JPH0641366B2 - 改良乾燥高純度窒素生成 - Google Patents

改良乾燥高純度窒素生成

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JPH0641366B2
JPH0641366B2 JP2120137A JP12013790A JPH0641366B2 JP H0641366 B2 JPH0641366 B2 JP H0641366B2 JP 2120137 A JP2120137 A JP 2120137A JP 12013790 A JP12013790 A JP 12013790A JP H0641366 B2 JPH0641366 B2 JP H0641366B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の分野〕 本発明は空気からの窒素生成に関し、詳しくは乾燥高純
度窒素の生成に関する。
〔従来技術の説明〕
高純度窒素は、多くの化学的プロセス処理、精練、金属
生成その他工業用途のために所望される。空気分離によ
る窒素生成のための種々の技術が知られているが、低温
空気分離プラントの使用を経済的に実施し得ない比較的
小規模の操業のためには、圧力変化式吸着プロセス（以
下PSAプロセスと称する）が特に望ましい。
空気分離のためのPSAプロセスでは供給空気は空気の吸
着し易い成分として窒素か或は酸素を選択的に吸着し得
る吸着床に高い吸着圧力下で送られる。次で吸着床は、
前記吸着し易い成分を脱着しそして該吸着し易い成分を
除去するための吸着−脱着サイクルを継続するべく大量
の追加供給空気を導入するに先立って、より低い脱着圧
力へと減圧される。PSAプロセスは通常多重床のPSAシス
テムで実施される。各床には周期的ベースでの所望のプ
ロセスシーケンスが適用される。該プロセスシーケンス
はシステム内の他の床でのプロセスシーケンスの実施と
相互に関連付けられる。
純度約９９．５％の生成物窒素を生成するために異なる
PSAプロセスが商業的に使用されてきた。その一つのPSA
プロセスでは速度選択性のカーボンモレキュラーシーブ
吸着材が急速プロセスサイクルに於て使用された。該急
速プロセスサイクルは、酸素を空気のより吸着し易い成
分として選択的に吸着し、窒素を、生成物の及び床から
の吸着しにくい成分として吸着圧力下で且つ−40゜Fの如
き比較的低い露点で生成するものである。しかしなが
ら、供給空気中の水分は、そうしたPSAシステムにおけ
る吸着床の分離効率を著しく低下させることが認識され
た。そのため、供給空気を空気分離PSAシステムに送達
する以前に該供給空気から水分を除去するために、通常
は前記空気分離PSAシステムの前に別体の分離PSA吸着床
が使用される。
別のPSAプロセス及びシステムに於ては空気から平衡選
択基準で窒素を選択的に吸着し得る吸着材が使用され
る。そうしたシステムでは空気は代表的には大気圧より
も僅かに高い圧力で吸着床に送られ、真空ポンプが、該
吸着床から窒素に富む湿った窒素生成物流れを抜き出す
べく使用される。ゼオライト系モレキュラーシーブがそ
うした動作に際し一般に使用される。米国特許第4,599,
094号には、高純度窒素生成物回収のためのそうしたPSA
窒素システムにおけるプロセスシーケンスの詳細が説明
される。得られた窒素生成物は、供給空気からの移動水
分に加え、真空ポンプのウオーターシールからの追加的
な水分が通常そこに付加されることから一般に湿ってい
る。従って、多くのそうした用途例では回収された窒素
生成物を圧縮しそこから水分を除去する必要がある。こ
れはプラント配管及び機器における凝縮とそれに引続く
腐蝕或は凍結を防止するために為されるものである。生
成物窒素におけるこの水分の問題は生成物コンプレッ
サ、アフタークーラー、水分分離器及び吸着性乾燥体を
使用して乾燥高純度窒素流れを生成することで解決され
得る。
PSA窒素システムにおける吸着式の前乾燥器或は後乾燥
器の使用はプロセス全体を複雑化し且つ費用を増大さ
せ、またその信頼性を低下させる。そうした乾燥器は代
表的に、相互結合された配管及び弁を具備する複合吸着
容器を有する。使用される全PSA窒素プロセスシーケン
スの一部としての床再生のために、大量の、例えば５乃
至30％の窒素生成物ガスが必要とされ得る。仮に熱変化
サイクルが使用されるならば、幾分かのパージエネルギ
ーの消費もまた必要となる。もし廃棄酸素流れが床再生
ガスとして使用されると、床切替に際しての酸素集中に
よるスパイク（spike）を防止するための特別な注意を
払う必要が生じる。こうした煩わしさ及びその全体効率
及び窒素生成の費用上の影響から、PSA方策による乾燥
高純度窒素生成における、特に高純度窒素からの水分除
去に関する改良が所望されている。
〔発明の目的〕
本発明の目的は従って、乾燥高純度窒素生成物の生成の
ための改良プロセス床システムを提供することにある。
本発明の他の目的は、空気分離のためにPSA方策を使用
し、水分除去及び乾燥高純度窒素生成物回収のために所
望される前乾燥或は後乾燥を提供するための改良プロセ
ス及びシステムを提供することにある。
〔発明の概要〕
乾燥高純度窒素を生成するための吸着性乾燥器の使用に
代わる簡易且つ低コストの別態様を提供するために、膜
乾燥システムがPSA窒素システムとの関連に於て使用さ
れる。膜乾燥システムは向流流れ模様を使用して所望状
態で動作され、その低圧の透過側では膜の面積要件を低
下させるため及び所望の生成物回収を増長させるため
に、比較的乾燥したパージガスを使用しての還流作用が
為される。そうしたパージガスは望ましくは、PSA窒素
システム或は乾燥窒素生成物ガスからの酸素廃棄物から
入手される。
〔実施例の説明〕
本発明の前記目的は、プロセス及びシステムの全生成物
回収水準を受入れ難い程にまで低下させることなく、高
純度窒素生成物からの或は供給空気からの所望の水分除
去を達成可能ならしめる状況の下で、窒素或は供給空気
乾燥のための膜システムとPSAシステムとを一体化する
ことによって達成される。そうした状況は、別々のプロ
セスシステムの一体化、使用される特定の膜構成物の水
分除去のための選択性そして、向流流れが乾燥膜システ
ム内で好ましく達成される膜束形態と有益に関連付けら
れる。これが、乾燥動作中の前記生成物の損失を最小限
とする状態での乾燥高純度窒素生成物の回収を可能なら
しめる。
本発明の実施に際しては、乾燥動作要件によって、所望
の生成物損失が最小限となる状態での乾燥高純度窒素流
れを入手可能ならしめるべく、PSAシステムからの廃棄
ガス或は乾燥窒素生成物ガスの一部が、乾燥膜システム
へのパージガスを提供するために使用される。本発明の
全プロセス及びシステムが図面を参照して説明される。
本発明の実施に使用するために好適なPSAシステムに関
する詳細、及び窒素生成物の乾燥を助長するために前記
PSAシステムと一体化されるべき膜システムの詳細が以
下に説明される。
第１図を参照するに、供給空気がライン１を通して空気
分離PSA窒素システム２に送られ、該空気分離PSA窒素シ
ステム２では窒素が、空気のより吸着され易い成分とし
て選択的に吸着され、そして酸素が、より吸着されにく
い成分としてユニットから廃棄ガスとして除去される。
空気分離PSA窒素システム２の周期的動作における吸着
に際し、窒素の、体積比で約99.5%の純度を有する湿っ
た低圧ガス流れがライン３を通して、例えば約80psigに
圧縮するために生成物コンプレッサ４へと送達され、ラ
イン５を通る湿って圧縮窒素生成物流れは水がそこから
容器６に除去される状況下で排熱、凝集され、ライン７
を通してシステムから排出される。生成され、部分的に
乾燥された窒素生成物はライン８を介して乾燥膜システ
ム９に送られる。乾燥膜システム９の膜を貫いて透過す
る水分を含有する透過性ガスは、パージガスと共に排出
のためのライン１０を通し抜き出される。所望の高純度
窒素生成物は、非−透過性ガスとしてライン１１を通し
て乾燥状態で乾燥膜システムから回収される。空気分離
PSA窒素システム２から廃棄ガスとして排出された酸素
ガスは低圧、例えば約3psigでライン１２内を乾燥膜シ
ステム９へと送達され、比較的乾燥したパージガスとし
て使用される。供給空気中の水分は、前記空気分離PSA
窒素システム２に於て使用される窒素選択性の吸着材上
に窒素と共に選択的に吸着される傾向を有することを理
解されたい。ライン１０を通して乾燥膜システムから送
達されるそうした酸素ガスは、前記透過側の表面から前
記乾燥膜システム９を透過する水分を搬出し、これが乾
燥膜システム９を横断しての水分除去のために所望され
る高いドライビングフォースを維持する。
第２図に例示される様な別態様に於ては、乾燥生成物窒
素流れの一部が前記乾燥パージガスとして使用される。
この場合、乾燥膜システムから除去された水分を含有す
るパージガスは、第１図の具体例における如く湿った高
純度窒素生成物ガスと共に廃棄物として排出されるので
はなく、むしろ乾燥膜ユニット内でのそれ以上の乾燥の
ために再循環される。第２図の具体例ではライン２０内
の供給空気はPSA窒素システム２１に送られ、そこで窒
素が選択的に吸着され、酸素は廃棄物として排出される
べくシステムを貫いてライン２２へと送達される。低い
吸着圧力下での吸着に際しては高純度、例えば純度99.5
%の窒素が、湿った低圧窒素としてライン２３内をPSA窒
素システム２１に送られる。窒素流れは生成物コンプレ
ッサ２４内で約80psigの如き圧力に圧縮される。精製さ
れ、部分的に乾燥された窒素生成物はライン２８内を乾
燥膜システム２９へと送達される。乾燥膜システム２９
を透過する水分を含む透過ガスは、PSA窒素システム２
１からライン２３に再循環するためのライン３０を通し
て追加される湿った高純度窒素と共に圧縮され、乾燥膜
システムへの再送達のためにパージガスと共に抜き出さ
れる。該具体例では、ライン３１内に回収される乾燥高
純度窒素生成物の側方流れは、乾燥膜システムの透過側
から水分を搬出する比較的乾燥したパージガスとして使
用するためにライン３２を通して乾燥膜システム２９へ
と再循環され、これが乾燥膜システム２９を横断しての
所望の水分除去を維持するための高いドライビングフォ
ースを維持する。
第３図に例示される具体例は、酸素をより吸着され易い
成分とするPSAシステムに於て使用するために特に適合
するものであり、第１図及び２図に例示される如く乾燥
膜システムがPSAシステムにおける供給空気の処理に引
き続く後乾燥器として使用される具体例とは逆に、乾燥
膜システムは前乾燥器として使用される。第３図の具体
例では供給空気はライン４０を通して供給空気コンプレ
ッサ４１に送達され、そこで圧縮された、例えば約90ps
igに圧縮された圧縮空気は排熱及び凝縮のためにライン
４２に送通され、供給空気流れからの水分は容器４３に
除去されライン４４を通して排出される。こうして圧縮
され部分的に乾燥された供給空気は、ライン４５を介し
て乾燥膜システム４６に送られる。該乾燥膜システム４
６を貫いて透過した水分を含む透過ガスは、パージガス
と共に廃棄物として排出されるべくライン４７を通して
抜き出される。乾燥供給空気はライン４８を介して乾燥
膜システム４６から回収されPSA窒素システムに送られ
る。乾燥高純度窒素生成物は該PSA窒素システム内の酸
素選択性吸着材と共に該PSA窒素システムを貫いて送達
され、空気のより吸着されにくい成分として生成物ライ
ン５０内に回収される。吸着に際し、供給空気のより吸
着され易い成分、即ち酸素は乾燥膜システム４６での乾
燥酸素パージガスとして使用するためにライン５１を通
してPSA窒素システムから除去される。乾燥酸素パージ
ガスは、前記乾燥膜システムの透過側に透過した水分を
前記透過側から搬出し、従って乾燥膜システム４６を横
断しての所望される水分除去を維持するための高いドラ
イビングフォースが維持される。
従って本発明の実施に際しては、乾燥膜システムを、PS
A窒素システムからの高純度窒素生成物を前記乾燥膜シ
ステムへの供給空気流中に於て好都合に乾燥するために
PSA窒素システムと効果的に一体化し得ることを理解さ
れよう。乾燥膜システムの動作は、その透過側に於てPS
A窒素システムからの乾燥廃棄ガス或はPSA窒素システム
からの乾燥高純度窒素流れの一部を乾燥膜システムのた
めのパージガスとして使用する状態の下で使用すること
により、助長される。
第３図を参照して説明された全システムを、酸素がライ
ン５０を通して所望の生成物ガスとして回収されるPSA
−酸素システムとして使用するために好都合に改変し得
ることを銘記されたい。この目的上、PSAシステム４９
は好ましくは、窒素をより吸着され易い成分として選択
的に吸着し、酸素を吸着されにくい成分として回収する
為に適合するシステムである。そうしたPSAシステムの
周期的動作における吸着床からの脱着に際しては、乾燥
窒素は乾燥膜システム４６内で乾燥パージガスとして使
用するために、ライン５１を通してPSA−酸素システム
から除去される。そうしたPSA−酸素システムは代表的
には多重床システムであるが、斯界に既知であり且つま
た、PSA−窒素システムにおける如く、より吸着され易
い成分の高い吸着圧力での吸着、減圧、代表的にはパー
ジに引き続いて為される、前記より吸着され易い成分の
脱着、そして前記高い吸着圧力への増圧、のための特定
プロセスシーケンスから成る周期的動作が為される。米
国特許第4,589,888号には、酸素生成物が供給空気の吸
着されにくい成分として回収される種々のPSA−酸素シ
ステム及びプロセスシーケンスが記載される。酸素生成
物回収のためのその他システム及び方法、並びに乾燥膜
システム４６への乾燥窒素の再循環は、あまり好ましく
はないが、より吸着され易い成分として窒素では無くむ
しろ酸素を選択的に吸着することを基準とし得ることを
認識されたい。一般的には、そうした目的のためにはカ
ーボン吸着材料の如き速度選択性吸着材を、窒素をより
吸着され易い成分とする場合に使用されるセオライト系
モレキュラーシーブの如き平衡選択性吸着材に代えてPS
Aシステムの吸着床に於て使用し得る。
圧縮窒素流れから水分を選択的に除去するためのある種
の膜が知られている。残念なことに、米国特許第4,783,
201号にはクロスフロー透過態様での動作に於てはそう
した膜は、例えば約-4.4℃（−40゜F）の比較的中庸の圧
力露点を達成するための150psigでの動作に際しては、
ステージカットを必要とする。即ち透過ガス対供給ガス
流れの重量比率を30%とする必要がある。明らかに、そ
うしたクロスフロー膜ユニットでの生成物ガス回収は少
なく、従ってそうしたシステム全体の動力要件及び乾燥
面積要件は興味を失う程に大きい。しかしながら、本発
明の実施に際しては一体化システムの利益を助長するた
めに、乾燥膜システムは向流態様で所望通りに動作さ
れ、乾燥した還流乾燥パージガスが膜の透過側に送ら
れ、それによって該透過側からの水分の搬出が容易化さ
れ、これが膜を横断しての水分除去のための高いドライ
ビングフォースを維持する。本発明の好ましい具体例で
は窒素或は供給空気の同方向透過による窒素生成物／供
給空気損失を、全生成物流れの1%未満、好ましくは0.5%
未満に維持することが望ましい。
乾燥膜システムに使用される膜構成物の水に対する選択
性は窒素に対するそれよりも大きくされるべきである。
つまり、水分は窒素よりも一段と速かに選択的に透過さ
れなければならない。水／窒素分離係数は、生成物窒素
ガス或は供給空気からの有益な水分除去のためには少な
くとも50好ましくは1,000とすべきである。加うるに、
膜構成物の窒素及び酸素に対する透過速度は比較的低く
されるべきである。セルロースアセテートはそうした基
準を満足する好ましい膜分離材料である。エチルセルロ
ース、シリコーンラバー、ポリウレタン、ポリアミド、
ポリスチレンその他の如き種々のその他の材料をも使用
し得ることを認識されたい。
所望の膜構成物から成る膜材料を有し、ここに説明され
且つ特許請求の範囲に記載された如く圧力変化式吸着シ
ステムと一体化された乾燥膜システムは、好ましくは先
に示したように向流態様で動作される。
中空繊維膜形態その他適宜の膜形態、例えば螺旋巻膜に
於て、クロスフロー形式の流れ模様を提供するための束
ねた形状が商業的実施に際して一般に使用されてきた。
クロスフロー動作に於ては膜の透過側における透過ガス
の流れ方向は膜の供給側での供給ガスのそれと直交す
る。例えば、中空繊維束を使用して中空繊維膜の外側に
供給ガスを通過させるに際しては、繊維の孔は一般に中
空繊維の外側表面に覆って流れる供給ガス流れ方向に直
交する。同様にその逆、即ち供給ガスを中空繊維の孔を
通して送通するに際しては、透過ガスは中空繊維の孔内
部の供給ガス流れと一般に直交する方向で一般に中空繊
維の表面を通過し、次いで外側シェル内を透過ガスのた
めの出口手段の方向へと流動する。ヨーロッパ特許出願
第０２２６４３１号に示されるように、向流流れ模様は
中空繊維束を、その一方の端部付近の円周部分を除き外
側表面全体を長手方向に包囲させることによって創出し
得る。これが供給ガス、或は透過ガスをして、所望の移
動態様、即ち内側から外側へ或は外側から内側への移動
に依存して中空繊維の外側を、向流流れ状態で中空繊維
孔内の透過ガス或は供給ガス流れと平行に通過可能なら
しめる。例えば中空繊維束の外側の供給ガスは、繊維束
の中心軸に対し、直交するのではなくむしろ平行に流動
せしめられる。膜繊維を中空繊維束の中心軸と平行な真
直なアセンブリ状態で設けるか或は別様にはクロスフロ
ー動作におけるように、前記中心軸周囲に螺旋状に巻付
け得ることを理解されよう。何れにせよ、不透過性バリ
ヤ材料は不透過性フィルム例えば、ポリビニリデンその
他の巻付け体とし得る。別様には不透過性バリヤは、不
透過性コーティング材料、例えば無毒性溶媒と共に塗布
したポシロキサン、或は膜の束を覆って組み込みそして
前記束上でシュリンクさせたシュリンクスリーブであり
得る。前記ヨーロッパ特許に記載されるように中空繊維
束その他の膜の束を包囲する不透過性バヤは、ガス流れ
をして中空繊維束内部からの或はそこへの流動を許容す
る開口を有し、従ってガスは中空繊維束の軸と実質的に
平行な方向に流動する。本発明の目的のためには流れ模
様は湿った高純度窒素供給流れの向流流れとされるべき
であり、透過ガスは、先に説明した如く窒素生成物乾燥
膜内の膜材料を貫く水分及び水素と共に供給されるパー
ジガスを含む。
膜乾燥動作は斯界では通常、稠密繊維膜を使用して実施
されることを銘記されたい。稠密繊維のための膜厚は壁
厚でもあり、不斉膜の薄膜部分或は複合膜の分離層と比
較するに非常に厚い。稠密繊維のためには、大きな圧力
容量を達成するために壁厚を厚くする必要がある。斯く
して稠密繊維の透過率は極めて小さく、従って窒素生成
物を十分に乾燥するためには非常に大きな表面積を使用
する必要がある。これとは対照的に、本発明の目的のた
めにより好ましい不斉膜或は複合膜は、膜分離層の肉厚
が非常に薄く、膜の比較的多孔質の実質部分が、膜の分
離特性を決定する非常に薄い部分のための機械的強度及
び支持を提供する。従って不斉膜或は複合膜のために必
要な表面積は、稠密繊維膜のためのそれよりもずっと少
い。不斉膜或は複合膜を使用することによって透過性が
稠密繊維膜におけるよりも改良されることから、窒素生
成物の乾燥に関連する本発明の好ましい具体例における
不斉膜及び複合膜の性能を更に改良し、そうした膜のク
ロスフロー移動に於て生じ得る同方向透過による貴重な
生成物窒素の損失を大幅に低減することが所望される。
本発明の目的のために使用し得るPSA−窒素システム
は、窒素か或は酸素のための選択性を有する吸着材を使
用する任意の所望の数の吸着床から成るシステムとし得
る。13X及び5A材料の如きゼオライト系モレキュラーシ
ーブ材料は、本発明の実施に際して使用するに適した市
販入手し得る平衡形式の吸着材料例である。先に銘記し
た如く、カーボンモレキュラーシーブは速度或は運動分
離性の材料であり、そうした材料は窒素よりも酸素のた
めの選択性を有する。当業者には、本発明の実施に際
し、任意の数の所望の吸着床に於て周期的基準の任意の
所望のプロセスシーケンスを使用する種々のPSAプロセ
スサイクルを使用し得ることを容易に理解されよう。先
の米国特許第4,599,094号に記載された周期は、圧力変
化式吸着システムに関し適用し得るプロセス上の融通性
を示す例である。
本発明の目的のためにはパージ率、即ち還流パージガス
に対する非−透過側の生成物ガス流れの比率は、面積要
件、生成物損失そして残留酸素の逆拡散を最小限として
おくために、少なくとも約10%、好ましくは20%以上であ
ることが所望される。パージ率要件はまた、比較的低い
生成物ガス圧力下で、もっと高いガス圧力下におけるよ
りもずっと大きくなる傾向がある。許容し得る任意のそ
うした酸素の逆拡散量は、特定用途の全体要件によるこ
とを理理解するべきである。多くの例に於て酸素の逆拡
散を最大500ppmvに制限することが望ましく、そうした
酸素の逆拡散は窒素生成物に於ては100ppmv未満である
ことが好ましい。入手し得る還流パージガス量がその供
給源及び有益性に依存することは勿論である。
第１図に示されるような本発明の１実施に於ては、窒素
選択性のPSA−窒素生成システムは、95%窒素の20,000nc
fh生成のために使用し得る。そうしたプラントのための
代表的な空気回収率は60%のオーダーである。つまり供
給空気流れの40%が低圧の廃棄物として入手され得る。
そうしたシステムでの約32.2℃（90゜F）における供給空
気圧力は8psigであり、廃棄物の圧力は5psigでありそし
て乾燥膜システムへの湿った窒素生成物の圧力は80psig
である。約-4.4℃（−40゜F）における所望の生成物露点
のためには、熱変化式吸着の後乾燥システムは概略6KW
の電力を消費し、また約2%の再生パージを必要とする。
こうした従来通りのシステムは螺旋形状の中空繊維を含
み且つ水／窒素分離係数、即ち水の透過性に対する生成
物窒素の透過性の係数が6,000であり、そして水／酸素
分離の係数が1,000である類似のもっと安価な乾燥膜シ
ステムと好都合に代替され得る。乾燥膜システムは、膜
を包囲しそれによって膜モジュールに向流流れ模様を創
出するためのポリビニデン製の不透過性バリヤを使用し
て動作される。高純度窒素生成物ガスは、先に示した乾
燥生成物損失が窒素の0.5%未満という極めて低い状態に
於て効果的に乾燥される。好ましくはない完全クロスフ
ロー膜を使用する具体例に於ては、同一水準の乾燥、即
ち同一の露点を達成するために乾燥生成物の30%以上が
使用されるべきである。
本発明の特許請求の範囲に述べた範囲から離れることな
く、ここに記載した様なプロセス及びシステムの詳細を
種々に変化及び改変し得ることを認識されたい。使用さ
れる不斉膜構造或は複合膜構造は廃棄物の乾燥膜システ
ムに使用され得る。稠密膜は通常生成物乾燥用途のため
に使用されるが、そうした稠密膜は本発明の実施に使用
し得るものの、先に銘記したその固有の限定事項の故に
その使用は好ましくない。
本発明の実施に際して使用される透過性膜は一般に膜束
アセンブリに於て使用される。該膜束アセンブリは代表
的には膜システムの主要要素を構成する膜モジュールを
形成するための包囲体内部に位置決めされる。膜システ
ムは単一或は平行或は列状動作のために配列された多く
のそうしたモジュールを含み得る。膜モジュールは、好
都合な中空繊維形態或は螺旋巻形態、平坦な薄板に畳ん
だ形態、その他所望の膜形状の膜束を使用して作製し得
る。膜モジュールは供給ガス（空気）側及びその反対側
の透過ガス出口側を有するよう構成される。中空繊維膜
のためには供給ガス側は、内側から外側への動作のため
には孔側であり或は外側から内側への動作のためには中
空繊維の外側とし得る。供給ガスをシステムに導入し、
また透過流れ及び非−透過流れを両方共に抜き出すため
の手段が設けられる。
PSA吸着材は、油蒸気及び硫化水素で汚染されそれによ
って劣化する傾向の有ることが知られていることから、
そうした汚染物質を供給空気をPSA−システムに送達す
る以前に除去するべく、アルミニューム或はモレキュラ
ーシーブの如き孔を有する材料から成る追加的吸着ユニ
ット或はトラップを使用することは本発明の範囲に含ま
れる。
先に示したように、本発明で使用されるパージガスは、
ここに参照された供給源からの如き乾燥或は比較的乾燥
したパージガスとすべきである。ここで使用されるよう
に、比較的乾燥したパージガスは乾燥窒素生成物ガス類
は乾燥供給空気中の水分分圧を越えない水分分圧を有
し、好ましくは前記パージガスの水分分圧は、先に説明
されたパージガスの供給源に関してそうであるように、
生成物ガス流れの水分分圧の半分未満である。
膜は、PSA−窒素システム内で生成された乾燥高純度窒
素の或は該PSA−窒素システムへの供給空気の乾燥のた
めに非常に所望されるシステム及び方法の使用を可能な
らしめる。好都合な膜乾燥システムで乾燥が実施される
ことにより、従来からの水分除去のためのより高価で且
つ複雑な吸着或は冷凍技術及びシステムの使用が回避さ
れる。乾燥膜システムのプロセス流れを空気分離膜／PS
A−窒素システムと一体化して使用することによって、
乾燥膜システムの低圧の透過側でのパージが好都合に達
成される。向流流れ模様を確立するための束配列構成を
使用することによって、乾燥動作の好ましい具体例を、
乾燥高純度窒素の回収を増大させる状態で実施し得、ク
ロスフロー透過動作で生じていた貴重な窒素生成物ガス
の多量の同方向透過が回避される。
【図面の簡単な説明】
第１図は、窒素選択性吸着材を使用するPSA−窒素シス
テムからの廃棄ガスが、膜後乾燥システムのためのパー
ジガスとして使用される本発明の具体例における概略流
れ図式図である。 第２図は、窒素選択性吸着材を使用するPSA−窒素シス
テムからの乾燥窒素生成物ガスが、膜後乾燥システムの
ためのパージガスとして使用される本発明の具体例にお
ける概略流れ図式図である。 第３図は、酸素選択性吸着材を使用するPSA−窒素シス
テムからの廃棄ガスが、膜前乾燥システムのためのパー
ジガスとして使用される本発明の具体例における概略流
れ図式図である。 尚、図中主な部分の名称は以下の通りである。 ２：空気分離PSA窒素システム ４：生成物コンプレッサ ６：容器 ９：乾燥膜システム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェイムズ・スモラレク 米国ニューヨーク州ボストン、リーブラ ー・ロード6730

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】改良乾燥高純度窒素生成システムであっ
    て、 湿った高純度窒素を酸素から分離するために湿った供給
    空気のより吸着し易い成分を選択的に吸着し得る吸着材
    料を含む圧力変化式吸着システムと、 湿った高純度窒素或は湿った供給空気流れ中に存在する
    水を選択的に透過させ得る乾燥膜システムと、 膜表面からの水蒸気の搬出を容易化すると共に高純度窒
    素流れ或は供給空気からの膜を通しての水分除去を助長
    するための、前記高純度窒素流れ或は供給空気から膜を
    通して水蒸気を除去するためのドライビングフォースを
    維持するために、前記圧力変化式吸着システム或は窒素
    生成物ガスからの廃棄物ガスを含む比較的乾燥したパー
    ジガスを前記乾燥膜システムの低圧の透過側へと送達す
    るための導管手段とを包含し、 乾燥膜システムの透過側への前記パージガスの提供が、
    窒素生成物ガスの損失を最小限とする状態での所望の水
    分除去を容易化する前記改良乾燥高純度窒素生成システ
    ム。
  2. 【請求項２】乾燥膜システムは、透過ガスが該乾燥膜シ
    ステムへの供給空気流れと一般に平行に流動する状態で
    の向流流れ模様のために適合する膜束を含んでいる特許
    請求の範囲第１項記載の改良乾燥高純度窒素生成システ
    ム。
  3. 【請求項３】空気から乾燥高純度窒素を生成するための
    改良方法であって、 湿った高純度窒素或は湿った供給空気流れを、該湿った
    高純度窒素流れからの水を選択的に透過させ得る乾燥膜
    システムへと送達する段階と、 膜表面からの水蒸気搬出を容易化させると共に、高純度
    窒素或は供給空気流れからのからの水分除去を助長する
    べく前記膜を通しての水蒸気除去のためのドライビング
    フォースを維持するために、前記乾燥膜システムの低圧
    の透過側に、前記圧力変化式吸着システムからの廃棄ガ
    ス或は窒素生成物ガスを含む比較的乾燥したパージガス
    を送達する段階とを含み、 乾燥膜システムの透過側へのパージガスの提供が、生成
    物ガスの損失を最小限とする状態での所望の水分除去を
    容易化するようになっている、前記空気から乾燥高純度
    窒素を生成するための改良方法。
  4. 【請求項４】乾燥膜システムは後乾燥システムであり、
    圧力変化式吸着システムからの湿った高純度窒素が乾燥
    高純度窒素生成物ガスを形成するためにそこに送達され
    るようになっている特許請求の範囲第３項記載の空気か
    ら乾燥高純度窒素を生成するための改良方法。
  5. 【請求項５】圧力変化式吸着システム内で分離された、
    より吸着され易い酸素が乾燥パージガスである特許請求
    の範囲第４項記載の空気から乾燥高純度窒素を生成する
    ための改良方法。
  6. 【請求項６】乾燥膜システムは、透過ガスが前記乾燥膜
    システムへの供給空気流れと一般に平行に流動する状態
    での、向流流れ模様のために適合する膜束を含んでいる
    特許請求の範囲第３項記載の空気から乾燥高純度窒素を
    生成するための改良方法。
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Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4004532C2 (de) * 1990-02-14 1996-05-09 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Regenerierung von Adsorbern
JP2907974B2 (ja) * 1990-08-28 1999-06-21 株式会社ニデック 眼鏡フレームトレース装置
US5102432A (en) * 1990-12-10 1992-04-07 Union Carbide Industrial Gases Technology Corporation Three-stage membrane gas separation process and system
US5226932A (en) * 1991-10-07 1993-07-13 Praxair Technology, Inc. Enhanced meambrane gas separations
US5207806A (en) * 1991-10-08 1993-05-04 Praxair Technology, Inc. Dual product pressure swing adsorption and membrane operations
US5169412A (en) * 1991-11-20 1992-12-08 Praxair Technology Inc. Membrane air drying and separation operations
US5205842A (en) * 1992-02-13 1993-04-27 Praxair Technology, Inc. Two stage membrane dryer
US5344480A (en) * 1992-05-05 1994-09-06 Praxair Technology, Inc. Pressurizing with and recovering helium
US5320818A (en) * 1992-12-22 1994-06-14 Air Products And Chemicals, Inc. Deoxygenation of non-cryogenically produced nitrogen with a hydrocarbon
GB2274253B (en) * 1993-01-14 1997-04-16 Boc Group Plc Gas separation apparatus
US5348592A (en) * 1993-02-01 1994-09-20 Air Products And Chemicals, Inc. Method of producing nitrogen-hydrogen atmospheres for metals processing
US6068683A (en) * 1993-05-20 2000-05-30 The Regents Of The University Of California Apparatus for separating and collecting hydrogen gas
US5480682A (en) * 1993-05-21 1996-01-02 Air Products And Chemicals, Inc. Non-cryogenically generated nitrogen atmosphere for radiation curing
CN1035428C (zh) * 1994-06-08 1997-07-16 中国科学院山西煤碳化学研究所 一种氮气脱氧净化方法
FR2722114B1 (fr) * 1994-07-08 1996-08-23 Air Liquide Procede et installation de production d'azote par permeation gazeuse et adsorption combinees
DE4435702C2 (de) * 1994-10-06 1998-11-26 Druckluft Dannoehl Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von Stickstoff
US5707425A (en) * 1994-10-21 1998-01-13 Nitrotec Corporation Helium recovery from higher helium content streams
US5792239A (en) * 1994-10-21 1998-08-11 Nitrotec Corporation Separation of gases by pressure swing adsorption
US5632803A (en) * 1994-10-21 1997-05-27 Nitrotec Corporation Enhanced helium recovery
US5588984A (en) * 1995-07-18 1996-12-31 Verini; Nicholas A. Apparatus and method to intermittently manufacture and dispense nitrogen
US5688306A (en) * 1995-07-18 1997-11-18 Verini; Nicholas A. Apparatus and method to intermittently manufacture and dispense nitrogen gas
US5641337A (en) * 1995-12-08 1997-06-24 Permea, Inc. Process for the dehydration of a gas
US5700310A (en) 1995-12-29 1997-12-23 Mg Generon, Inc. Removal of oil from compressed gas with macroporous polymeric adsorbent
US5669959A (en) * 1996-05-16 1997-09-23 Uop Process for safe membrane operation
EP0824034A3 (en) * 1996-08-14 1998-05-06 Bend Research, Inc. Vapor permeation system
US6059857A (en) * 1996-08-14 2000-05-09 Bend Research, Inc. Ultrapurification of organic solvents
US5753010A (en) * 1996-10-28 1998-05-19 Air Products And Chemicals, Inc. Hydrogen recovery by pressure swing adsorption integrated with adsorbent membranes
EP0860194A1 (en) * 1997-02-21 1998-08-26 Aquilo Gas Separation B.V. A process for drying compressed air
US5906673A (en) * 1997-05-15 1999-05-25 Nitrotec Corporation Pressure swing system with auxiliary adsorbent bed
US5851266A (en) * 1997-06-23 1998-12-22 Praxair Technology,Inc. Hybrid solid electrolyte ionic conductor systems for purifying inert gases
US5944874A (en) * 1997-06-23 1999-08-31 Praxair Technology, Inc. Solid electrolyte ionic conductor systems for the production of high purity nitrogen
US6168774B1 (en) 1997-08-07 2001-01-02 Praxair Technology, Inc. Compact deoxo system
FR2778581B1 (fr) * 1998-05-12 2000-06-09 Commissariat Energie Atomique Procede de purification, et de concentration en un constituant minoritaire, d'un melange gazeux, procede de detection de ce constituant, et installation
WO2003011434A1 (en) * 2001-07-31 2003-02-13 Praxair Technology, Inc. Control system for helium recovery
US6607100B2 (en) * 2001-11-26 2003-08-19 Vin Valet, Inc. Wine or champagne preservation and dispensing apparatus
US7022283B2 (en) * 2001-11-26 2006-04-04 Vin Valet, Inc. Apparatus and method for preserving collectible items
DE10226485A1 (de) * 2002-06-14 2005-06-23 Infineon Technologies Ag Halbleiterspeicher mit Adressdecodiereinheit
KR100550408B1 (ko) * 2002-11-04 2006-02-08 주식회사 케이피씨 공기 중의 산소와 질소 분리 공급 장치
US7025803B2 (en) * 2002-12-02 2006-04-11 L'Air Liquide Societe Anonyme A Directoire et Counsel de Surveillance Pour L'Etude et L'Exploration des Procedes Georges Claude Methane recovery process
GB2399775B (en) * 2003-03-28 2005-07-27 Council Scient Ind Res Process for the preparation of a molecular sieve adsorbent for the size/shape selective separation of air
US7319082B2 (en) * 2003-10-27 2008-01-15 Council Of Scientific And Industrial Research Process for the preparation of molecular sieve adsorbent for selective adsorption of oxygen from air
US7081153B2 (en) * 2003-12-02 2006-07-25 Honeywell International Inc. Gas generating system and method for inerting aircraft fuel tanks
US20060230935A1 (en) * 2004-03-23 2006-10-19 Keith Michael Method and system for producing inert gas from combustion by-products
FR2873594B1 (fr) * 2004-07-28 2006-09-29 Air Liquide Installation de production d'oxygene de haute purete
BRPI0607444A2 (pt) * 2005-03-11 2017-05-23 Uop Llc processo e sistema de separação por membrana
US20070151447A1 (en) * 2005-12-30 2007-07-05 Membrane Technology And Research, Inc. Gas separation membranes and processes for controlled environmental management
JP4521373B2 (ja) * 2006-04-04 2010-08-11 エア・ウォーター株式会社 高純度窒素ガスの製造方法
US7384297B2 (en) * 2006-11-07 2008-06-10 King Jr Lloyd Herbert Wire connector
US7780768B2 (en) * 2006-11-28 2010-08-24 Inogen, Inc. Gas concentrator with improved water rejection capability
DE102009058054B4 (de) * 2009-12-14 2011-12-08 Airco Systemdruckluft Gmbh Stickstoff-Generator, dessen Verwendung sowie Verfahren zur vor Ort Herstellung von Stickstoff
JP6500499B2 (ja) * 2015-02-27 2019-04-17 三菱ケミカル株式会社 分離膜モジュール及びその運転方法
US10017373B2 (en) 2016-04-15 2018-07-10 Automatic Bar Controls, Inc. Nitrogen generator and uses thereof
DE102017205598A1 (de) * 2017-04-03 2018-10-04 Inficon Gmbh Verfahren zur Gewinnung von Helium aus einem Helium und Sauerstoff enthaltenden Gasgemisch
CA3063409A1 (en) 2017-05-16 2018-11-22 Terrence J. Ebert Apparatus and process for liquefying gases
CN108918789A (zh) * 2018-09-08 2018-11-30 深圳市能源环保有限公司 一种电厂烟气连续在线监测系统的吹扫气供气系统
CN113154796B (zh) * 2021-03-23 2022-12-09 金川集团股份有限公司 一种回收氧氮资源的可变多循环氧氮冷能利用装置及方法
IT202200027105A1 (it) * 2022-12-29 2024-06-29 Priver Ind Srl Sistema e metodo per la produzione di azoto gassoso

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4940071B1 (ja) * 1970-01-09 1974-10-30
US3735558A (en) * 1971-06-29 1973-05-29 Perma Pure Process Inc Process for separating fluids and apparatus
US3967464A (en) * 1974-07-22 1976-07-06 Air Products And Chemicals, Inc. Air separation process and system utilizing pressure-swing driers
JPS5263178A (en) * 1975-11-17 1977-05-25 Toshiba Corp Gas separation unit
US4264340A (en) * 1979-02-28 1981-04-28 Air Products And Chemicals, Inc. Vacuum swing adsorption for air fractionation
US4439213A (en) * 1981-12-30 1984-03-27 The C. M. Kemp Manufacturing Co. Nitrogen generation system
US4398926A (en) * 1982-04-23 1983-08-16 Union Carbide Corporation Enhanced hydrogen recovery from low purity gas streams
US4453957A (en) * 1982-12-02 1984-06-12 Union Carbide Corporation Double column multiple condenser-reboiler high pressure nitrogen process
US4448595A (en) * 1982-12-02 1984-05-15 Union Carbide Corporation Split column multiple condenser-reboiler air separation process
FR2540396B1 (fr) * 1983-02-04 1988-09-23 Petroles Cie Francaise Procede de deshydratation de gaz
US4639257A (en) * 1983-12-16 1987-01-27 Costain Petrocarbon Limited Recovery of carbon dioxide from gas mixture
GB8412932D0 (en) * 1984-05-21 1984-06-27 Boc Group Plc Purification of gases
US4589888A (en) * 1984-10-05 1986-05-20 Union Carbide Corporation Pressure swing adsorption process
US4594085A (en) * 1984-11-15 1986-06-10 Union Carbide Corporation Hybrid nitrogen generator with auxiliary reboiler drive
DE3650465T2 (de) * 1985-02-09 1996-09-12 Asahi Chemical Ind Durchlässige Polymer-Membran für die Gastrocknung
US4599094A (en) * 1985-03-07 1986-07-08 Union Carbide Corporation Enhanced pressure swing adsorption processing
US4734106A (en) * 1985-05-08 1988-03-29 A/G Technology Corporation Gas separating
US4645516A (en) * 1985-05-24 1987-02-24 Union Carbide Corporation Enhanced gas separation process
US4781907A (en) * 1985-12-04 1988-11-01 Mcneill John M Production of membrane-derived nitrogen from combustion gases
EG18145A (en) * 1985-12-10 1992-08-30 Albany Int Corp Hollow fiber separatory modul with encased fiber bundle
US4687498A (en) * 1986-02-24 1987-08-18 The Boc Group, Inc. Argon recovery from hydrogen depleted ammonia plant purge gas utilizing a combination of cryogenic and non-cryogenic separating means
US4690695A (en) * 1986-04-10 1987-09-01 Union Carbide Corporation Enhanced gas separation process
US4765804A (en) * 1986-10-01 1988-08-23 The Boc Group, Inc. PSA process and apparatus employing gaseous diffusion barriers
ZA876419B (en) * 1986-10-01 1988-06-29 Boc Group Inc Psa process and apparatus employing gaseous diffusion barriers
EP0263212B1 (en) * 1986-10-08 1990-12-27 Ube Industries, Ltd. Method for removing water vapor from water vapor-containing gas
US4701187A (en) * 1986-11-03 1987-10-20 Air Products And Chemicals, Inc. Process for separating components of a gas stream
US4857081A (en) * 1987-10-15 1989-08-15 Separation Dynamics, Inc. Separation of water from hydrocarbons and halogenated hydrocarbons
US4783203A (en) * 1987-10-22 1988-11-08 Union Carbide Corporation Integrated pressure swing adsorption/membrane separation process
US4783201A (en) * 1987-12-28 1988-11-08 Rice Arthur W Gas dehydration membrane apparatus
US4881953A (en) * 1988-09-15 1989-11-21 Union Carbide Corporation Prevention of membrane degradation
US4863492A (en) * 1988-11-28 1989-09-05 Uop Integrated membrane/PSA process and system
US4894068A (en) * 1988-12-27 1990-01-16 Permea, Inc. Process for capturing nitrogen from air using gas separation membranes
US4931070A (en) * 1989-05-12 1990-06-05 Union Carbide Corporation Process and system for the production of dry, high purity nitrogen

Also Published As

Publication number Publication date
CA2016565A1 (en) 1990-11-12
US5004482A (en) 1991-04-02
KR900017902A (ko) 1990-12-20
CN1023104C (zh) 1993-12-15
ES2046581T3 (es) 1994-02-01
EP0411254B1 (en) 1993-11-10
DE69004515T2 (de) 1994-03-03
JPH035308A (ja) 1991-01-11
EP0411254A1 (en) 1991-02-06
KR950006632B1 (ko) 1995-06-21
ATE97107T1 (de) 1993-11-15
MX166428B (es) 1993-01-07
BR9002218A (pt) 1991-08-13
CN1047266A (zh) 1990-11-28
DE69004515D1 (de) 1993-12-16

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