JPH0641144Y2 - 走査型分光器 - Google Patents
走査型分光器Info
- Publication number
- JPH0641144Y2 JPH0641144Y2 JP3116786U JP3116786U JPH0641144Y2 JP H0641144 Y2 JPH0641144 Y2 JP H0641144Y2 JP 3116786 U JP3116786 U JP 3116786U JP 3116786 U JP3116786 U JP 3116786U JP H0641144 Y2 JPH0641144 Y2 JP H0641144Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- diffraction grating
- diffraction
- resolution
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本考案は走査型分光器において、特に回折格子の配置と
その駆動機構に関する。
その駆動機構に関する。
ロ．従来の技術 回折格子の分解能は回折格子の分散能に比例するが、分
散能を大きくすると、同一波長差に対する回折格子の回
転角が大となり、回折格子駆動機構の方からの制約で回
折格子の全回転角が決まるので、分解能を高めるため回
折格子の単位長当りの格子本数を増すことと分光可能な
波長範囲の広さとは相反的な関係にある。従来は一個の
回折格子を用いているものであったから、例えば紫外か
ら可視光まで、つまり０〜780nm程度の波長範囲をカバ
ーできる分光器では450nm以下では分解能が不足し、他
方450nm以下において充分な分解能を有するものでは０
〜780nmと云う波長範囲をカバーすることができなかっ
た。
散能を大きくすると、同一波長差に対する回折格子の回
転角が大となり、回折格子駆動機構の方からの制約で回
折格子の全回転角が決まるので、分解能を高めるため回
折格子の単位長当りの格子本数を増すことと分光可能な
波長範囲の広さとは相反的な関係にある。従来は一個の
回折格子を用いているものであったから、例えば紫外か
ら可視光まで、つまり０〜780nm程度の波長範囲をカバ
ーできる分光器では450nm以下では分解能が不足し、他
方450nm以下において充分な分解能を有するものでは０
〜780nmと云う波長範囲をカバーすることができなかっ
た。
ハ．考案が解決しようとする問題点 本考案は一台の分光器で要求される波長範囲と分解能と
の両方を達成できるようにしようとするものである。上
例で言えば０〜780nmの波長範囲をカバーし、しかも450
nm以下においても分解能が不足しない分光器を得ようと
するものである。
の両方を達成できるようにしようとするものである。上
例で言えば０〜780nmの波長範囲をカバーし、しかも450
nm以下においても分解能が不足しない分光器を得ようと
するものである。
ニ．問題点解決のための手段 回折格子回転軸に格子定数の異る複数の回折格子を取付
け、一つの入射スリットと、上記各回折格子に対応させ
て出射スリットを配置した。
け、一つの入射スリットと、上記各回折格子に対応させ
て出射スリットを配置した。
ホ．作用 上述構成によると、複数の回折格子に対応させた夫々の
出射スリットからは同一波長の光の取だしが可能である
が、夫々の出射スリットにおける波長分解能は回折格子
の格子定数によって異っており、複数の回折格子は同一
回転軸で駆動されているため、分解能の高い方の出射ス
リットから得られる波長範囲は分解能の低い方の出射ス
リットから得られる波長範囲よりせまいが、波長範囲が
広い分光器において分解能が不足する短波長域の分解能
が上記した分解能の高い方の出射スリットによって得ら
れることになり、複数の出射スリットの出射光のうちど
れを選択するかにより、広い波長範囲で要求される分解
能が得られるのである。
出射スリットからは同一波長の光の取だしが可能である
が、夫々の出射スリットにおける波長分解能は回折格子
の格子定数によって異っており、複数の回折格子は同一
回転軸で駆動されているため、分解能の高い方の出射ス
リットから得られる波長範囲は分解能の低い方の出射ス
リットから得られる波長範囲よりせまいが、波長範囲が
広い分光器において分解能が不足する短波長域の分解能
が上記した分解能の高い方の出射スリットによって得ら
れることになり、複数の出射スリットの出射光のうちど
れを選択するかにより、広い波長範囲で要求される分解
能が得られるのである。
ヘ．実施例 第１図は本考案の一実施例の分光器を示す。１は回折格
子回転軸で、この軸に向きを角度δだけずらせて二つの
回折格子G1,G2が取付けられている。G1は格子本数1800/
mm、G2は同じく3600/mmである。Siは両回折格子G1,G2に
対する共通の入射スリットで、この入試スリットから入
射した光は共通のコリメータ鏡Mcにより平行光束となっ
て回折格子G1,G2に入射せしめられる。S1は回折格子G1
に対応させた出射スリット、S2は同じくG2に対応させた
出射スリットで、M1はG1による回折光をS1に向けて集光
するカメラ鏡、M2はG2による回折光をS2に向けて集光す
るカメラ鏡である。
子回転軸で、この軸に向きを角度δだけずらせて二つの
回折格子G1,G2が取付けられている。G1は格子本数1800/
mm、G2は同じく3600/mmである。Siは両回折格子G1,G2に
対する共通の入射スリットで、この入試スリットから入
射した光は共通のコリメータ鏡Mcにより平行光束となっ
て回折格子G1,G2に入射せしめられる。S1は回折格子G1
に対応させた出射スリット、S2は同じくG2に対応させた
出射スリットで、M1はG1による回折光をS1に向けて集光
するカメラ鏡、M2はG2による回折光をS2に向けて集光す
るカメラ鏡である。
回折格子回転軸１はサインバー２が突出させてあり、こ
のサインバーの先端は送りねじ３によって駆動されるナ
ット４に当接させてあって、送りねじ３をパルスモータ
（図外）で回転させることにより、サインバー２がナッ
ト４によって押動されて、２つの回折格子G1,G2が同時
に同じ角度だけ回転せしめられる。
のサインバーの先端は送りねじ３によって駆動されるナ
ット４に当接させてあって、送りねじ３をパルスモータ
（図外）で回転させることにより、サインバー２がナッ
ト４によって押動されて、２つの回折格子G1,G2が同時
に同じ角度だけ回転せしめられる。
第２図において、G1は回折格子、ｎはその格子面の法線
方向、ｉは入射光、ｒは回折光である。格子面の法線が
入射光，回折光の丁度中間の方向Ｚの方向をとるときの
回折光は０次回折光である。このＺ方向を基準に格子法
線ｎの回転角をγとし、Ｚと入射光，回折光がなす角を
αとすると、回折格子の格子定数をｄ、回折光波長をλ
として、 λ＝2dcosαsinγ ……（１） である。こゝで上述した格子G1とδの角をなすもう一つ
の格子G2を考える。G1の法線がＺ方向であるときG2の法
線はζの方向を向いており、０次回折光はρの方向にな
っている。G2の格子定数をｄ′とすると λ′＝2d′cos（α＋δ）sinγ ……（２） i,r,ρの方向は第１図のコリメータ線Mcおよびカメラ鏡
M1,M2の配置によって決まり、各出射スリットS1,S2から
出射する光の波長は回折格子G1,G2の回転角γのsinに比
例し、回転角γは両回折格子で共通なので、S1,S2から
出射する光の波長の比は（ｄ×ｄ′）×cosα/cos（α
＋δ）でd/d′＝２であるから波長比は約２倍である。
この関係で短波長域においては出射スリットS2からの出
射光を用いれば高分解能が得られ、長波長域の光はS1か
ら取出せばよい。回折格子G1,G2の向きをδだけずらせ
るのは、カメラ鏡M1,M2の配置上の問題で両者が構造的
に干渉するのを避けるためで、光学的な必要条件ではな
い。
方向、ｉは入射光、ｒは回折光である。格子面の法線が
入射光，回折光の丁度中間の方向Ｚの方向をとるときの
回折光は０次回折光である。このＺ方向を基準に格子法
線ｎの回転角をγとし、Ｚと入射光，回折光がなす角を
αとすると、回折格子の格子定数をｄ、回折光波長をλ
として、 λ＝2dcosαsinγ ……（１） である。こゝで上述した格子G1とδの角をなすもう一つ
の格子G2を考える。G1の法線がＺ方向であるときG2の法
線はζの方向を向いており、０次回折光はρの方向にな
っている。G2の格子定数をｄ′とすると λ′＝2d′cos（α＋δ）sinγ ……（２） i,r,ρの方向は第１図のコリメータ線Mcおよびカメラ鏡
M1,M2の配置によって決まり、各出射スリットS1,S2から
出射する光の波長は回折格子G1,G2の回転角γのsinに比
例し、回転角γは両回折格子で共通なので、S1,S2から
出射する光の波長の比は（ｄ×ｄ′）×cosα/cos（α
＋δ）でd/d′＝２であるから波長比は約２倍である。
この関係で短波長域においては出射スリットS2からの出
射光を用いれば高分解能が得られ、長波長域の光はS1か
ら取出せばよい。回折格子G1,G2の向きをδだけずらせ
るのは、カメラ鏡M1,M2の配置上の問題で両者が構造的
に干渉するのを避けるためで、光学的な必要条件ではな
い。
ト．効果 本発明分光器は上述したような構造で、共通の駆動機構
に複数の回折格子を取付け、広波長域用と短波長域用の
複数種の分光器の主要部分を共通にして複数の分光器を
用いるのと同じ結果を得るものであるから、経済的で高
性能の分光器である。
に複数の回折格子を取付け、広波長域用と短波長域用の
複数種の分光器の主要部分を共通にして複数の分光器を
用いるのと同じ結果を得るものであるから、経済的で高
性能の分光器である。
第１図は本考案の一実施例の斜視図、第２図は本考案の
作用説明図である。 Si…入射スリット、S1,S2…出射スリット、G1,G2…回折
格子、１…回折格子回転軸、２…サインバー、３…送り
ねじ、４…ナット。
作用説明図である。 Si…入射スリット、S1,S2…出射スリット、G1,G2…回折
格子、１…回折格子回転軸、２…サインバー、３…送り
ねじ、４…ナット。
Claims (1)
- 【請求項１】一つの回折格子駆動軸に格子定数の異る複
数の回折格子を取付け、上記各回折格子に共通の光入射
スリットと、上記夫々の回折格子に対応させた複数の光
出射スリットを設け、同時に複数の波長範囲のスペクト
ルを測定可能とした走査型分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3116786U JPH0641144Y2 (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | 走査型分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3116786U JPH0641144Y2 (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | 走査型分光器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62143227U JPS62143227U (ja) | 1987-09-09 |
| JPH0641144Y2 true JPH0641144Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=30836655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3116786U Expired - Lifetime JPH0641144Y2 (ja) | 1986-03-03 | 1986-03-03 | 走査型分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641144Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09145477A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Tokyo Instr:Kk | 分光器 |
-
1986
- 1986-03-03 JP JP3116786U patent/JPH0641144Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09145477A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Tokyo Instr:Kk | 分光器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62143227U (ja) | 1987-09-09 |
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