JPH0645382A - 樹脂成形金型 - Google Patents
樹脂成形金型Info
- Publication number
- JPH0645382A JPH0645382A JP19735792A JP19735792A JPH0645382A JP H0645382 A JPH0645382 A JP H0645382A JP 19735792 A JP19735792 A JP 19735792A JP 19735792 A JP19735792 A JP 19735792A JP H0645382 A JPH0645382 A JP H0645382A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- molding
- resin
- cavity
- runner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/17—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C45/26—Moulds
- B29C45/37—Mould cavity walls, i.e. the inner surface forming the mould cavity, e.g. linings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 金型寿命が長く、成形歩留がより向上する等
した樹脂成形金型を提供する。 【構成】 上金型2及び下金型3の熱硬化性合成樹脂と
接触するキャビティ4及びランナ5の表面に窒化チタン
膜8を被着して構成され、これによって樹脂成形金型1
の表面硬度が高いものとなり成形時の衝撃力等に対する
強度が増して金型寿命が延び、また離型性もより向上し
たものとなって成形品の離型時に生じる変形や割れが低
減し成形歩留が向上すると共に、金型に樹脂かすが付着
し難くなり金型の清掃の頻度が少なくなる。さらに被着
した窒化チタン膜8の膜厚のばらつきが少なく、金型寸
法の精度が向上して余分な作業を必要としなくなる。
した樹脂成形金型を提供する。 【構成】 上金型2及び下金型3の熱硬化性合成樹脂と
接触するキャビティ4及びランナ5の表面に窒化チタン
膜8を被着して構成され、これによって樹脂成形金型1
の表面硬度が高いものとなり成形時の衝撃力等に対する
強度が増して金型寿命が延び、また離型性もより向上し
たものとなって成形品の離型時に生じる変形や割れが低
減し成形歩留が向上すると共に、金型に樹脂かすが付着
し難くなり金型の清掃の頻度が少なくなる。さらに被着
した窒化チタン膜8の膜厚のばらつきが少なく、金型寸
法の精度が向上して余分な作業を必要としなくなる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置のパッケー
ジを熱硬化性合成樹脂を用いて形成する際に使用する樹
脂成形金型に関する。
ジを熱硬化性合成樹脂を用いて形成する際に使用する樹
脂成形金型に関する。
【0002】
【従来の技術】周知の通り、半導体装置には、リードフ
レームに搭載された半導体チップをエポキシ系の熱硬化
性合成樹脂で樹脂封止するようにしてパッケージを形成
したものがある。
レームに搭載された半導体チップをエポキシ系の熱硬化
性合成樹脂で樹脂封止するようにしてパッケージを形成
したものがある。
【0003】従来、このような熱硬化性合成樹脂を成形
して行う樹脂封止は、トランスファモールドによって行
われる。また使用する成形金型は、合成樹脂が流動する
ランナ及び所定のパッケージ形状に成形するキャビティ
の表面が平滑に仕上げられ、さらに平滑に仕上げられた
表面に硬質クロムめっきが2〜5μmの厚さで施されて
いる。
して行う樹脂封止は、トランスファモールドによって行
われる。また使用する成形金型は、合成樹脂が流動する
ランナ及び所定のパッケージ形状に成形するキャビティ
の表面が平滑に仕上げられ、さらに平滑に仕上げられた
表面に硬質クロムめっきが2〜5μmの厚さで施されて
いる。
【0004】しかしながら上記の従来技術においては、
合成樹脂と接触する金型表面に硬質クロムめっきを施
し、めっき膜によって表面の硬度を高めると共に、防錆
や成形品の離型性をよくしているが、このような樹脂成
形金型には、継続してより多数の成形加工ができるよう
表面硬度を高くして金型寿命を延ばし、また離型性もよ
り向上させて成形品の離型時に生じる変形や割れをなく
し成形歩留を向上させ、さらに金型への樹脂かすの付着
を少なくし金型の清掃の頻度を少なくすることが求めら
れている。
合成樹脂と接触する金型表面に硬質クロムめっきを施
し、めっき膜によって表面の硬度を高めると共に、防錆
や成形品の離型性をよくしているが、このような樹脂成
形金型には、継続してより多数の成形加工ができるよう
表面硬度を高くして金型寿命を延ばし、また離型性もよ
り向上させて成形品の離型時に生じる変形や割れをなく
し成形歩留を向上させ、さらに金型への樹脂かすの付着
を少なくし金型の清掃の頻度を少なくすることが求めら
れている。
【0005】一方、硬質クロムめっきは膜厚を比較的薄
くできるものの、膜厚のばらつきの範囲が場合によって
は5μm以上と大きくなってしまったり、また、例えば
縦150mm、横200mmの範囲に膜厚5μmの硬質
クロムめっきを行おうとしたところ、めっき膜の膜厚が
7〜10μmとなり、膜厚のばらつき範囲は3μm程度
であったものの膜厚の平均値を所定の5μmとすること
ができず、所定の膜厚を得ることが困難である。
くできるものの、膜厚のばらつきの範囲が場合によって
は5μm以上と大きくなってしまったり、また、例えば
縦150mm、横200mmの範囲に膜厚5μmの硬質
クロムめっきを行おうとしたところ、めっき膜の膜厚が
7〜10μmとなり、膜厚のばらつき範囲は3μm程度
であったものの膜厚の平均値を所定の5μmとすること
ができず、所定の膜厚を得ることが困難である。
【0006】このため集積度が高く、狭ピッチで多数の
アウターリードを持つ半導体装置等の小型のパッケージ
で、外観上見苦しくならないよう精度を要する成形を行
う成形金型では、めっきを行った後にその金型の主体部
分や組み付けられる組み合わせ部品の寸法を測定する。
そして、成形金型として組み上げた時に各部が所定寸法
となり隙間ができないように、組み合わせ部品の選別や
選択組み立てなどの調整・組み立て等の余分な作業を行
わなければならず、金型寸法の精度を向上させることも
求められている。
アウターリードを持つ半導体装置等の小型のパッケージ
で、外観上見苦しくならないよう精度を要する成形を行
う成形金型では、めっきを行った後にその金型の主体部
分や組み付けられる組み合わせ部品の寸法を測定する。
そして、成形金型として組み上げた時に各部が所定寸法
となり隙間ができないように、組み合わせ部品の選別や
選択組み立てなどの調整・組み立て等の余分な作業を行
わなければならず、金型寸法の精度を向上させることも
求められている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記のように従来は金
型表面に硬質クロムめっきを行い表面硬度を高め、離型
性をよくするようにしているが、さらに金型寿命が長
く、離型性がより向上することによって成形の歩留が向
上すること、及び金型寸法に高い精度を要する場合でも
余分な作業を必要としないことが求められている。この
ような状況に鑑みて本発明はなされたもので、その目的
とするところは金型寿命が長く、成形歩留がより向上す
ると共に高い金型寸法精度を要する場合でも余分な作業
を必要としない樹脂成形金型を提供することにある。
型表面に硬質クロムめっきを行い表面硬度を高め、離型
性をよくするようにしているが、さらに金型寿命が長
く、離型性がより向上することによって成形の歩留が向
上すること、及び金型寸法に高い精度を要する場合でも
余分な作業を必要としないことが求められている。この
ような状況に鑑みて本発明はなされたもので、その目的
とするところは金型寿命が長く、成形歩留がより向上す
ると共に高い金型寸法精度を要する場合でも余分な作業
を必要としない樹脂成形金型を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の樹脂成形金型
は、ランナを介してキャビティ内に熱硬化性合成樹脂を
導入して成形を行う樹脂成形金型において、熱硬化性合
成樹脂と接触するキャビティ及びランナの表面にチタン
化合物膜が被着されていることを特徴とするものであ
り、チタン化合物膜が窒化チタンであることを特徴とす
るものである。
は、ランナを介してキャビティ内に熱硬化性合成樹脂を
導入して成形を行う樹脂成形金型において、熱硬化性合
成樹脂と接触するキャビティ及びランナの表面にチタン
化合物膜が被着されていることを特徴とするものであ
り、チタン化合物膜が窒化チタンであることを特徴とす
るものである。
【0009】
【作用】上記のように構成された樹脂成形金型は、熱硬
化性合成樹脂と接触するキャビティ及びランナの表面に
窒化チタン等のチタン化合物膜を被着しており、これに
よって金型の表面硬度が高いものとなり成形時の樹脂流
動による磨耗等に対する強度が増して金型寿命が延び、
また離型性もより向上したものとなって成形品の離型時
に生じる変形や割れが低減し成形歩留が向上すると共
に、金型に樹脂かすが付着し難くなり金型の清掃の頻度
が少なくなる。さらに被着したチタン化合物膜の膜厚の
ばらつきが少なく、金型寸法の精度が向上して余分な作
業を必要としなくなる。
化性合成樹脂と接触するキャビティ及びランナの表面に
窒化チタン等のチタン化合物膜を被着しており、これに
よって金型の表面硬度が高いものとなり成形時の樹脂流
動による磨耗等に対する強度が増して金型寿命が延び、
また離型性もより向上したものとなって成形品の離型時
に生じる変形や割れが低減し成形歩留が向上すると共
に、金型に樹脂かすが付着し難くなり金型の清掃の頻度
が少なくなる。さらに被着したチタン化合物膜の膜厚の
ばらつきが少なく、金型寸法の精度が向上して余分な作
業を必要としなくなる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1乃至図5を参
照して説明する。図1は部分断面図であり、図2は下金
型の要部平面図であり、図3は図2の一部を拡大して示
す斜視図であり、図4は成形状態を説明するための斜視
図であり、図5は成形品の斜視図である。
照して説明する。図1は部分断面図であり、図2は下金
型の要部平面図であり、図3は図2の一部を拡大して示
す斜視図であり、図4は成形状態を説明するための斜視
図であり、図5は成形品の斜視図である。
【0011】図1乃至図3において、樹脂成形金型1
は、上金型2と下金型3によって構成された上下方向に
分割される割り型で、両金型2,3にはそれぞれ成形品
の所定形状に合わせた略方形の複数のキャビティ4が削
設されている。また両金型2,3には、樹脂成形金型1
外からキャビティ4の成形を行う熱硬化性合成樹脂を導
入するランナ5が削設されている。
は、上金型2と下金型3によって構成された上下方向に
分割される割り型で、両金型2,3にはそれぞれ成形品
の所定形状に合わせた略方形の複数のキャビティ4が削
設されている。また両金型2,3には、樹脂成形金型1
外からキャビティ4の成形を行う熱硬化性合成樹脂を導
入するランナ5が削設されている。
【0012】ランナ5は、外から樹脂成形金型1内に熱
硬化性合成樹脂を導入する主ランナ部6と、この主ラン
ナ部6から各キャビティ4に熱硬化性合成樹脂を送り込
む分岐ランナ部7で構成され、分岐ランナ部7の片端が
キャビティ4の角部に接続しキャビティ4内に開口して
いる。なお4aは空気抜きであり、7aはゲートであ
る。そしてランナ5の形状や各キャビティ4への接続位
置等はキャビティ4内の熱硬化性合成樹脂の流れや硬化
状況等によって適宜決定される。
硬化性合成樹脂を導入する主ランナ部6と、この主ラン
ナ部6から各キャビティ4に熱硬化性合成樹脂を送り込
む分岐ランナ部7で構成され、分岐ランナ部7の片端が
キャビティ4の角部に接続しキャビティ4内に開口して
いる。なお4aは空気抜きであり、7aはゲートであ
る。そしてランナ5の形状や各キャビティ4への接続位
置等はキャビティ4内の熱硬化性合成樹脂の流れや硬化
状況等によって適宜決定される。
【0013】また、樹脂成形の際に熱硬化性合成樹脂が
直接接触するキャビティ4とランナ5の表面には、膜厚
が3μmの窒化チタン(TiN)膜8が均一に被着され
ている。なお2点鎖線で示した9は、成形加工時に樹脂
成形金型1の上金型2と下金型3の間に装着されるリー
ドフレームを示す。
直接接触するキャビティ4とランナ5の表面には、膜厚
が3μmの窒化チタン(TiN)膜8が均一に被着され
ている。なお2点鎖線で示した9は、成形加工時に樹脂
成形金型1の上金型2と下金型3の間に装着されるリー
ドフレームを示す。
【0014】そして、樹脂成形金型1の製作は、上金型
2と下金型3の母材となる高速度鋼等の金属ブロックの
それぞれに所定形状のキャビティ4やランナ5を構成す
る凹部を削設し、またキャビティ4やランナ5に取着さ
れる組み合わせ部品等を製作した後、それぞれ成形品の
表面にその形状が反映されるキャビティ4の表面や、ま
たランナ5の表面が平滑に仕上げられる。
2と下金型3の母材となる高速度鋼等の金属ブロックの
それぞれに所定形状のキャビティ4やランナ5を構成す
る凹部を削設し、またキャビティ4やランナ5に取着さ
れる組み合わせ部品等を製作した後、それぞれ成形品の
表面にその形状が反映されるキャビティ4の表面や、ま
たランナ5の表面が平滑に仕上げられる。
【0015】平滑に仕上げられたキャビティ4とランナ
5の表面に、それぞれ窒化チタン膜8が公知のイオンプ
レーティング法により膜厚が3μm〜6μm程度の範囲
で所定の値となるよう処理条件を設定して被着される。
因みに被着された窒化チタン膜8の膜厚が3μmの場
合、その膜厚のばらつきは0.3μm程度で膜厚の10
%以下の非常に小さいものになっている。
5の表面に、それぞれ窒化チタン膜8が公知のイオンプ
レーティング法により膜厚が3μm〜6μm程度の範囲
で所定の値となるよう処理条件を設定して被着される。
因みに被着された窒化チタン膜8の膜厚が3μmの場
合、その膜厚のばらつきは0.3μm程度で膜厚の10
%以下の非常に小さいものになっている。
【0016】このようにして窒化チタン膜8が被着され
た後、上金型2や下金型3が各組み合わせ部品を適宜組
み合わせることによって樹脂成形金型1は完成される。
なお樹脂成形金型1には、図示しないガイドピンやノッ
クピン、あるいは金型温度を所定の値に維持するヒータ
等が取り付けられる。
た後、上金型2や下金型3が各組み合わせ部品を適宜組
み合わせることによって樹脂成形金型1は完成される。
なお樹脂成形金型1には、図示しないガイドピンやノッ
クピン、あるいは金型温度を所定の値に維持するヒータ
等が取り付けられる。
【0017】そして、このように構成された樹脂成形金
型1を用いての成形は次ぎのようにして行われる。すな
わち、樹脂成形金型1は図示しない成形機に取り付けら
れ、トランスファーモールドが行われる。先ず初めに図
4に示すように樹脂成形金型1の上金型2と下金型3の
間に合成樹脂性のパッケージが形成されるリードフレー
ム9が配置される。
型1を用いての成形は次ぎのようにして行われる。すな
わち、樹脂成形金型1は図示しない成形機に取り付けら
れ、トランスファーモールドが行われる。先ず初めに図
4に示すように樹脂成形金型1の上金型2と下金型3の
間に合成樹脂性のパッケージが形成されるリードフレー
ム9が配置される。
【0018】リードフレーム9には、そのインナリード
10の先端にボンディングによって取着された半導体チ
ップ11が所定ピッチで取り付けられており、リードフ
レーム9を樹脂成形金型1に装着した際、半導体チップ
11がキャビティ4の略中央部に位置するようになって
いる。
10の先端にボンディングによって取着された半導体チ
ップ11が所定ピッチで取り付けられており、リードフ
レーム9を樹脂成形金型1に装着した際、半導体チップ
11がキャビティ4の略中央部に位置するようになって
いる。
【0019】次いで、上金型2と下金型3を閉じ樹脂成
形金型1にリードフレーム9を装着した後、ランナ5の
主ランナ部6を通じて樹脂成形金型1内にエポキシ系の
熱硬化性合成樹脂が導入される。導入された熱硬化性合
成樹脂は、主ランナ部6から各分岐ランナ部7を流動し
ゲート7aを介して各キャビティ4内に導入され、熱硬
化性合成樹脂がキャビティ4内に充填される。この時キ
ャビティ4内の空気は空気抜き4aを通じて抜かれる。
形金型1にリードフレーム9を装着した後、ランナ5の
主ランナ部6を通じて樹脂成形金型1内にエポキシ系の
熱硬化性合成樹脂が導入される。導入された熱硬化性合
成樹脂は、主ランナ部6から各分岐ランナ部7を流動し
ゲート7aを介して各キャビティ4内に導入され、熱硬
化性合成樹脂がキャビティ4内に充填される。この時キ
ャビティ4内の空気は空気抜き4aを通じて抜かれる。
【0020】そして、キャビティ4及びランナ5内の熱
硬化性合成樹脂を所定時間加熱加圧して硬化成形させ
る。その後、上金型2と下金型3を開きリードフレーム
9を樹脂成形金型1から取り外す。取り外したリードフ
レーム9からランナ5内で硬化した樹脂を除去し、図5
に示すようなキャビティ4の形状に習って形成されたパ
ッケージ12によって半導体チップ11が樹脂封止され
たリードフレーム9を得る。
硬化性合成樹脂を所定時間加熱加圧して硬化成形させ
る。その後、上金型2と下金型3を開きリードフレーム
9を樹脂成形金型1から取り外す。取り外したリードフ
レーム9からランナ5内で硬化した樹脂を除去し、図5
に示すようなキャビティ4の形状に習って形成されたパ
ッケージ12によって半導体チップ11が樹脂封止され
たリードフレーム9を得る。
【0021】このように構成された本実施例では、樹脂
成形金型1の熱硬化性合成樹脂と直接接触するキャビテ
ィ4とランナ5の表面に、比較的薄くて膜厚のばらつき
が非常に少ない窒化チタン膜8が被着されているので、
寸法精度を要する成形においても金型の再調整・再組み
立て等の余分な作業を行う必要がない。そして成形され
たパッケージ12の外観不良の発生を防止することがで
きる。
成形金型1の熱硬化性合成樹脂と直接接触するキャビテ
ィ4とランナ5の表面に、比較的薄くて膜厚のばらつき
が非常に少ない窒化チタン膜8が被着されているので、
寸法精度を要する成形においても金型の再調整・再組み
立て等の余分な作業を行う必要がない。そして成形され
たパッケージ12の外観不良の発生を防止することがで
きる。
【0022】また、キャビティ4やランナ5の表面は、
硬度がヴィッカース硬さ(Hv)で2000Kg/mm
2 以上の硬い窒化チタン膜8を有し、従来の硬質クロム
めっき膜のヴィッカース硬さ(Hv)で800Kg/m
m2 〜1100Kg/mm2より硬いため、1つの金型
での成形できる成形品の個数を増加させることができ、
金型寿命を延ばすことができる。
硬度がヴィッカース硬さ(Hv)で2000Kg/mm
2 以上の硬い窒化チタン膜8を有し、従来の硬質クロム
めっき膜のヴィッカース硬さ(Hv)で800Kg/m
m2 〜1100Kg/mm2より硬いため、1つの金型
での成形できる成形品の個数を増加させることができ、
金型寿命を延ばすことができる。
【0023】さらに、キャビティ4で成形されたパッケ
ージ12や、ランナ5で硬化した不要部材の離型性もよ
り向上したものとなり、パッケージ12に変形や割れを
生じず、成形歩留が向上する。そして樹脂成形金型1へ
の樹脂かすの付着がを少なくなり、金型の清掃の頻度を
少なくなって成形作業の能率が向上する。
ージ12や、ランナ5で硬化した不要部材の離型性もよ
り向上したものとなり、パッケージ12に変形や割れを
生じず、成形歩留が向上する。そして樹脂成形金型1へ
の樹脂かすの付着がを少なくなり、金型の清掃の頻度を
少なくなって成形作業の能率が向上する。
【0024】尚、上記の実施例においては樹脂成形金型
1の熱硬化性合成樹脂と接触するキャビティ4とランナ
5の表面に窒化チタン膜8を被着したが、炭化チタン
(TiC)膜等他のチタン化合物膜を被着してもよく、
その他要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して本発明は
実施し得るものである。
1の熱硬化性合成樹脂と接触するキャビティ4とランナ
5の表面に窒化チタン膜8を被着したが、炭化チタン
(TiC)膜等他のチタン化合物膜を被着してもよく、
その他要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して本発明は
実施し得るものである。
【0025】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、熱硬化性合成樹脂と接触するキャビティ及びランナ
の表面にチタン化合物膜を被着した構成とすることによ
り、金型寿命が長く、成形歩留がより向上すると共に高
い金型寸法精度を要する場合でも余分な作業を必要とし
ない等の効果を奏する。
は、熱硬化性合成樹脂と接触するキャビティ及びランナ
の表面にチタン化合物膜を被着した構成とすることによ
り、金型寿命が長く、成形歩留がより向上すると共に高
い金型寸法精度を要する場合でも余分な作業を必要とし
ない等の効果を奏する。
【図1】本発明の一実施例を示す部分断面図である。
【図2】同上における下金型を示す要部平面図である。
【図3】図2の一部を拡大して示す斜視図である。
【図4】本発明の一実施例による成形状態を説明するた
めに示す斜視図である。
めに示す斜視図である。
【図5】同上における成形品の斜視図である。
1…樹脂成形金型 2…上金型 3…下金型 4…キャビティ 5…ランナ 8…窒化チタン膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B29L 31:34 4F
Claims (2)
- 【請求項1】 ランナを介してキャビティ内に熱硬化性
合成樹脂を導入して成形を行う樹脂成形金型において、
前記熱硬化性合成樹脂と接触する前記キャビティ及びラ
ンナの表面にチタン化合物膜が被着されていることを特
徴とする樹脂成形金型。 - 【請求項2】 チタン化合物膜が窒化チタンであること
を特徴とする請求項1記載の樹脂成形金型。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19735792A JPH0645382A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 樹脂成形金型 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19735792A JPH0645382A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 樹脂成形金型 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645382A true JPH0645382A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=16373143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19735792A Pending JPH0645382A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 樹脂成形金型 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645382A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10176258A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-06-30 | Tokai Rubber Ind Ltd | ゴム及び/または樹脂剥離性表面を有する鋼鉄製品及びその製造方法 |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP19735792A patent/JPH0645382A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10176258A (ja) * | 1996-12-17 | 1998-06-30 | Tokai Rubber Ind Ltd | ゴム及び/または樹脂剥離性表面を有する鋼鉄製品及びその製造方法 |
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