JPH0649938B2 - 基板ホルダ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えば真空装置全般に用いられる基板ホルダに
関する。

〔従来の技術及びその問題点〕

第７図及び第８図は従来例の基板ホルダを示すものであ
るが、フランジ付シヤフト(1)のフランジ部には円板状
の取付台(2)が皿ねじ(3)により固定されている。取付台
(2)の上に基板(4)が載置され、その開口(4a)に取付部材
(5)を配設し、これをボルト(6)により取付台(2)に固定
することにより、その周縁部で基板(4)の内周縁部を取
付台(2)に固持している。また、基板(4)の外周縁部には
カバーリング(7)が当てられ、これがボルト(8)により取
付台(2)に固定されることにより基板(4)の外周縁部が取
付台(2)に対し固持されている。

以上のようにして基板(4)は取付台(2)に固持され、基板
(4)の上に何らかの薄膜が形成されるのであるが、この
形成後、基板(4)を取り外すときには各ボルト(6)(8)を
取り外さなければならない。すなわち基板(4)の脱着に
は一々多数のボルト(6)(8)を締めつけたり、ゆるめたり
しなければならず、作業効率が悪く、生産性が低い。

特に、基板(4)を薄膜形成後、ボルト(6)(8)をゆるめる
ときには、ボルト(6)(8)の工具による回動操作のときに
カバーリング(7)や取付部材(5)がふらつく。これにより
これら部材のエッジ部で薄膜が損傷を受ける恐れがあ
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上記問題に鑑みてなされ、基板の脱着作業が簡
単で生産性を向上させ、また基板の表面に形成した薄膜
を基板の脱時に損傷することがない基板ホルダを提供す
ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

以上の目的は、本発明の第１発明によれば、少なくとも
一つの孔を有する基板取付台；該孔の内壁に各角部が止
着される略３角形又は略多角形の線材又は帯材から成る
スプリング部材；平面部及びこれからほゞ垂直に延在す
る突出部から成る基板取付部材；から成り、開口を有す
る基板を前記基板取付台に前記開口が前記孔に整列する
ように載置し、前記基板取付部材の突出部を前記開口を
通って前記孔に挿入させ前記スプリング部材のばね力で
保持させることにより前記基板を前記基板取付部材の平
面部で前記基板取付台上に固持するようにしたことを特
徴とする基板ホルダによって達成される。

また、本発明の第２発明によれば、円形の基板取付台；
該基板取付台の周壁部に形成された複数の凹所にそれぞ
れ収容されたボール及びこれを外方に付勢するばね；環
状の平面部及びこれから垂直に延在し、内周面にボール
係合部を形成させた環状の周壁部から成る基板取付部材
から成り、前記基板取付部材を前記基板取付台にその周
壁部で嵌合させて、前記ボールを前記ボール係合部に係
合させることにより、前記基板取付台に固持すると共に
前記基板取付部材の平面部で、前記基板取付台上に載置
された基板の周縁部を固持するようにしたことを特徴と
する基板ホルダによって達成される。

また、本発明の第３発明によれば、少なくとも一つの孔
を有する円形の基板取付台；該孔の内壁に各角部が止着
される略３角形又は略多角形の線材又は帯材から成るス
プリング部材；平面部及びこれからほゞ垂直に延在する
突出部から成る第１基板取付部材；前記基板取付台の周
壁部に形成された複数の凹所にそれぞれ収容されたボー
ル及びこれを外方に付勢するばね；環状の平面部及びこ
れから垂直に延在し、内周面にボール係合部を形成させ
た環状の周壁部から成る第２基板取付部材から成り、開
口を有する基板を前記基板取付台に前記開口が前記孔に
整列するように載置し、前記第１基板取付部材の突出部
を前記開口を通って前記孔に挿入させ前記スプリング部
材のばね力で保持させることにより前記基板を前記基板
取付部材の平面部で前記基板取付台上に固持するように
しかつ前記第２基板取付部材を前記基板取付台にその周
壁部で嵌合させて、前記ボールを前記ボール係合部に係
合させることにより、前記基板取付台に固持すると共に
前記第２基板取付部材の平面部で、前記基板取付台上に
載置された基板の周縁部を固持するようにしたことを特
徴とする基板ホルダによって達成される。

〔作用〕

第１発明では、基板取付部材を基板取付台の孔に押圧挿
入するだけで、それ自体は基板取付台にスプリング部材
のばね力により固持されると共に、その平面部で基板を
基板取付台に固持することができる。基板を取り外すと
きには基板取付部材を引張り出せばよい。

第２発明では基板取付台の基板を載置させている側から
基板取付部材を基板取付台に嵌合、押圧することにより
ボールがボール係合部に係合し、基板取付部材は、これ
により位置決めされると共にボールを付勢するばねのば
ね力を受けて基板取付台に固持されると共に、その環状
の平面部で基板取付台に載置されている基板の周縁部を
固持することができる。基板を取り外すときには基板取
付部材を嵌合させたときと逆方向に引張り出せばよい。

第３発明では、第１基板取付部材を基板取付台の孔に押
圧挿入するだけで、それ自体は基板取付台にスプリング
部材のばね力により固持されると共に、その平面部で基
板を基板取付台に固持することができ基板取付台の基板
を載置させている側から第２基板取付部材を基板取付台
に嵌合、押圧することによりボールがボール係合部に係
合し、第２基板取付部材はこれにより位置決めされると
共にボールを付勢するばねのばね力を受けて基板取付台
に固持されると共に、その環状の平面部で基板取付台に
載置されている基板の周縁部を固持することができる。
基板を取り外すときには第２基板取付部材を嵌合させた
ときと逆方向に第１基板取付部材及び第２基板取付部材
を引張り出せばよい。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例による基板ホルダにつき第１図乃
至第６図を参照して説明する。

図において、フランジ付シヤフト(11)のフランジ部には
円板状の取付台(12)が皿ねじ(13)により固定されてい
る。本実施例ではフランジ付シヤフト(11)及び取付台(1
2)は軽量の材料、例えばアルミニウム系材料から成って
いる。取付台(12)の上にはディスク状の基板(14)が載置
され、後述する方法で中央取付部材(15)及び周縁取付部
材(17)により取付台(12)に固持されている。

取付台(12)の中央部には段付孔(12a)が形成され、これ
に受け部材(16)が嵌着され、皿ねじ(24)により取付台(1
2)に対し固定される。受け部材(16)は取付台(12)とは異
種の材料で成り、例えばステンレスから成っている。受
け部材(16)には第４Ａ図及び第４Ｂ図に明示されるよう
に中心に段付孔(16a)が形成されており、この大径孔部
の内壁面に環状の溝(16b)が形成されている。線材から
成る三角形状のスプリング部材(25)はその角部が溝(16
b)に係合することにより受け部材(16)に取り付けられ
る。

取付台(12)の外周壁部には複数の凹所(19)が形成され、
これに挿入したケーシング(21)内にはばね(22)とボール
(23)とが収容されている。ケーシング(21)は第２図に明
示されるように当金(20)を取付台(12)にボルト(18)によ
り固定することにより取付台(12)に対し固持される。ケ
ーシング(21)の外端部には開口が形成され、こゝからば
ね(22)で付勢されたボール(23)の一部が突出している。

中央取付部材(15)は第５Ｂ図に明示するような形状を有
し、中央につまみ部(15a)、これから外方に延びる平面
部(15b)及び該平面部(15b)から垂直方向に延びる突出部
(15c)から成っており、後述するように突出部(15c)が上
述のスプリング部材(25)のばね力で取付台(12)に固持さ
れることにより、その平面部(15b)で基板(14)の内周縁
部が固持されるようになっている。

周縁取付部材(17)はリング状であるが、第３図に明示す
るような断面形状を有し、環状の平面部(17a)及びこれ
から垂直に延在する環状の周壁部(17b)から成ってお
り、周壁部(17b)の内周壁面には環状の溝(17c)が形成さ
れ、これに上述のボール(23)が係合することにより周縁
取付部材(17)は位置決めされると共にばね(22)のばね力
で取付台(12)に固持されると共に、その平面部(17a)で
基板(14)の外周縁部(14a)を固持するようになってい
る。

本発明の実施例による基板ホルダは以上のように構成さ
れるが、次にこの作用、効果などについて説明する。

まず、基板(14)を取付台(2)に固持する場合について説
明する。第１図〜第３図、第５Ａ図、第５Ｂ図は基板(1
4)を固持している状態を示しているが、第４Ａ図、第４
Ｂ図及び第６図は固持していないすなわち中央取付部材
(15)及び周縁取付部材(17)が取付台(12)から離脱されて
いる状態を示している。

ディスク状の基板(14)の中心孔(14b)が第４Ｂ図に明示
される受け部材(16)の上部周壁(16d)に嵌められ、基板
(14)の取付台(12)に対する位置決めが行われる。次い
で、第６図に示す位置関係で、すなわち受け部材(16)の
段付孔(16a)、基板(14)の中心孔(14b)が整列した状態
で、上方から中央取付部材(15)がつまみ部(15a)を作業
者がつまんでその突出部(15c)を段付孔(16a)に押圧、挿
入される。第５Ｂ図に示すように突出部(15c)の先端小
径部は段付孔(16a)の小径孔部に嵌合し、突出部(15c)の
大径部が段付孔(16a)の段部に当接することにより中央
取付部材(15)の上下方向の位置決めが行われる。第５Ａ
図に示すようにスプリング部材(25)は突出部(15c)によ
り押し拡げられ、このばね復原力により突出部(15c)す
なわち中央取付部材(15)は取付台(12)に対し固持される
ことになる。また、その平面部(15b)と取付台(12)の上
面との間に基板(14)の内周縁部が挾持されることによ
り、基板(14)は取付台(12)に対し固持される。

次いで周縁取付部材(17)がその周壁部(17b)を下方にし
て基板(14)側から取付台(12)に嵌合され、ボール(23)を
付勢するばね(22)のばね力に抗して下方へと押圧され
る。これによりボール(23)は周壁部(17b)の内周壁面に
形成した溝(17c)に嵌り込み、周縁取付部材(17)はその
上下方向において位置決めが行われると共に取付台(12)
に対し固持される。かつまたその平面部(17a)と取付台
(12)の上面との間に基板(14)の外周縁部(14a)が第３図
に示すように挾持されることにより、基板(14)は取付台
(12)に対し固持される。

以上により基板(14)は内周縁部及び外周縁部で取付台(1
2)に対し固持されるのであるが、上述したように中央取
付部材(15)は受け部材(16)の段付孔(16c)に押圧、挿入
し、周縁取付部材(17)は取付台(12)に嵌合し、押動させ
るだけで、これら部材(15)(17)は取付台(12)に対し固持
され、かつ基板(14)の内、外周縁部を取付台(12)に固持
することができるので、従来のように多数のボルトをね
じ孔に螺合し、これを工具で締めつけることにより基板
を固持させるのと比べると取付け作業は本実施例の方が
はるかに簡単である。また、何ら工具を必要としない。
いわゆるワンタッチ方式で取り付けることができる。

次に、第１図に示されるように基板(14)を固持している
状態から、取り外す場合について説明する。図示せずと
も何らかのＣＶＤ装置で第１図に示す状態で基板(14)に
は薄膜が形成されているものとする。

また周縁取付部材(17)は周壁部(17b)をもって上方へと
引っ張られる。第３図に示すようなボール(23)と溝(17
c)との係合が外され、周縁取付部材(17)はワンタッチで
取付台(12)から取り除かれる。よって基板(14)のその外
周縁部(14a)は自由となる。

次いで、中央取付部材(15)をそのつまみ部(15a)をつま
んで上方に引張り出すことにより、すなわちワンタッチ
でこれは取付台(12)から取り除かれる。基板(14)の内周
縁部も自由となり、よって基板(14)は完全に固持の状態
から解放されることになる。

以上述べたように基板(14)を取り出す場合にも各部材(1
5)(17)を上方に引張り出すだけのワンタッチ操作だけ
で、これらは取り出され、かつ基板(14)は固持の状態か
ら解放されるので、基板(14)の取出し作業も極めて簡単
である。従来例では多数のボルトを工具をつかって、ゆ
るめて取り除かなければならず、作業工数も多く、生産
性がわるかったが、本実施例により基板(14)の脱着作業
は極めて簡単なものとなる。

また大きな効果としては、薄膜を形成させた基板(14)を
取付台(12)から取り外すときに薄膜に殆んど傷をつける
ことなく、あるいは、はくりさせることなく取付部材(1
5)(17)を取り外せることができることである。従来例で
はボルトを工具でゆるめるときにカバーリング(7)又は
取付部材(5)がふらつく。これにより、これら部材の縁
部で薄膜を損傷させたり、はくりさせたりすることがあ
ったが、本実施例では工具を用いず、ワンタッチ方式で
手で取付部材(15)(17)を一方向に引張るだけでよいので
薄膜を損傷させたり、はくりすることは殆んどない。特
に、従来例では損傷やはくりをしないようにボルトをゆ
るめようとするならば、作業が遅くなり、生産性を更に
低下させていたが、本実施例では、このような気づかい
は不要であり、作業能率を大巾に向上させることができ
る。

また本実施例によれば、両取付部材(15)(17)とも上下方
向に一定に位置決めされて取付台(12)に固持されるの
で、基板(14)の厚さが一定である限り、常に一定の締め
つけ力で固持することができ、いわゆる成膜時のまわり
込み現象を防止することができる。従来例のようにボル
トで締めつけるときには作業者によって締めつけ力が変
動する。これによって基板の締めつけ力が変動して、場
合によっては取付部材と基板との間にすき間が生ずるこ
ともある。これでは所望の成膜ができない。然るに本実
施例では作業者によって締めつけ力が変動することなく
常に一定とすることができる。

以上、本発明の実施例について説明したが、勿論本発明
はこれに限定されることなく本発明の技術的思想にもと
づき種々の変形が可能である。

例えば以上の実施例では基板(14)はその内周縁部及び外
周縁部においてそれぞれ中央取付部材(15)及び周縁部取
付部材(17)によって取付台(12)に対し固持されるように
したが、場合によっては基板(14)の内周縁部のみ中央取
付部材(15)により固持するようにしてもよい。あるいは
外周縁部のみを周縁部取付部材(17)により固持するよう
にしてもよい。

あるいは内周縁部は本実施例の中央取付部材(15)により
固持し、外周縁部は従来例のようにして固持するように
してもよい。あるいは基板(14)の外周縁部は実施例の周
縁部取付部材(17)により固持し、内周縁部は従来例の方
法で固持するようにしてもよい。

また以上の実施例では基板(14)の内周縁部を中央取付部
材(15)により固持するようにしたがこれにかえて基板(1
4)の中心孔に同心的な円上に複数の本実施例に示すよう
な段付孔(16a)及び受け部材(16)を取付台(12)に設けこ
れらに実施例の中央取付部材(15)に対応するような部材
を押し込み実施例のスプリング部材で示すようなスプリ
ングのばね力によりこれら取付部材を固持し基板(14)を
取付台(12)に対し固持するようにしてもよい。

また以上の実施例では周縁部取付部材(17)を取付台(12)
に固持するのにばね及びこれにより付勢されるボール(2
3)により取付台(12)に固持するようにしボール(23)は取
付部材(17)の内周壁に形成した溝(17c)に係合させるこ
とにより取付部材(17)を位置決めし固持するようにした
がこのボール(23)が係合する溝(17c)にかえて複数箇所
に係合凹所を形成するようにしてもよい。この場合には
周縁部取付部材(17)は周方向においても位置決めされる
ことになる。しかしながらばね力により固持されること
には相達しない。

また以上の実施例ではスプリング部材(25)は三角形状で
あり閉ループ状となっているが一部に切欠きがあっても
かまわない。又三角形状でなく四角形、五角形と多角形
でもかまわない。又以上のスプリング部材(25)は線材を
用いているが帯材を用いて同様な形状のスプリング部材
を形成するようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上述べた様に本発明の基板ホルダによればワンタッチ
方式で基板を取付台に固持することが出来、その取付作
業は極めて簡単であり、且つ従来見られた様に基板を取
り外す時にその上に形成した薄膜を損傷させたり剥離さ
すような事は殆んど無く、このような気遣いをすること
なく迅速に取出し作業を行うことが出来るので生産性を
極めて向上させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例による基板ホルダの断面図であ
って基板を取付けた状態を示す断面図、第２図は同背面
図、第３図は要部の拡大断面図、第４Ａ図は基板を取付
けない状態での他要部の平面図、第４Ｂ図は第４Ａ図の
断面図、第５Ａ図は基板を取付けた状態での他要部の断
面側面図、第５Ｂ図は第５Ａ図の断面図、第６図は他要
部とこれに関連する部分の分解拡大斜視図、第７図は従
来例の基板ホルダの断面図及び第８図は同背面図であ
る。 なお図において、 (15)……中央取付部材 (17)……周縁部取付部材 (25)……スプリング部材 (22)……ばね (23)……ボール

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも一つの孔を有する基板取付台；
   該孔の内壁に各角部が止着される略３角形又は略多角形
   の線材又は帯材から成るスプリング部材；平面部及びこ
   れからほゞ垂直に延在する突出部から成る基板取付部
   材；から成り、開口を有する基板を前記基板取付台に前
   記開口が前記孔に整列するように載置し、前記基板取付
   部材の突出部を前記開口を通って前記孔に挿入させ前記
   スプリング部材のばね力で保持させることにより前記基
   板を前記基板取付部材の平面部で前記基板取付台上に固
   持するようにしたことを特徴とする基板ホルダ。
2. 【請求項２】円形の基板取付台；該基板取付台の周壁部
   に形成された複数の凹所にそれぞれ収容されたボール及
   びこれを外方に付勢するばね；環状の平面部及びこれか
   ら垂直に延在し、内周面にボール係合部を形成させた環
   状の周壁部から成る基板取付部材から成り、前記基板取
   付部材を前記基板取付台にその周壁部で嵌合させて、前
   記ボールを前記ボール係合部に係合させることにより、
   前記基板取付台に固持すると共に前記基板取付部材の平
   面部で、前記基板取付台上に載置された基板の周縁部を
   固持するようにしたことを特徴とする基板ホルダ。
3. 【請求項３】前記ボール係合部は環状の溝であることを
   特徴とする前記特許請求の範囲第２項に記載の基板ホル
   ダ。
4. 【請求項４】少なくとも一つの孔を有する円形の基板取
   付台；該孔の内壁に各角部が止着される略３角形又は略
   多角形の線材又は帯材から成るスプリング部材；平面部
   及びこれからほゞ垂直に延在する突出部から成る第１基
   板取付部材；前記基板取付台の周壁部に形成された複数
   の凹所にそれぞれ収容されたボール及びこれを外方に付
   勢するばね；環状の平面部及びこれから垂直に延在し、
   内周面にボール係合部を形成させた環状の周壁部から成
   る第２基板取付部材から成り、開口を有する基板を前記
   基板取付台に前記開口が前記孔に整列するように載置
   し、前記第１基板取付部材の突出部を前記開口を通って
   前記孔に挿入させ前記スプリング部材のばね力で保持さ
   せることにより前記基板を前記基板取付部材の平面部で
   前記基板取付台上に固持するようにしかつ前記第２基板
   取付部材を前記基板取付台にその周壁部で嵌合させて、
   前記ボールを前記ボール係合部に係合させることにより
   前記基板取付台に固持すると共に前記第２基板取付部材
   の平面部で、前記基板取付台上に載置された基板の周縁
   部を固持するようにしたことを特徴とする基板ホルダ。
5. 【請求項５】前記ボール係合部は環状の溝であることを
   特徴とする前記特許請求の範囲第４項に記載の基板ホル
   ダ。