JPH0644535A - 浮動型磁気ヘッド - Google Patents
浮動型磁気ヘッドInfo
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- JPH0644535A JPH0644535A JP4000598A JP59892A JPH0644535A JP H0644535 A JPH0644535 A JP H0644535A JP 4000598 A JP4000598 A JP 4000598A JP 59892 A JP59892 A JP 59892A JP H0644535 A JPH0644535 A JP H0644535A
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- JP
- Japan
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- magnetic head
- slider
- recording medium
- magnetic recording
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は突発的なノイズの発生や磁気抵抗素
子の損傷等を防止することのできる信頼性、耐久性に優
れた浮動型磁気ヘッドの提供を目的とする。 【構成】 本発明の浮動型磁気ヘッドは、磁気抵抗素子
４を有する浮動型磁気ヘッドであって、スライダ１の浮
上面３の少なくとも磁気抵抗素子部４露出部に非磁性絶
縁層８が形成された構成からなる。ここで、非磁性絶縁
層の材料としては、ＳｉＯ2，ＺｒＯ2，Ｔａ2Ｏ5，Ｓｉ
Ｎ，ＴｉＮ等が好適に用いられる。
子の損傷等を防止することのできる信頼性、耐久性に優
れた浮動型磁気ヘッドの提供を目的とする。 【構成】 本発明の浮動型磁気ヘッドは、磁気抵抗素子
４を有する浮動型磁気ヘッドであって、スライダ１の浮
上面３の少なくとも磁気抵抗素子部４露出部に非磁性絶
縁層８が形成された構成からなる。ここで、非磁性絶縁
層の材料としては、ＳｉＯ2，ＺｒＯ2，Ｔａ2Ｏ5，Ｓｉ
Ｎ，ＴｉＮ等が好適に用いられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は固定ディスク装置等に用
いられる浮動型磁気ヘッドに関するものである。
いられる浮動型磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータの処理速度の向上、
記憶容量の増加に伴い、高速かつ大容量を有する固定デ
ィスク装置が普及し始めている。特にさらなる高容量化
のため、磁気を高感度で検出し、その変化を自身の抵抗
値変化によって示す磁気抵抗素子（以下、ＭＲ素子と略
す）を読み取り素子とする浮動型磁気ヘッドの開発が望
まれており、特公昭５９−３５０８８号公報等に、この
ＭＲ素子を磁気記録媒体と対面するスライダの浮上面に
露出させた浮動型磁気ヘッドが提案されている。
記憶容量の増加に伴い、高速かつ大容量を有する固定デ
ィスク装置が普及し始めている。特にさらなる高容量化
のため、磁気を高感度で検出し、その変化を自身の抵抗
値変化によって示す磁気抵抗素子（以下、ＭＲ素子と略
す）を読み取り素子とする浮動型磁気ヘッドの開発が望
まれており、特公昭５９−３５０８８号公報等に、この
ＭＲ素子を磁気記録媒体と対面するスライダの浮上面に
露出させた浮動型磁気ヘッドが提案されている。
【０００３】以下に従来の浮動型磁気ヘッドについて説
明する。図６（ａ）は従来の浮動型磁気ヘッドのスライ
ダの側面図であり、図６（ｂ）はスライダの底面図であ
り、図６（ｃ）はスライダの背面図であり、図７はスラ
イダのＭＲ素子部の要部断面図である。
明する。図６（ａ）は従来の浮動型磁気ヘッドのスライ
ダの側面図であり、図６（ｂ）はスライダの底面図であ
り、図６（ｃ）はスライダの背面図であり、図７はスラ
イダのＭＲ素子部の要部断面図である。
【０００４】１はフェライト又はアルミナチタンカーバ
イト等のセラミックスよりなり所要の形状に研削加工さ
れたスライダ、２はスライダ１の磁気記録媒体（図示せ
ず）との対向面に空気の流入方向と平行に設けられた溝
部、３はスライダ１の磁気記録媒体（図示せず）との対
向面に設けられラップ法等の遊離砥粒を用いて極めて高
い平滑度に加工されここに流入する空気より得られる揚
力によってスライダ１を浮上させる浮上面、４はＦｅ−
Ｎｉ系合金等よりなり浮動型磁気ヘッドの読み取り素子
となるＭＲ素子、５は酸化物等よりなりＭＲ素子４の下
端部以外を被覆しＭＲ素子４の信頼性を高めるための保
護層である。
イト等のセラミックスよりなり所要の形状に研削加工さ
れたスライダ、２はスライダ１の磁気記録媒体（図示せ
ず）との対向面に空気の流入方向と平行に設けられた溝
部、３はスライダ１の磁気記録媒体（図示せず）との対
向面に設けられラップ法等の遊離砥粒を用いて極めて高
い平滑度に加工されここに流入する空気より得られる揚
力によってスライダ１を浮上させる浮上面、４はＦｅ−
Ｎｉ系合金等よりなり浮動型磁気ヘッドの読み取り素子
となるＭＲ素子、５は酸化物等よりなりＭＲ素子４の下
端部以外を被覆しＭＲ素子４の信頼性を高めるための保
護層である。
【０００５】外部磁束の変化を自身の抵抗値変化として
示すＭＲ素子４より出力として電圧変化を得るために
は、ＭＲ素子４に電流を流す必要がある。そこで図７に
示すように、ＭＲ素子４は紙面に垂直な方向に電流を流
した状態で使用される。
示すＭＲ素子４より出力として電圧変化を得るために
は、ＭＲ素子４に電流を流す必要がある。そこで図７に
示すように、ＭＲ素子４は紙面に垂直な方向に電流を流
した状態で使用される。
【０００６】以上のように構成された従来の浮動型磁気
ヘッドについて、以下その動作を説明する。
ヘッドについて、以下その動作を説明する。
【０００７】図８はスライダの浮上状態を示す側面図で
あり、図９はＭＲ素子と磁気記録媒体上の突部とが接触
した状態を示す要部断面図であり、図１０はＭＲ素子と
磁気記録媒体とが接触した状態を示す要部断面図であ
る。
あり、図９はＭＲ素子と磁気記録媒体上の突部とが接触
した状態を示す要部断面図であり、図１０はＭＲ素子と
磁気記録媒体とが接触した状態を示す要部断面図であ
る。
【０００８】６はデータ等が記録された磁気記録媒体、
７は磁気記録媒体６自体に生じた突起又は塵埃等の磁気
記録媒体６上への付着物よりなる突部である。
７は磁気記録媒体６自体に生じた突起又は塵埃等の磁気
記録媒体６上への付着物よりなる突部である。
【０００９】図８に示すように、スライダ１は磁気記録
媒体６の回転によって生じる空気流により磁気記録媒体
６に対してθの角をなして浮上する。このときＭＲ素子
４と磁気記録媒体６との距離（以下、浮上量と呼ぶ）
は、０．２（μｍ）程度に保たれている。
媒体６の回転によって生じる空気流により磁気記録媒体
６に対してθの角をなして浮上する。このときＭＲ素子
４と磁気記録媒体６との距離（以下、浮上量と呼ぶ）
は、０．２（μｍ）程度に保たれている。
【００１０】しかし、図９に示すように、磁気記録媒体
６上に浮上量より高い突部７が存在した場合、これとＭ
Ｒ素子４が接触したり衝突していた。
６上に浮上量より高い突部７が存在した場合、これとＭ
Ｒ素子４が接触したり衝突していた。
【００１１】又、図１０に示すように、外部から衝撃等
が加わった場合、ＭＲ素子４と磁気記録媒体６とが接触
していた。
が加わった場合、ＭＲ素子４と磁気記録媒体６とが接触
していた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、ＭＲ素子が浮上面に露出しているために、
磁気記録媒体に浮上量より高い突部が存在したり、外部
から衝撃等が加わった場合に、ＭＲ素子と磁気記録媒体
とが接触したり衝突したりし、磁気記録媒体６とＭＲ素
子４が電気的に導通したり、熱伝導や摩擦熱によってＭ
Ｒ素子４の表面の温度が急速に変化するために、ＭＲ素
子の出力電圧が変動してパルス状のノイズが生じ、デー
ターの読み取り時にエラーを発生するという問題点があ
った。
の構成では、ＭＲ素子が浮上面に露出しているために、
磁気記録媒体に浮上量より高い突部が存在したり、外部
から衝撃等が加わった場合に、ＭＲ素子と磁気記録媒体
とが接触したり衝突したりし、磁気記録媒体６とＭＲ素
子４が電気的に導通したり、熱伝導や摩擦熱によってＭ
Ｒ素子４の表面の温度が急速に変化するために、ＭＲ素
子の出力電圧が変動してパルス状のノイズが生じ、デー
ターの読み取り時にエラーを発生するという問題点があ
った。
【００１３】又、ＭＲ素子に通電した状態で磁気記録媒
体との接触を繰り返した場合、数十回以内の接触でＭＲ
素子の出力等の電気特性が低下したり、ＭＲ素子が損傷
したり、接触時の摩擦熱や導通によるジュール熱のため
にＭＲ素子が溶断するといった事態が発生するという問
題点もあった。
体との接触を繰り返した場合、数十回以内の接触でＭＲ
素子の出力等の電気特性が低下したり、ＭＲ素子が損傷
したり、接触時の摩擦熱や導通によるジュール熱のため
にＭＲ素子が溶断するといった事態が発生するという問
題点もあった。
【００１４】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、突発的なノイズの発生やＭＲ素子の損傷等を防止す
ることのできる信頼性、耐久性に優れた浮動型磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
で、突発的なノイズの発生やＭＲ素子の損傷等を防止す
ることのできる信頼性、耐久性に優れた浮動型磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の浮動型磁気ヘッドは、ＭＲ素子を有する浮動
型磁気ヘッドであって、スライダの浮上面の少なくとも
ＭＲ素子の露出部に非磁性絶縁層が形成された構成を有
している。
に本発明の浮動型磁気ヘッドは、ＭＲ素子を有する浮動
型磁気ヘッドであって、スライダの浮上面の少なくとも
ＭＲ素子の露出部に非磁性絶縁層が形成された構成を有
している。
【００１６】ここで、非磁性絶縁層の材料としては、Ｓ
ｉＯ2，ＺｒＯ2，Ｔａ2Ｏ5，ＳｉＮ，ＴｉＮ等が好適に
用いられる。
ｉＯ2，ＺｒＯ2，Ｔａ2Ｏ5，ＳｉＮ，ＴｉＮ等が好適に
用いられる。
【００１７】
【作用】この構成によって、浮動型磁気ヘッドが磁気記
録媒体等と接触しても、ノイズの発生を防止することが
でき、同時に接触を繰り返すことによって生じるＭＲ素
子の損傷等を防止することができる。
録媒体等と接触しても、ノイズの発生を防止することが
でき、同時に接触を繰り返すことによって生じるＭＲ素
子の損傷等を防止することができる。
【００１８】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１９】図１（ａ）は本発明の一実施例における浮
動型磁気ヘッドのスライダの側面図であり、図１（ｂ）
はスライダの底面図であり、図１（ｃ）はスライダの背
面図であり、図２はスライダのＭＲ素子部の要部断面図
である。
動型磁気ヘッドのスライダの側面図であり、図１（ｂ）
はスライダの底面図であり、図１（ｃ）はスライダの背
面図であり、図２はスライダのＭＲ素子部の要部断面図
である。
【００２０】１はスライダ、２は溝部、３は浮上面、４
はＭＲ素子、５は保護層であり、これらは従来例と同様
なものなので同一の番号を付し説明を省略する。
はＭＲ素子、５は保護層であり、これらは従来例と同様
なものなので同一の番号を付し説明を省略する。
【００２１】８は非磁性絶縁物よりなりＭＲ素子４の浮
上面３への露出部を被覆する非磁性絶縁層である。
上面３への露出部を被覆する非磁性絶縁層である。
【００２２】非磁性絶縁層８はＳｉＯ2等の非磁性の絶
縁物質を浮上面３全面にスパッタ法，真空蒸着法，ＣＶ
Ｄ法等によって１〜１００（ｎｍ）好ましくは５〜５０
（ｎｍ）成膜することによって形成される。
縁物質を浮上面３全面にスパッタ法，真空蒸着法，ＣＶ
Ｄ法等によって１〜１００（ｎｍ）好ましくは５〜５０
（ｎｍ）成膜することによって形成される。
【００２３】以上のように構成された本実施例における
浮動型磁気ヘッドについて、以下その浮上状態を説明す
る。
浮動型磁気ヘッドについて、以下その浮上状態を説明す
る。
【００２４】図３は浮動型磁気ヘッドと磁気記録媒体上
の突部が接触した状態を示す要部断面図である。６は磁
気記録媒体、７は突部であり、これらは従来例と同様な
もので同一の番号を付し説明を省略する。
の突部が接触した状態を示す要部断面図である。６は磁
気記録媒体、７は突部であり、これらは従来例と同様な
もので同一の番号を付し説明を省略する。
【００２５】本実施例における浮動型磁気ヘッドは、磁
気記録媒体６上に突部７が存在し、これと接触した場合
であっても、非磁性絶縁層８が設けられているため、Ｍ
Ｒ素子４が突部７と直接接触することを防止することが
できる。又、この時発生していたＭＲ素子４と磁気記録
媒体６との電気的な導通や、ＭＲ素子４の表面の熱伝導
による局部放熱現象や摩擦熱をなくすことができるた
め、パルス状のノイズの発生を防ぐことができる。更
に、ＭＲ素子４に通電した状態でこの接触を繰り返すこ
とによって生じるＭＲ素子４の損傷等も防止することが
できる。
気記録媒体６上に突部７が存在し、これと接触した場合
であっても、非磁性絶縁層８が設けられているため、Ｍ
Ｒ素子４が突部７と直接接触することを防止することが
できる。又、この時発生していたＭＲ素子４と磁気記録
媒体６との電気的な導通や、ＭＲ素子４の表面の熱伝導
による局部放熱現象や摩擦熱をなくすことができるた
め、パルス状のノイズの発生を防ぐことができる。更
に、ＭＲ素子４に通電した状態でこの接触を繰り返すこ
とによって生じるＭＲ素子４の損傷等も防止することが
できる。
【００２６】また、外部から衝撃等が加わり、浮動型磁
気ヘッドと磁気記録媒体６とが直接接触した場合でも同
様の優れた効果が得られる。
気ヘッドと磁気記録媒体６とが直接接触した場合でも同
様の優れた効果が得られる。
【００２７】上記の本実施例における浮動型磁気ヘッド
と従来の浮動型磁気ヘッドについて性能比較試験を行っ
た。以下その結果について説明する。
と従来の浮動型磁気ヘッドについて性能比較試験を行っ
た。以下その結果について説明する。
【００２８】（実験例）本実施例における浮動型磁気ヘ
ッドをアセンブリし、実験前に全体が消磁されたハード
ディスク用３．５インチ金属薄膜媒体を磁気記録媒体６
として用い、磁気記録媒体６を３６００（ｒｐｍ）の回
転数で回転させ、本実施例における浮動型磁気ヘッドを
磁気記録媒体６の中心から２５．４（mm）の位置で０．
１（μｍ）の浮上量をもって浮上させた。
ッドをアセンブリし、実験前に全体が消磁されたハード
ディスク用３．５インチ金属薄膜媒体を磁気記録媒体６
として用い、磁気記録媒体６を３６００（ｒｐｍ）の回
転数で回転させ、本実施例における浮動型磁気ヘッドを
磁気記録媒体６の中心から２５．４（mm）の位置で０．
１（μｍ）の浮上量をもって浮上させた。
【００２９】この状態でＭＲ素子４を再生状態にしたま
ま、ＭＲ素子４の出力電圧をオシロスコープにより測定
した。その測定結果を図４に示す。
ま、ＭＲ素子４の出力電圧をオシロスコープにより測定
した。その測定結果を図４に示す。
【００３０】図４は実験例の出力電圧曲線を示すグラフ
である。 （比較例）浮上面３に非磁性絶縁層８を有さない従来の
浮動型磁気ヘッドをアセンブリした他は、実験例と同一
の条件でＭＲ素子４の出力電圧を測定した。その結果を
図５に示す。
である。 （比較例）浮上面３に非磁性絶縁層８を有さない従来の
浮動型磁気ヘッドをアセンブリした他は、実験例と同一
の条件でＭＲ素子４の出力電圧を測定した。その結果を
図５に示す。
【００３１】図５は比較例の出力電圧曲線を示すグラフ
である。図４より明らかなように、実験例の出力電圧は
常に略０であり、ノイズの発生は認められなかった。一
方比較例では、図５に示すようなパルス状のノイズが不
定期的ではあるが２秒〜３秒程度毎に発生するのが認め
られた。
である。図４より明らかなように、実験例の出力電圧は
常に略０であり、ノイズの発生は認められなかった。一
方比較例では、図５に示すようなパルス状のノイズが不
定期的ではあるが２秒〜３秒程度毎に発生するのが認め
られた。
【００３２】次に、実験終了後、実験例及び比較例で用
いた浮動型磁気ヘッドを磁気ディスク装置より取り外
し、各々ＭＲ素子４の表面を観察し電気特性を測定した
ところ、比較例ではＭＲ素子４の表面に損傷が認めら
れ、ＭＲ素子４の出力等の電気特性が劣化していた。一
方、実験例ではこのような損傷及び電気特性の劣化は認
められなかった。
いた浮動型磁気ヘッドを磁気ディスク装置より取り外
し、各々ＭＲ素子４の表面を観察し電気特性を測定した
ところ、比較例ではＭＲ素子４の表面に損傷が認めら
れ、ＭＲ素子４の出力等の電気特性が劣化していた。一
方、実験例ではこのような損傷及び電気特性の劣化は認
められなかった。
【００３３】尚、本実施例においては、非磁性絶縁層８
は浮上面３の全面に形成したが、浮上面３のＭＲ素子４
の露出部のみに形成してもよい。
は浮上面３の全面に形成したが、浮上面３のＭＲ素子４
の露出部のみに形成してもよい。
【００３４】以上のように本実施例によれば、ＭＲ素子
４の出力電圧における突発的なノイズの発生やＭＲ素子
４の損傷等を防止することができる。
４の出力電圧における突発的なノイズの発生やＭＲ素子
４の損傷等を防止することができる。
【００３５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、浮上面の
少なくともＭＲ素子の露出部に、ＳｉＯ2等の非磁性絶
縁層を形成することにより、磁気記録媒体等との接触の
際に発生するノイズを防止でき、この接触を繰り返すこ
とによって生じるＭＲ素子の損傷等を防止することので
きる信頼性、耐久性に優れた浮動型磁気ヘッドを実現で
きるものである。
少なくともＭＲ素子の露出部に、ＳｉＯ2等の非磁性絶
縁層を形成することにより、磁気記録媒体等との接触の
際に発生するノイズを防止でき、この接触を繰り返すこ
とによって生じるＭＲ素子の損傷等を防止することので
きる信頼性、耐久性に優れた浮動型磁気ヘッドを実現で
きるものである。
【図１】（ａ）本発明の一実施例における浮動型磁気ヘ
ッドのスライダの側面図 （ｂ）本発明の一実施例における浮動型磁気ヘッドのス
ライダの底面図 （ｃ）本発明の一実施例における浮動型磁気ヘッドのス
ライダの背面図
ッドのスライダの側面図 （ｂ）本発明の一実施例における浮動型磁気ヘッドのス
ライダの底面図 （ｃ）本発明の一実施例における浮動型磁気ヘッドのス
ライダの背面図
【図２】本発明の一実施例における浮動型磁気ヘッドの
スライダのＭＲ素子部の要部断面図
スライダのＭＲ素子部の要部断面図
【図３】浮動型磁気ヘッドが磁気記録媒体上の突部と接
触した状態を示す要部断面図
触した状態を示す要部断面図
【図４】実験例の出力電圧曲線を示すグラフ
【図５】比較例の出力電圧曲線を示すグラフ
【図６】（ａ）従来の浮動型磁気ヘッドのスライダの側
面図 （ｂ）従来の浮動型磁気ヘッドのスライダの底面図 （ｃ）従来の浮動型磁気ヘッドのスライダの背面図
面図 （ｂ）従来の浮動型磁気ヘッドのスライダの底面図 （ｃ）従来の浮動型磁気ヘッドのスライダの背面図
【図７】従来の浮動型磁気ヘッドのスライダのＭＲ素子
部の要部断面図
部の要部断面図
【図８】従来の浮動型磁気ヘッドのスライダの浮上状態
を示す側面図
を示す側面図
【図９】ＭＲ素子と磁気記録媒体上の突部が接触した状
態を示す要部断面図
態を示す要部断面図
【図１０】ＭＲ素子と磁気記録媒体が接触した状態を示
す要部断面図
す要部断面図
１ スライダ ２ 溝部 ３ 浮上面 ４ ＭＲ素子 ５ 保護層 ６ 磁気記録媒体 ７ 突部 ８ 非磁性絶縁層
Claims (1)
- 【請求項１】磁気抵抗素子を有する浮動型磁気ヘッドで
あって、スライダの浮上面の少なくとも磁気抵抗素子の
露出部に非磁性絶縁層が形成されていることを特徴とす
る浮動型磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4000598A JPH0644535A (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | 浮動型磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4000598A JPH0644535A (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | 浮動型磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0644535A true JPH0644535A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=11478174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4000598A Pending JPH0644535A (ja) | 1992-01-07 | 1992-01-07 | 浮動型磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644535A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08297813A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-12 | Nec Corp | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
| US5999379A (en) * | 1997-12-11 | 1999-12-07 | International Business Machines Corporation | Spin valve read head with plasma produced metal oxide insulation layer between lead and shield layers and method of making |
-
1992
- 1992-01-07 JP JP4000598A patent/JPH0644535A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08297813A (ja) * | 1995-04-27 | 1996-11-12 | Nec Corp | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
| US5999379A (en) * | 1997-12-11 | 1999-12-07 | International Business Machines Corporation | Spin valve read head with plasma produced metal oxide insulation layer between lead and shield layers and method of making |
| US6162305A (en) * | 1997-12-11 | 2000-12-19 | International Business Machines Corporation | Method of making spin valve read head with plasma produced metal oxide insulation layer between lead and shield layers |
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