JPH0644009Y2 - 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析計Info
- Publication number
- JPH0644009Y2 JPH0644009Y2 JP1989127299U JP12729989U JPH0644009Y2 JP H0644009 Y2 JPH0644009 Y2 JP H0644009Y2 JP 1989127299 U JP1989127299 U JP 1989127299U JP 12729989 U JP12729989 U JP 12729989U JP H0644009 Y2 JPH0644009 Y2 JP H0644009Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- high frequency
- inductively coupled
- coupled plasma
- torch
- mass spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は、高周波誘導結合プラズマ（アルゴンプラズ
マ）が異常放電を起こした場合に高周波誘導コイルやプ
ラズマトーチなどに損傷が生ずるのを防止した高周波誘
導結合プラズマ質量分析計に関する。
マ）が異常放電を起こした場合に高周波誘導コイルやプ
ラズマトーチなどに損傷が生ずるのを防止した高周波誘
導結合プラズマ質量分析計に関する。
＜従来の技術＞ 高周波誘導結合プラズマ質量分析計は、高周波誘導結合
プラズマを用いて試料を励起させ、生じたイオンをノズ
ルとスキマーからなるインターフェイスを介して質量分
析計に導いて電気的に検出し該イオン量を精密に測定す
ることにより、試料中の被測定元素を高精度に分析する
ように構成されている。第２図は、このような高周波誘
導結合プラズマ質量分析計の従来例構成説明図である。
この図において、マッチングボックス1-内に設けられた
プラズマトーチ１の外側管1bと最外側管1cにはガス調節
器２を介してアルゴンガス供給源３からアルゴンガスが
供給され、内側管1aには試料槽４内の試料がネブライザ
５で霧化されてのちアルゴンガスによって搬入されるよ
うになっている。また、プラズマトーチ１に巻回された
高周波誘導コイル６には高周波電源10によって高周波電
流が流され、該コイル６の周囲に高周波磁界（図示せ
ず）が形成されている。一方、ノズル８とスキマー９に
挟まれたフォアチャンバー11内は、真空ポンプ12によっ
て例えば1Torr.に吸引されている。また、センターチャ
ンバー13内にはイオンレンズ14a,14bが設けられると共
に、該センターチャンバー13の内部は第１油拡散ポンプ
15によって例えば10-4Torr．に吸引され、マスフィルタ
（例えば四重極マスフィルタ）16を収容しているリアチ
ャンバー17内は第２油拡散ポンプ18によって例えば10-5
Torr．に吸引されている。この状態で上記高周波磁界の
近傍でアルゴンガス中に電子かイオンが植え付けられる
と、該高周波磁界の作用によって瞬時に高周波誘導プラ
ズマ７が生ずる。該プラズマ７内のイオンは、ノズル８
やスキマー９を経由してのち小円板14aとイオンレンズ1
4b,14cの間を通って収束されてのちマスフィルタ16を通
り二次電子増倍管19に導かれて検出され、該検出信号が
信号処理部20に送出されて演算・処理されることによっ
て前記試料中の被測定元素分析値が求められるようにな
っている。また、第３図は従来の高周波誘導プラズマ質
量分析計の要部を一部裁断して示した従来例要部裁断構
成斜視図であり、図中、第２図と同一記号は同一意味を
もたせて使用したここでの重複説明は省略する。また、
21はネブライザ５から送られてきた霧状の試料から液滴
を除去するスプレーチャンバー、22aはプラズマトーチ
１が取り付けられて固定されているトーチ取付用ブラケ
ット、22bはスプレーチャンバー21が取り付けられて固
定されているチャンバー取付用ブラケットである。この
ような構成からなる従来の高周波誘導プラズマ質量分析
計の要部において、プラズマトーチ１はトーチ取付用ブ
ラケット22aによってトーチボックス1-に固定されスプ
レーチャンバー21はチャンバー取付用ブラケット22bに
よってトーチボックス1-に強固に固定されている。
プラズマを用いて試料を励起させ、生じたイオンをノズ
ルとスキマーからなるインターフェイスを介して質量分
析計に導いて電気的に検出し該イオン量を精密に測定す
ることにより、試料中の被測定元素を高精度に分析する
ように構成されている。第２図は、このような高周波誘
導結合プラズマ質量分析計の従来例構成説明図である。
この図において、マッチングボックス1-内に設けられた
プラズマトーチ１の外側管1bと最外側管1cにはガス調節
器２を介してアルゴンガス供給源３からアルゴンガスが
供給され、内側管1aには試料槽４内の試料がネブライザ
５で霧化されてのちアルゴンガスによって搬入されるよ
うになっている。また、プラズマトーチ１に巻回された
高周波誘導コイル６には高周波電源10によって高周波電
流が流され、該コイル６の周囲に高周波磁界（図示せ
ず）が形成されている。一方、ノズル８とスキマー９に
挟まれたフォアチャンバー11内は、真空ポンプ12によっ
て例えば1Torr.に吸引されている。また、センターチャ
ンバー13内にはイオンレンズ14a,14bが設けられると共
に、該センターチャンバー13の内部は第１油拡散ポンプ
15によって例えば10-4Torr．に吸引され、マスフィルタ
（例えば四重極マスフィルタ）16を収容しているリアチ
ャンバー17内は第２油拡散ポンプ18によって例えば10-5
Torr．に吸引されている。この状態で上記高周波磁界の
近傍でアルゴンガス中に電子かイオンが植え付けられる
と、該高周波磁界の作用によって瞬時に高周波誘導プラ
ズマ７が生ずる。該プラズマ７内のイオンは、ノズル８
やスキマー９を経由してのち小円板14aとイオンレンズ1
4b,14cの間を通って収束されてのちマスフィルタ16を通
り二次電子増倍管19に導かれて検出され、該検出信号が
信号処理部20に送出されて演算・処理されることによっ
て前記試料中の被測定元素分析値が求められるようにな
っている。また、第３図は従来の高周波誘導プラズマ質
量分析計の要部を一部裁断して示した従来例要部裁断構
成斜視図であり、図中、第２図と同一記号は同一意味を
もたせて使用したここでの重複説明は省略する。また、
21はネブライザ５から送られてきた霧状の試料から液滴
を除去するスプレーチャンバー、22aはプラズマトーチ
１が取り付けられて固定されているトーチ取付用ブラケ
ット、22bはスプレーチャンバー21が取り付けられて固
定されているチャンバー取付用ブラケットである。この
ような構成からなる従来の高周波誘導プラズマ質量分析
計の要部において、プラズマトーチ１はトーチ取付用ブ
ラケット22aによってトーチボックス1-に固定されスプ
レーチャンバー21はチャンバー取付用ブラケット22bに
よってトーチボックス1-に強固に固定されている。
＜考案が解決しようとする問題点＞ 然しながら、上記従来例においては、高周波誘導コイル
6,スプレーチャンバー21,及びプラズマトーチ１がトー
チボックス1-にブラケット22a,22bなどによって固定さ
れて配置されているだけであった。このため、トーチボ
ックス1-内でなんらかの理由によってアルゴンガスが充
満すると高周波誘導コイル６や換気用の金網23などに向
けて異常放電が発生し、高周波誘導コイル６やスプレー
チャンバー21等を損傷するという欠点があった。
6,スプレーチャンバー21,及びプラズマトーチ１がトー
チボックス1-にブラケット22a,22bなどによって固定さ
れて配置されているだけであった。このため、トーチボ
ックス1-内でなんらかの理由によってアルゴンガスが充
満すると高周波誘導コイル６や換気用の金網23などに向
けて異常放電が発生し、高周波誘導コイル６やスプレー
チャンバー21等を損傷するという欠点があった。
本考案は、かかる従来例の欠点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、高周波誘導結合プラズマ（アルゴン
プラズマ）が異常放電を起こした場合に高周波誘導コイ
ルやプラズマトーチなどに損傷が生ずるのを防止した高
周波誘導結合プラズマ質量分析計を提供することにあ
る。
あり、その目的は、高周波誘導結合プラズマ（アルゴン
プラズマ）が異常放電を起こした場合に高周波誘導コイ
ルやプラズマトーチなどに損傷が生ずるのを防止した高
周波誘導結合プラズマ質量分析計を提供することにあ
る。
＜問題点を解決するための手段＞ 上述のような問題点を解決する本考案の特徴は、高周波
誘導結合プラズマ質量分析計において、高周波誘導結合
プラズマを生じさせるプラズマトーチが収容されている
トーチボックス内に先端部が鋭角に形成された金属片を
設け、該金属片をアース電位に保って前記トーチボック
ス内で生ずる放電を導くように構成したことにある。
誘導結合プラズマ質量分析計において、高周波誘導結合
プラズマを生じさせるプラズマトーチが収容されている
トーチボックス内に先端部が鋭角に形成された金属片を
設け、該金属片をアース電位に保って前記トーチボック
ス内で生ずる放電を導くように構成したことにある。
＜作用＞ 本考案は次のように作用する。即ち、 なんらかの原因によってトーチボックス内にアルゴンガ
スが充満すると、プラズマトーチの内部で異常放電が生
ずる。この放電は、あたかも避雷針として機能する金属
片に向かい、高周波誘導コイルや換気用の金網などに導
かれることはない。このため、プラズマトーチの内部で
異常放電が発生しても、高周波誘導コイルや換気用の金
網などが損傷することはない。
スが充満すると、プラズマトーチの内部で異常放電が生
ずる。この放電は、あたかも避雷針として機能する金属
片に向かい、高周波誘導コイルや換気用の金網などに導
かれることはない。このため、プラズマトーチの内部で
異常放電が発生しても、高周波誘導コイルや換気用の金
網などが損傷することはない。
＜実施例＞ 以下、本考案について図を用いて詳細に説明する。第１
図は本考案実施例の要部を一部裁断して示した要部裁断
構成斜視図であり、図中、第３図と同一記号は同一意味
をもたせて使用しここでの重複説明は省略する。また、
23は先端部が鋭角に形成されると共に電気的にアース電
位として機能する金属片、24は金属片232をトーチボッ
クス1-に取付けネジなどを介して固定するための固定台
である。
図は本考案実施例の要部を一部裁断して示した要部裁断
構成斜視図であり、図中、第３図と同一記号は同一意味
をもたせて使用しここでの重複説明は省略する。また、
23は先端部が鋭角に形成されると共に電気的にアース電
位として機能する金属片、24は金属片232をトーチボッ
クス1-に取付けネジなどを介して固定するための固定台
である。
このような構成からなる本考案の実施例において、なん
らかの原因（例えばプラズマトーチ１に亀裂が生じたよ
うな場合等）によってトーチボックス1-内にアルゴンガ
スが充満すると、プラズマトーチ1-の内部で異常放電が
生ずる。しかし、この放電は、あたかも避雷針として機
能する金属片23に向かい、前記従来例のように高周波誘
導コイル６や換気用の金網（図示せず。通常、トーチボ
ックス1-を覆うカバーに設けられている）などに導かれ
ることはない。このため、プラズマトーチ1-の内部で異
常放電が発生しても、前記従来例のように高周波誘導コ
イル６や換気用の上記金網などが損傷することはない。
らかの原因（例えばプラズマトーチ１に亀裂が生じたよ
うな場合等）によってトーチボックス1-内にアルゴンガ
スが充満すると、プラズマトーチ1-の内部で異常放電が
生ずる。しかし、この放電は、あたかも避雷針として機
能する金属片23に向かい、前記従来例のように高周波誘
導コイル６や換気用の金網（図示せず。通常、トーチボ
ックス1-を覆うカバーに設けられている）などに導かれ
ることはない。このため、プラズマトーチ1-の内部で異
常放電が発生しても、前記従来例のように高周波誘導コ
イル６や換気用の上記金網などが損傷することはない。
尚、本考案は上述の実施例に限定されることなく種々の
変形が可能であり、例えば金属片23の形状を針状などに
しても良いものとする。
変形が可能であり、例えば金属片23の形状を針状などに
しても良いものとする。
＜考案の効果＞ 以上詳しく説明したような本考案は、高周波誘導結合プ
ラズマを生じさせるプラズマトーチが収容されているト
ーチボックス内に先端部が鋭角に形成された金属片を設
け、該金属片をアース電位に保って前記トーチボックス
内で生ずる放電を導くように構成した。このため、高周
波誘導結合プラズマ（アルゴンプラズマ）が異常放電を
起こした場合に高周波誘導コイルやプラズマトーチなど
に損傷が生ずるのを防止した高周波誘導結合プラズマ質
量分析計が実現する。
ラズマを生じさせるプラズマトーチが収容されているト
ーチボックス内に先端部が鋭角に形成された金属片を設
け、該金属片をアース電位に保って前記トーチボックス
内で生ずる放電を導くように構成した。このため、高周
波誘導結合プラズマ（アルゴンプラズマ）が異常放電を
起こした場合に高周波誘導コイルやプラズマトーチなど
に損傷が生ずるのを防止した高周波誘導結合プラズマ質
量分析計が実現する。
第１図は本考案実施例の要部裁断構成斜視図、第２図は
高周波誘導結合プラズマ質量分析計の全体的な構成説明
図，第３図は従来例の要部裁断構成斜視図である。 １……プラズマトーチ、 1-……トーチボックス、 ３……アルゴンガス供給源、 ７……高周波誘導結合プラズマ、 ８……ノズル、９……スキマー、 16……マスフィルタ、20……信号処理部 21……スプレーチャンバー、 22……ブラケット、23……金属片、 24……固定台
高周波誘導結合プラズマ質量分析計の全体的な構成説明
図，第３図は従来例の要部裁断構成斜視図である。 １……プラズマトーチ、 1-……トーチボックス、 ３……アルゴンガス供給源、 ７……高周波誘導結合プラズマ、 ８……ノズル、９……スキマー、 16……マスフィルタ、20……信号処理部 21……スプレーチャンバー、 22……ブラケット、23……金属片、 24……固定台
Claims (1)
- 【請求項１】高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励
起させ生じたイオンをノズルとスキマーからなるインタ
ーフェイスを介して質量分析計検出器に導いて検出する
ことにより前記試料中の被測定元素を分析する分析計に
おいて、前記高周波誘導結合プラズマを生じさせるプラ
ズマトーチが収容されているトーチボックス内に先端部
が鋭角に形成された金属片を設け、該金属片をアース電
位に保って前記トーチボックス内で生ずる放電を導くこ
とを特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127299U JPH0644009Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127299U JPH0644009Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0366146U JPH0366146U (ja) | 1991-06-27 |
| JPH0644009Y2 true JPH0644009Y2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=31675059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989127299U Expired - Lifetime JPH0644009Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644009Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1989127299U patent/JPH0644009Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0366146U (ja) | 1991-06-27 |
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