JPH06507487A - 圧力変換器のライン圧補償装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 圧力変換器のライン圧補償装置 発明の背景 本発明は差圧変換器を含む。さらに具体的には、本発明は静圧の変化に対する圧 力センサの補償に関する。

差圧センサは既に多くの応用分野で使用されている。このようなセンサはしばし ば内部チャンバを備えたセンサハウジングを有する。偏向可能なダイアフラムが チャンバ内に配置され、チャンバを２つの空洞に分割する。第１の圧力が第１の 空洞に供給され、第２の圧力が第２の空洞に供給される。

第１および第２の圧力の差に基づいてダイアフラムが偏向する。

ダイアフラムはまた、空洞の内壁上の導電部分から隔離されているが、これと対 向位置にある導電部分を含む。ダイアフラム上の導電部分はコンデンサ電極を構 成する。同様に、空洞の内壁上の導電部分もコンデンサ電極を構成する。ダイア フラム上の導電部分は、第１の空洞の内壁上のコンデンサ電極と共同して第１の 可変コンデンサを形成すると共に、第２の空洞の内壁上のコンデンサ電極と共同 して第２の可変コンデンサを形成する。差圧によってダイアフラムが偏向すると 、２つの可変コンデンサの容量が変化する。圧力センサは２つの可変コンデンサ の容量比を表わす出力信号を発生し、またこれらの容量値に基づいて差圧が決定 される。

しかし、このような容量圧力変換器には非直線性があるので問題が生ずる。例え ば、装置の浮遊容量が非直線性をもたらすことがあるが、この非直線性は補償さ れなければならない。

誤差はまた、静圧の変化によっても生ずる。通常はライン圧とも呼ばれる静圧は 、種々の定義を有する。例えば、圧力センサの第１および第２の空洞に供給され る第１および第２の圧力が、２９９０　ｐｓｉ（Ｐ　Ｌ）および３０００　ｐｓ ｌ　（Ｐ　ｎ　）を持つことがある。この場合の差圧は（３０００−２９９０） すなわち１０ｐｓｉ（ボンド／平方インチ）である。静圧は、時には、ＰＬとＰ Ｈとの平均値すなわち２９９５ｐｓｉとも定義される。また静圧は、単にＰ　あ るいはＰＨと定義されるし こともできる。どのような静圧の定義が用いられるとしても、静圧の変動によっ て圧力センサの出力信号の誤差かもたらされる。

静圧の変動によっても影響されない出力を、差圧センサが発生することが望まし い。例えば、ＰＨが３０００ｐｓｉ、Ｐｔ、が２９９０ｐｓｉならば、差圧は１ ０ｐｓｉで、静圧は（その定義として町とＰＨとの平均値を用いると）２９９５ ｐｓｌである。しかし、ＰＨが１０ｐｓ１　、　ＰＬが０ｐｓｉならば、差圧は 依然として１０ｐｓｉであるが、静圧は５ｐｓｉである。圧力センサのハウジン グに生ずるある応力によって、代表的な差圧センサの出力信号は、静圧の１００ ０ｐｓｉの変動ごとに１％変化する可能性がある。したがって、上記例の場合に は、差圧センサの出力信号は静圧の変動にともなって著しく変化することがある 。

本出願人に譲渡されたフリック（Ｐｒｉｃｋ）の米国特許第４３７０８９０号は 差圧センサのための機械的構造を開示し、そこでは、静圧の変動によって圧力セ ンサハウジングに加わる不所望な機械的応力を除去または補償することが意図さ れている。これは、静圧の変動による差圧センサ出力の変動を除去するのに有用 である。しかし依然として、静圧の変動による出力信号の変動を補償し、また機 械的手段よりは電気的手段によって調整できるような補償手段に対する要求が存 在する。

いずれも本出願人に譲渡されたシュルト（Ｓｃｈｕｌｔ）らの米国特許第４８７ ８０１２号およびフリック（Ｆｒ１ｃｋ）の米国特許第４７９１３５２号が、引 用によって本明細書に統合されている。

発明の要約 本発明では、容量感知手段が差圧を検知し、これに基づく差圧信号を発生する。

容量形感知手段は静圧の変動によって変化する容量値を有するので、差圧信号も また静圧の変動によって変化する。静圧の変動に対しては固定的な容量値を有す る容量補償手段が、容量形感知手段に結合される。容量補償手段は、静圧の変動 に依存する差圧信号の変動を補償する。

図面の簡単な説明 図１は１部をブロック図で示した差圧センサの概略図である。

図２は本発明の１実施例である容量補償手段を備えた差圧センサの回路ブロック 図である。

好ましい実施例の詳細な説明 図１には、誘電率ε。の油を充填された内部チャンバ９を有するハウジング７を 含む差圧センサ５が示される。内部チャンバ９は、ダイアフラム１５によって第 １空洞１１および第２空洞１３に分割される。ダイアフラム１５は導電部分１７ を含み、前記導電部分は空洞１１．１３の内表面上の２つの導電部分１９．２１ とほぼ対向整列されるが、これらから隔離されている。

導電部分１７．１９は可変コンデンサＣ１の１対の電極を構成し、これら電極は その中心で距離Ｘ１だけ隔離される。

また導電部分１７．２１は第２可変コンデンサＣ２の１対の電極を構成し、これ ら電極はその中心で距離Ｘ２だけ隔離される。矢印Ｐ１、Ｒ２で示される２つの 圧力が、適当な手段２３．２５で空洞１１．１３に連通される。空洞１１．１３ に圧力Ｐ１、Ｒ２を連通する手段２３．２５は、なるべくはフリックの米国特許 第４３７０８９０号に詳細を開示されたものと類似なものが望ましい。

２つの圧力ｐＨＰ２の差によって、ダイアフラム１５はチャンバ１１内で電極１ ９または２１の方へ偏向する。この偏向が、可変コンデンサＣ１、Ｃ２の容量値 の変化をもたらす。センサ５は、可変コンデンサＣ１，Ｃ２の容量値および浮遊 容１ｌＣ８□、Ｃ８゜を表わす出力信号を発生する。この出力信号に基づいて差 圧が決定される。

しかし、容量膨圧力センサ５に加わる静圧が変化すると、ハウジング７に応力が かかり、可変コンデンサＣ，，Ｃ２の容量値を変化させる。その結果、容量形セ ンサ５の出力信号に誤差を生ずる。

図２は、本発明による補償を採用した電荷平衡帰還型伝送機（ｃｈａｒｇｅ　ｂ ａｌａｎｃｅｄ　ｆｅｅｄｂａｃｋ　ｔｒａｎｓｍｉｔｔｅｒ）の好ましい実施 例を示す。測定回路１０は電荷パケット発生回路１２、積分・比較回路１４、帰 還回路１６、出力回路１８および読出回路２０を含む。

電荷パケット発生回路１２は、模式的に１対の可変コンデンサＣ１，Ｃ２で代表 される容量膨圧力センサ５を含む。上述のように、コンデンサＣ１，Ｃ２は差圧 の関数として変化する容量値を有する。

電荷パケット発生回路１２はさらに、直線性補正用のコンデンサＣＬｌ”　Ｌ２ 、ノイズ抑制抵抗Ｒ１、Ｒ２およびスイッチ５ｌ−３４を含む。コンデンサＣＬ ｌ”Ｌ２は互いに直列に接続され、かつ容量形センサ５と並列に接続される。相 補型駆動信号φ。、β。がそれぞれノード２４．２６に供給される。ノード２４ はセンサ５のコンデンサ中央電極１７に接続され、一方ノード２６はコンデンサ ＣＬｌ”　Ｌ２の接続点に接続される。

抵抗Ｒ１の一端はコンデンサＣ１１ＣＬ１に、その他端はスイッチＳＬ、Ｓ４に それぞれ接続される。同様に、抵抗Ｒ２の一端はコンデンサＣ２、ＣＬ２に、そ の他端はスイッチＳ２、スイッチ５ｌ−３４の導通状態を制御する。

スイッチＳｌ、Ｓ２は共に、積分・比較回路１４内の積分増幅器３０の反転入力 （−）に接続され、スイッチＳ３、Ｓ４は基準電位ＶＲＥＦおよび積分増幅器３ ０の非反転入力（＋）に接続される。好ましい実施例では、基準電位ＶＲＥＦは 供給電源ｖＤＤと■８８の中点電位である。

積分・比較回路１４はさらに、積分コンデンサＣ１１スイツチＳ５〜Ｓ７、抵抗 Ｒ３、Ｒ４および比較器３２を含む。

スイッチ８５〜Ｓ７はそれぞれ信号φ１１φＶＤＤおよびφｖ８．によって制御 され、比較器３２の反転入力（−）に積分電圧ｖ　１電源電圧Ｖ　あるいは電源 電圧ｖ８８を選択供Ｉ　ＤＤゝ 給するためのマルチプレクサを構成する。抵抗Ｒ３が比較器３２の出力と非反転 入力（＋）の間に接続され、抵抗Ｒ４が比較器３２の非反転入力（＋）と基準電 圧Ｖヤ、の間に接続されてヒステリシスを与える。その結果比較器３２は、その 出力Ｖｃの状態に応じて決まる２つの異なる閾値レベルを、その（＋）入力に生 成する。

比較器３２の出力電圧Ｖ。は帰還回路１６の入力として供給される。信号Ｖ。の 状態に基づいて、帰還回路１６は基本のクロック信号Ｆ　から１０種類の信号φ 。、〆０、ＬＫ 帰還回路１６は、電荷パケット発生回路１２から積分器３０に供給される電荷パ ケットを制御し、ある時間内での電荷の平衡を達成する。φ１信号がスイッチＳ １を閉じ、したがってコンデンサＣ１、ＣＬｌが抵抗Ｒ１を介して積分器３０の （−）人力に接続されるとき、第１極性の１または複数のるときには、反対極性 の電荷パケットが積分器３０に供給される。

減少傾向にあるかを表わす。出力回路１８は、ＬＩＤ信号に依存して、増加方向 または減少方向に計数することにより、反対極性のパケットのカウントを累算す る。計数値に基づいて、出力回路１８は、容量形センサ５によって感知された差 圧を代表する出力（直線性補正コンデンサＣＬｌ”Ｌ２で補正されたもの）を読 出回路２０に与える。測定回路１０の動作およびタイミングは、シュルトらの前 記米国特許第４８７８０１２号に詳述されている。

容量型差圧センサの出力に及ぼす静圧の影響は著しいものであることが知られて いる。このようなセンサでは、静圧の変動がセンサハウジングの変形をもたらす 。この変形は、中央のダイアフラムに応力を与えるのみならず、可変コンデンサ Ｃ１、Ｃ２の容量値の変化をももたらす。したがって、出力信号に誤差が生ずる 。例えば、ある圧力センサにおいては、１０００ｐｓｉの静圧変動に対してスパ ン誤差は読みの約１％であることが知られている。また静圧が変化すると、微小 差圧または零差圧における出力信号に同様の零誤差も発生する。

これらの誤差を補償するために、ＣＬｌ”Ｌ２の値は、静圧の変動によって生ず る零およびスパン誤差を補償するのに十分な大きさを持つように選定される。Ｃ Ｌｌ”Ｌ２の適正な値を決定するためには、幾つかの段階が必要である。第１に 、変換器を静圧零の状態に保持し、差圧の変化に対する零およびスパンが測定さ れる。つぎに、センサに最大静圧を加え、差圧が零からフルスケール（最大振れ ）まで変化するときの零およびスパンの変化すなわち誤差が測定される。最後に 、補償コンデンサＣＬｌ”Ｌ２の値が決定され、これらのコンデンサが、静圧の 変動によってもたらされる差圧出力の誤差を補償するように回路の所定位置に接 続される。

スパン誤差あるいは零誤差だけが重大な問題となる場合、その誤差のみが補償さ れ得ること、またコンデンサＣＬｌ’Ｃの値は、浮遊容量Ｃ８１、Ｃ８２によっ てもたらされる非直練性誤差をも補償するように決定できることは注意すべきで ある。この点については、シュルトらの前記米国特許第４８７８０１２号により 詳細に記述されている。

センサ５のような、多くの差圧センサで用いられる伝達関数は式１で表わされる 。

Δｐｏ＝伝達関数＝（Ｃ１−Ｃ２−ＣＬ１＋ＣＬ２）／（Ｃ１＋　Ｃ２ＣＬｌ− ＣＬ２）　・・・式１Ｃ−可変コンデンサＣ１の容量値 ■ Ｃ−可変コンデンサＣ２の容量値 ＣＬ１＋ＣＬ２−補償用固定コンデンサの容量値ライン圧の結果として、これに ほぼ比例して空洞の深さが増大するような、さらにライン圧の結果として、これ にほぼ比例して誘電率が増大するようなセンサでは、式２が成立する。

Ｃ＋Ｃｃｘ（εｏ／ｘｌ＋εｏ／Ｘ２）一ε　（１／Ｘ　＋１／Ｘ　）　・・・ 式２％式％ （Ｘ　＋Ｘ　）／２−Ｘｏ−空洞の公称深さ偏微分は次のようになる。なお、本 明細書においては偏微分記号をδで表わす。

δ（Ｃ＋Ｃ）／（Ｃ＋Ｃ）δＰｔ。

一δε　／ε　δＰ　−δＸｏ／ＸｏδＰＬ　・・・式３％式％ であり、（Ｃ１＋Ｃ２）はＰＬの１次関数である。

ここで、 ε。−充填油の誘電率 Ｃｏ１、Ｃ０２”ＰＬの変動によっては変化しないＣ１、Ｃ２の容量値 ＰＬ−静圧（またはライン圧） したがって、静圧の変化による変動を補償するために採用し得る１つの伝達関数 は、 ΔＰｏｌ：（Ｃ−Ｃ−Ｋ　）／（Ｃ１＋Ｃ２−に２）・・・式４ である。ここでに１、Ｋ２はライン圧の補償項であり、Ｋ１は静圧の変化に伴う 零誤差を主として補償し、Ｋ２がスパン誤差を補償する。また、 Ｋ１″″ＣＬｌ−Ｃｌ３ に２″″ＣＬｌ＋ＣＬ２ であり、ＣＬｌ”Ｋ２はライン圧によっては変化しない固定コンデンサである。

上記の伝達関数を具現する好ましい方法は、ＣＬｌ、Ｃｌ３の既知の標準値で測 定されたライン圧誤差に基づいて、コンデンサＣＬ１、Ｃｌ３を選択した後、ラ イン圧誤差を許容可能なレベルに低減すると予測できるようなＣＬｌ、Ｃｌ３の 値を新たに選定することである。これらのコンデンサを取付けた後、差圧および 温度変化によって惹起される出力誤差の関数として、なるべくは既知のデジタル 技術で、伝送機が出力の直線性誤差に対して補償される。

特別な例として、静圧によるセンサ内のシフトが次のようにして補償される。容 量形圧力センサの出力０ｕｔｐｕｔはつぎの伝達関数で記述され、ΔＰにほぼ比 例する。

０ｕｔｐｕｔｃｘ−（ＣＡ、ＣＡ２＋Ｃ８Ｉ　Ｃ８２ＣＬ１＋ＣＬ２）　／（Ｃ Ａｌ＋ＣＡ２＋Ｃ８ｌ＋Ｃ８２−ＣＬｌ−Ｃｌ３）　・・・式５Ｃ−ΔＰで増加 するコンデンサＣ１の能動（ａｃｔｌｖｅ）可変Ｉ 容量 ＣＡ２−ΔＰで減少するコンデンサＣ２の能動可変容量Ｃ３ｌ”ＣＡｌと並列の 浮遊容量 Ｃ８□−ＣＡ２と並列の浮遊容量 ＣＬｌ−０１から減算する直線性補正容量ＣＬ２−Ｃ２から減算する直線性補正 容量Ｐ、−静圧 ΔＰ−差圧 代表的な金属セルセンサでは、ΔＰはほぼ弐６のＲに比例する。

Ｒ本（Ｃ−Ｃ）／　（Ｃ１＋Ｃ２）　・・・式６ここで、Ｒは比出力（ｒａｔｉ ｏ　ｏｕｔｐｕｔ）である。

また代表的なセルでは、 δ（Ｃ＋Ｃ）／（Ｃ１＋Ｃ２）δＰＬ 一δεｏ／εｏδＰｔ、−δＸｏ／ＸｏδＰｔ。

−＋０．　５％／１０００ｐｓｉ−１，５％／１０００ｐｓｉ−−１％／１００ ０ｐｓｌ であるから、 δ（Ｃ＋Ｃ）　／　（Ｃ１＋Ｃ２）δＰｔ。

一−１％（１０００ｐｓ１当り）　・・・式７例えば、もしも静圧による零シフ トがＣＬｌ中Ｃ８１、ＣＬＺ中Ｃ８２、およびＣＬｌ”＝ＣＬ２で計測されるな らば、Ｃ１中０２であるから、ΔＰ−０では次式が成立する。

Ｒ−（Ｃ１−Ｃ２）／（Ｃ１＋Ｃ２）−０／（Ｃ１＋Ｃ２）−〇　・・・式８ したがって、静圧によって（Ｃ１＋０２）が減少するときは出力は変化しないで あろう。しかし、もしＣＬｌがΔＣだけ減少し、ＣＬ２がΔＣだけ増加するなら ば、静圧による零シフトは次のように表わされるであろう。

Ｒ（＠ΔＰ−０）　−（Ｃ，−Ｃ２−ΔＣ−ΔＣ）／（Ｃ１＋Ｃ２＋ΔＣ−ΔＣ ） ｍ−２ΔＣ／（Ｃ１＋０２）≠０ ・・・式９ ％式％）］ この新たな零出力レベルは、（Ｃ１＋Ｃ２）が静圧で減少するときは［例えば、 δ（Ｃ＋Ｃ）　／　（Ｃ，＋Ｃ２）δＰＬ＊−１％（静圧の１０００ｐｓｉ変動 当り）の場合］、変化するであろう。

今度は分子が零でないから、比の出力（Ｒ）は静圧の関数となるであろう。ΔＰ −フルスケール、かつ公称の比出力（Ｒ）−＋０．５の場合、フルスケール出力 の関数としてのパーセント変化は、次の式１０になる。

％零シフト／　１０００ｐｓｉ（フルスケールΔＰのパーセントとして） 中１００ｆＲ（Δｐ−ｏ、Ｐ、、　−１０００ｐｓｉのとき）−Ｒ（Δｐ−ｏ、 Ｐ　ｔ、　−Ｏｐｓｌのとき））／Ｒ（フルスケール） 一１００ＸＭ１０．５０　・・・式１０ただし、　Ｍ−−２ΔＣ／（Ｃ１十０２ ）−２ΔＣ／　［（Ｃ１＋Ｃ２）　＋１ ＋δ（Ｃ，−Ｃ２）　／　（Ｃ１ 一−０，０５％／１０００ｐｓｉ　・・・式１２％式％ 度変動に依存する出力の変動をも最小にする。この技術は、ＣＬｌ、ＣＬ２をそ れらの理想的な値から逸脱させるから、センサ出力はこれらの誤差に対してより 多くの補償を必要とするであろう。従来技術による伝送機はこれらの誤差補正の ためのデジタル・アルゴリズムを具備するので、ライン圧誤差を最小にするよう に選定されたＣＬｌ、ＣＬ２を組み込んだ後で、上記誤差に対して伝送機を特徴 付け、かつ補償することは簡単である。したがって、伝送機の総合特性は高めら れる。

零補償に加えて、あるいはその代わりにスパン補償が望まれるならば、Ｋ２−Ｃ Ｌ１＋ＣＬ２の項が同様の手法で調整される。

Ｒ−（Ｃ−Ｃ）　／　（Ｃ１＋Ｃ２−に２）であるから、それは次のように表わ される。

％スパンシフト／１０００ｐｓｉ　−Ｋ　／　（Ｃ１＋Ｃ２）×（δ（Ｃ十〇　 ）／（ＣＩ＋０２）δＰ　ｔ、　１したがッテ、もしもＫ　が２　ｐｆ’　（Ｃ Ｌｌ−＋　１　ｐ　ｆ　、　ＣＬ２−一１ｐｆ）だけ変化すると、％スパンシフ トは、（２ｐｆ／８０ｐｆ）（−１％／１０００ｐｓ１）−−０，０２５％／１ ０００ｐｓｉ となる。

好ましい実施例においては、ＣＬｌ、ＣＬ２は、充填油の誘電率の温度係数と等 しい温度係数を持つように選定されることに留意すべきである。またＣＬｌ”Ｌ ２はセンサ５の極く近くに配置されるので、ＣＬｌ、ＣＬ２およびセンサ５の各 温度は非常に接近している。

さらに他の実施例では、容量補償手段は１対のコンデンサＣＬ１、ＣＬ２とは違 った形態を取り得る。例えば、励起電圧を変化される単一の補償コンデンサおよ びノード選択スイッチによってもまた、本発明の特徴的な補償が達成される。

本発明を好ましい実施例に関して説明したが、当業者は、本発明の精神を逸脱す ることなしに形式、詳細において変更をなし得ることを理解するであろう。

国際調査報告

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. １．静圧によって変化する容量値を有する差圧感知用の容量形感知手段であって 、感知された差圧に基づいて、静圧の変動によって変動する差圧信号を提供する 容量形感知手段と、静圧の変動によっては実質上変化しない値を有する容量補償 手段であって、静圧の変動による変動に対して差圧信号を補償するように、その 値が選定された容量補償手段とを具備した２線式伝送機の差圧測定装置。
2. ２．容量補償手段が、 容量値ＣＬ１を有し、容量形感知手段に結合されて、静圧の変動によってもたら される誤差に対して差圧信号を補償する第１の容量補償器と、 容量値ＣＬ２を有し、容量形感知手段に結合されて、静圧の変動によってもたら される誤差に対して差圧信号を補償する第１の容量補償器とを具備した請求項１ 記載の装置。
3. ３．ＣＬ１、ＣＬ２は、（ＣＬ１−ＣＬ２）が差圧信号に含まれる零誤差を補償 するような値を有する請求項２記載の装置。
4. ４．ＣＬ１、ＣＬ２は、（ＣＬ１＋ＣＬ２）が差圧信号に含まれるスパン誤差を 補償するような値を有する請求項２記載の装置。
5. ５．容量形感知手段が、 差圧および静圧によって変化する容量値Ｃ１を有する第１の可変コンデンサと、 差圧および静圧によって変化する容量値Ｃ２を有する第２の可変コンデンサとを 具備した請求項２記載の装置。
6. ６．差圧信号は、（Ｃ１−Ｃ２−ＣＬ１＋ＣＬ２）／（Ｃ１＋Ｃ２−ＣＬ１−Ｃ Ｌ２）に比例する請求項５記載の装置。
7. ７．容量形感知手段が、 空洞を備えたハウジングと、 空洞に充填され、誘電率ε０を有する充填油と、空洞を横断してこれを第１およ び第２のチャンバに分割するダイアフラムであって、第１の電極を構成する、少 なくとも１つの導電部分を有するダイアフラムと、第１チャンバに結合され、ダ イアフラムの導電部分から距離Ｘ１だけ離れて第１の可変コンデンサの第２電極 を構成する第２の導電部分と、 第２チャンバに結合され、ダイアフラムの導電部分から距離Ｘ２だけ離れて第２ の可変コンデンサの第２電極を構成する第３の導電部分とを具備した請求項５記 載の装置。
8. ８．空洞はＸ０の公称深さを有し、静圧をＰＬで表わすとき、 δ（Ｃ１＋Ｃ２）／（Ｃ１＋Ｃ２）δＰＬ＝δε０／ε０δＰＬ−δＸ０／Ｘ０ δＰＬ≧０．１％（ＰＬの１０００ｐｓｉ変動当り）である請求項７記載の装置 。
9. ９．容量補償手段の熱的特性は容量形感知手段のそれと近似しており、容量補償 手段が、充填油の誘電率の温度係数と事実上等しい温度係数を有する請求項７記 載の装置。
10. １０．差圧信号は温度変動および浮遊容量によって変化し、さらに 温度および浮遊容量の変動によって変化する差圧信号を補償する手段を具備し、 容量補償手段が選定された後で、前記補償手段が補償ステップを実行する請求項 １記載の装置。
11. １１．空洞のあるハウジングと、 空洞を横断してこれを第１および第２のチャンバに分割するダイアフラムであっ て、第１の電極を構成する、少なくとも１つの導電部分を有するダイアフラムと 、第１チャンバに結合され、ダイアフラムの導電部分から隔離されていて、可変 容量値Ｃ１を有する第１の可変感知コンデンサの第２電極を構成する第２の導電 部分と、第２チャンバに結合され、ダイアフラムの導電部分から隔離されていて 、可変容量値Ｃ２を有する第２の可変感知コンデンサの第２電極を構成する第３ の導電部分と、第１の圧力を第１のチャンバに、また第２の圧力を第２のチャン バに供給してダイアフラムを偏向させると共に、静圧の変動によっても変化する 第１および第２の可変感知コンデンサの可変容量値を、第１および第２の圧力の 差である差圧に応答して変化させる圧力手段と、 前記静圧の変動によっては事実上影響されない容量値を有し、可変感知コンデン サに結合されて、静圧の変動による可変容量値の変動を補償する容量補償手段と を具備した容量形圧力変換器。
12. １２．容量補償手段が第１のコンデンサを具備し、前記第１のコンデンサは少な くとも１つの可変感知コンデンサに結合され、静圧の変動によってもたらされる 可変容量値の変動を補償するように選定された容量値ＣＬ１を有する請求項１１ 記載の容量圧力変換器。
13. １３．容量補償手段が第２のコンデンサを具備し、前記第２のコンデンサは少な くとも１つの可変感知コンデンサに結合され、静圧の変動によってもたらされる 可変容量値の変動を補償するように選定された容量値ＣＬ２を有する請求項１２ 記載の容量圧力変換器。
14. １４．第１および第２のコンデンサは、（ＣＬ１＋ＣＬ２）が静圧の変動による スパン誤差を補償するような値を有する請求項１３記載の装置。
15. １５．第１および第２のコンデンサは、（ＣＬ１−ＣＬ２）が静圧の変動による 零誤差を補償するような値を有する請求項１３記載の装置。
16. １６．容量補償手段が、 可変感知コンデンサに結合され、静圧の変動によって惹起される可変感知コンデ ンサの変動を補償するような容量値を有する複数のコンデンサを具備した請求項 １１記載の容量形圧力変換器。
17. １７．容量補償手段が熱的にハウジングに近接して配置された請求項１１記載の 容量形圧力変換器。
18. １８．差圧が（Ｃ１−Ｃ２−ＣＬ１＋ＣＬ２）／（Ｃ１＋Ｃ２−ＣＬ−ＣＬ２） に比例する請求項１３記載の容量形圧力変換器。
19. １９．静圧の変動で変化する容量値を有し、第１および第２の圧力にさらされる ように適合され、静圧の変動に基づいて変化する第１および第２圧力間の差圧を 代表する差圧信号を発生する容量形圧力変換器と、 容量形圧力変換器に結合され、容量値ＣＬ１を有する第１のコンデンサと、 容量形圧力変換器に結合され、容量値ＣＬ２を有する第２のコンデンサとを具備 し、 第１および第２コンデンサの容量値は静圧の変動によっては事実上変化せず、静 圧の変動によってもたらされる変動に対して差圧信号を補償するように結合され た２線式伝送機の容量形差圧感知装置。
20. ２０．第１および第２コンデンサの容量値が、静圧の変動によってもたらされる スパン誤差に対して差圧信号を補償するようにされた請求項１９記載の装置。
21. ２１．第１および第２コンデンサの容量値が、静圧の変動によってもたらされる 零誤差に対して差圧信号を補償するようにされた請求項１９記載の装置。
22. ２２．第１および第２コンデンサの容量値が、浮遊容量に対して差圧信号を部分 的に補償するようにされた請求項１９記載の装置。