JPH064142Y2 - 細長い開口部用真空ゲ−ト弁 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、細長い開口部用真空ゲート弁に関するもので
ある。

（従来の技術） 従来、真空ゲート弁は箱形をした弁箱の前後に開口部を
有し、両側の案内材に沿ってシリンダ等により上下動す
る上下動材に弁板を連結して、上下動材の下降位置にお
いて前記弁板が開口部内側周辺に設けたシール材を押圧
して開口部を閉塞するごとくしていた。

（考案が解決しようとする課題） 真空ゲート弁が大型になって左右巾が長くなると、両側
の案内材で弁板を押えているので中央部のモーメントが
大となり、弁板が撓んで洩れが発生するという不都合が
あり、大型にするには部材を大規模にする等、面倒であ
った。

この考案の目的は、真空ゲート弁が大型になっても、弁
板の撓みを抑えて洩れの発生をなくすことにある。

（課題を解決するための手段） この目的のために、この考案の解決手段は、箱形をした
弁箱の前後壁にそれぞれ左右方向へ長い開口部を互いに
対応して設け、前側開口部内側周辺にシール材を設け、
該弁箱の内部にシリンダ等により左右端の案内材に沿っ
て上下動する上下動材を設け、該上下動材の後側上下端
部に、各々、左右方向に延びる軸により回動可能に支持
されかつ上記弁箱の後側開口部内側上下周縁を転動可能
な上側及び下側の押圧ローラをそれぞれ上下動材の左右
両端部を除く中央部に左右方向に適宜間隔をもって適宜
数配設し、該各押圧ローラの軸にそれぞれリンクを介し
て上下動材前側に位置する１つの弁板を連結し、上下動
材の下降位置において、前記押圧ローラが後側開口部内
側上下縁を押圧するとともに前記弁板が前側開口部内側
周辺のシール材を押圧して前側開口部を閉塞するごとく
構成した。

（作用） この考案では、上下動材の下降位置においては、リンク
の略水平方向への回動により、上側及び下側の押圧ロー
ラの各々が後側開口部内側上下縁の中央部の適宜位置を
押圧するとともに、それに対応する位置において弁板が
前側開口部内側周辺のシール材を押圧して開口部を閉塞
する。このように弁板が左右端部のみならず中央部でも
各リンクの突張りにより弁箱後壁に支持されるので、細
長い開口部であっても、弁板の中央部におけるモーメン
トが大とならず、弁板が撓まないから、洩れが発生する
という不都合がなく、真空ゲート弁を大型にすることが
できる。

また、上下動材の後側上下端部にそれぞれ押圧ローラが
軸支され、この各押圧ローラの軸にそれぞれ弁板とのリ
ンクが連結されているので、上下動材が下降位置に移動
する際、押圧ローラの各々は弁箱の後壁に当接した後、
その後壁面を転動しながら下降する。このため、リンク
は略水平方向に容易に回動することとなる。一方、上下
動材が下降位置から上昇する際にも、押圧ローラの転動
によりリンクがスムーズに略水平方向から逆方向に回動
する。従って、真空ゲート弁の開閉をスムーズに行うこ
とができる。

さらに、各押圧ローラの軸にリンクが連結されているの
で、押圧ローラの軸とリンクの軸とを共用して、部品点
数を低減することができる。

（実施例） 以下、図面に示す実施例について説明する。尚、説明の
便宜上、第２図の左・右をそれぞれ「前」・「後」、第
１図の左・右をそれぞれ「左」・「右」と呼称する。

１は真空ゲート弁で、その前側が真空装置Ｖ_１の開口部
に連結されており、後側は真空装置Ｖ_２の開口部に連結
されている。２は弁箱で、その前壁及び後壁にはそれぞ
れ左右に巾の長い前側及び後側開口部１ａ，１ｂが互い
に対応して設けられており、前側開口部１ａの内側周辺
にはシール材としてのＯリング３が押え金具４によって
一部が内側へ突出するごとく取着されている。

弁箱２の上部前後には点検孔５ａ，５ｂが設けられてい
る。６ａ，６ｂはこの点検孔５ａ，５ｂ用の蓋で、Ｏリ
ングを内蔵して点検孔５ａ，５ｂを気密に閉塞してい
る。

７は上下動材であり、その左右両側の上下部には左右方
向を規制するガイドローラ８と前後方向を規制するガイ
ドローラ９がそれぞれ４個設けられており、これらガイ
ドローラ８，９の規制により上下動材７が弁箱２の左右
側壁内に設けた両側の案内材としてのガイドレール１０
ａ，１０ｂに沿って上下動するごとくなっている。

１１は弁箱２の上部に設けられたシリンダで、その下方
に延びるピストンロッド１１ａの先端は上下動材７の上
部に取着された取付金具１２に連結されている。

１３は上側押圧ローラで、上下動材７の後側上端部に取
着されたローラ取付材１５に左右方向に延びる軸１３ａ
により回転自在に支持されている。１４は下側押圧ロー
ラで、同様に、上下動材７の後側下端部に取着されたロ
ーラ取付材１６に左右方向に延びる軸１４ａにより回転
自在に支持されている。これら上側及び下側押圧ローラ
１３，１４はそれぞれ上下動材７の左右両端部を除く中
央部に左右方向に適宜間隔をもって適宜数設けられてい
る。

１７，１８はそれぞれ上下のスライド板で、このスライ
ド板１７，１８は弁箱２の後側開口部１ｂの内側上下に
おいて、上下動材７が下降位置にあるときの前記押圧ロ
ーラ１３，１４と対向する位置に固着されている。

１９は上下動材７の前側に配置され前記前側開口部１ａ
をその内側から閉塞するための１つの弁板、２０，２１
は前記上側及び下側押圧ローラ１３，１４に対応して設
けられたリンクであって、各リンク２０，２１は、各々
基端が押圧ローラ１３，１４の軸１３ａ，１４ａに回動
自在に支承され、先端は弁板１９に回動自在に連結され
ている。

２２は送り込みローラで、左右２個設けられており、該
送り込みローラ２２，２２に対向する弁板１９下部には
それぞれ板２３，２３が固着されており、該板２３が送
り込みローラ２２に当接することで弁板１９の下降端位
置を規制している。

２４はシリンダ１１のピストンロッド１１ａ周りをシー
ルするＯリング、２４ａはその押え板である。

しかして、この実施例では、開弁時、シリンダ１１が縮
短しており、このとき、弁板１９は上下動材７に当接し
て吊り上げられており、真空装置Ｖ_１と真空装置Ｖ_２と
は連通している（第６図参照）。

これに対し、閉弁するときには、シリンダ１１が伸長す
る。これに伴い、上下動材７が弁板１９を吊ったまま下
降し、弁板１９下部の板２３が送り込みローラ２２上に
当接すると、その後はシリンダ１１の伸長力によってリ
ンク２０，２１が軸１３ａ，１４ａを中心に略水平方向
になるよう回動し、これにより弁板１９が送り込みロー
ラ２２上を前方へ移動してＯリング３を押圧し、前側開
口部１ａを閉塞する。このとき、リンク２０，２１が突
っ張った状態となり、押圧ローラ１３，１４はスライド
板１７，１８を押圧する。

その際、上下動材７に上下の押圧ローラ１３，１４が設
けられているので、上下動材７が下降位置に移動すると
きには、各押圧ローラ１３，１４は弁箱２後壁のスライ
ド板１７，１８にそれぞれ当接した後、その面上を転動
しながら下降する。このため、リンク２０，２１は略水
平方向に容易に回動する。

一方、閉弁状態から再度開弁するときには、シリンダ１
１の縮短により上下動材７が下降位置から上昇し、前記
と逆の動作が行われる。このときにも、押圧ローラ１
３，１４の転動によりリンク２０，２１がスムーズに略
水平方向から逆方向に回動する。このことから、真空ゲ
ート弁の開閉をスムーズに行うことができる。

従って、真空装置Ｖ_２側を真空にした場合、弁板１９は
真空装置Ｖ_１側の圧力によって押されるものの、その巾
方向の中央部の適宜位置においてローラ１３，１４及び
リンク２０，２１によって後壁から押されるため、前側
開口部１ａが左右に長い場合でも弁板１９は撓まず、前
側開口部１ａの閉塞が破れて洩れが発生するということ
がない。よって真空ゲート弁を支障なく大型にすること
ができる。

（考案の効果） 以上説明したように、この考案によると、箱形をした弁
箱の前後に左右方向へ長い開口部を設け、前側開口部内
側周辺にシール材を設け、弁箱の内部にシリンダ等によ
り左右端の案内材に沿って上下動する上下動材を設け、
上下動材の後側上下端部に、各々上下動材に軸支される
上側及び下側の押圧ローラをそれぞれ上下動材の左右両
端部を除く中央部に左右方向に適宜間隔をもって適宜数
設け、この各押圧ローラの軸からリンクによって前側の
弁板を連結し、上下動材の下降位置において、押圧ロー
ラが後側開口部内面上下縁を押圧するとともに弁板がシ
ール材を押圧して前側開口部を閉塞するごとくしたか
ら、真空ゲート弁の開閉をスムーズに行い、かつ部品点
数の低減を図りつつ、左右方向に長い弁板が外側から圧
力によって押された場合でもその中央部でモーメントが
大とならず、弁板が撓まないから開口部の閉塞が破れて
洩れが発生するのを防いで装置を大型にすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は真空ゲート弁
の正面図、第２図は第１図のII−IIから見た断面図、第
３図は第１図のIII−IIIから見た断面図、第４図は第１
図のIV−IVから見た断面図、第５図は第４図のＶ−Ｖか
ら見た断面図、第６図は作動を示す第２図と同様の断面
図である。 １…真空ゲート弁、１ａ，１ｂ…開口部、２…弁箱、３
…Ｏリング、７…上下動材、１１…シリンダ、１３…上
側押圧ローラ、１３ａ…軸、１４…下側押圧ローラ、１
４ａ…軸、１９…弁板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】箱形をした弁箱の前後壁にそれぞれ左右方
   向へ長い開口部を互いに対応して設け、前側開口部内側
   周辺にシール材を設け、該弁箱の内部にシリンダ等によ
   り左右端の案内材に沿って上下動する上下動材を設け、
   該上下動材の後側上下端部に、各々、左右方向に延びる
   軸により回動可能に支持されかつ上記弁箱の後側開口部
   内側上下周縁を転動可能な上側及び下側の押圧ローラを
   それぞれ上下動材の左右両端部を除く中央部に左右方向
   に適宜間隔をもって適宜数配設し、該各押圧ローラの軸
   にそれぞれリンクを介して上下動材前側に位置する１つ
   の弁板を連結し、上下動材の下降位置において、前記押
   圧ローラが後側開口部内側上下縁を押圧するとともに前
   記弁板が前記前側開口部内側周辺のシール材を押圧して
   前側開口部を閉塞するごとくした細長い開口部用真空ゲ
   ート弁。