JPH0641688A

JPH0641688A - エッチング加工性に優れたシャドウマスク用金属薄板

Info

Publication number: JPH0641688A
Application number: JP3604093A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Inoue; 正井上; Hidekazu Yoshizawa; 秀和吉沢; Kiyoshi Tsuru; 清鶴; Tomoyoshi Okita; 智良大北; Yoshiaki Shimizu; 義明清水
Original assignee: NKK Corp; Nippon Kokan Ltd
Current assignee: JFE Engineering Corp
Priority date: 1992-01-31
Filing date: 1993-02-01
Publication date: 1994-02-15
Anticipated expiration: 2014-08-03
Also published as: JP2929881B2

Abstract

(57)【要約】【目的】カラーブラウン管シャドウマスク用のエッチ
ング加工性に優れたFe−Ni系合金薄板およびFe−Ni−Co
系合金薄板を提供する。【構成】合金表面の結晶面の集積度はそれぞれ｛１１
１｝≦５，｛１００｝：５０〜９３，｛１１０｝≦２
４，｛３１１｝：１〜１０，｛３３１｝：１〜１４，
｛２１０｝：１〜１０，｛２１１｝：１〜１０で、
〔｛１００｝＋｛３１１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１１
０｝＋｛１１１｝＋｛３３１｝＋｛２１１｝〕：0.８〜
２０を満足するFeとNiを主成分とするFe−Ni系およびFe
−Ni−Co系合金からなる金属薄板。【効果】エッチング加工性に優れ、エッチング後のそ
りの発生が極めて小さく、エッチングファクターが高
く、フラットマスクの明るさとムラ品位に優れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エッチング加工性に優
れたFe−Ni系合金およびFe−Ni−Co系合金に係り、カラ
ーブラウン管に使用される好ましいシャドウマスク用合
金薄板に関するものである。

【０００２】近年、カラーテレビの高品位化に伴い、色
ずれの問題に対処できるシャドウマスク用合金として、
３４〜３８wt％のNiを含有するFe−Ni系合金が使用され
ている。このFe−Ni系合金は、シャドウマスク用材料と
して従来から使用されてきた低炭素鋼に比べ、熱膨張率
が著しく小さい。従って、Fe−Ni系合金によってシャド
ウマスクを作れば、シャドウマスクが電子ビームにより
加熱されても、シャドウマスクの熱膨張による色ずれの
問題は生じ難い。また、さらに進んだ合金としてFe−Ni
−Co系の合金も有望である。

【０００３】このような、シャドウマスク用合金薄板
は、通常、下記工程によって、シャドウマスクに加工さ
れる。即ちシャドウマスク用合金薄板に、フォトエッチ
ングによって、電子ビームの通過孔（以下、単に「孔」
という）を形成し（以下、エッチングによって穿孔され
たままのシャドウマスク用合金薄板を「フラットマス
ク」という）、次いで、フラットマスクに焼鈍を施し、
次いで、焼鈍を施したフラットマスクを、ブラウン管の
形状に合うように曲面形状にプレス成形し、次いで、そ
れをシャドウマスクに組立て、そして、次いでその表面
上に黒化処理を施す。

【０００４】しかしながら、このような従来のFe−Ni系
合金およびFe−Ni−Co系合金を使用する場合には、従来
の低炭素鋼のシャドウマスク材に比べて多数の細孔をあ
けるためのエッチング加工性に劣る。即ち前記合金の場
合、エッチング液に対する腐食性が軟鋼に比べて著しく
悪く、かつ結晶粒径も軟鋼に比べて大きく、その結果、
該エッチングにより穿孔された細孔部に光を透過させる
とフラットマスクにもやがかったむらが生じ、かつ、こ
のようなフラットマスクの明るさ（光を透過させた場合
の明るさ）は軟鋼のマスクに比べて劣っていた。特に、
近年急増しているファインピッチで孔径の小さい高精細
マスクにおいては上記したむらが発生し易く、かつマス
クの明るさも劣っており、カラー受像管の品位を著しく
低下させてしまう。

【０００５】特に最近においては画面の明るさが強く求
められ、斯かるニーズに対しても前記したようなフラッ
トマスクの明るさが劣っていることは大きな問題となっ
ている。更にFe−Ni系合金およびFe−Ni−Co系合金の場
合、エッチング後にそりが発生し易い不利も有してお
り、このそりがある場合、エッチング後にブラウン管メ
ーカでの焼鈍工程やプレス成形工程の作業性を著しく損
う。これらエッチング加工性上における不利を解決する
ために次のような先行技術が知られている。

【０００６】特公平2-9655号公報は、Fe−Ni系イン
バー合金薄板表面に｛１００｝結晶面を３５％以上集合
させることにより、高精度でかつ均一にエッチングする
ことを可能とするものである（以下、「先行技術１」と
いう）。

【０００７】特開昭62-243782 号公報は、Fe−Ni系
インバー合金の圧延面に｛１００｝面を集合させ、表面
粗さをRa：0.２〜0.７μｍ、及びSm：１００μｍ以下と
し、かつ結晶粒度を粒度番号8.０以上とすることによ
り、エッチングスピードを向上させ、かつむら品位を向
上させようとするものである（以下、「先行技術２」と
いう）。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た先行技術１ではインバー合金の｛１００｝結晶面を４
３％まで集合させてエッチングの精度及び均一性を高め
ているが、実際この技術で得られるフラットマスクはも
やむらが依然として消えず、フラットマスクの明るさの
点でも劣り、品質上の問題となっていた。

【０００９】また、先行技術２は、インバー合金のエッ
チングスピードを高め、かつむら品位の向上までは図っ
ているが、実際この技術で得られるフラットマスクは明
るさの点で依然として劣っており、品質上の問題となっ
ていたのである。なお、この技術の中に記載されている
結晶粒度は粒度番号で１0.０が最も細粒のものであり、
この結晶粒度番号に対応する結晶粒径は下記の式（１）
によると１１μｍである。

【００１０】

【数１】（結晶粒度No.)＝16.6439 −6.6439 log（結晶粒径μｍ／1.125) ─（１）

【００１１】なお、上記した先行技術では、エッチング
後のそりの問題は依然として改善されていない。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記したよう
な実情に鑑み、検討を重ねて創案されたものであって、
エッチング加工性が優れ、高精度で均一なエッチング穿
孔が可能で、かつエッチング穿孔後のフラットマスクの
明るさも優れたレベルとすることが可能であり、エッチ
ング後のそりも適切に抑制されたシャドウマスク用Fe−
Ni系およびFe−Ni−Co系合金薄板を得ることに成功した
ものであって、以下の如くである。

【００１３】(1) Fe及びNiを主成分とするFe−Ni系合金
またはFe−Ni−Co系合金からなり、かつ合金板表面への
｛１１１｝、｛１００｝、｛１１０｝、｛３１１｝、
｛３３１｝、｛２１０｝、｛２１１｝の各結晶面の集積
度がそれぞれ下表の値を示し、かつそれらの比率〔｛１
００｝＋｛３１１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１１０｝＋
｛１１１｝＋｛３３１｝＋｛２１１｝〕が0.８〜２０で
あることを特徴とするエッチング加工性に優れたシャド
ウマスク用金属薄板。

【００１４】

【表１】

【００１５】(2) 前記(1) に記載の成分および合金板表
面への各結晶集積度およびそれらの比率を有し、かつ合
金板の板厚方向の結晶粒径が１０μｍ以下であることを
特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク用
金属薄板。

【００１６】

【作用】上記したような本発明について更に説明する
と、本発明は、Fe−Ni系またはFe−Ni−Co系合金からな
る合金薄板にフォトエッチングにより微細なパターンを
形成する際に、その大きさおよび形状を全面にわたって
均一に設けるためには、エッチング速度が全面において
一定でかつ速くする必要があり、またこのためには、エ
ッチングファクターを高めることが重要であって、これ
はエッチング面（合金板表面）への特定結晶面の集積度
比率を制御すること、及び合金板の板厚方向の結晶粒径
を制御することにより達成される。

【００１７】更には、エッチング穿孔後のフラットマス
クの明るさを優れたレベルとするためには、エッチング
孔の界面の表面粗さ（Ra）を特定値以下とすることが重
要であり、これはエッチング面（合金板表面）への特定
の結晶面の集積度を制御することにより達成される。ま
たエッチング後のそり発生の抑制は、エッチング面への
特定結晶面の集積度を制御することにより達成される。
本発明はこれらの点に着目したものである。

【００１８】本発明のシャドウマスク用Fe−Ni系および
Fe−Ni−Co系合金薄板の結晶面の集積度及び結晶粒径を
限定した理由について述べると、本発明で用いるFe−Ni
系およびFe−Ni−Co系合金は、色ずれ発生を防止する効
果を有するものであり、この効果を発揮するためには３
０〜１００℃の温度域における平均熱膨脹係数の上限値
を2.０×１０^-6／℃とする必要がある。この平均熱膨脹
係数はニッケル量に依存し、上述した平均熱膨脹係数の
条件を満たすNi量は３４〜３８％の範囲内である。な
お、このようなNi含有量の範囲内でも、平均熱膨脹係数
を低下させ得る好ましいNi量は３５〜３７wt％であり、
更にはこの平均熱膨脹係数をより低下させ得る更に好ま
しいNi量は３5.５〜３6.５wt％である。

【００１９】なお、0.００１〜１％のコバルトを含有す
る場合にも上述した平均熱膨張係数には影響を与えな
い。また、Fe−Ni−Co系合金においてCoを３〜６％、Ni
量を３０〜３３％にすることによりさらに優れた特性が
得られる。

【００２０】また、本合金においては、板表面のＸ線回
折により、（１１１），（２００），（２２０），（３
１１），（３３１），（４２０）及び（４２２）の各回
折面のＸ線回折強度が得られ、これらにより結晶方位の
集積度を測定することができる。たとえば｛１１１｝結
晶面の集積度は（１１１）回折面の相対Ｘ線強度比を
（１１１），（２００），（２２０），（３１１），
（３３１），（４２０）および（４２２）の各回折面の
相対Ｘ線強度比の和で割ることにより求めた。

【００２１】他の｛１００｝，｛１１０｝，｛３１
１｝，｛３３１｝，｛２１０｝，｛２１１｝結晶面の集
積度も同様に求められる。なお、ここで相対Ｘ線回折強
度比とは各回折面で測定されたＸ線回折強度をその回折
面の理論Ｘ線強度で割ったものである。即ち、たとえば
（１１１）回折面の相対Ｘ線回折強度比は（１１１）回
折面のＸ線回折強度を（１１１）回折面のＸ線回折理論
強度で割ったものである。

【００２２】また｛１００｝，｛１１０｝，｛２１
０｝，｛２１１｝の各結晶面の集積度はそれぞれこの結
晶面と方位的に同じ（２００），（２２０），（４２
０），（４２２）回折面の相対Ｘ線回折強度比を前記し
た（１１１）から（４２２）までの７個の回折面の相対
Ｘ線回折強度比の和で割ることにより求めた。

【００２３】更に本発明者等は、Fe−Ni系およびFe−Ni
−Co系合金薄板表面への｛１１１｝，｛１００｝，｛１
１０｝，｛３１１｝結晶面の集積度を制御することによ
り、エッチング後のそり発生を抑制し、かつムラ品位を
優れたものにすることができることを見い出した。つま
り｛１００｝結晶面の集積はエッチング後のそり発生の
抑制には有効な結晶面である。｛１００｝結晶面の集積
度が５０％以上となると、エッチング後のそり発生が抑
制される。しかし、｛１００｝結晶面の集積度が９３％
を超えるとエッチングムラが発生し、問題となる。これ
らのことより、｛１００｝結晶面の集積度は５０％以
上、９３％以下と定めた。

【００２４】一方｛１１１｝，｛１１０｝，｛３１１｝
結晶面の集積はエッチング後のそり発生傾向を強める。
｛１１１｝結晶面の集積度が５％超え、｛１１０｝結晶
面集積度が２４％超え、｛３１１｝結晶面集積度が１０
％超えとなるとエッチング後のそり発生が著しくなり、
フラットマスクの品質上問題となる。またこれら｛１１
１｝，｛１１０｝，｛３１１｝結晶面の集積度が１％未
満では後述するエッチングファクターを優れたレベルと
することができない。従って｛１１１｝結晶面の集積度
≦５％、｛１１０｝結晶面の集積度≦２４％、｛３１
１｝結晶面の集積度は１〜１０％とそれぞれ定めた。

【００２５】更に、本発明者等は、Fe−Ni系およびFe−
Ni−Co系合金薄板表面への｛３１１｝，｛２１０｝，
｛２１１｝の結晶面の集積度ならびにこれらの結晶面集
積度の比率を制御することにより、エッチングファクタ
ーの向上や、エッチング孔界面の表面粗さ（Ra) を小さ
くし、フラットマスクの明るさのレベルを優れたものに
することができることを見出した。即ち図１は、｛１１
１｝，｛１１０｝，｛３１１｝，｛１００｝が本発明範
囲内で、｛３３１｝，｛２１０｝，｛２１１｝の結晶面
の合金板表面への集積度が種々に異る合金薄板をフォト
エッチングし、得られたフラットマスクの光線透過量を
測定し、この値を上記合金と同じ寸法で穿孔された従来
の軟鋼からなるフラットマスクの光線透過量で割り、こ
れをフラットマスクの光線透過率として、この透過率と
エッチング孔界面の表面粗さ（Ra)の関係をプロットし
たものである。ここで表面粗さの測定方法は後述する実
施例１に示す方法によって求めた。

【００２６】前記図１によるならば、｛３３１｝，｛２
１０｝，｛２１１｝の各結晶面の集積度がそれぞれ１４
％以下，１０％以下，同じく１０％以下の場合、エッチ
ング孔界面の表面粗さ（Ra) が0.９０μｍ以下となり、
フラットマスクの光線の透過比率が、1.０以上となっ
て、従来の軟鋼のフラットマスクの光線の透過量以上の
明るさが得られることがわかる。フラットマスクの明る
さとエッチング孔界面の表面粗さの関係については他の
粗さパラメータとの相関も調べたが、１番強い相関を示
したものが中心線平均粗さ（Ra) であった。

【００２７】なお、本発明においては、前記のように
｛１１１｝，｛１００｝，｛１１０｝結晶面の集積度が
特定値に制御されている場合、｛３３１｝，｛２１
０｝，｛２１１｝結晶面の集積度がおのおの１％未満で
あると、後述するエッチングファクターを優れたレベル
とすることができない。

【００２８】以上のような検討結果により、フラットマ
スクの明るさを優れたレベルとし、かつ、エッチングフ
ァクターを優れたレベルとするための条件として、｛３
３１｝結晶面の集積度を１〜１４％、｛２１０｝結晶面
の集積度を１〜１０％、｛２１１｝結晶面の集積度を１
〜１０％とそれぞれ定めた。

【００２９】｛３３１｝結晶面の集積度が１４％超え、
あるいは｛２１０｝結晶面の集積度が１０％超え、もし
くは｛２１１｝結晶面の集積度が１０％超えの場合、エ
ッチング孔界面はミクロ的にみると、微細なピット（凹
凸）が生面に生成されている。このことから、エッチン
グ孔界面の粗さ（Ra) が0.９０μｍ超となっているの
は、このようなピットの生成のためであると考えられ
る。

【００３０】合金板表面への主要７面の結晶面集積度比
率の制御はエッチングファクターの向上のために必要で
ある。図２は合金薄板のエッチングファクター及びムラ
品位と〔｛１００｝＋｛３１１｝＋｛２１０｝〕／
〔｛１１０｝＋｛１１１｝＋｛３３１｝＋｛２１１｝〕
の関係を要約して示すものである。エッチングファクタ
ーは後述実施例１に示したところと同じ方法で求めた。
また主要７個の結晶面集積度は前記したようなＸ線回折
の手法により求めた。更にムラ品位は肉眼観察して判定
したもので、ムラのないものはＡ、ムラが激しく実用上
問題のあるものをＥとし、Ｂ〜ＤはそれらＡとＥとの間
をランクづけしたものであって、ＡからＣまでが実用上
問題のないものである。

【００３１】前記図２によれば、上記関係式〔｛１０
０｝＋｛３１１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛１
１１｝＋｛３３１｝＋｛２１１｝〕の値の増加に伴いエ
ッチングファクターの増加がみられるが、本発明では実
用上問題のないエッチングファクターの値として、２０
を定め、この値以上のエッチングファクターとなる前記
関係式の値の下限値として0.８を定めた。なお前記関係
式の値が２０を超えるとムラ品位が悪くなり実用上問題
がある。これらのことからムラ品位がＡ〜Ｃと良好で、
かつ本発明で意図する高いエッチングファクターが得ら
れる前記関係式の値の範囲として0.８〜２０を定めた。

【００３２】さて、本発明においては、上記したように
合金薄板表面への特定の結晶面集積度の比率制御により
エッチングファクターを向上させることができる。更に
エッチングファクターを向上させるためには、合金板の
板厚方向の結晶粒径を従来レベルよりも小さい１０μｍ
以下（結晶粒度No. で１0.３以上）とすることより、図
３で示すように同一の関係式〔｛１００｝＋｛３１１｝
＋｛２１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛１１１｝＋｛３３
１｝＋｛２１１｝〕の値でもエッチングファクターをよ
り高くすることができる。

【００３３】以上よりエッチングファクターをより高く
するための合金板厚方向における結晶粒径の上限を１０
μｍと定めた。然して図４は前記図３において、上記関
係式〔｛１００｝＋｛３１１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１
１０｝＋｛１１１｝＋｛３３１｝＋｛２１１｝〕の値を
4.０の一定としたときのエッチングファクターと合金薄
板の板厚方向結晶粒径の関係を示すものである。

【００３４】なお、本発明によるシャドウマスク用合金
は上記したように、Fe−NiまたはFe−Ni−Coの基本組成
に、合金板表面への結晶面の集積度とその比率、及び合
金板の板厚方向の結晶粒径をそれぞれ規定することを特
徴としているが、前記の組成の他Ｃ：0.００５０％以
下，Mn：0.３５％以下，Si：0.０５％以下，Cr：0.０５
％以下，Ｎ：0.００１５％以下，Ｏ：0.００２０％以下
であることが望ましい。不純物としてのCoは、1.０wt.%
までは特性に影響を及ぼさない。また、Fe−Ni−Co系合
金においてもCoを除き不純物量は同様に制御することが
望ましい。

【００３５】合金薄板表面への結晶面の集積度を本発明
で規定した値とするためには、合金薄板の製造にかかわ
る、凝固から熱間での加工、以降の冷間圧延・焼鈍工程
で極力これらの結晶面を形成させない製造条件を採るこ
とにより、達成される。例えば、本合金が造塊または連
続鋳造スラブを分塊圧延し、熱間圧延することにより得
た熱延鋼帯によって製造する場合は熱間圧延後で、適正
な熱延板焼鈍を施すことが｛１１１｝，｛１１０｝，
｛２１１｝，｛１００｝が｛３３１｝，｛２１０｝，
｛２１１｝結晶面の集積を制御するためには有効であ
り、この際の熱延板焼鈍の温度は、熱間圧延での圧下率
に応じて、９１０〜９９０℃の範囲で適切な温度を選択
して実施できる。

【００３６】本発明は、前記した熱延板焼鈍後の合金板
表面への各結晶面集積度に応じて、以降冷間圧延とこれ
に引き続く焼鈍を行なったのち、仕上冷間圧延歪み取り
焼鈍を施す工程で製造するに際して、この冷間圧延率、
焼鈍条件（温度、時間、加熱速度）及び仕上冷間圧延の
一連の工程を最適条件に組み合わせることにより達成さ
れる。なお上記した熱延板焼鈍による効果は本合金の熱
延鋼帯が熱延板焼鈍前で十分に再結晶している時に発揮
されるものである。

【００３７】また、本発明で意図する３つの結晶面の集
積度を得るには、本合金を製造するに際して、分塊圧延
後のスラブの均一化熱処理の実施は好ましくない。たと
えば、上記の均一化熱処理が１２００℃以上、１０Hr以
上の条件で行なわれる場合、上記した７つの結晶面の集
積度のうち少なくとも１つ以上が本発明の規定値を超え
てしまうのでこのような処理は避けねばならない。

【００３８】

【実施例】次に、この発明を具体的実施例によって、更
に詳しく説明すると、以下の如くである。

【００３９】（実施例１）取鍋精錬によって次の表２に
示す化学成分を有する合金の鋼塊を得た。

【００４０】

【表２】

【００４１】上記のようにして得られた各鋼塊は次い
で、その手入れ後、分塊圧延、表面疵取り、熱間圧延
（加熱は１１００℃×３hr) して熱延鋼帯となし、この
ようにして得られた熱延鋼帯を用いて、以降熱延板焼鈍
（９１０〜９９０℃）を行ない、以降、冷間圧延焼鈍条
件ならびに仕上冷間圧延条件を変化させ、表３〜表６に
示すような結晶面の集積度および合金板の板厚方向の結
晶粒径を有する材料（材料No.1〜４０）を得た。各熱延
鋼帯は熱延後十分に再結晶しており、｛１１１｝，｛１
００｝，｛１１０｝，｛３１１｝，｛２１０｝，｛２１
１｝結晶面の集積度測定は前記したようなＸ線回折によ
る手法によって求めた。

【００４２】

【表３】

【００４３】

【表４】

【００４４】

【表５】

【００４５】

【表６】

【００４６】次に、これらの合金板の表面にレジストパ
ターンを設け、レジスト開口径１３５μｍにおけるエッ
チングファクターを測定した。エッチングファクターの
測定は上記サンプルを、４５ボーメ、FeCl₃溶液、液温
４０℃、スプレー圧2.５kgf/cm²にて５０秒エッチング
した後に図５で示すような方法にて算出した。また、同
様の合金板をフォトエッチングによりフラットマスクに
し、この光線の透過量を測定し、この値を上記した合金
と同じ寸法で穿孔された従来の軟鋼からなるフラットマ
スクの光線の透過量で割り、これをフラットマスクの光
線の透過率とした。なおエッチング後のそり量は、エッ
チング後のフラットマスクを水平定盤の上に置き、そり
の高さを測ることにより求めた。

【００４７】また、これらのフラットマスクにおけるエ
ッチング孔界面の表面粗さを非接触型のレーザー粗さ計
にて測定した。カットオフ値は0.０２mmであり、孔界面
のテーパー形状部分はうねり成分として除去することに
より粗さ曲線を抽出し、この曲線から中心線平均粗さ
（Ra) を求めた。更にフラットマスクのムラ品位は肉眼
観察して判定したものであり、図２と同じ基準にて求め
た。

【００４８】表３〜表６に示した結果から明らかなよう
に、本発明の範囲内の｛１１１｝，｛１００｝，｛１１
０｝，｛３３１｝，｛３１１｝，｛２１０｝，｛２１
１｝結晶面の集積度及び〔｛１００｝＋｛３１１｝＋
｛２１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛３３１｝＋｛２１１｝
＋｛１１１｝〕の値を有する材料No.15 〜No.45 の各材
は、エッチング後のそり量は２mm以下と後述する比較例
に比べて低く、エッチング孔界面の表面粗さ（Ra) は0.
９０μｍ以下であり、フラットマスクの光線透過率も1.
０以上で、従来の軟鋼のフラットマスクの光線の透過率
以上の明るさが得られることがわかる。更には、これら
の材料のエッチングファクターは2.０以上であり、かつ
フラットマスクのムラ品位も実用上問題のないレベルで
ある。

【００４９】特に、材料No.18 ，No.16 ，No.17, No.3
1, No.34 およびNo.38 の各材は、〔｛１００｝＋｛３
１１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛３３１｝＋
｛２１１｝＋｛１１１｝〕の値が２であるが、No.18 に
比べて、No.16 ，No.38 ，No.31，No.17 ，No.34 の各
材の合金板の板厚方向の結晶粒径は１０μｍ以下と従来
レベルより小さくなっており、エッチングファクターは
より高い値を示し、エッチング性がより優れていること
が明らかである。更にはこれらの材料No.16 ，No.38 ，
No.31 ，No.17 ，No.34 の各材の中でも合金板の板厚方
向の結晶粒径が小さい材料ほどエッチングファクターが
より高くなっており、エッチングファクターをより高め
るためには、合金板の板厚方向の結晶粒径を小さくする
ことが重要であることが理解される。また、Fe−Ni−Co
系のＥ，Ｇ，Ｈ鋼のNo. 41〜43も同様に優れた特性を示
している。

【００５０】これらの本発明例に対して、材料No.1〜N
o.5の各材はそれぞれ｛１１１｝結晶面の集積度が本発
明規定上限を超えるもの、｛１００｝結晶面の集積度が
本発明規定の下限未満のもの、上限以上のもの、｛１１
０｝結晶面の集積度が本発明規定の上限を超えるもの、
｛３１１｝結晶面の集積度が本発明規定の上限を超える
ものであり、エッチング後のそり量が７mm以上と、前記
した本発明例に比べて大きい。

【００５１】また材料No.6〜No.8の各材はそれぞれ、
｛３３１｝結晶面が本発明規定上限を超えるもの、｛２
１０｝結晶面が本発明規定条件を超えるもの、｛２１
１｝結晶面が本発明規定上限を超えるものであり、エッ
チング孔界面の表面粗さ（Ra) は0.９０μｍを超え、フ
ラットマスクの光線の透過率は1.０未満と前記した本発
明例に比べて低い。

【００５２】更に、材料No.14 は｛１００｝結晶面の集
積度が本発明規定の上限を超えるもの、〔｛１００｝＋
｛３１１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛１１１｝
＋｛３３１｝＋｛２１１｝〕の値が本発明規定の上限を
超えるものであり、フラットマスクのムラ品位が本発明
例に比べて劣っている。また、材料No.3では、｛２１
０｝結晶面の集積度も本発明規定の下限を下まわるもの
であり、エッチングファクターが2.００未満と本発明で
意図するレベルが得られていない。

【００５３】材料No.9〜No.13 の各材はそれぞれ｛２１
１｝結晶面の集積度、｛２１０｝結晶面の集積度、｛３
３１｝結晶面の集積度、｛３１１｝結晶面の集積度、
〔｛１００｝＋｛３１１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１１
０｝＋｛１１１｝＋｛３３１｝＋｛２１１｝〕の値が本
発明規定の下限を下まわる場合であり、いずれの材料で
も、エッチングファクターが2.００未満と本発明で意図
する高いレベルが得られていない。

【００５４】上記したところから明らかなように、本発
明の範囲内の｛１１１｝，｛１００｝，｛１１０｝，
｛３１１｝，｛３３１｝，｛２１０｝，｛２１１｝結晶
面の集積度とし、かつ〔｛１００｝＋｛３１１｝＋｛２
１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛１１１｝＋｛３３１｝＋
｛２１１｝〕の値も本発明の範囲内とすることにより、
エッチング後のそりを小さくし、エッチング孔界面の表
面粗さ（Ra) を制御しフラットマスクの光線の透過率を
優れたレベルとし、かつエッチングファクターおよびフ
ラットマスクのムラ品位を優れたものとすることがで
き、更には合金板の板厚方向の結晶粒径を本発明範囲内
でさらに小さくすることにより、エッチングファクター
をより高めることが可能である。すなわち、本発明によ
れば、優れたエッチング加工性を有するシャドウマスク
用Fe−Ni系およびFe−Ni−Co系合金薄板が得られること
がわかる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したような本発明によれば、エ
ッチング加工性に優れ、またエッチング後のそり発生が
極めて小さく、エッチングファクターが高くて、フラッ
トマスクの明るさも優れたレベルであり、またフラット
マスクのムラ品位も卓越したシャドウマスク用Fe−Ni系
およびFe−Ni−Co系合金薄板を提供することができるも
のであるから、工業的に有利な効果がもたらされ、その
効果の大きい発明である。

【図面の簡単な説明】

【図１】フラットマスクの光線透過率とエッチング孔界
面の表面粗さ（Ra) の関係を示した図表である。

【図２】エッチングファクター、ムラ品位と〔｛１０
０｝＋｛３１１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛１
１１｝＋｛３３１｝＋｛２１１｝〕の関係を示した図表
である。

【図３】エッチングファクターと〔｛１００｝＋｛３１
１｝＋｛２１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛１１１｝＋｛３
３１｝＋｛２１１｝〕、合金板の板厚方向における結晶
粒径との関係を示した図表である。

【図４】エッチングファクターと合金板の板厚方向の結
晶粒径の関係を示した図表である。

【図５】エッチングファクターの測定方法についての説
明図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大北智良東京都千代田区丸の内一丁目１番２号日本鋼管株式会社内 (72)発明者清水義明東京都千代田区丸の内一丁目１番２号日本鋼管株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】 Fe及びNiを主成分とする合金からなり、
かつ合金板表面への｛１１１｝，｛１００｝，｛１１
０｝，｛３１１｝，｛３３１｝，｛２１０｝，｛２１
１｝の各結晶面の集積度がそれぞれ下表の値を示し、か
つそれらの比率〔｛１００｝＋｛３１１｝＋｛２１
０｝〕／〔｛１１０｝＋｛１１１｝＋｛３３１｝＋｛２
１１｝〕が0.８〜２０であることを特徴とするエッチン
グ加工性に優れたシャドウマスク用金属薄板。
【請求項２】 Fe，NiおよびCoを主成分とする合金から
なり、かつ合金板表面への｛１１１｝，｛１００｝，
｛１１０｝，｛３１１｝，｛３３１｝，｛２１０｝，
｛２１１｝の各結晶面の集積度がそれぞれ下表の値を示
し、かつそれらの比率〔｛１００｝＋｛３１１｝＋｛２
１０｝〕／〔｛１１０｝＋｛１１１｝＋｛３３１｝＋
｛２１１｝〕が0.８〜２０であることを特徴とするエッ
チング加工性に優れたシャドウマスク用金属薄板。
【請求項３】請求項１に記載の成分及び合金板表面へ
の各結晶集積度及びそれらの比率を有し、かつ合金板の
板厚方向の結晶粒径が１０μｍ以下であることを特徴と
するエッチング加工性に優れたシャドウマスク用金属薄
板。
【請求項４】請求項２に記載の成分及び合金板表面へ
の各結晶集積度及びそれらの比率を有し、かつ合金板の
板厚方向の結晶粒径が１０μｍ以下であることを特徴と
するエッチング加工性に優れたシャドウマスク用金属薄
板。