JPH0644100Y2

JPH0644100Y2 - 半導体素子の位置決め装置

Info

Publication number: JPH0644100Y2
Application number: JP1986038957U
Authority: JP
Inventors: 堅治青木; 新二三島
Original assignee: 旭化成工業株式会社
Priority date: 1986-03-19
Filing date: 1986-03-19
Publication date: 1994-11-14
Anticipated expiration: 2001-03-19
Also published as: JPS62151744U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］本考案は、例えばトランジスタ、ホール素子、ホールIC
等の半導体素子の電気的特性を測定する際の位置決め装
置に関する。更に詳しくは、傾斜シュートによって搬送
されて来る半導体素子を、その電気的特性を測定するた
めの接触子が半導体素子のリードに正しく接触できる位
置に、一時的に留める装置に関する。

［従来の技術］一般に半導体素子は、一連の測定仕分け装置によって、
自動的にその電気的特性が測定された後、測定された電
気的特性に応じた集積位置へ振り分けられて仕分けされ
ている。この測定仕分け装置は、通常、半導体素子を供
給するフィーダーと、フィーダーから供給される半導体
素子を搬送する傾斜シュートと、傾斜シュートによって
搬送される半導体素子の搬送間隔を所要間隔に調整する
搬送ゲート装置と、搬送途中で半導体素子を一時的に一
定位置に留める位置決め装置を備えた測定装置と、測定
装置で測定した電気的特性に応じた集積位置へ半導体素
子を振り分ける振り分け装置とから構成されている。

従来、上記測定仕分け装置の測定装置に用いられている
位置決め装置は、搬送される半導体素子の素子頭部進路
を開閉するストッパーを設けただけのものとなってい
る。この従来の装置は、ストッパーで進路を遮断するこ
とによって、搬送されて来る半導体素子の素子頭部前面
をストッパーに当接させて、一時的に一定位置と留めよ
うとするものである。また、ストッパーは、電気的特性
の測定後は、進路を開放して、半導体素子の通過を許容
するものである。

［考案が解決しようとする問題点］しかしながら、上記従来の装置では、ストッパーによる
進路遮断時に、搬送されて来る半導体素子がストッパー
に衝突してはね返り、途中で引掛ってしまったり、スト
ッパーに斜に当接してしまい、その停止位置が一定しな
い問題がある。また、はなはだしい場合には、半導体素
子が傾斜シュートから飛び出すことも生じる。

半導体素子の停止位置が不規則になったり、半導体素子
が傾斜シュートから飛び出すと、電気的特性を測定する
ための接触子が、半導体素子のリードと接触不良を起こ
したり接触不能となる。このため、電気的特性の測定不
良や測定不能が頻発し、稼動率の低下や製品信頼度の低
下を招いている。

［問題点を解決するための手段］上記問題点を解決するために講じられた手段を、本考案
の１実施例に対応する第１図及び第２図で説明すると、
本考案は、半導体素子１を搬送する傾斜シュート２上に設けられる
案内ブロック10に、搬送される半導体素子１の素子頭部
３の一側方と上方を位置決めする位置決め面4a,4bを形
成して、傾斜シュート２上に沿って、一側方と上方が位
置決め面4a,4bで他側方が開放された位置決め通路５を
形成し、この位置決め通路５の出口に近接して、素子頭部３の進
路を開閉するストッパー６を設け、更に、ストッパー６より半導体素子１の搬送方向手前側
であって、位置決め通路５の開放された他側方側に、案
内ブロック10に形成された側方の位置決め面4aに向かっ
て進退し、前進時に、ストッパー６に直接当接して停止
されている半導体素子１の素子頭部３を案内ブロック10
に形成された側方の位置決め面4aに押圧する位置決めピ
ン７を設ける、という手段を講じているものである。

［作用］ストッパー６によって素子頭部３の進路を閉鎖しておく
と、搬送されて来る半導体素子１は、その素子頭部３が
ストッパー６に当って進行が妨げられ、その位置で停止
する。このとき、ストッパー６のすぐ手前側は位置決め
通路５となっており、側方及び上方の位置決め面4a,4b
があるので、これらに妨げられて、ストッパー６との衝
突によって半導体素子１が大きくはね返ることがない。
従って、半導体素子１は、その素子頭部の前面（搬送方
向の前面）が正しくストッパーに当接して停止され、搬
送方向に対する前後の停止位置のずれが防止される。

上記のようにして、前後の停止位置のずれが防止されて
も、搬送方向に対する左右の停止位置ずれのおそれが残
る。ストッパー６に素子頭部３の前面が正しく当接して
停止している場合、このずれはさほど大きくはない。し
かし、ホール素子やホールIC等の磁電変換素子の電気的
特性の測定では、磁石等の磁界発生源からの距離が変化
し、その結果測定値の精度が低下するおそれがある。

そこで本考案では位置決めピン７を設けているものであ
る。即ち、位置決めピン７を前進させて、ストッパー６
に直接当接して停止されている半導体素子１の素子頭部
３を押圧すると、素子頭部３の側面が側方の位置決め面
4aに当接して、この側方の位置決め面4aを基準にして左
右の位置決めがなされる。従って、前後だけでなく、左
右の停止位置ずれも防止されるのである。

［実施例］第１図及び第２図に示されるように、傾斜シュート２
は、２枚の板材を、適宜の間隔をもって並列させたもの
である。この傾斜シュート２は、第５図に示されるよう
に、架台８に支えられて、傾斜して取付けられている。

半導体素子１は、例えば第３図に示されるように、半導
体チップを内蔵した樹脂モールドの素子頭部３と、素子
頭部３から突出したリード９とから構成される。この半
導体素子１は、第２図に示されるように、傾斜シュート
２を構成する２枚の板材間にそのリード９が挿入され、
素子頭部３が傾斜シュート２上に吊られた状態で、傾斜
シュート２に沿って滑降して搬送されて来るものであ
る。

第１図、第２図及び第４図に示されるように、傾斜シュ
ート２上に案内ブロック10が位置している。この案内ブ
ロック10は、スタンド11に取付けられた磁界発生部12
に、傾斜シュート２上に突出した状態で取付けられてい
る（第２図及び第５図参照）。案内ブロック10の、傾斜
シュート２上に突出している側のコーナー部は切り欠か
れていて、傾斜シュート２上に、一側方と上方が覆われ
て、他側方が開放された位置決め通路５を形成してい
る。位置決め通路５の一側方を覆う壁面は、後述する位
置決めピン７と対となって、素子頭部３の側方位置を定
める位置決め面4aで、上方を覆う壁面は、素子頭部の上
方位置を制限して、過度の飛びはねを防止する位置決め
面4bである。

上記位置決め通路５は、その入口側がやや広げられてい
る。このようにすると、位置決め通路５の入口に素子頭
部３が引掛りにくくなるので好ましい。また、位置決め
通路５の開放側は、必ずしも全面開放である必要はな
く、後述する位置決めピン７が進退し得る範囲で開放さ
れていれば足る。しかし、一側を全面開放しておくと、
位置決め通路５の入口や内部で、素子頭部３が引掛りに
くくなるので好ましい。

位置決め通路５の出口側には、出口に近接して、素子頭
部３の進路を開閉するストッパー６が設けられている。
このストッパー６は、ストッパー取付アーム13の先端に
取付けられている。第５図に示されるように、ストッパ
ー取付アーム13は、スペーサー14を介してスタンド11に
取付けられたエヤアクチュエーター15に連結されてお
り、ストッパー用エヤアクチュエーター15で、ストッパ
ー取付アーム13を、傾斜シュート２上面に向って上下さ
せることにより、ストッパー６が素子頭部３の進路を開
閉するものである。

第１図及び第４図に示されるように、ストッパー６の位
置決め通路５側の端面には吸引孔16の一端が開孔してい
る。吸引孔16の他端は、フレキシブルホース17でポンプ
等の吸引装置（図示されていない）に接続されていて、
搬送されて来る半導体素子１の素子頭部３を吸い付ける
ことができるようになっている。このような吸引孔16を
設けて、吸引孔16で素子頭部３を吸い付けることによ
り、素子頭部３の前面（搬送方向前面）を、確実にスト
ッパー６に密着させることができるので好ましい。吸引
孔16による素子頭部３の吸い付けは、後述する位置決め
ピン７による位置決めに先立ってなされ、位置決めピン
７による位置決め時には停止されているものである。

第１図、第２図及び第５図に示されるように、位置決め
通路５の開放された側方側には、測定ブロック取付アー
ム18に取付けられた測定ブロック19が位置している。測
定ブロック取付アーム18は、スタンド11から延びた支持
フレーム20上に支持されている。また、測定ブロック取
付アーム18は、測定ブロック用エヤアクチュエーター21
a〜21cによって、図中矢印で示される方向、即ち傾斜シ
ュート２に向って前後、左右、上下方向に移動可能で、
これによって測定ブロック19の進退制御及び上下・左右
位置の調整が行われるものである。

測定ブロック19には、位置決めピン７と、半導体素子１
のリード９の数に対応した数の接触子22とが、各々先端
を傾斜シュート２方向に向けて設けられている。

位置決めピン７は、ストッパー６に当接して停止してい
る半導体素子１の素子頭部３側面と向き合う位置に位置
している。この位置決めピン７は、測定ブロック19が前
進されると、ストッパー６に直接当接して停止している
素子頭部３を押圧して、これを側方の位置決め面4aへ押
し付けるものである。そして、傾斜シュート２に沿って
滑降して搬送されて来た半導体素子１が、その素子頭部
３の前面を正しくストッパー６に当接されて停止した
後、上記位置決めピン７で素子頭部３を側方の位置決め
面4aへ押し付けることにより、搬送方向に向って前後・
左右の位置ずれなく、一定位置に半導体素子１を留める
ことができる。

位置決めピン７は、過度に強く素子頭部３を押え付けて
しまうことがないよう、例えば第６図に示されるよう
に、スプリング23等で、弾性的に突出支持されているも
のが好ましい。このようにすると、過度の押し付け力
は、スプリング23に抗して位置決めピン７が引っ込むこ
とで吸収され、位置決めピンクの過度の押圧によって半
導体素子１を損傷することがないので好ましい。

ストッパー６及び案内ブロック10直下の傾斜シュート２
側面には、測定用切欠部24が形成されている。この測定
用切欠部24からは、ストッパー６によって搬送が停止さ
れている半導体素子１のリード９が露出されるものであ
る。

測定ブロック19に設けられている接触子22は、上記測定
用切欠部24を介して露出されるリード９と各々向き合う
位置に位置している。接触子22は、傾斜シュート２側の
突出量が、前述の位置決めピン７に比してやや短かくな
っており、測定ブロック19が前進されると、位置決めピ
ン７によって測定すべき半導体素子１の位置決めがなさ
れた後にリード９に接触される。

上述のようにしてリード９と接触された接触子22を介し
て、磁界発生部12による磁界に対する特性を測定した
後、測定ブロック19は後退され、位置決めピン７及び接
触子22は半導体素子１から離される。また、これに引き
続いてストッパー６も引き上げられ、素子頭部３の進路
が開放されて、半導体素子１は、傾斜シュート２に沿っ
て更に搬送されることになる。半導体素子１を送り出し
た後は、次の半導体素子１が搬送されて来るタイミング
に合わせて、ストッパー６による素子頭部３進路の閉鎖
並びにそれに続く測定ブロック19の前進が繰り返され
る。

本実施例においては、位置決め通路５を形成する案内ブ
ロック10は固定し、ストッパー６のみをストッパー取付
アーム13で上下移動させているが、ストッパー６と共に
案内ブロック10をも上下移動させてもよい。また、ホー
ル素子やホールICを想定して磁界発生部12を備えている
が、測定すべき半導体素子１が磁電変換素子でなけれ
ば、必ずしも磁界発生部12は必要でない。

次に、第７図によって、本位置決め装置を備えた測定仕
分け装置の一例を説明する。

まず、フィーダー25から傾斜シュート２上に供給された
半導体素子１は、搬送ゲート装置26によって、所要間隔
（先行する半導体素子１の電気的特性測定完了に十分な
間隔）で順次送り出される。送り出された半導体素子
は、傾斜シュート２に沿って滑降して、測定装置27へと
至る。

測定装置27では、前述したように、本位置決め装置によ
って、半導体素子１は一定の位置に一時留められ、その
間に電気的特性が測定される。

測定装置27で電気的特性が測定された半導体素子は、待
機装置28で必要に応して待機された後、振り分け装置29
で仕分けされる。即ち、測定装置27での測定結果から振
り分け装置29のロータリーシュート30が回転し、その出
口が正しい集積部31a又は31b…に向けられたことが確認
されると待機装置28が半導体素子１を送り出し、その電
気的特性に応じた集積位置31a又は31b…へと振り分けら
れて仕分けされる。特に、集積位置31a,31b…の直前
に、半導体素子１の通過センサー32a,32b…を設けて、
正しい集積位置31a又は31b…へ半導体素子が搬入された
ことがこの通過センサー32a,32b…で確認されるまで、
次に半導体素子１の振り分けを行わないようにすること
が好ましい。このようにすると、半導体素子１がロータ
リーシュート30内で引掛って、後続の半導体素子１と共
に異なる集積位置31a又は31b…へ落下するのを防止で
き、本位置決め装置による正確な電気的特性の測定が無
意味化するのを防ぐことができる。

［考案の効果］本考案によれば搬送されて来る半導体素子を常に一定位
置に留めて測定に供することができるので、半導体素子
の測定位置のずれによる測定誤差を防止でき、測定精度
の向上と共に製品信頼度が向上される。また、半導体素
子の位置が大きくずれて測定不能となることも防止でき
るので、測定不能となるたびに装置を停止して点検する
手間を無くせ、装置の稼動率を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例に係る装置の部分側面図、第
２図は一部を断面とした第１図のII-II方向図、第３図
は半導体素子の一例を示す図、第４図は測定ブロックを
除いた状態の第１図の部分拡大図、第５図は一部を断面
とした第１図のII-II方向からの全体図、第６図は位置
決めピン取付部分の拡大断面図、第７図は本考案に係る
装置を備えた測定仕分け装置の一例を示す説明図であ
る。 1:半導体素子、2:傾斜シュート、3:素子頭部、4a,4b:位
置決め面、5:位置決め通路、6:ストッパー、7:位置決め
ピン、8:架台、9:リード、10:案内ブロック、11:スタン
ド、12:磁界発生部、13:ストッパー取付アーム、14:ス
ペーサー、15:ストッパー用エヤアクチュエーター、16:
吸引孔、17:フレキシブルホース、18:測定ブロック取付
アーム、19:測定ブロック、20:支持フレーム、21a〜21
c:測定ブロック用エヤアクチュエーター、22:接触子、2
3:スプリング、24:切欠部、25:フィーダー、26:搬送ゲ
ート装置、27:測定装置、28:待機装置、29:振り分け装
置、30:ロータリーシュート、31a,31b…：集積部、32a,
32b…：通過センサー。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/66 Ｇ 7630−4Ｍ

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】半導体素子を搬送する傾斜シュート上に設
けられる案内ブロックに、搬送される半導体素子の素子
頭部の一側方と上方を位置決めする位置決め面を形成し
て、傾斜シュート上に沿って、一側方と上方が位置決め
面で他側方が開放された位置決め通路を形成し、この位置決め通路の出口に近接して、素子頭部の進路を
開閉するストッパーを設け、更に、ストッパーより半導体素子の搬送方向手前側であ
って、位置決め通路の開放された他側方側に、案内ブロ
ックに形成された側方の位置決め面に向かって進退し、
前進時に、ストッパーに直接当接して停止されている半
導体素子の素子頭部を案内ブロックに形成された側方の
位置決め面に押圧する位置決めピンを設けたことを特徴
とする半導体素子の位置決め装置。