JPH0645406A - フィルム露光装置 - Google Patents
フィルム露光装置Info
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- JPH0645406A JPH0645406A JP21569392A JP21569392A JPH0645406A JP H0645406 A JPH0645406 A JP H0645406A JP 21569392 A JP21569392 A JP 21569392A JP 21569392 A JP21569392 A JP 21569392A JP H0645406 A JPH0645406 A JP H0645406A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】フィルムにアライメントホールを穿孔する機構
を露光装置に持たせ、１つの装置でアライメントホール
を穿孔して、その後、位置合わせを行い、そして回路パ
ターンを露光できるようにする。 【構成】長尺フィルムＦを送りローラ６１でステップ送
りさせ、アライメント穿孔機構７０でアライメントホー
ルを穿孔する。そして、露光ステージ３０において、レ
チクルＲと位置合わせを行った後に、回路パターンを露
光する。
を露光装置に持たせ、１つの装置でアライメントホール
を穿孔して、その後、位置合わせを行い、そして回路パ
ターンを露光できるようにする。 【構成】長尺フィルムＦを送りローラ６１でステップ送
りさせ、アライメント穿孔機構７０でアライメントホー
ルを穿孔する。そして、露光ステージ３０において、レ
チクルＲと位置合わせを行った後に、回路パターンを露
光する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はフィルム露光装置に関
する。
する。
【０００２】
【従来技術】例えばＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔ
ｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式の電子部品の実装に使われ
るフィルム回路基板の制作には、フィルム露光装置が使
われる。物体の表面を微細加工する技術として、フォト
リソグラフィの技術が知られている。この技術は、半導
体集積回路のほか、最近ではＴＡＢ方式の電子部品の実
装に使われるフィルム回路基板の制作にも応用されてい
る。フォトリソグラフィには、レチクルパターン転写の
ための露光工程があり、この露光工程ではレチクルを内
蔵した投影露光装置が使われる。
ｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式の電子部品の実装に使われ
るフィルム回路基板の制作には、フィルム露光装置が使
われる。物体の表面を微細加工する技術として、フォト
リソグラフィの技術が知られている。この技術は、半導
体集積回路のほか、最近ではＴＡＢ方式の電子部品の実
装に使われるフィルム回路基板の制作にも応用されてい
る。フォトリソグラフィには、レチクルパターン転写の
ための露光工程があり、この露光工程ではレチクルを内
蔵した投影露光装置が使われる。
【０００３】しかして、転写される回路パターンに位置
ずれが生じると、回路基板の場合は実装ミスとなる。こ
のため、搬送されるフィルムの正しい位置に、レチクル
パターンの投影像が露光されるように位置合わせする必
要がある。この位置合わせの精度は、例えば、±１０μ
ｍ以内であることが要求されている。
ずれが生じると、回路基板の場合は実装ミスとなる。こ
のため、搬送されるフィルムの正しい位置に、レチクル
パターンの投影像が露光されるように位置合わせする必
要がある。この位置合わせの精度は、例えば、±１０μ
ｍ以内であることが要求されている。
【０００４】この位置合わせは、従来、以下のような方
法がとられていた。フィルムの１コマには、アライメン
ト（位置合わせ）用の穴（ホール）が設けられ、レチク
ルにも、このアライメントホールに対応するように、レ
チクル側アライメントマークを有する。そして、フィル
ムの１コマが搬送されると、レチクルをフィルムと水平
な方向に移動させて、両方のアライメントマーク及びホ
ールの位置関係を検知して、その後、レチクルを正しい
位置まで動かしていた。この技術は、例えば、特開平３
─２８９６６２号に記載されている。
法がとられていた。フィルムの１コマには、アライメン
ト（位置合わせ）用の穴（ホール）が設けられ、レチク
ルにも、このアライメントホールに対応するように、レ
チクル側アライメントマークを有する。そして、フィル
ムの１コマが搬送されると、レチクルをフィルムと水平
な方向に移動させて、両方のアライメントマーク及びホ
ールの位置関係を検知して、その後、レチクルを正しい
位置まで動かしていた。この技術は、例えば、特開平３
─２８９６６２号に記載されている。
【０００５】フィルムにアライメントホールを作るため
には、露光工程より前に、専用の穿孔工程が必要とな
る。この穿孔工程は、露光装置とは別に専用の装置で行
っているため、作業が煩雑で時間もかかるという問題が
ある。特に、最近はフィルムが薄くなり、穿孔が難しく
なりつつある。
には、露光工程より前に、専用の穿孔工程が必要とな
る。この穿孔工程は、露光装置とは別に専用の装置で行
っているため、作業が煩雑で時間もかかるという問題が
ある。特に、最近はフィルムが薄くなり、穿孔が難しく
なりつつある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】この発明が解決しよう
とする課題は、フィルムとレチクルの位置合わせに必要
なフィルム側アライメント用ホールを、簡単に穿孔する
ことができる機構を具えたフィルム露光装置を提供する
ことにある。
とする課題は、フィルムとレチクルの位置合わせに必要
なフィルム側アライメント用ホールを、簡単に穿孔する
ことができる機構を具えたフィルム露光装置を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】課題を解決するために、
この発明のフィルム露光装置は、レチクルパターンを露
光ステージ上に配置した長尺フィルムに露光するに際
し、レチクル上のアライメントマークの投影像がフィル
ム上のアライメントホールに一致するようにレチクル、
又はフィルムを吸着保持する露光ステージを、移動させ
る機能を持ち、前記露光ステージには、アライメントホ
ール穿孔機構を有し、このアライメントホール穿孔機構
におけるフィルムの搬送及び位置決め機構は、レジスト
パターンの露光におけるフィルムの搬送及び位置決め機
構と同じものであることを特徴とする。さらに好ましく
は、アライメントホールを穿孔した時に発生する切り屑
を真空引きにより排除する機構を有することを特徴とす
る。さらに好ましくは、アライメントマークの投影像を
フィルム上の前記アライメントホールに一致させる動作
中に、前記アライメントホール穿孔機構によって、前記
フィルムに前記アライメントホールを穿孔することを特
徴とする。さらに好ましくは、アライメントホール穿孔
機構には、確実に穿孔させるため穿孔時のみポンチと連
動するフィルム押えを有することを特徴とする。
この発明のフィルム露光装置は、レチクルパターンを露
光ステージ上に配置した長尺フィルムに露光するに際
し、レチクル上のアライメントマークの投影像がフィル
ム上のアライメントホールに一致するようにレチクル、
又はフィルムを吸着保持する露光ステージを、移動させ
る機能を持ち、前記露光ステージには、アライメントホ
ール穿孔機構を有し、このアライメントホール穿孔機構
におけるフィルムの搬送及び位置決め機構は、レジスト
パターンの露光におけるフィルムの搬送及び位置決め機
構と同じものであることを特徴とする。さらに好ましく
は、アライメントホールを穿孔した時に発生する切り屑
を真空引きにより排除する機構を有することを特徴とす
る。さらに好ましくは、アライメントマークの投影像を
フィルム上の前記アライメントホールに一致させる動作
中に、前記アライメントホール穿孔機構によって、前記
フィルムに前記アライメントホールを穿孔することを特
徴とする。さらに好ましくは、アライメントホール穿孔
機構には、確実に穿孔させるため穿孔時のみポンチと連
動するフィルム押えを有することを特徴とする。
【０００８】
【作用】このような構成のフィルム露光装置では、フィ
ルムを搬送させながらアライメントホールを穿孔して、
その１コマを露光位置まで搬送させて、このアライメン
トホールを使ってフィルムとレチクルの位置合わせを行
い、その後レチクルパターンを露光することができる。
ルムを搬送させながらアライメントホールを穿孔して、
その１コマを露光位置まで搬送させて、このアライメン
トホールを使ってフィルムとレチクルの位置合わせを行
い、その後レチクルパターンを露光することができる。
【０００９】
【実施例】図１は、この発明の一実施例に係るフィルム
露光装置の説明図である。この装置は、長尺のフィルム
Ｆの長さ方向に沿って順次にレチクルＲの回路パターを
露光していくものである。１０は照射部であり、超高圧
水銀ランプのようなレジストが感度を有する光を効率良
く放射するランプ１１を内蔵している。照射部１０は、
レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感
度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィル
タを内蔵している。Ｒは、レチクルであり、照射部１０
からの光が照射される位置に配置されている。このレチ
クルＲには、図２に示すように、フィルムＦに投影して
転写すべき回路パターンＲＰとともに、後述するフィル
ム側アライメントマークＦＭに対応してレチクル側アラ
イメントマークＲＭが形成されている。レチクル側マー
クＲＭは、方形状の不透明部分に十文字の透明部分を構
成している。長尺フィルムＦには、図３に示すように１
コマＦ１０に対応して２つのフィルム側マークＦＭが形
成されている、この例では、フィルム側マークＦＭが丸
型の穴によって構成されている。ＲＭ’はレチクル側マ
ークの投影像であり、このレチクル側マークの像ＲＭ’
は、後述するレチクルＲの移動動作によりフィルムＦの
上面を走査される。Ｍ１０はレチクルの位置調整機構で
あり、後述するシステムコントローラ５０からの信号に
制御される。２０は、投影レンズであり、照射されたレ
チクルＲの像を投影するものである。３０は露光ステー
ジであり、図示略であるが、フィルムを一様に吸着でき
る多数の吸着孔を有する。吸着孔を有する部分は、幅が
フィルムの幅（短手方向）以上はあり、長さは回路パタ
ーンを露光する領域と、次に露光する１コマ分の領域は
必要である。４０は検出部である。図示略であるが、露
光ステージ３０にアライメント用のセンサーホールが埋
設され、この中に、対物レンズや集光レンズや検出器と
してのホトセンサ等がある。５０はシステムコントロー
ラである。６０はフィルム送り機構である。投影レンズ
２０による像の投影位置に、フィルムＦの１コマをステ
ップ送りする。送りローラ６１は、システムコントロー
ラからの信号でモータによって駆動される。フィルムＦ
は露光ステージ３０の上面（吸着面）とほぼ同一の高さ
で搬送され、露光位置の後方に送りローラ６１と、露光
位置より前方で、かつ後述するアライメント穿孔機構７
０よりも前方にブレーキローラ６３を有する。それぞれ
のローラには、フィルムとローラ間に摩擦力を付与する
押えローラ６２、６３を有する。
露光装置の説明図である。この装置は、長尺のフィルム
Ｆの長さ方向に沿って順次にレチクルＲの回路パターを
露光していくものである。１０は照射部であり、超高圧
水銀ランプのようなレジストが感度を有する光を効率良
く放射するランプ１１を内蔵している。照射部１０は、
レジストが感度を有する露光波長の光と、レジストが感
度を有しないアライメント波長の光を切り換えるフィル
タを内蔵している。Ｒは、レチクルであり、照射部１０
からの光が照射される位置に配置されている。このレチ
クルＲには、図２に示すように、フィルムＦに投影して
転写すべき回路パターンＲＰとともに、後述するフィル
ム側アライメントマークＦＭに対応してレチクル側アラ
イメントマークＲＭが形成されている。レチクル側マー
クＲＭは、方形状の不透明部分に十文字の透明部分を構
成している。長尺フィルムＦには、図３に示すように１
コマＦ１０に対応して２つのフィルム側マークＦＭが形
成されている、この例では、フィルム側マークＦＭが丸
型の穴によって構成されている。ＲＭ’はレチクル側マ
ークの投影像であり、このレチクル側マークの像ＲＭ’
は、後述するレチクルＲの移動動作によりフィルムＦの
上面を走査される。Ｍ１０はレチクルの位置調整機構で
あり、後述するシステムコントローラ５０からの信号に
制御される。２０は、投影レンズであり、照射されたレ
チクルＲの像を投影するものである。３０は露光ステー
ジであり、図示略であるが、フィルムを一様に吸着でき
る多数の吸着孔を有する。吸着孔を有する部分は、幅が
フィルムの幅（短手方向）以上はあり、長さは回路パタ
ーンを露光する領域と、次に露光する１コマ分の領域は
必要である。４０は検出部である。図示略であるが、露
光ステージ３０にアライメント用のセンサーホールが埋
設され、この中に、対物レンズや集光レンズや検出器と
してのホトセンサ等がある。５０はシステムコントロー
ラである。６０はフィルム送り機構である。投影レンズ
２０による像の投影位置に、フィルムＦの１コマをステ
ップ送りする。送りローラ６１は、システムコントロー
ラからの信号でモータによって駆動される。フィルムＦ
は露光ステージ３０の上面（吸着面）とほぼ同一の高さ
で搬送され、露光位置の後方に送りローラ６１と、露光
位置より前方で、かつ後述するアライメント穿孔機構７
０よりも前方にブレーキローラ６３を有する。それぞれ
のローラには、フィルムとローラ間に摩擦力を付与する
押えローラ６２、６３を有する。
【００１０】７０はアライメントホール穿孔機構を示
す。図４は、図１におけるＡ−Ａの断面図を示す。７１
は、システムコントローラ５０により駆動されるパンチ
ングアクチュエータであり、空圧シリンダーやモーター
による直動機構で構成される。７２は、パンチングアク
チュエータ７１が駆動すると 矢印Ｂの方向に動くパン
チングアームである。７３は、パンチングアーム７２に
接しており、同様に矢印Ｂの方向に動くポンチである。
このポンチ７３は収納箱７４に収納されている。この収
納箱７４の下面はフィルムＦを押さえるガイドを兼ねて
いる。露光ステージ３０にはダイス７５が埋設されてい
る。そして、ポンチ７３が矢印Ｂの方向に動くと、その
先端はダイス７５に挿入する。ダイス７５は、露光ステ
ージ３０に埋設されたアライメント用のセンサーホール
（図示略）より、フィルムの搬送ピッチだけ前方に、フ
ィルムの幅方向に一対に埋め込まれている。また、何種
類かの搬送ピッチを必要とする場合は、それらのピッチ
に位置に各々１対ずつびダイス７５を埋め込んでおき、
ポンチ７３及びポンチ７３を駆動するための機構が移動
できるようにすればよい。さらに、もっと多種類の搬送
ピッチを必要とする場合は、ポンチ７３とダイス７６を
一体化した穿孔機構を１つのユニットとして、アライメ
ントホールに対して正しい位置に設置かの可能にすれば
よい。７６は切り屑を真空引きする排気管である。７７
はパンチングアクチュエータ７１を支えるアクチュエー
タ支柱である。７８は切り屑貯めであり、この中にフィ
ルター７９を有する。このため、切り屑がステージに残
り、正常な露光ができなくなったり、また、その他の運
動機構でおいて正常動作ができなくなるということはな
い。排気管７６、切り屑貯め７８、フィルター７９によ
って、アライメントホールを穿孔した時に発生する切り
屑を排除する機構を構成する。
す。図４は、図１におけるＡ−Ａの断面図を示す。７１
は、システムコントローラ５０により駆動されるパンチ
ングアクチュエータであり、空圧シリンダーやモーター
による直動機構で構成される。７２は、パンチングアク
チュエータ７１が駆動すると 矢印Ｂの方向に動くパン
チングアームである。７３は、パンチングアーム７２に
接しており、同様に矢印Ｂの方向に動くポンチである。
このポンチ７３は収納箱７４に収納されている。この収
納箱７４の下面はフィルムＦを押さえるガイドを兼ねて
いる。露光ステージ３０にはダイス７５が埋設されてい
る。そして、ポンチ７３が矢印Ｂの方向に動くと、その
先端はダイス７５に挿入する。ダイス７５は、露光ステ
ージ３０に埋設されたアライメント用のセンサーホール
（図示略）より、フィルムの搬送ピッチだけ前方に、フ
ィルムの幅方向に一対に埋め込まれている。また、何種
類かの搬送ピッチを必要とする場合は、それらのピッチ
に位置に各々１対ずつびダイス７５を埋め込んでおき、
ポンチ７３及びポンチ７３を駆動するための機構が移動
できるようにすればよい。さらに、もっと多種類の搬送
ピッチを必要とする場合は、ポンチ７３とダイス７６を
一体化した穿孔機構を１つのユニットとして、アライメ
ントホールに対して正しい位置に設置かの可能にすれば
よい。７６は切り屑を真空引きする排気管である。７７
はパンチングアクチュエータ７１を支えるアクチュエー
タ支柱である。７８は切り屑貯めであり、この中にフィ
ルター７９を有する。このため、切り屑がステージに残
り、正常な露光ができなくなったり、また、その他の運
動機構でおいて正常動作ができなくなるということはな
い。排気管７６、切り屑貯め７８、フィルター７９によ
って、アライメントホールを穿孔した時に発生する切り
屑を排除する機構を構成する。
【００１１】図５は収納箱７４の内部を具体的に示した
図ある。同図（ａ）は、フィルム搬送時に、ポンチ７３
が引っ込んでいる状態を示している。同図（ｂ）は、ポ
ンチ７３がダイス７５に挿入され、フィルムに穿孔した
状態を示す図である。ポンチ７３が矢印Ｂのように動く
と、フィルム押え８０が連動する。８１、８２はスプリ
ングを示す。ポンチ７３は、フィルム押え８０及び収納
箱７４の上部と滑動自在にはめあい、矢印Ｂと反対の方
向にスプリング８１による力を受け、上限でストップし
ている。フィルム押え８０は収納箱７４の下部に滑動自
在にはめあい、スプリング８２によって、矢印Ｂと反対
方向に力を受け、上限でストップしている。スプリング
８１は、スプリング８２より強くなっており、フィルム
押さえ８０が下限に達しても、スプリング８２はたわま
ない程度とする。フィルム押え８０の下端面は、ポンチ
７３を取り囲む中空の円筒面であることが好ましいが、
回路パターンの露光領域を押さえないように、形状を変
形することも可能である。そのため、フィルム押え８０
が、ポンチ７３を軸として回転しないように、収納箱７
４の内面壁に打ち込んだピン８３が、フィルム押え８０
に設けられた溝穴に滑動自在にはめあっている。このよ
うにして、ポンチ７３によってフィルムを穿孔する時は
フィルム押え８０がその周囲を押さえるので、皺等が発
生することなく確実に行うことができる。
図ある。同図（ａ）は、フィルム搬送時に、ポンチ７３
が引っ込んでいる状態を示している。同図（ｂ）は、ポ
ンチ７３がダイス７５に挿入され、フィルムに穿孔した
状態を示す図である。ポンチ７３が矢印Ｂのように動く
と、フィルム押え８０が連動する。８１、８２はスプリ
ングを示す。ポンチ７３は、フィルム押え８０及び収納
箱７４の上部と滑動自在にはめあい、矢印Ｂと反対の方
向にスプリング８１による力を受け、上限でストップし
ている。フィルム押え８０は収納箱７４の下部に滑動自
在にはめあい、スプリング８２によって、矢印Ｂと反対
方向に力を受け、上限でストップしている。スプリング
８１は、スプリング８２より強くなっており、フィルム
押さえ８０が下限に達しても、スプリング８２はたわま
ない程度とする。フィルム押え８０の下端面は、ポンチ
７３を取り囲む中空の円筒面であることが好ましいが、
回路パターンの露光領域を押さえないように、形状を変
形することも可能である。そのため、フィルム押え８０
が、ポンチ７３を軸として回転しないように、収納箱７
４の内面壁に打ち込んだピン８３が、フィルム押え８０
に設けられた溝穴に滑動自在にはめあっている。このよ
うにして、ポンチ７３によってフィルムを穿孔する時は
フィルム押え８０がその周囲を押さえるので、皺等が発
生することなく確実に行うことができる。
【００１２】次に動作を説明する。まず始めに、アライ
メントホールが穿孔されていないフィルムを取り付け
る。そして、フィルムが、幅方向（短手方向）において
露光ステージ３０に対して正しく位置されるように調節
する。次に、アライメント穿孔機構７０のみを作動さ
せ、アライメントホールを幾つか形成させる。次に、露
光ステージ３０における吸着機能を解除させ、送りロー
ラ６１によってフィルムを搬送させる。このとき、ブレ
ーキローラ６３によってフィルムには「張り」を持たせ
ている。フィルムの送り量は、アライメントホールが、
センサーホールにかかったことを検知すると一度停止さ
せ、その後、極めて減速させたスピードで送り量を測定
しながら、アライメントホールがセンサーホールのほぼ
中央に位置したときに、搬送は完全に停止する。同時
に、フィルムを吸着させる。
メントホールが穿孔されていないフィルムを取り付け
る。そして、フィルムが、幅方向（短手方向）において
露光ステージ３０に対して正しく位置されるように調節
する。次に、アライメント穿孔機構７０のみを作動さ
せ、アライメントホールを幾つか形成させる。次に、露
光ステージ３０における吸着機能を解除させ、送りロー
ラ６１によってフィルムを搬送させる。このとき、ブレ
ーキローラ６３によってフィルムには「張り」を持たせ
ている。フィルムの送り量は、アライメントホールが、
センサーホールにかかったことを検知すると一度停止さ
せ、その後、極めて減速させたスピードで送り量を測定
しながら、アライメントホールがセンサーホールのほぼ
中央に位置したときに、搬送は完全に停止する。同時
に、フィルムを吸着させる。
【００１３】次に、一対のレチクル側アライメントマー
クの投影像が、アライメントホールの中心に位置するよ
うに、レチクルＲをフィルムと水平面でＸ、Ｙ、Θ方向
に移動させる。また、レチクルＲを移動させる代わり
に、ステージ３０を移動させることも考えられる。フィ
ルムの搬送が完全に停止した時、システムコントローラ
５０から、フィルムを吸着する信号が出るが、それとは
別に、アライメントホールを穿孔するためのパンチング
信号がパンチングアクチュエータ７１に送られる。信号
を受けたパンチングアクチュエータ７１が動くとスプリ
ング８１は、伸びきったまま、ポンチ７３とフィルム押
さえ８０が一体となって下がりフィルムに接する。そし
て、フィルム押え８０が、フィルムＦを押さえた状態
で、ポンチ７３が下がり、フィルムに穿孔する。次に、
システムコントローラ５０からの信号を、パンチングア
クチュエータ７１が受けると、ポンチ７３は上がり、フ
ィルムから抜ける。このときもフィルム押さえ８０は、
フィルムを押さえたままなので、フィルム自身が持ち上
がることはない。そして、フィルム押え８０は、ポンチ
７３がフィルムを抜けたあたりから、一体となって上が
る。このようにして、アライメントホールが、フィルム
に穿孔されていく。このフィルム押さえ８０によって、
アライメントホールの周囲に皺が発生することを防止で
きる。また、送りローラ６１はフィルムを露光させるた
めの搬送用駆動ローラであるが、同時にアライメント穿
孔機構７０のフィルムの搬送も兼ねている。また、その
他のフィルム搬送機構も、フィルムを搬送させたり、停
止させて位置決めを行うが、これはフィルムを露光させ
るため以外に、アライメントホール穿孔機構にも兼用さ
れている。
クの投影像が、アライメントホールの中心に位置するよ
うに、レチクルＲをフィルムと水平面でＸ、Ｙ、Θ方向
に移動させる。また、レチクルＲを移動させる代わり
に、ステージ３０を移動させることも考えられる。フィ
ルムの搬送が完全に停止した時、システムコントローラ
５０から、フィルムを吸着する信号が出るが、それとは
別に、アライメントホールを穿孔するためのパンチング
信号がパンチングアクチュエータ７１に送られる。信号
を受けたパンチングアクチュエータ７１が動くとスプリ
ング８１は、伸びきったまま、ポンチ７３とフィルム押
さえ８０が一体となって下がりフィルムに接する。そし
て、フィルム押え８０が、フィルムＦを押さえた状態
で、ポンチ７３が下がり、フィルムに穿孔する。次に、
システムコントローラ５０からの信号を、パンチングア
クチュエータ７１が受けると、ポンチ７３は上がり、フ
ィルムから抜ける。このときもフィルム押さえ８０は、
フィルムを押さえたままなので、フィルム自身が持ち上
がることはない。そして、フィルム押え８０は、ポンチ
７３がフィルムを抜けたあたりから、一体となって上が
る。このようにして、アライメントホールが、フィルム
に穿孔されていく。このフィルム押さえ８０によって、
アライメントホールの周囲に皺が発生することを防止で
きる。また、送りローラ６１はフィルムを露光させるた
めの搬送用駆動ローラであるが、同時にアライメント穿
孔機構７０のフィルムの搬送も兼ねている。また、その
他のフィルム搬送機構も、フィルムを搬送させたり、停
止させて位置決めを行うが、これはフィルムを露光させ
るため以外に、アライメントホール穿孔機構にも兼用さ
れている。
【００１４】アライメントホールの穿孔は、露光位置で
のフィルムとレチクルの位置合わせを行っているとき
に、平行して行うと処理時間的に効率が良い。
のフィルムとレチクルの位置合わせを行っているとき
に、平行して行うと処理時間的に効率が良い。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のフィル
ム露光装置では、露光ステージにアライメントホール穿
孔機構を有するため、１つの装置で簡単に作業をさせる
ことができる。
ム露光装置では、露光ステージにアライメントホール穿
孔機構を有するため、１つの装置で簡単に作業をさせる
ことができる。
【図１】この発明のフィルム露光装置を示す。
【図２】この発明にかかるレチクルを示す。
【図３】この発明にかかるフィルムの１コマを示す。
【図４】この発明のフィルム露光装置にかかるアライメ
ント穿孔機構を示す。
ント穿孔機構を示す。
【図５】この発明のフィルム露光装置にかかるアライメ
ント穿孔機構の要部拡大図を示す。
ント穿孔機構の要部拡大図を示す。
１０ 照射部 ２０ 投影レンズ ３０ ステージ ４０ 検出部 ５０ システムコントローラ ６０ フィルム搬送機構 ７０ アライメント穿孔機構 ７３ ポンチ ８０ フィルム押さえ Ｒ レチクル
Claims (4)
- 【請求項１】レチクルパターンを露光ステージ上に配置
した長尺フィルムに露光するに際し、レチクル上のアラ
イメントマークの投影像がフィルム上のアライメントホ
ールに一致するようにレチクル、又はフィルムを吸着保
持する露光ステージを、移動させる機能を持つフィルム
露光装置において、 前記露光ステージに、アライメントホール穿孔機構を有
し、 このアライメントホール穿孔機構におけるフィルムの搬
送及び位置決め機構は、レチクルパターンの露光におけ
るフィルムの搬送及び位置決め機構と同じものであるこ
とを特徴とするフィルム露光装置。 - 【請求項２】前記アライメントホールを穿孔した時に発
生する切り屑を真空引きにより排除する機構を有するこ
とを特徴とする請求項１記載のフィルム露光装置。 - 【請求項３】前記アライメントマークの投影像をフィル
ム上の前記アライメントホールに一致させる動作中に、
前記アライメントホール穿孔機構によって、前記フィル
ムに前記アライメントホールを穿孔することを特徴とす
る請求項１記載のフィルム露光装置。 - 【請求項４】前記アライメントホール穿孔機構には、確
実に穿孔させるため穿孔時のみポンチと連動するフィル
ム押えを有することを特徴とする請求項１記載のフィル
ム露光装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21569392A JPH0645406A (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | フィルム露光装置 |
| US07/936,310 US5369437A (en) | 1991-08-28 | 1992-08-28 | Time-varying image signal coding/decoding system |
| US08/294,795 US5424777A (en) | 1992-07-22 | 1994-08-25 | Time-varying image signal coding/decoding system |
| US08/294,796 US5469213A (en) | 1992-07-22 | 1994-08-25 | Time-varying image signal coding/decoding system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21569392A JPH0645406A (ja) | 1992-07-22 | 1992-07-22 | フィルム露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0645406A true JPH0645406A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=16676594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21569392A Pending JPH0645406A (ja) | 1991-08-28 | 1992-07-22 | フィルム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0645406A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7969553B2 (en) | 2007-08-27 | 2011-06-28 | Orc Manufacturing Co., Ltd | Exposure device with mechanism for forming alignment marks and exposure process conducted by the same |
-
1992
- 1992-07-22 JP JP21569392A patent/JPH0645406A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7969553B2 (en) | 2007-08-27 | 2011-06-28 | Orc Manufacturing Co., Ltd | Exposure device with mechanism for forming alignment marks and exposure process conducted by the same |
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