JPH064498B2 - 単板の断熱ガラス板およびその色ガラス - Google Patents
単板の断熱ガラス板およびその色ガラスInfo
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- JPH064498B2 JPH064498B2 JP33916789A JP33916789A JPH064498B2 JP H064498 B2 JPH064498 B2 JP H064498B2 JP 33916789 A JP33916789 A JP 33916789A JP 33916789 A JP33916789 A JP 33916789A JP H064498 B2 JPH064498 B2 JP H064498B2
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Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、冷暖房効果を向上させるようにするととも
に、比較的低い、例えば約５０％前後以下の可視光透過
率を有するものであって、しかも耐薬品性および耐摩耗
性も優れた単板の断熱ガラス板ならびにその色ガラスに
関し、なかでもスパッタ膜を積層被覆して成る、建築用
単板熱線反射ガラスまたはその色ガラスとして有用であ
ることはもちろん、特に車輛用断熱ガラスとしても有用
であって、ことにサンルーフ、サイドあるいはドア用窓
ガラスなど可視光透過率が比較的低い車両用単板の断熱
ガラスまたはガラス面側から見てシルバー系色調を示す
車両用単板の断熱色ガラスとして有用である単板の断熱
ガラス板ならびに単板の断熱色ガラス板を提供するもの
である。
に、比較的低い、例えば約５０％前後以下の可視光透過
率を有するものであって、しかも耐薬品性および耐摩耗
性も優れた単板の断熱ガラス板ならびにその色ガラスに
関し、なかでもスパッタ膜を積層被覆して成る、建築用
単板熱線反射ガラスまたはその色ガラスとして有用であ
ることはもちろん、特に車輛用断熱ガラスとしても有用
であって、ことにサンルーフ、サイドあるいはドア用窓
ガラスなど可視光透過率が比較的低い車両用単板の断熱
ガラスまたはガラス面側から見てシルバー系色調を示す
車両用単板の断熱色ガラスとして有用である単板の断熱
ガラス板ならびに単板の断熱色ガラス板を提供するもの
である。
［従来の技術］ 近年、建築物の周辺環境との調和などの関係上、例えば
高層建築物では外面における反射の割合が高い高性能断
熱ガラスの採用が多くなってきており、その製法として
はＣＶＤ法、スパッタ法等があるが、反射色調を自由に
調節できて多品種の生産に適する製法としてはスパッタ
法が採用されつつあり、その用途は建築用に限らず車両
用にも広く拡大されつつあり、さらに単板のままで使用
しても耐候性、耐久性があるというものが提案されてき
ており、なかでもスパッタ法で成膜した建築用断熱ガラ
スとして透明基板にSUS/TiN膜等を形成することでシル
バー色系あるいはゴールド色系等を呈するものを得よう
とすることが知られている。例えば特開昭63-242948号
公報には、熱線反射ガラスが記載されており、ガラス基
板表面に基板側から順に金属膜、窒化物膜及び酸化物膜
を積層して形成した膜側表面の可視光反射率20％以下の
熱線反射ガラスが開示され、金属膜としてCr、Ti、Zr、
Hf、Ta、Si及びこれらの合金、並びにステンレスのなか
から選ばれたもの、窒化物としてTi、Zr、Ta、Cr、Hfの
窒化物及びこれらの複合窒化物のなかから選ばれたも
の、酸化物としてTi、Cr、Zr、Si、Al、Hf、Ta、Nbの酸
化物及びこれらの複合酸化物のなかから選ばれたもので
あり、具体的にはガラス基板／クロム膜／窒化チタン膜
／酸化チタン膜、あるいはガラス基板／ステンレス膜／
窒化チタン膜／酸化チタン膜等の構成が記載され、どち
らかと言えばシルバー色を呈すると考えられるものが開
示されている。また特開昭64-14130号公報には、熱線反
射ガラスが記載されており、ガラス基板上に、基板側か
ら順次窒化物層（例えばTiN膜）、酸化物層（例えばTiO
2、SnO2等）、金属層（例えばSUS、Ti、Cr等）、酸化物
層（例えばTiO2、SnO2）、あるいは基板側から順次例え
ばTiO2層、TiN層、TiO2層、SUS層、TiO2層をそれぞれ積
層させてなるガラス基板側反射色がゴールドを呈し、か
つ膜形成面側反射色がニュートラル系で、反射率が20％
以下であるというものが開示されている。さらに本出願
人が既に出願した特願平1-53567号では熱線反射ガラス
板を記載しており、例えばＧ／SUSNx／TiNあるいはTiNx
Oy／TiO2の多層膜、あるいはさらにTiO2膜の表面にAl・
SiNxOyを積層した構成で、種々のシルバー色系色調とな
って単板でも充分使用可能であるものを提案している。
さらにまた特開昭63-247352号公報には、反応性スパッ
タリングによる透明コーティングが記載されており、基
材、基材上のコーティング膜およびコーティング上の保
護膜を含む構成のコートした物品であって、この保護膜
がアルミニウムおよびケイ素を含む合金であるターゲッ
トを反応性ガス中、特にO2％がN2＋O2ガス中の割合で10
〜30％にあるなかでスパッタすることにより形成された
反応生成物の無定形層を含む膜であることが記載され、
具体的にはAl・SiRx（但しＲ；例えば0.302＋0.7N2等反
応ガス）の保護膜とするものが開示されている。
高層建築物では外面における反射の割合が高い高性能断
熱ガラスの採用が多くなってきており、その製法として
はＣＶＤ法、スパッタ法等があるが、反射色調を自由に
調節できて多品種の生産に適する製法としてはスパッタ
法が採用されつつあり、その用途は建築用に限らず車両
用にも広く拡大されつつあり、さらに単板のままで使用
しても耐候性、耐久性があるというものが提案されてき
ており、なかでもスパッタ法で成膜した建築用断熱ガラ
スとして透明基板にSUS/TiN膜等を形成することでシル
バー色系あるいはゴールド色系等を呈するものを得よう
とすることが知られている。例えば特開昭63-242948号
公報には、熱線反射ガラスが記載されており、ガラス基
板表面に基板側から順に金属膜、窒化物膜及び酸化物膜
を積層して形成した膜側表面の可視光反射率20％以下の
熱線反射ガラスが開示され、金属膜としてCr、Ti、Zr、
Hf、Ta、Si及びこれらの合金、並びにステンレスのなか
から選ばれたもの、窒化物としてTi、Zr、Ta、Cr、Hfの
窒化物及びこれらの複合窒化物のなかから選ばれたも
の、酸化物としてTi、Cr、Zr、Si、Al、Hf、Ta、Nbの酸
化物及びこれらの複合酸化物のなかから選ばれたもので
あり、具体的にはガラス基板／クロム膜／窒化チタン膜
／酸化チタン膜、あるいはガラス基板／ステンレス膜／
窒化チタン膜／酸化チタン膜等の構成が記載され、どち
らかと言えばシルバー色を呈すると考えられるものが開
示されている。また特開昭64-14130号公報には、熱線反
射ガラスが記載されており、ガラス基板上に、基板側か
ら順次窒化物層（例えばTiN膜）、酸化物層（例えばTiO
2、SnO2等）、金属層（例えばSUS、Ti、Cr等）、酸化物
層（例えばTiO2、SnO2）、あるいは基板側から順次例え
ばTiO2層、TiN層、TiO2層、SUS層、TiO2層をそれぞれ積
層させてなるガラス基板側反射色がゴールドを呈し、か
つ膜形成面側反射色がニュートラル系で、反射率が20％
以下であるというものが開示されている。さらに本出願
人が既に出願した特願平1-53567号では熱線反射ガラス
板を記載しており、例えばＧ／SUSNx／TiNあるいはTiNx
Oy／TiO2の多層膜、あるいはさらにTiO2膜の表面にAl・
SiNxOyを積層した構成で、種々のシルバー色系色調とな
って単板でも充分使用可能であるものを提案している。
さらにまた特開昭63-247352号公報には、反応性スパッ
タリングによる透明コーティングが記載されており、基
材、基材上のコーティング膜およびコーティング上の保
護膜を含む構成のコートした物品であって、この保護膜
がアルミニウムおよびケイ素を含む合金であるターゲッ
トを反応性ガス中、特にO2％がN2＋O2ガス中の割合で10
〜30％にあるなかでスパッタすることにより形成された
反応生成物の無定形層を含む膜であることが記載され、
具体的にはAl・SiRx（但しＲ；例えば0.302＋0.7N2等反
応ガス）の保護膜とするものが開示されている。
［発明が解決しようとする問題点］ 前述したような従来の例えば特開昭63-242948号公報に
記載のものはガラス側から見た際の可視光反射率が大き
くなりやすくかつ膜全体としての密着性あるいは耐摩耗
性、耐薬品性等においても必ずしも充分耐久性があるも
のとは言い難いものであって、建築用単板の断熱窓ガラ
スとしてさらに改善が望まれ、特に例えば自動車用断熱
窓ガラスのうち単板で用いるドアあるいはサイドガラス
等には必ずしも充分採用できるとは言い難いものであ
り、また特開昭64-14130号公報に記載のものは、SUS膜
を多層膜の一つに用いているもののガラス面から見た際
ゴールド色調を呈するものであって、特にヘーズ値の変
化ならびに耐薬品性において必ずしも充分満足できると
は言い難いものであり、さらに特願平1-53567号に記載
のものは、前述の両公報に記載されたものより、耐摩耗
性、耐食性ならびに耐候耐久性において数段優れるもの
であって建築用単板の熱線反射ガラスとしては充分有用
であると言えるが、車両用単板の熱線反射ガラスとして
より長期的耐久性あるいは苛酷な環境または条件におい
てはまだまだ充分に満足し得るものとは必ずしも言い難
いものであり、さらにまた特開昭63-247352号公報に記
載されたものは、最外表面膜としての耐摩耗性ならびに
耐薬品性においては表面上向上するものの、膜を構成し
ている積層膜全体としては耐候耐久性が必ずしも充分優
れたものとは言い難いものである。
記載のものはガラス側から見た際の可視光反射率が大き
くなりやすくかつ膜全体としての密着性あるいは耐摩耗
性、耐薬品性等においても必ずしも充分耐久性があるも
のとは言い難いものであって、建築用単板の断熱窓ガラ
スとしてさらに改善が望まれ、特に例えば自動車用断熱
窓ガラスのうち単板で用いるドアあるいはサイドガラス
等には必ずしも充分採用できるとは言い難いものであ
り、また特開昭64-14130号公報に記載のものは、SUS膜
を多層膜の一つに用いているもののガラス面から見た際
ゴールド色調を呈するものであって、特にヘーズ値の変
化ならびに耐薬品性において必ずしも充分満足できると
は言い難いものであり、さらに特願平1-53567号に記載
のものは、前述の両公報に記載されたものより、耐摩耗
性、耐食性ならびに耐候耐久性において数段優れるもの
であって建築用単板の熱線反射ガラスとしては充分有用
であると言えるが、車両用単板の熱線反射ガラスとして
より長期的耐久性あるいは苛酷な環境または条件におい
てはまだまだ充分に満足し得るものとは必ずしも言い難
いものであり、さらにまた特開昭63-247352号公報に記
載されたものは、最外表面膜としての耐摩耗性ならびに
耐薬品性においては表面上向上するものの、膜を構成し
ている積層膜全体としては耐候耐久性が必ずしも充分優
れたものとは言い難いものである。
いずれにしても、車両用単板の断熱ガラスおよびその着
色ガラスとしては、断熱性能、耐摩耗性、耐薬品性なら
びに耐候耐久性などに充分優れ、しかも所望の長期に亘
る耐久性を充分有するものであるものとは言い難いもの
であった。
色ガラスとしては、断熱性能、耐摩耗性、耐薬品性なら
びに耐候耐久性などに充分優れ、しかも所望の長期に亘
る耐久性を充分有するものであるものとは言い難いもの
であった。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、特定の膜厚を有する特定の薄膜をガラス表面側と最
外表面側に設け、少なくともSUS膜あるいはSUSNx（通常
０＜ｘ≦１）膜ならびにTiNx（０＜ｘ≦１）膜、さらに
TiOx（０＜ｘ≦２）膜を適宜それぞれ組み合わせ積層被
覆するものとすることで、従来に比し優れる耐摩耗性、
耐薬品性、耐候耐久性をもち、冷暖房に効果的な単板の
車両用窓ガラスとして満足して採用でき、しかもシルバ
ー色系色調をガラス面で呈するようにできる単板の断熱
ガラス板およびその色ガラスを提供するものである。
て、特定の膜厚を有する特定の薄膜をガラス表面側と最
外表面側に設け、少なくともSUS膜あるいはSUSNx（通常
０＜ｘ≦１）膜ならびにTiNx（０＜ｘ≦１）膜、さらに
TiOx（０＜ｘ≦２）膜を適宜それぞれ組み合わせ積層被
覆するものとすることで、従来に比し優れる耐摩耗性、
耐薬品性、耐候耐久性をもち、冷暖房に効果的な単板の
車両用窓ガラスとして満足して採用でき、しかもシルバ
ー色系色調をガラス面で呈するようにできる単板の断熱
ガラス板およびその色ガラスを提供するものである。
すなわち、本発明は、透明ガラス基板の一表面に、ガラ
ス面より第１層および第５層として膜厚がそれぞれ100
〜1000ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl・SiOx（２＜ｘ
≦7/2）膜、第２層として膜厚が50〜100ÅのSUSあるい
はSUSNx（０＜ｘ≦１）膜、第３層として膜厚が200〜40
0ÅのTiNx（０＜ｘ≦１）膜、第４層として０＜膜厚≦2
00ÅであるTiOx（０＜ｘ≦２）膜の各スパッタ膜を積層
被覆して成ることを特徴とする単板の断熱ガラス板。な
らびに透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より第１層
として膜厚が100〜300ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl
・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜、第２層として膜厚が50〜100
ÅのSUSあるいはSUSNx（０＜ｘ≦１）膜、第３層として
膜厚が200〜400ÅのTiNx（０＜ｘ≦１）膜、第４層とし
て０＜膜厚≦200ÅであるTiOx（０＜ｘ≦２）膜、第５
層として膜厚が300〜500ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）または
Al・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜の各スパッタ膜を積層被覆
して成り、ガラス面側から見た反射色調がシルバー色系
であることを特徴とする単板の断熱色ガラス板。さらに
透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より第１層として
膜厚が100〜300ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl・SiOx
（２＜ｘ≦7/2）膜、第２層として膜厚が50〜100ÅのSU
SあるいはSUSNx（０＜ｘ≦１）膜、第３層として膜厚が
200〜400ÅのTiNx（０＜ｘ≦１）膜、第４層として膜厚
が300〜500ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl・SiOx（２
＜ｘ≦7/2）膜の各スパッタ膜を積層被覆して成り、ガ
ラス面側から見た反射色調がシルバー色系であることを
特徴とする単板の断熱色ガラス板。さらにまた前記した
単板の断熱ガラス板ならびに単板の断熱色ガラス板にお
いて、CS-10Fによる摩耗輪を用いたテーバー試験にて、
1000回回転後のヘーズ値の変化量が試験前に比し５％以
内であることを特徴とする上述した単板の断熱ガラス板
ならびに単板の断熱色ガラス板をそれぞれ提供するもの
である。
ス面より第１層および第５層として膜厚がそれぞれ100
〜1000ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl・SiOx（２＜ｘ
≦7/2）膜、第２層として膜厚が50〜100ÅのSUSあるい
はSUSNx（０＜ｘ≦１）膜、第３層として膜厚が200〜40
0ÅのTiNx（０＜ｘ≦１）膜、第４層として０＜膜厚≦2
00ÅであるTiOx（０＜ｘ≦２）膜の各スパッタ膜を積層
被覆して成ることを特徴とする単板の断熱ガラス板。な
らびに透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より第１層
として膜厚が100〜300ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl
・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜、第２層として膜厚が50〜100
ÅのSUSあるいはSUSNx（０＜ｘ≦１）膜、第３層として
膜厚が200〜400ÅのTiNx（０＜ｘ≦１）膜、第４層とし
て０＜膜厚≦200ÅであるTiOx（０＜ｘ≦２）膜、第５
層として膜厚が300〜500ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）または
Al・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜の各スパッタ膜を積層被覆
して成り、ガラス面側から見た反射色調がシルバー色系
であることを特徴とする単板の断熱色ガラス板。さらに
透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より第１層として
膜厚が100〜300ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl・SiOx
（２＜ｘ≦7/2）膜、第２層として膜厚が50〜100ÅのSU
SあるいはSUSNx（０＜ｘ≦１）膜、第３層として膜厚が
200〜400ÅのTiNx（０＜ｘ≦１）膜、第４層として膜厚
が300〜500ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl・SiOx（２
＜ｘ≦7/2）膜の各スパッタ膜を積層被覆して成り、ガ
ラス面側から見た反射色調がシルバー色系であることを
特徴とする単板の断熱色ガラス板。さらにまた前記した
単板の断熱ガラス板ならびに単板の断熱色ガラス板にお
いて、CS-10Fによる摩耗輪を用いたテーバー試験にて、
1000回回転後のヘーズ値の変化量が試験前に比し５％以
内であることを特徴とする上述した単板の断熱ガラス板
ならびに単板の断熱色ガラス板をそれぞれ提供するもの
である。
ここで、前記したようにガラス面より第１層および第５
層として膜厚がそれぞれ100〜1000ÅのSiOx（１＜ｘ≦
２）またはAl・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜を用いるものと
したのは、透明基板と第３層膜との間に発現する応力を
緩和し膜の密着性を高めるために透明基板の組成成分の
一部であるSiOx（以下該SiOxのｘの範囲は１＜ｘ≦２）
またはAl・SiOx（以下該Al・SiOxのｘの範囲は２＜ｘ≦
7/2）膜を用いるものとし、また最外表層である第５層
としても特に耐摩耗性、化学的耐久性を向上せしめるた
めならびに下層の各膜における密着性に応力の発現等悪
影響を与えないためすなわち積層膜全体として各種耐久
性が充分向上せしめるため前記SiOxまたはAl・SiOx膜を
用いることとしたものであり、前述の効果を安定して確
実に達成できしかも生産性も加味したなかでは膜厚がそ
れぞれ100〜1000Å必要であり、ことに第５層として好
ましい膜厚は200〜800Å程度であって、より好ましくは
250〜700Åである。さらに低屈折率の干渉層として、構
成層の薄膜と干渉を発現するものの色調への寄与は少な
く、中間層の構成である前記したSUS、TiNx、TiOxの各
層とマッチィングせしめてガラス面側から見ての反射色
調がスパッター膜を成膜する前とほとんど変化しない中
性色すなわち所謂シルバー色系色調を呈することとな
り、これまでの構成品に対し、光学的な特性をほとんど
変えずに、耐候耐久性能のみを向上させることが可能と
なるため、とくに前記SiOxまたはAl・SiOx層の膜厚を第
１層として100〜300Å、第５層として300〜500Åとする
ことが最も効果的であるためである。つぎに第２層とし
て膜厚が50〜100ÅのSUSあるいはSUSNx（０＜ｘ≦１）
膜を用いるものとしたのは、密着力はもちろん耐薬品性
が金属膜のなかでは優れるものであり、特にSUSの窒化
物であるSUSNx（N2：Arが１：１〜１：０の割合におけ
る雰囲気でスパッタリングすることで、通常ｘは０＜ｘ
≦１であり、以下該窒化物のｘの範囲は該範囲をいう）
膜の方がよりこの傾向が強く、ことに耐酸性が良化する
ものである等、膜自身の強度が向上するものであり、ま
たガラス面側から見て反射色調がシルバー色系を発現せ
しめるために必要であり、第３層として膜厚が200〜400
ÅのTiNx（以下該TiNxのｘの範囲は０＜ｘ≦１）膜、第
４層として０＜膜厚≦200ÅのTiOx（以下該TiOxのｘの
範囲は０＜ｘ≦２）膜あるいは該第４層膜がなしと適宜
積層被覆するものとすることによって、それぞれが作用
し合って密着性、膜の強度、耐候耐久性ならびに、干渉
膜として色調と可視光透過率の調整に役立つものであ
り、特に第３ならびに４層については膜面側から見た色
調のバリエーションを有するものとすることができるも
のである。
層として膜厚がそれぞれ100〜1000ÅのSiOx（１＜ｘ≦
２）またはAl・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜を用いるものと
したのは、透明基板と第３層膜との間に発現する応力を
緩和し膜の密着性を高めるために透明基板の組成成分の
一部であるSiOx（以下該SiOxのｘの範囲は１＜ｘ≦２）
またはAl・SiOx（以下該Al・SiOxのｘの範囲は２＜ｘ≦
7/2）膜を用いるものとし、また最外表層である第５層
としても特に耐摩耗性、化学的耐久性を向上せしめるた
めならびに下層の各膜における密着性に応力の発現等悪
影響を与えないためすなわち積層膜全体として各種耐久
性が充分向上せしめるため前記SiOxまたはAl・SiOx膜を
用いることとしたものであり、前述の効果を安定して確
実に達成できしかも生産性も加味したなかでは膜厚がそ
れぞれ100〜1000Å必要であり、ことに第５層として好
ましい膜厚は200〜800Å程度であって、より好ましくは
250〜700Åである。さらに低屈折率の干渉層として、構
成層の薄膜と干渉を発現するものの色調への寄与は少な
く、中間層の構成である前記したSUS、TiNx、TiOxの各
層とマッチィングせしめてガラス面側から見ての反射色
調がスパッター膜を成膜する前とほとんど変化しない中
性色すなわち所謂シルバー色系色調を呈することとな
り、これまでの構成品に対し、光学的な特性をほとんど
変えずに、耐候耐久性能のみを向上させることが可能と
なるため、とくに前記SiOxまたはAl・SiOx層の膜厚を第
１層として100〜300Å、第５層として300〜500Åとする
ことが最も効果的であるためである。つぎに第２層とし
て膜厚が50〜100ÅのSUSあるいはSUSNx（０＜ｘ≦１）
膜を用いるものとしたのは、密着力はもちろん耐薬品性
が金属膜のなかでは優れるものであり、特にSUSの窒化
物であるSUSNx（N2：Arが１：１〜１：０の割合におけ
る雰囲気でスパッタリングすることで、通常ｘは０＜ｘ
≦１であり、以下該窒化物のｘの範囲は該範囲をいう）
膜の方がよりこの傾向が強く、ことに耐酸性が良化する
ものである等、膜自身の強度が向上するものであり、ま
たガラス面側から見て反射色調がシルバー色系を発現せ
しめるために必要であり、第３層として膜厚が200〜400
ÅのTiNx（以下該TiNxのｘの範囲は０＜ｘ≦１）膜、第
４層として０＜膜厚≦200ÅのTiOx（以下該TiOxのｘの
範囲は０＜ｘ≦２）膜あるいは該第４層膜がなしと適宜
積層被覆するものとすることによって、それぞれが作用
し合って密着性、膜の強度、耐候耐久性ならびに、干渉
膜として色調と可視光透過率の調整に役立つものであ
り、特に第３ならびに４層については膜面側から見た色
調のバリエーションを有するものとすることができるも
のである。
前述のこれら中間層の膜厚については第２層のSUSある
いはSUSNx膜が50〜100Å、第３層のTiNx膜が200〜400
Å、第４層のTiOx膜が０＜膜厚≦200Åに組み合わせ積
層被覆することによって、より優れた耐摩耗性、耐薬品
性ならびに耐候耐久性等の膜全体の強度、さらには所望
のシルバー色系色調を生産性よく得るために必要で最も
好ましいものである。また第４層のTiOx膜がない場合で
も従来に比し、上記各強度が優れるものであった。
いはSUSNx膜が50〜100Å、第３層のTiNx膜が200〜400
Å、第４層のTiOx膜が０＜膜厚≦200Åに組み合わせ積
層被覆することによって、より優れた耐摩耗性、耐薬品
性ならびに耐候耐久性等の膜全体の強度、さらには所望
のシルバー色系色調を生産性よく得るために必要で最も
好ましいものである。また第４層のTiOx膜がない場合で
も従来に比し、上記各強度が優れるものであった。
なお、透明ガラス基板としては無色または着色の無機質
あるいは有機質ガラス基板であれば、いずれも採用でき
ることは言うまでもない。また前記した単板の断熱ガラ
ス板およびその色ガラスが例えば複層ガラス、合せガラ
スなどに採用して差し使えないことも言うまでもない。
あるいは有機質ガラス基板であれば、いずれも採用でき
ることは言うまでもない。また前記した単板の断熱ガラ
ス板およびその色ガラスが例えば複層ガラス、合せガラ
スなどに採用して差し使えないことも言うまでもない。
［作用］ 前述したとおり、本発明の単板の断熱ガラス板およびそ
の色ガラスは、特定の膜厚を有する特定の薄膜をガラス
表面側と最外表面側に設け、少なくともSUSあるいはSUS
Nx膜ならびにTiNx膜、さらにTiOx膜を適宜それぞれ組み
合わせ積層被覆したものとしたことによって、比較的低
い例えば50％前後以下の可視光透過率であって、耐摩耗
性としてテーバー試験によるヘーズの変化量を５％以下
にすることができ、しかも各層の膜間の密着性を高めし
めることとなり、酸あるいはアルカリ等による腐蝕性を
改善して耐薬品性が向上し、例えば従来施工時における
コンクリート液による劣化、傷等の発生を防止するため
のシート貼付けが不要になるなど、耐候耐久性に優れる
ものとなるとともに、生産性ならびに作業性等もより向
上するものであり、単板として充分採用できるものとな
り、さらに適度の干渉効果をもたらし、断熱機能を有
し、ガラス面側から見てシルバー色系色調を発現できて
高い安全性と居住性を備えるものとなり、建築用窓ガラ
スではもちろん、車両用窓ガラスとしてもサンルーフ、
サイドあるいはドア用ガラス、ことに上下などに稼働さ
すような部分においても充分採用できる単板の断熱ガラ
ス板およびその色ガラスを提供できるものである。
の色ガラスは、特定の膜厚を有する特定の薄膜をガラス
表面側と最外表面側に設け、少なくともSUSあるいはSUS
Nx膜ならびにTiNx膜、さらにTiOx膜を適宜それぞれ組み
合わせ積層被覆したものとしたことによって、比較的低
い例えば50％前後以下の可視光透過率であって、耐摩耗
性としてテーバー試験によるヘーズの変化量を５％以下
にすることができ、しかも各層の膜間の密着性を高めし
めることとなり、酸あるいはアルカリ等による腐蝕性を
改善して耐薬品性が向上し、例えば従来施工時における
コンクリート液による劣化、傷等の発生を防止するため
のシート貼付けが不要になるなど、耐候耐久性に優れる
ものとなるとともに、生産性ならびに作業性等もより向
上するものであり、単板として充分採用できるものとな
り、さらに適度の干渉効果をもたらし、断熱機能を有
し、ガラス面側から見てシルバー色系色調を発現できて
高い安全性と居住性を備えるものとなり、建築用窓ガラ
スではもちろん、車両用窓ガラスとしてもサンルーフ、
サイドあるいはドア用ガラス、ことに上下などに稼働さ
すような部分においても充分採用できる単板の断熱ガラ
ス板およびその色ガラスを提供できるものである。
［実施例］ 以下、実施例により本発明を具体的に説明する。ただし
本発明は係る実施例に限定されるものではない。
本発明は係る実施例に限定されるものではない。
実施例１ 大きさ600×600mm2、厚さ６mmの透明ガラス基板（FL6）
を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコールで順次
洗浄し、乾燥した後、マグネトロン反応スパッタリング
装置の真空槽内にセットしてあるSiO2とSUSとTiのター
ゲットに対向して上方を往復できるようセットし、つぎ
に前記槽内を図示していない真空ポンプで約５×10-6To
rrまで脱気した後、該真空槽内にArとO2ガスを同量導入
して真空度を約２×10-3Torrに保持し、前記SiO2のター
ゲットにRF電力約2.5KWを印加し、O2ガス（但し、ArとO
2ガスの流量比は１：０から０：１の範囲にあればよ
い。）によるRFマグネトロンスパッタ中を、前記SiO2タ
ーゲット上方においてスピード約50mm/minで前記板ガラ
スを搬送することによって約300Å厚さのSiOx薄膜を成
膜した。前記SiOx膜の成膜が完了した後、SiO2ターゲッ
トへの印加を停止する。
を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコールで順次
洗浄し、乾燥した後、マグネトロン反応スパッタリング
装置の真空槽内にセットしてあるSiO2とSUSとTiのター
ゲットに対向して上方を往復できるようセットし、つぎ
に前記槽内を図示していない真空ポンプで約５×10-6To
rrまで脱気した後、該真空槽内にArとO2ガスを同量導入
して真空度を約２×10-3Torrに保持し、前記SiO2のター
ゲットにRF電力約2.5KWを印加し、O2ガス（但し、ArとO
2ガスの流量比は１：０から０：１の範囲にあればよ
い。）によるRFマグネトロンスパッタ中を、前記SiO2タ
ーゲット上方においてスピード約50mm/minで前記板ガラ
スを搬送することによって約300Å厚さのSiOx薄膜を成
膜した。前記SiOx膜の成膜が完了した後、SiO2ターゲッ
トへの印加を停止する。
つぎに前述のガラス基板を前記真空槽中に置いたまま、
SUSターゲットに約1.0KWを印加し、ArガスによるＤＣマ
グネトロンスパッタ中を、前記SUSターゲット上方にお
いて約500mm/minで前記ガラス基板を搬送することによ
り約50Å厚さのSUS膜を成膜した。前記SUS膜の成膜が完
了した後、SUSターゲットへの印加を停止する。
SUSターゲットに約1.0KWを印加し、ArガスによるＤＣマ
グネトロンスパッタ中を、前記SUSターゲット上方にお
いて約500mm/minで前記ガラス基板を搬送することによ
り約50Å厚さのSUS膜を成膜した。前記SUS膜の成膜が完
了した後、SUSターゲットへの印加を停止する。
つぎに前述したガラス基板を前記真空槽中に置いたま
ま、Tiターゲットに約2.0KWを印加し、N2ガスによるＤ
Ｃマグネトロン反応スパッタ中を、前記Tiターゲット上
方において約225mm/minで前記ガラス基板を搬送するこ
とにより約200Å厚さのTiNx膜を成膜した。前記TiNx膜
の成膜が完了した後、Tiターゲットへの印加を停止す
る。
ま、Tiターゲットに約2.0KWを印加し、N2ガスによるＤ
Ｃマグネトロン反応スパッタ中を、前記Tiターゲット上
方において約225mm/minで前記ガラス基板を搬送するこ
とにより約200Å厚さのTiNx膜を成膜した。前記TiNx膜
の成膜が完了した後、Tiターゲットへの印加を停止す
る。
ついで前述と同様にして約50mm/minで前記ガラス基板を
搬送することにより約300ÅのSiOx膜を成膜した。
搬送することにより約300ÅのSiOx膜を成膜した。
得られた４層膜を有する単板の断熱ガラス板について、
可視光透過率（380〜780nm）、可視光反射率（380〜780
nm）ならびに日射透過率（340〜1800nm）については340
型自記分光光度計（日立製作所製）とJISZ8722，JISR31
06によってそれぞれその光学的特性を求めた。さらにテ
ーバー試験によるヘーズ（曇り具合）値については、テ
ーバー試験機（MODEL 503，TYBER社製）に膜面を上にし
た10cm角の試験片をセットし、膜面に荷重500gのかかっ
た摩耗輪（CS-10F）が２ケ所で当たるようになっている
もので、1000回回転した後、ヘーズメーター（日本電色
工業製、NDH-20D）によって測定し、試験前の測定値と
対比し、その変化量すなわち差（ΔＨ）をもって曇価率
で表わした数値である。
可視光透過率（380〜780nm）、可視光反射率（380〜780
nm）ならびに日射透過率（340〜1800nm）については340
型自記分光光度計（日立製作所製）とJISZ8722，JISR31
06によってそれぞれその光学的特性を求めた。さらにテ
ーバー試験によるヘーズ（曇り具合）値については、テ
ーバー試験機（MODEL 503，TYBER社製）に膜面を上にし
た10cm角の試験片をセットし、膜面に荷重500gのかかっ
た摩耗輪（CS-10F）が２ケ所で当たるようになっている
もので、1000回回転した後、ヘーズメーター（日本電色
工業製、NDH-20D）によって測定し、試験前の測定値と
対比し、その変化量すなわち差（ΔＨ）をもって曇価率
で表わした数値である。
次に、耐薬品性のうち耐酸試験については、約60℃の温
度で0.15規定のHC1溶液中に試験片（10cm×10cm）を約4
8時間浸漬した後、可視光透過率ならびに反射率（膜
面）を測定することによって膜の劣化状態を見て判断し
たものであり、耐アルカリ試験については、約60℃で0.
15規定のNaOH溶液に前記と同じ大きさの試験片を約48時
間浸漬した後、前述と同様の測定を行い、膜の劣化状態
を見て判断したものであり、それぞれ○印は試験後の透
過率と反射率の変化が３％以下で外観上ほとんど変化が
見られなかったもの、×印は同様の変化が５％以上で外
観上の変化が明らかに目立ったものであり、△印は同様
にした変化が３〜５％であって外観上前記の中間的な変
化のものである。なお建築用JIS案である１規定のHCl、
１規定のNaOH溶液中、常温で６時間の浸漬において変化
がないことという条件でも試験を行った。
度で0.15規定のHC1溶液中に試験片（10cm×10cm）を約4
8時間浸漬した後、可視光透過率ならびに反射率（膜
面）を測定することによって膜の劣化状態を見て判断し
たものであり、耐アルカリ試験については、約60℃で0.
15規定のNaOH溶液に前記と同じ大きさの試験片を約48時
間浸漬した後、前述と同様の測定を行い、膜の劣化状態
を見て判断したものであり、それぞれ○印は試験後の透
過率と反射率の変化が３％以下で外観上ほとんど変化が
見られなかったもの、×印は同様の変化が５％以上で外
観上の変化が明らかに目立ったものであり、△印は同様
にした変化が３〜５％であって外観上前記の中間的な変
化のものである。なお建築用JIS案である１規定のHCl、
１規定のNaOH溶液中、常温で６時間の浸漬において変化
がないことという条件でも試験を行った。
前述の各測定値については表１に示す通りであり、断熱
性に優れる等、より優れた居住性を示す光学的特性を有
し、耐摩耗性や耐食性を充分有し、耐候耐久性を向上し
たものとなり、単板の断熱ガラス板として有用なものと
なり、所期のめざすものが得られ、ガラス面から見た色
調としてはシルバー色系であった。なお前記建築用JIS
案による試験においてももちろん合格するものであっ
た。
性に優れる等、より優れた居住性を示す光学的特性を有
し、耐摩耗性や耐食性を充分有し、耐候耐久性を向上し
たものとなり、単板の断熱ガラス板として有用なものと
なり、所期のめざすものが得られ、ガラス面から見た色
調としてはシルバー色系であった。なお前記建築用JIS
案による試験においてももちろん合格するものであっ
た。
実施例２ 前記実施例１と同様の方法で行い、表１に示すように一
部膜厚のみ変え４層膜を得て、実施例１で示した測定法
等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結果を
表１に示す。
部膜厚のみ変え４層膜を得て、実施例１で示した測定法
等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結果を
表１に示す。
実施例１と同様のものが得られた。
実施例３ 前記実施例１と同様の方法で行い、ただ第２層のみSUS
膜からSUSNx膜に変え、すなわちSUSターゲットを用い、
真空度約2.5×10-3Torr、N2ガス中、印加電力約2.5KW、
透明ガラス基板の搬送スピード約600mm/minの条件によ
り、約100Å厚さのSUSNx膜を成膜した。
膜からSUSNx膜に変え、すなわちSUSターゲットを用い、
真空度約2.5×10-3Torr、N2ガス中、印加電力約2.5KW、
透明ガラス基板の搬送スピード約600mm/minの条件によ
り、約100Å厚さのSUSNx膜を成膜した。
得られた単板の断熱色ガラス板は、実施例１で示した測
定法等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結
果は表１の通りであって、前述の各実施例と同様のもの
が得られ、色調もほぼ同色系となった。なお、SUSNx膜
を第２層に用いたことにより、SUS膜を用いた同様の膜
ならびにその膜厚構成に比し優れたものであった。
定法等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結
果は表１の通りであって、前述の各実施例と同様のもの
が得られ、色調もほぼ同色系となった。なお、SUSNx膜
を第２層に用いたことにより、SUS膜を用いた同様の膜
ならびにその膜厚構成に比し優れたものであった。
実施例４ 前記実施例１と同様の方法、測定、評価手段で行い、第
４層のみSiOx膜からAl・SiOx膜に変え、すなわちAl・Si
合金（Al：Si＝１：１）ターゲットを用い、真空度約2.
5×10-3Torr、O2ガス中、印加電力約2.5KW、透明ガラス
基板の搬送スピード約20mm/minの条件により、約300Å
厚さのAl・SiOx膜を成膜した。
４層のみSiOx膜からAl・SiOx膜に変え、すなわちAl・Si
合金（Al：Si＝１：１）ターゲットを用い、真空度約2.
5×10-3Torr、O2ガス中、印加電力約2.5KW、透明ガラス
基板の搬送スピード約20mm/minの条件により、約300Å
厚さのAl・SiOx膜を成膜した。
得られた単板の断熱色ガラス板は、前述の各実施例と同
様のものが得られ、色調もほぼ同色系となった。
様のものが得られ、色調もほぼ同色系となった。
実施例５ 前記実施例１と同様の方法、測定、評価手段で行い、た
だ第３層の上面にTiOx膜を成膜挿入して５層膜としたも
のである。すなわちTiターゲットを用い、真空度とガス
と印加電力を実施例４と同じで、透明ガラス基板の搬送
スピードを約5mm/minの条件により、約200Å厚さのTiOx
膜を成膜した。
だ第３層の上面にTiOx膜を成膜挿入して５層膜としたも
のである。すなわちTiターゲットを用い、真空度とガス
と印加電力を実施例４と同じで、透明ガラス基板の搬送
スピードを約5mm/minの条件により、約200Å厚さのTiOx
膜を成膜した。
得られた単板の断熱色ガラス板は、前述の各実施例と同
様のものが得られ、その色調もほぼ同色系となった。
様のものが得られ、その色調もほぼ同色系となった。
実施例６〜10 前記各実施例と同様の方法で行い、表１に示すように５
層積層多層膜の各膜厚を得て、実施例１で示した測定法
等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結果を
表１に示す。
層積層多層膜の各膜厚を得て、実施例１で示した測定法
等によって測定し、同様の評価手段で行い、その結果を
表１に示す。
得られた単板の断熱色ガラス板は、前述の各実施例と同
様のものが得られ、その色調もほぼ同色系となった。
様のものが得られ、その色調もほぼ同色系となった。
比較例１〜５ 前記各実施例と同様の方法によって行い、表１に示すよ
うに２〜４層の積層多層膜およびその各膜厚を得て、実
施例１で示した測定法等によって測定し、同様の評価手
段で行い、その結果を表１に示す。
うに２〜４層の積層多層膜およびその各膜厚を得て、実
施例１で示した測定法等によって測定し、同様の評価手
段で行い、その結果を表１に示す。
得られた断熱色ガラスは、それぞれ実施例の単板の断熱
色ガラス板に比して耐摩耗性、耐薬品性等に劣り、単板
では車両用断熱色ガラスとしてはもちろん採用が困難で
あり、建築用としても必ずしも優れた特性を有するもの
とは言い難いものであって採用し難いものであった。
色ガラス板に比して耐摩耗性、耐薬品性等に劣り、単板
では車両用断熱色ガラスとしてはもちろん採用が困難で
あり、建築用としても必ずしも優れた特性を有するもの
とは言い難いものであって採用し難いものであった。
［発明の効果］ 以上前述したように、本発明は透明ガラス基板にスパッ
タ法で、特定の薄膜を特定の膜厚でガラス表面上側と最
外表面側に設け、少なくともSUSあるいはSUSNx膜ならび
にTiNx膜、さらにTiOx膜を適宜それぞれ組み合わせて積
層被覆したものとしたことによって、比較的低い可視光
透過率であって、断熱性能を有し、耐摩耗性、耐食性な
らびに耐候耐久性に優れ、ガラス面から見てシルバー色
系の色調となり、複層あるいは合せガラスはもちろん単
板で車両用としても使用できる居住性のよい効果的で有
用な単板の断熱ガラス板およびその色ガラスを効率よく
提供できるものである。
タ法で、特定の薄膜を特定の膜厚でガラス表面上側と最
外表面側に設け、少なくともSUSあるいはSUSNx膜ならび
にTiNx膜、さらにTiOx膜を適宜それぞれ組み合わせて積
層被覆したものとしたことによって、比較的低い可視光
透過率であって、断熱性能を有し、耐摩耗性、耐食性な
らびに耐候耐久性に優れ、ガラス面から見てシルバー色
系の色調となり、複層あるいは合せガラスはもちろん単
板で車両用としても使用できる居住性のよい効果的で有
用な単板の断熱ガラス板およびその色ガラスを効率よく
提供できるものである。
Claims (4)
- 【請求項１】透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より
第１層および第５層として膜厚がそれぞれ100〜1000Å
のSiOx（１＜ｘ≦２）またはAl・SiOx（２＜ｘ≦7/2）
膜、第２層として膜厚が50〜100ÅのSUSあるいはSUSNx
（０＜ｘ≦１）膜、第３層として膜厚が200〜400ÅのTi
Nx（０＜ｘ≦１）膜、第４層として０＜膜厚≦200Åで
あるTiOx（０＜ｘ≦２）膜の各スパッタ膜を積層被覆し
て成ることを特徴とする単板の断熱ガラス板。 - 【請求項２】透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より
第１層として膜厚が100〜300ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）ま
たはAl・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜、第２層として膜厚が5
0〜100ÅのSUSあるいはSUSNx（０＜ｘ≦１）膜、第３層
として膜厚が200〜400ÅのTiNx（０＜ｘ≦１）膜、第４
層として０＜膜厚≦200ÅであるTiOx（０＜ｘ≦２）
膜、第５層として膜厚が300〜500ÅのSiOx（１＜ｘ≦
２）またはAl・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜の各スパッタ膜
を積層被覆して成り、ガラス面側から見た反射色調がシ
ルバー色系であることを特徴とする請求項１記載の単板
の断熱色ガラス板。 - 【請求項３】透明ガラス基板の一表面に、ガラス面より
第１層として膜厚が100〜300ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）ま
たはAl・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜、第２層として膜厚が5
0〜100ÅのSUSあるいはSUSNx（０＜ｘ≦１）膜、第３層
として膜厚が200〜400ÅのTiNx（０＜ｘ≦１）膜、第４
層として膜厚が300〜500ÅのSiOx（１＜ｘ≦２）または
Al・SiOx（２＜ｘ≦7/2）膜の各スパッタ膜を積層被覆
して成り、ガラス面側から見た反射色調がシルバー色系
であることを特徴とする単板の断熱色ガラス板。 - 【請求項４】前記した単板の断熱ガラス板ならびに単板
の断熱色ガラス板において、CS-10Fによる摩耗輪を用い
たテーバー試験にて、1000回回転後のヘーズ値の変化量
が試験前に比し５％以内であることを特徴とする請求項
１ならびに請求項２および３記載の単板の断熱ガラス板
ならびに単板の断熱色ガラス板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33916789A JPH064498B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 単板の断熱ガラス板およびその色ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33916789A JPH064498B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 単板の断熱ガラス板およびその色ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03199139A JPH03199139A (ja) | 1991-08-30 |
| JPH064498B2 true JPH064498B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=18324876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33916789A Expired - Lifetime JPH064498B2 (ja) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | 単板の断熱ガラス板およびその色ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH064498B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114933422B (zh) * | 2022-05-17 | 2024-05-24 | 长兴旗滨节能玻璃有限公司 | 减反射镀膜玻璃及其制备方法 |
-
1989
- 1989-12-27 JP JP33916789A patent/JPH064498B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03199139A (ja) | 1991-08-30 |
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