JPH0643053A - 振動式センサ - Google Patents
振動式センサInfo
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- JPH0643053A JPH0643053A JP4197191A JP4197191A JPH0643053A JP H0643053 A JPH0643053 A JP H0643053A JP 4197191 A JP4197191 A JP 4197191A JP 4197191 A JP4197191 A JP 4197191A JP H0643053 A JPH0643053 A JP H0643053A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な構成で外乱に対して出力が安定な自励
発振回路で構成される振動式センサを提供する。 【構成】 物理量の変化に基づいて発振周波数が変化す
る振動子と、この振動子の出力を検出して検出信号とし
て出力する信号検出手段と、この検出信号が入力され制
御信号で決定される振幅として振動子に駆動信号を出力
する駆動制御手段と、検出信号の振幅と振動子の基準振
幅とを比較して制御信号として出力する振幅検出手段
と、検出信号の周波数から物理量に対応する出力信号を
演算して出力する演算手段と、制御信号が基準振幅を外
れたときに異常フラグを出力する異常検知手段と、この
異常フラグを監視しこの異常フラグが現れたときにはこ
れ以前のデ−タを保持して先の出力信号として出力する
監視手段とを具備する振動式センサである。
発振回路で構成される振動式センサを提供する。 【構成】 物理量の変化に基づいて発振周波数が変化す
る振動子と、この振動子の出力を検出して検出信号とし
て出力する信号検出手段と、この検出信号が入力され制
御信号で決定される振幅として振動子に駆動信号を出力
する駆動制御手段と、検出信号の振幅と振動子の基準振
幅とを比較して制御信号として出力する振幅検出手段
と、検出信号の周波数から物理量に対応する出力信号を
演算して出力する演算手段と、制御信号が基準振幅を外
れたときに異常フラグを出力する異常検知手段と、この
異常フラグを監視しこの異常フラグが現れたときにはこ
れ以前のデ−タを保持して先の出力信号として出力する
監視手段とを具備する振動式センサである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、差圧、圧力などの物理
量に対応して変化する自励発振の周波数の変化から物理
量を検出する振動式センサに係り、特に外乱に対して安
定になるように改良された振動式センサに関する。
量に対応して変化する自励発振の周波数の変化から物理
量を検出する振動式センサに係り、特に外乱に対して安
定になるように改良された振動式センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の振動式センサの構成を示す
ブロック図である。振動子１０は、例えば、シリコン単
結晶などでダイアフラムが形成され、その中に周囲がエ
ッチングにより空洞が形成された梁がＨ形状にこのダイ
アフラムに一体に形成された構成を有している。そし
て、この梁の一端には駆動信号が入力されてこれと磁場
との相互作用により梁を振動させ、その他端からこの梁
の振動に対応して発生する電圧を出力するようになって
いる。この場合に、この空洞の部分は真空状態にされて
いるので、感度が非常に高く梁は高いＱファクタを有し
ている。
ブロック図である。振動子１０は、例えば、シリコン単
結晶などでダイアフラムが形成され、その中に周囲がエ
ッチングにより空洞が形成された梁がＨ形状にこのダイ
アフラムに一体に形成された構成を有している。そし
て、この梁の一端には駆動信号が入力されてこれと磁場
との相互作用により梁を振動させ、その他端からこの梁
の振動に対応して発生する電圧を出力するようになって
いる。この場合に、この空洞の部分は真空状態にされて
いるので、感度が非常に高く梁は高いＱファクタを有し
ている。
【０００３】梁の他端から出力される振動電圧は増幅器
１１に入力され、ここで増幅されてその出力端に検出信
号Ｖi1として出力される。この検出信号Ｖi1は振幅制御
回路１２に出力され、振幅制御回路１２は検出信号Ｖi1
が後述する制御信号Ｖc1に対応した振幅になるように駆
動電圧Ｖd1を制御して、つまりＡＧＣ制御をして振動子
１０の一端に出力する。以上のようにして、振動子１
０、増幅器１１、振幅制御回路１２でＡＧＣ制御された
自励発振回路を構成している。
１１に入力され、ここで増幅されてその出力端に検出信
号Ｖi1として出力される。この検出信号Ｖi1は振幅制御
回路１２に出力され、振幅制御回路１２は検出信号Ｖi1
が後述する制御信号Ｖc1に対応した振幅になるように駆
動電圧Ｖd1を制御して、つまりＡＧＣ制御をして振動子
１０の一端に出力する。以上のようにして、振動子１
０、増幅器１１、振幅制御回路１２でＡＧＣ制御された
自励発振回路を構成している。
【０００４】また、検出信号Ｖi1は二乗回路１３に出力
されてここで整流され、その出力端に現れる電圧は誤差
増幅器１４の入力端の一端に入力される。誤差増幅器１
４の入力の他端には振動子１０の適正な振幅として採用
される基準振幅Ａｓに対応する基準電圧ＥS1が印加され
ており、誤差増幅器１４は振動子１０の振動の振幅が常
にこの基準振幅Ａｓ、つまり基準電圧ＥS1になるように
制御する制御信号Ｖc1をその出力端から振幅制御回路１
２に出力している。
されてここで整流され、その出力端に現れる電圧は誤差
増幅器１４の入力端の一端に入力される。誤差増幅器１
４の入力の他端には振動子１０の適正な振幅として採用
される基準振幅Ａｓに対応する基準電圧ＥS1が印加され
ており、誤差増幅器１４は振動子１０の振動の振幅が常
にこの基準振幅Ａｓ、つまり基準電圧ＥS1になるように
制御する制御信号Ｖc1をその出力端から振幅制御回路１
２に出力している。
【０００５】さらに、検出信号Ｖi1は、入力の一端に基
準電圧ＥS2が印加されたコンパレ−タ１５の他端に印加
されており、その出力端に基準電圧ＥS2を越える振幅を
有する検出信号Ｖi1に対して波形整形をして周波数信号
Ｆ１として出力する。
準電圧ＥS2が印加されたコンパレ−タ１５の他端に印加
されており、その出力端に基準電圧ＥS2を越える振幅を
有する検出信号Ｖi1に対して波形整形をして周波数信号
Ｆ１として出力する。
【０００６】この周波数信号Ｆ１はカウンタ１６で計数
されてその積算信号Ｎ１がマイクロプロセッサをベ−ス
とする演算部１７に出力される。ここで適当な演算が実
行されて振動子１０の周波数に対応する物理量を算出し
て出力端１８に出力する。
されてその積算信号Ｎ１がマイクロプロセッサをベ−ス
とする演算部１７に出力される。ここで適当な演算が実
行されて振動子１０の周波数に対応する物理量を算出し
て出力端１８に出力する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような従来の振動式センサは、次に説明するような問題
がある。図４を用いて説明する。図４（ａ）は増幅器１
１の出力に現れる検出信号Ｖi1、図４（ｂ）は駆動電圧
Ｖd1、図４（ｃ）はコンパレ−タ１５の出力として現れ
る周波数信号Ｆ１の波形をそれぞれ示している。
ような従来の振動式センサは、次に説明するような問題
がある。図４を用いて説明する。図４（ａ）は増幅器１
１の出力に現れる検出信号Ｖi1、図４（ｂ）は駆動電圧
Ｖd1、図４（ｃ）はコンパレ−タ１５の出力として現れ
る周波数信号Ｆ１の波形をそれぞれ示している。
【０００８】いま、図４（ａ）のＮｚで示すように衝撃
などの外乱が検出信号Ｖi1に混入されると制御信号Ｖc1
は駆動電圧Ｖd1を大きくするように動作する（図４
（ｂ））が、振動子１０のＱフアクタが大きいので振動
子１０の振幅がこれに即時に応答せず、図４（ａ）示す
ように検出信号Ｖi1が所定時間Ｔのあいだ基準振幅Ａｓ
に達しない状態が続く。このため、コンパレ−タ１５の
出力端に図４（ｃ）に点線で示すように周波数信号Ｆ１
に歯抜けが生じ、カウンタ１６がカウントミスを起こし
て誤差発生の原因を作る。
などの外乱が検出信号Ｖi1に混入されると制御信号Ｖc1
は駆動電圧Ｖd1を大きくするように動作する（図４
（ｂ））が、振動子１０のＱフアクタが大きいので振動
子１０の振幅がこれに即時に応答せず、図４（ａ）示す
ように検出信号Ｖi1が所定時間Ｔのあいだ基準振幅Ａｓ
に達しない状態が続く。このため、コンパレ−タ１５の
出力端に図４（ｃ）に点線で示すように周波数信号Ｆ１
に歯抜けが生じ、カウンタ１６がカウントミスを起こし
て誤差発生の原因を作る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の課題を
解決するために、物理量の変化に基づいて発振周波数が
変化する振動子と、この振動子の出力を検出して検出信
号として出力する信号検出手段と、この検出信号が入力
され制御信号で決定される振幅として振動子に駆動信号
を出力する駆動制御手段と、検出信号の振幅と振動子の
基準振幅とを比較して制御信号として出力する振幅検出
手段と、検出信号の周波数から先の物理量に対応する出
力信号を演算して出力する演算手段と、先の制御信号が
基準振幅を外れたときに異常フラグを出力する異常検知
手段と、この異常フラグを監視しこの異常フラグが現れ
たときにはこれ以前のデ−タを保持して出力信号として
出力する監視手段とを具備するようにしたものである。
解決するために、物理量の変化に基づいて発振周波数が
変化する振動子と、この振動子の出力を検出して検出信
号として出力する信号検出手段と、この検出信号が入力
され制御信号で決定される振幅として振動子に駆動信号
を出力する駆動制御手段と、検出信号の振幅と振動子の
基準振幅とを比較して制御信号として出力する振幅検出
手段と、検出信号の周波数から先の物理量に対応する出
力信号を演算して出力する演算手段と、先の制御信号が
基準振幅を外れたときに異常フラグを出力する異常検知
手段と、この異常フラグを監視しこの異常フラグが現れ
たときにはこれ以前のデ−タを保持して出力信号として
出力する監視手段とを具備するようにしたものである。
【００１０】
【作 用】振動子は物理量の変化に基づいて自己の発振
周波数を変化させるが、信号検出手段はこの振動子の発
振周波数を検出して検出信号として出力する。一方、駆
動制御手段はこの検出信号を用いて制御信号で決定され
る振幅として振動子に駆動信号を出力する。また、振幅
検出手段は先の検出信号の振幅と振動子の基準振幅とを
比較して制御信号として先の駆動制御手段に出力する。
そして、演算手段は検出信号の周波数から先の物理量に
対応する出力信号を演算して出力する。さらに、異常検
知手段は先の制御信号が基準振幅を外れたときに異常フ
ラグを出力し、監視手段はこの異常フラグを監視してお
りこの異常フラグが現れたときにはこれ以前のデ−タを
保持して先の出力信号として出力する。
周波数を変化させるが、信号検出手段はこの振動子の発
振周波数を検出して検出信号として出力する。一方、駆
動制御手段はこの検出信号を用いて制御信号で決定され
る振幅として振動子に駆動信号を出力する。また、振幅
検出手段は先の検出信号の振幅と振動子の基準振幅とを
比較して制御信号として先の駆動制御手段に出力する。
そして、演算手段は検出信号の周波数から先の物理量に
対応する出力信号を演算して出力する。さらに、異常検
知手段は先の制御信号が基準振幅を外れたときに異常フ
ラグを出力し、監視手段はこの異常フラグを監視してお
りこの異常フラグが現れたときにはこれ以前のデ−タを
保持して先の出力信号として出力する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。図１は本発明の１実施例の構成を示すブロック
図である。なお、図３に示す従来の振動式センサと同一
の機能を有する部分には同一の符号を付して適宜にその
説明を省略する。
明する。図１は本発明の１実施例の構成を示すブロック
図である。なお、図３に示す従来の振動式センサと同一
の機能を有する部分には同一の符号を付して適宜にその
説明を省略する。
【００１２】振動子１０、増幅器１１、振幅制御回路１
２、二乗回路１３、誤差増幅器１４、コンパレ−タ１
５、カウンタ１６などは図３に示す構成と同様な構成で
ある。振幅制御回路１２は誤差増幅器１４から出力され
る制御信号Ｖc2により検出信号Ｖi2が所定の基準振幅Ａ
ｓになるようにその出力端から駆動電圧Ｖd2を振動子１
０に出力している。
２、二乗回路１３、誤差増幅器１４、コンパレ−タ１
５、カウンタ１６などは図３に示す構成と同様な構成で
ある。振幅制御回路１２は誤差増幅器１４から出力され
る制御信号Ｖc2により検出信号Ｖi2が所定の基準振幅Ａ
ｓになるようにその出力端から駆動電圧Ｖd2を振動子１
０に出力している。
【００１３】一方、誤差増幅器１４の出力端に現れる制
御電圧Ｖc2はコンパレ−タ１９の入力の一端に印加さ
れ、その他端は基準電圧Ｅs3が印加されている。これに
より、制御電圧Ｖd2はこの基準電圧Ｅs3を越えたか否か
の判断がなされ、越えているときはその出力に現れる比
較信号Ｖc3のレベルを反転させる。
御電圧Ｖc2はコンパレ−タ１９の入力の一端に印加さ
れ、その他端は基準電圧Ｅs3が印加されている。これに
より、制御電圧Ｖd2はこの基準電圧Ｅs3を越えたか否か
の判断がなされ、越えているときはその出力に現れる比
較信号Ｖc3のレベルを反転させる。
【００１４】異常検知回路２０はこのコンパ−レ−タ１
９の出力レベルの反転を検知して所定時間のあいだ異常
フラグＡＦを立てる。演算部２１はこの異常フラグＡＦ
を検知すると異常フラグＡＦが立つ前のカウンタ１６の
出力を出力端に出力すると共に異常検知回路２０に対し
て異常フラグＡＦをリセットするリセット信号ＲＳを出
力する。
９の出力レベルの反転を検知して所定時間のあいだ異常
フラグＡＦを立てる。演算部２１はこの異常フラグＡＦ
を検知すると異常フラグＡＦが立つ前のカウンタ１６の
出力を出力端に出力すると共に異常検知回路２０に対し
て異常フラグＡＦをリセットするリセット信号ＲＳを出
力する。
【００１５】次に、以上のように構成された振動式セン
サの動作について図２に示す波形図を用いて説明する。
いま、図２（ａ）に示すように検出信号Ｖi2の中に衝撃
などの形で外乱Ｎｚが混入すると、一時的に検出信号Ｖ
i2の振幅が低下する。そこで、誤差増幅器１４はその制
御信号Ｖc2を図２（ｂ）に示すように増加させるが、こ
の値が基準電圧Ｅs3を越えると、コンパレ−タ１９は図
２（ｃ）に示すように比較信号Ｖc3を出力する。
サの動作について図２に示す波形図を用いて説明する。
いま、図２（ａ）に示すように検出信号Ｖi2の中に衝撃
などの形で外乱Ｎｚが混入すると、一時的に検出信号Ｖ
i2の振幅が低下する。そこで、誤差増幅器１４はその制
御信号Ｖc2を図２（ｂ）に示すように増加させるが、こ
の値が基準電圧Ｅs3を越えると、コンパレ−タ１９は図
２（ｃ）に示すように比較信号Ｖc3を出力する。
【００１６】そこで、異常検知回路２０はこの比較信号
Ｖc3がハイレベルになったことを検知して所定時間のあ
いだ図２（ｄ）に示すようにその出力端に異常フラグＡ
Ｆを立てる。演算部２１では図２（ｅ）に示すようにこ
の異常フラグＡＦを監視しており、異常フラグＡＦが立
っていないときは通常の信号処理を実行し、異常フラグ
ＡＦが立っているときは、前回のデ−タをホ−ルドして
出力端１８に送出し、異常検知回路２０に対してこの異
常フラグＡＦをリセットするリセット信号ＳＲを出力し
て図２（ｄ）に示すように異常フラグＡＦをリセットさ
せる。
Ｖc3がハイレベルになったことを検知して所定時間のあ
いだ図２（ｄ）に示すようにその出力端に異常フラグＡ
Ｆを立てる。演算部２１では図２（ｅ）に示すようにこ
の異常フラグＡＦを監視しており、異常フラグＡＦが立
っていないときは通常の信号処理を実行し、異常フラグ
ＡＦが立っているときは、前回のデ−タをホ−ルドして
出力端１８に送出し、異常検知回路２０に対してこの異
常フラグＡＦをリセットするリセット信号ＳＲを出力し
て図２（ｄ）に示すように異常フラグＡＦをリセットさ
せる。
【００１７】このように、振動子１０の振幅が急激に変
わりカウンタ１６がミスカウントしそうになると、制御
信号Ｖc2が大きく変化して異常検知回路２０に異常フラ
グＡＦが立ち、演算部２１はこれをモニタして前回の演
算結果をそのまま出力するので、カウンタ１６がミスカ
ウントした信号は演算に用いられない。
わりカウンタ１６がミスカウントしそうになると、制御
信号Ｖc2が大きく変化して異常検知回路２０に異常フラ
グＡＦが立ち、演算部２１はこれをモニタして前回の演
算結果をそのまま出力するので、カウンタ１６がミスカ
ウントした信号は演算に用いられない。
【００１８】以上の説明では、コンパレ−タ１９は１個
しか用いない構成で実現したが、コンパレ−タを２個用
いるようにすれば、振幅が小さくなったときと大きくな
ったときとのどちらでも異常フラグが立つようにするこ
とができる。
しか用いない構成で実現したが、コンパレ−タを２個用
いるようにすれば、振幅が小さくなったときと大きくな
ったときとのどちらでも異常フラグが立つようにするこ
とができる。
【００１９】
【発明の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに本発明によれば、振幅制御手段を制御する制御信号
を監視して外乱によりこの制御信号が基準の値を越えた
ときに異常検知手段により異常フラグを立たせこれを演
算部でモニタして出力信号を正常な信号で置き換えて出
力するようにしたので、外乱検出のためのセンサ、例え
ば加速度センサなどを用いない簡単な構成で、振動子の
外乱により生じる異常出力を防止することができ、安定
で信頼性の高い振動式センサを実現することができる。
うに本発明によれば、振幅制御手段を制御する制御信号
を監視して外乱によりこの制御信号が基準の値を越えた
ときに異常検知手段により異常フラグを立たせこれを演
算部でモニタして出力信号を正常な信号で置き換えて出
力するようにしたので、外乱検出のためのセンサ、例え
ば加速度センサなどを用いない簡単な構成で、振動子の
外乱により生じる異常出力を防止することができ、安定
で信頼性の高い振動式センサを実現することができる。
【図１】本発明の１実施例の構成を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】図１に示す実施例の動作を説明する波形図であ
る。
る。
【図３】従来の振動式センサの構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図４】図３に示す振動式センサの動作を説明する波形
図である。
図である。
１０ 振動子 １１ 増幅器 １２ 振幅制御回路 １３ 二乗回路 １４ 誤差増幅器 １５、１９ コンパレ−タ １６ カウンタ １７、２１ 演算部 ２０ 異常検知回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小山 越太郎 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内 (72)発明者 池田 恭一 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】物理量の変化に基づいて発振周波数が変化
する振動子と、この振動子の出力を検出して検出信号と
して出力する信号検出手段と、この検出信号が入力され
制御信号で決定される振幅として前記振動子に駆動信号
を出力する駆動制御手段と、前記検出信号の振幅と前記
振動子の基準振幅とを比較して前記制御信号として出力
する振幅検出手段と、前記検出信号の周波数から前記物
理量に対応する出力信号を演算して出力する演算手段
と、前記制御信号が前記基準振幅を外れたときに異常フ
ラグを出力する異常検知手段と、この異常フラグを監視
しこの異常フラグが現れたときにはこれ以前のデ−タを
保持して前記出力信号として出力する監視手段とを具備
することを特徴とする振動式センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3041971A JP2605497B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 振動式センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3041971A JP2605497B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 振動式センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0643053A true JPH0643053A (ja) | 1994-02-18 |
| JP2605497B2 JP2605497B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=12623082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3041971A Expired - Fee Related JP2605497B2 (ja) | 1991-03-07 | 1991-03-07 | 振動式センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2605497B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0167544U (ja) * | 1987-10-23 | 1989-05-01 | ||
| JPH01172106U (ja) * | 1988-05-25 | 1989-12-06 | ||
| JPH0272947U (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-04 |
-
1991
- 1991-03-07 JP JP3041971A patent/JP2605497B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0167544U (ja) * | 1987-10-23 | 1989-05-01 | ||
| JPH01172106U (ja) * | 1988-05-25 | 1989-12-06 | ||
| JPH0272947U (ja) * | 1988-11-25 | 1990-06-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2605497B2 (ja) | 1997-04-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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