ハンドや受け台等にソフトに接触し、押圧される状態
で、吸着搬送された光学素子の場合には、成形された数
のほぼ半数以上に、接触に起因する有害なすり傷等の欠
陥が確認された。又、光学素子の成形型２の下型５から
の取り出し時に、押圧による再密着が２〜３割りの割り
合いで発生し、その度に、装置の運転を止め、人手によ
る離型処置を行う事が必要となり、連続的な生産を行う
事が全く不可能な状態であった。

【００３２】更に、上記の各隙間の設定値を変化させ、
上記と同じシステムおよび形状の光学素子部材を用い
て、各部の隙間の限界値を求める実験を実施した結果、
隙間Ｌｅは０．６ｍｍを超えると吸着が不安定となり、
吸着が出来ないものが発生し始め、１ｍｍを超えると、
ほとんどのものが吸着不能となり、隙間Ｌｅを除く他の
隙間は、１．２ｍｍを超えると、隙間Ｌｅと同様に吸着
が不安定となり、２ｍｍを超えると、同様に吸着不能と
なった。しかし、吸着解除時の自由落下による傷等の発
生は、３ｍｍを超えても発生せず、５ｍｍを超えた段階
で、約２割りの光学素子について、光学機能上、限度ぎ
りぎりのすり傷や、打ち傷の発生が認められた。

【００３３】上記実施例とは別に、上型により形成され
る面の曲率がＲ＝１７ｍｍ、下型により形成される面の
曲率がＲ＝８ｍｍの形状を有する、直径１１ｍｍの球面
レンズの成形を行い隙間の状態を検証したが、上記とほ
ぼ同様の結果が得られ、隙間Ｌｅの安定域は０．６ｍ
ｍ、残りの隙間の安定域は１．２ｍｍとなり、隙間Ｌｅ
が１ｍｍ、残りの隙間に関しては２．１ｍｍを超えると
吸着不能となり、光学的に有害な傷の発生は６ｍｍを超
えた時点で確認された。

【００３４】なお、本実施例では、光学素子部材の接触
部材の材質にステンレス、モリブデンを用いていたが、
これに限られることなく、耐熱性を有するセラミックや
サーメットや型材と同じ超硬合金等を用いても、同様の
結果が得られる事は明らかである。

【００３５】

【発明の効果】本発明は、以上説明した様に、光学素子
部材の真空吸着により搬送において、吸着時には、或る
所定の隙間を有した状態で光学素子部材を吸着吸引し、
更に、吸着解除の時には、所定の隙間を有した状態から
の自由落下を伴う吸着解除を行う事で、成形された光学
素子に光学的に有害な欠陥を発生させることなく、又、
成形された光学素子の成形型からの取り出しにおいて
は、再密着に起因する吸着取り出し不能という事態を発
生させることなく、スムーズに安定的に欠陥のない光学
素子を連続的に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に用いる自動プレス成形装置
の概略正面図である。

【図２】本発明に用いられる光学素子素材の吸着搬送の
状態を表す図である。

【図３】本発明で用いられる光学素子の吸着搬送の状態
を表す図である。

【符号の説明】Ａ成形部Ｂ供給部Ｃロボット部１成形チャンバー２成形型４上型５下型６プレス機構１２旋回ハンド機構１３旋回軸１４吸着ハンド１７ゲート弁２５受け台２６受け台３２パレット３３吸着フィンガー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学素子部材を吸着し搬送する工程にお
いて、前記光学素子部材を吸着部材で吸着する際に、前
記吸着部材の吸着面と光学素子部材との間に所定の間隔
をあけた状態で、前記光学素子部材を前記吸着部材に吸
着させることを特徴とする光学素子部材の吸着搬送方
法。
【請求項２】光学素子部材を吸着搬送し載置する工程
において、吸着部材で吸着された前記光学素子部材を成
形型の下型成形面上あるいは受け台上に載置する際に、
前記下型成形面上あるいは受け台の受け面上と前記光学
素子部材との間に所定の間隔をあけた状態で、前記光学
素子部材に対する吸着を解除し、前記間隔で前記光学素
子を落下させ、前記下型成形面上あるいは受け台の受け
面上に載置させることを特徴とする光学素子部材の吸着
搬送方法。
【請求項３】前記光学素子部材が、成形型により成形
された光学機能面を有する光学素子と、少なくとも成形
後に光学機能面となる表面が、研磨、酸処理、火炎処理
などにより、滑らかに処理されている光学素子の素材で
あることを特徴とする請求項１あるいは２に記載の光学
素子部材の吸着搬送方法。
【請求項４】前記吸着部材の吸着面が、超硬合金、金
属、セラミック、サーメットなどの耐熱性を有する硬質
の材料で構成されていることを特徴とする請求項１に記
載の光学素子部材の吸着搬送方法。
【請求項５】前記下型や、受け台の受け面が、超硬合
金、金属、セラミック、サーメットなどの耐熱性を有す
る硬質の材料で構成されていることを特徴とする請求項
２に記載の光学素子部材の吸着搬送方法。
【請求項６】前記間隔が、２ｍｍ以下、望ましくは、
０．１〜１．２ｍｍの範囲であることを特徴とする請求
項１あるいは２に記載の光学素子部材の吸着搬送方法。
【請求項７】前記吸着し搬送する工程が、成形型から
光学素子を吸着により取り出す工程であることを特徴と
する請求項１に記載の光学素子部材の吸着搬送方法。
【請求項８】前記間隔が、１ｍｍ以下望ましくは０．
１〜０．６ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項７
に記載の光学素子部材の吸着搬送方法。