JPH0644094Y2 - 荷電粒子線装置に用いられるカセツト - Google Patents
荷電粒子線装置に用いられるカセツトInfo
- Publication number
- JPH0644094Y2 JPH0644094Y2 JP1257687U JP1257687U JPH0644094Y2 JP H0644094 Y2 JPH0644094 Y2 JP H0644094Y2 JP 1257687 U JP1257687 U JP 1257687U JP 1257687 U JP1257687 U JP 1257687U JP H0644094 Y2 JPH0644094 Y2 JP H0644094Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- lever
- base
- holding members
- bodies
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は電子線描画装置や電子線測長装置等の荷電粒子
線装置に使用されるカセットに関し、特にセンタリング
機構を組込んだカセットの改良に関する。
線装置に使用されるカセットに関し、特にセンタリング
機構を組込んだカセットの改良に関する。
［従来の技術］ 電子線描画装置等においては、ウエハ等の材料をカセッ
トに収めた状態でステージに装着するようにしている。
このカセットにウエハを収める際、カセットの基準位置
にウエハの中心を正確に合わせる必要があるため、カセ
ットにはセンタリング機構が組み込まれている。
トに収めた状態でステージに装着するようにしている。
このカセットにウエハを収める際、カセットの基準位置
にウエハの中心を正確に合わせる必要があるため、カセ
ットにはセンタリング機構が組み込まれている。
かかるセンタリング機構の従来例としては、カセットの
基台上に２つのテコ体を回転可能に支持すると共に、こ
の各テコ体の作用点部分に夫々挟持部材を回動自在に、
かつ相対向するように取付け、前記２つの挟持部材の間
にウエハを配置した状態において各テコ体の作用点側に
夫々取付けられたバネにて前記２つのテコ体を互いに逆
方向に回転させ、それによって各挟持部材でウエハの両
側を挟持することによりセンタリングを行なうようにし
た構造のものが広く使用されている。
基台上に２つのテコ体を回転可能に支持すると共に、こ
の各テコ体の作用点部分に夫々挟持部材を回動自在に、
かつ相対向するように取付け、前記２つの挟持部材の間
にウエハを配置した状態において各テコ体の作用点側に
夫々取付けられたバネにて前記２つのテコ体を互いに逆
方向に回転させ、それによって各挟持部材でウエハの両
側を挟持することによりセンタリングを行なうようにし
た構造のものが広く使用されている。
このように各テコ体に取付けられたバネによってテコ体
を互いに逆方向に回転させてウエハを挟持部材で挟持す
るような構造では、各バネの弾性力を同一にすることは
難しいため、２つの挟持部材を同一の移動速度で互いに
近づけることができず、必ず両者に移動速度の違いが生
じる。そのためウエハの中心を基体の基準位置に正確に
一致させることができず、描画精度を低下させる一因と
なっている。
を互いに逆方向に回転させてウエハを挟持部材で挟持す
るような構造では、各バネの弾性力を同一にすることは
難しいため、２つの挟持部材を同一の移動速度で互いに
近づけることができず、必ず両者に移動速度の違いが生
じる。そのためウエハの中心を基体の基準位置に正確に
一致させることができず、描画精度を低下させる一因と
なっている。
そこで、かかる不都合を解決するために、２つのテコ体
の作用点側をピンで互いに連結することにより両者の移
動速度を同一にする構造のものが考えられる。
の作用点側をピンで互いに連結することにより両者の移
動速度を同一にする構造のものが考えられる。
［考案が解決しようとする問題点］ しかしながら、ピンで２つのテコ体を連結する構造で
は、各テコ体の作用点に形成したピン通過用穴は各テコ
体の回転に伴って互いに離れていく関係上、ピンによっ
て両テコ体の回転が阻止される。これを防止するために
各テコ体に形成する前記穴を夫々長溝となしてピンと両
テコ体との間に隙間を設けておく必要がある。そのため
各テコ体とピンとの間にガタが生じ、そのガタによって
各挟持部材の移動速度にわずかの相違が発生し、カセッ
トとウエハとの位置合わせを精度良く行なうことができ
ない。
は、各テコ体の作用点に形成したピン通過用穴は各テコ
体の回転に伴って互いに離れていく関係上、ピンによっ
て両テコ体の回転が阻止される。これを防止するために
各テコ体に形成する前記穴を夫々長溝となしてピンと両
テコ体との間に隙間を設けておく必要がある。そのため
各テコ体とピンとの間にガタが生じ、そのガタによって
各挟持部材の移動速度にわずかの相違が発生し、カセッ
トとウエハとの位置合わせを精度良く行なうことができ
ない。
そこで本考案はかかる点に鑑みてなされたものであり、
簡単な構成で材料のセンタリングを高精度で行なうこと
のできる電子線描画装置に用いられるカセットを提供す
ることを目的とするものである。
簡単な構成で材料のセンタリングを高精度で行なうこと
のできる電子線描画装置に用いられるカセットを提供す
ることを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］ 上記目的を達成する為に、本考案は基台と、該基台上に
載置された材料と、該材料をその両側から挟持するため
の２つの挟持部材と、該各挟持部材が移動した時に該各
挟持部材をガイドするためのガイド手段と、前記基台上
に回転可能に支持されると共に前記各挟持部材がその作
用点側に移動可能に夫々取付けられ、かつ力点側が互い
に係合された一対のテコ体と、該テコ体の係合部に夫々
形成された平歯車と、前記２つの挟持部材を互いに接近
させる方向の回転力を前記２つのテコ体に加えるための
１つの引張バネと、該引張バネによる回転力に抗して前
記テコ体を回転させるための押圧体とを備えた事を特徴
とするものである。
載置された材料と、該材料をその両側から挟持するため
の２つの挟持部材と、該各挟持部材が移動した時に該各
挟持部材をガイドするためのガイド手段と、前記基台上
に回転可能に支持されると共に前記各挟持部材がその作
用点側に移動可能に夫々取付けられ、かつ力点側が互い
に係合された一対のテコ体と、該テコ体の係合部に夫々
形成された平歯車と、前記２つの挟持部材を互いに接近
させる方向の回転力を前記２つのテコ体に加えるための
１つの引張バネと、該引張バネによる回転力に抗して前
記テコ体を回転させるための押圧体とを備えた事を特徴
とするものである。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］ 第１図は本考案の一実施例を示す平面断面図、第２図は
第１図のAA断面図である。
第１図のAA断面図である。
両図において、１は電子線描画装置の描画室、２はこの
描画室内にエアーロック弁３を介して連通された予備室
で、その内部に板状のガイド4a,4bを介してカセットを
構成する基台５が移動可能に載置されている。この基台
５上には２つの挟持体6a,6bが対をなしたガイド棒7a,7b
を介して左右に移動可能に設置されている。この２つの
挟持体の相対向する面はウエハ８を挟持できるように夫
々円弧状に形成されている。また、この円弧の直径はウ
エハ８の直径よりも僅かに小さくなし、面の全部がウエ
ハの外周部と接触することなく両端近くの２箇所だけが
夫々接触するようにしてある。
描画室内にエアーロック弁３を介して連通された予備室
で、その内部に板状のガイド4a,4bを介してカセットを
構成する基台５が移動可能に載置されている。この基台
５上には２つの挟持体6a,6bが対をなしたガイド棒7a,7b
を介して左右に移動可能に設置されている。この２つの
挟持体の相対向する面はウエハ８を挟持できるように夫
々円弧状に形成されている。また、この円弧の直径はウ
エハ８の直径よりも僅かに小さくなし、面の全部がウエ
ハの外周部と接触することなく両端近くの２箇所だけが
夫々接触するようにしてある。
9a,9bはこの各挟持体6a,6bを夫々移動させるためのＬ字
状のテコ体で、支持軸10a,10bを介して前記基台５上に
回転可能に支持されており、また、この各テコ体の作用
点には夫々ピン11a,11bを介して前記挟持体6a,6bが移動
可能に取付けられている。さらに、各テコ体の力点側に
は夫々平歯車12a,12bが形成されている。この各平歯車
は夫々テコ体9a,9bの回転中心、つまり支持軸10a,10bの
中心を中心にして形成され、また、各平歯車は互いに噛
合うことにより２つのテコ体9aと9bを回転可能に連結す
る役目を果している。
状のテコ体で、支持軸10a,10bを介して前記基台５上に
回転可能に支持されており、また、この各テコ体の作用
点には夫々ピン11a,11bを介して前記挟持体6a,6bが移動
可能に取付けられている。さらに、各テコ体の力点側に
は夫々平歯車12a,12bが形成されている。この各平歯車
は夫々テコ体9a,9bの回転中心、つまり支持軸10a,10bの
中心を中心にして形成され、また、各平歯車は互いに噛
合うことにより２つのテコ体9aと9bを回転可能に連結す
る役目を果している。
13は引張バネで、このバネは前記基台５と前記テコ体9b
の作用点側を延長した部分との間に張架されることによ
りテコ体9bを第１図中時計方向に回転させるためのもの
である。このテコ体9bの回転により平歯車12a,12bを介
してテコ体9aが9bの回転と反対方向、つまり第１図中反
時計方向に回転するため、挟持体6a,6bが互いに接近す
る方向に移動される。
の作用点側を延長した部分との間に張架されることによ
りテコ体9bを第１図中時計方向に回転させるためのもの
である。このテコ体9bの回転により平歯車12a,12bを介
してテコ体9aが9bの回転と反対方向、つまり第１図中反
時計方向に回転するため、挟持体6a,6bが互いに接近す
る方向に移動される。
14はその先端が前記テコ体9aの作用点部分に当接できる
ように置かれた押圧体で、他端がエアシリンダ15のピス
トン軸16に固定されている。
ように置かれた押圧体で、他端がエアシリンダ15のピス
トン軸16に固定されている。
17は前記基台５を試料室１内と予備室２内との間を往復
させるための送り棒で、エアシリンダ18のピストンに連
結されている。19は前記予備室２の側壁に形成されたウ
エハ８の挿入用穴で、蓋体20で開閉される。21a,21b,21
c,21dは前記基台５上に固定されたウエハ８を載置する
ため載せ台である。
させるための送り棒で、エアシリンダ18のピストンに連
結されている。19は前記予備室２の側壁に形成されたウ
エハ８の挿入用穴で、蓋体20で開閉される。21a,21b,21
c,21dは前記基台５上に固定されたウエハ８を載置する
ため載せ台である。
かかる構成における動作を以下に詳説する。
第１図の状態は押圧体14がテコ体9aを矢印Ｂの方向に押
圧しているため、このテコ体が時計方向に回転させられ
ると同時に、平歯車12a,12bを介してテコ体9bがその逆
の反時計方向に回転させられ、それによって挟持体6aと
6bとが互いに遠ざかる方向に移動され、両者間の間隔が
広がった状態を示している。この状態において、穴19を
通して図示外の搬送機構によりウエハ８を予備室２内に
移送し、ウエハを載せ台21a及至21d上に載置する。そし
てピストン軸16を矢印Ｂとは逆の方向に移動させると、
バネ13の引張力により各テコ体9aと9bとが平歯車12a,12
bを介して互いに前述とは逆の方向に回転するため、挟
持体6aと6bとが互いに接近してウエハ８を挟持し、ウエ
ハのセンタリングが行なわれると同時にこのウエハが基
台５に固定される。その後、蓋体20を閉鎖して予備室２
内を粗引きし、エアーロック弁３を開放することにより
送り棒17によって基台５を描画室１内のステージ（図示
せず）に装着すれば、ウエハ８上に所定のパターンを描
画することができる。以下、前述とは逆の動作を行なう
ことにより基台５を予備室２内に戻し、次の新しいウエ
ハと交換することができる。
圧しているため、このテコ体が時計方向に回転させられ
ると同時に、平歯車12a,12bを介してテコ体9bがその逆
の反時計方向に回転させられ、それによって挟持体6aと
6bとが互いに遠ざかる方向に移動され、両者間の間隔が
広がった状態を示している。この状態において、穴19を
通して図示外の搬送機構によりウエハ８を予備室２内に
移送し、ウエハを載せ台21a及至21d上に載置する。そし
てピストン軸16を矢印Ｂとは逆の方向に移動させると、
バネ13の引張力により各テコ体9aと9bとが平歯車12a,12
bを介して互いに前述とは逆の方向に回転するため、挟
持体6aと6bとが互いに接近してウエハ８を挟持し、ウエ
ハのセンタリングが行なわれると同時にこのウエハが基
台５に固定される。その後、蓋体20を閉鎖して予備室２
内を粗引きし、エアーロック弁３を開放することにより
送り棒17によって基台５を描画室１内のステージ（図示
せず）に装着すれば、ウエハ８上に所定のパターンを描
画することができる。以下、前述とは逆の動作を行なう
ことにより基台５を予備室２内に戻し、次の新しいウエ
ハと交換することができる。
尚、22は予備室２の内壁に固定されたマイクロスイッチ
で、ウエハ８が挟持体6a,6bによって挟持されていない
のに挟持されたとして基台５が描画室１側に移送され、
その途中でウエハが落下して破損することを防止するた
めのものである。つまり、挟持体6a,6bにてウエハが挟
持されない場合には、挟持体6bの位置がウエハを挟持し
たときの位置よりも余分に移動するため、マイクロスイ
ッチ22が挟持体6bとの係合によりオンされ、それによっ
てブザーやランプ等の警報装置が作動してオペレータに
ウエハが挟持されていないことを知らせることができ
る。
で、ウエハ８が挟持体6a,6bによって挟持されていない
のに挟持されたとして基台５が描画室１側に移送され、
その途中でウエハが落下して破損することを防止するた
めのものである。つまり、挟持体6a,6bにてウエハが挟
持されない場合には、挟持体6bの位置がウエハを挟持し
たときの位置よりも余分に移動するため、マイクロスイ
ッチ22が挟持体6bとの係合によりオンされ、それによっ
てブザーやランプ等の警報装置が作動してオペレータに
ウエハが挟持されていないことを知らせることができ
る。
このように平歯車12a,12bによって２つのテコ体9aと9b
との作用点を連結するようになせば、両テコ体をガタな
く連結することができると同時に、各テコ体を互いに逆
方向に回転させるバネは１つですむため、常に２つの挟
持体を同一の速度によりウエハを挟持することができ
る。そのため簡単な構成でもってウエハのセンタリング
を高精度で行なうことができる。
との作用点を連結するようになせば、両テコ体をガタな
く連結することができると同時に、各テコ体を互いに逆
方向に回転させるバネは１つですむため、常に２つの挟
持体を同一の速度によりウエハを挟持することができ
る。そのため簡単な構成でもってウエハのセンタリング
を高精度で行なうことができる。
尚、前述の説明は本考案の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では本考
案を電子線描画装置に実施した場合について述べたが、
これに限定されることなく、他の例えば電子線測長装置
にも同様に実施することができる。
は幾多の変形が考えられる。例えば上記実施例では本考
案を電子線描画装置に実施した場合について述べたが、
これに限定されることなく、他の例えば電子線測長装置
にも同様に実施することができる。
［効果］ 以上詳述した如く本考案によれば、簡単な構成でカセッ
トとウエハのセンタリングを高精度で行なうことができ
る。
トとウエハのセンタリングを高精度で行なうことができ
る。
第１図は本考案の一実施例を示す平面断面図、 第２図は第１図のAA断面図である。 1:描画室、2:予備室 3:エアーロック弁 4a,4b:ガイド、5:基台 6a,6b:挟持体 7a,7b:ガイド棒、8:ウエハ 9a,9b:テコ体 10a,10b:支持軸 11a,11b:ピン 12a,12b:平歯車 13:引張バネ、14:押圧体 15,18:エアシリンダ 16:ピストン軸、17:送り棒 19:穴、20:蓋体 21a,21b,12c,21d:載せ台 22:マイクロスイッチ
Claims (1)
- 【請求項１】基台と、該基台上に載置された材料と、該
材料をその両側から挟持するための２つの挟持部材と、
該各挟持部材が移動した時に該各挟持部材をガイドする
ためのガイド手段と、前記基台上に回転可能に支持され
ると共に前記各挟持部材がその作用点側に移動可能に夫
々取付けられ、かつ力点側が互いに係合された一対のテ
コ体と、該テコ体の係合部に夫々形成された平歯車と、
前記２つの挟持部材を互いに接近させる方向の回転力を
前記２つのテコ体に加えるための１つの引張バネと、該
引張バネによる回転力に抗して前記テコ体を回転させる
ための押圧体とを備えた事を特徴とする荷電粒子線装置
に用いられるカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1257687U JPH0644094Y2 (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 荷電粒子線装置に用いられるカセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1257687U JPH0644094Y2 (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 荷電粒子線装置に用いられるカセツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63121433U JPS63121433U (ja) | 1988-08-05 |
| JPH0644094Y2 true JPH0644094Y2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=30800835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1257687U Expired - Lifetime JPH0644094Y2 (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 荷電粒子線装置に用いられるカセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644094Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP1257687U patent/JPH0644094Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63121433U (ja) | 1988-08-05 |
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