JPH0650749Y2 - 圧力センサ装置 - Google Patents
圧力センサ装置Info
- Publication number
- JPH0650749Y2 JPH0650749Y2 JP1987093512U JP9351287U JPH0650749Y2 JP H0650749 Y2 JPH0650749 Y2 JP H0650749Y2 JP 1987093512 U JP1987093512 U JP 1987093512U JP 9351287 U JP9351287 U JP 9351287U JP H0650749 Y2 JPH0650749 Y2 JP H0650749Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- container
- pressure sensor
- pressure
- sensor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本考案はシリコンダイヤフラム型圧力センサ素子を用い
た装置に関する。
た装置に関する。
（ロ）従来の技術 従来のこの種のセンサ装置にあっては、センサ素子を封
じた容器内に被測定圧力を導くものであり、従って水圧
を測定する場合には、その水圧のかかった水を容器内に
導くことになる。しかし、容器内の水はセンサ素子に接
触して素子の配線を腐食したり、あるいはダイヤフラム
を構成するシリコンの電気的特性を変化させるなど好ま
しくない。
じた容器内に被測定圧力を導くものであり、従って水圧
を測定する場合には、その水圧のかかった水を容器内に
導くことになる。しかし、容器内の水はセンサ素子に接
触して素子の配線を腐食したり、あるいはダイヤフラム
を構成するシリコンの電気的特性を変化させるなど好ま
しくない。
これに対し、センサ素子に悪影響を及ぼさない安定な液
体をセンサ素子と共に容器に封入する考えもあり（例え
ば特公昭60−34688号公報参照）、それによると、被測
定水圧は上記安定な液体を介してセンサ素子に加わるこ
ととなり、上記の問題はなくなる。
体をセンサ素子と共に容器に封入する考えもあり（例え
ば特公昭60−34688号公報参照）、それによると、被測
定水圧は上記安定な液体を介してセンサ素子に加わるこ
ととなり、上記の問題はなくなる。
（ハ）考案が解決しようとする問題点 本考案は、上記の如く、安定な液体をセンサ素子と共に
容器に封入したタイプの装置において、液体封入時に、
空気のまき込みがなく、又液体の過剰量の封入を避け得
る構造を提供するものである。尚、空気のまき込みによ
り容器内に入った空気は、温度変化により容器内圧を変
えてしまい、又容器への液体の過剰量封入は、容器内圧
を高めるなど、何れの場合も圧力測定に誤差をもたらす
等、好ましくない。
容器に封入したタイプの装置において、液体封入時に、
空気のまき込みがなく、又液体の過剰量の封入を避け得
る構造を提供するものである。尚、空気のまき込みによ
り容器内に入った空気は、温度変化により容器内圧を変
えてしまい、又容器への液体の過剰量封入は、容器内圧
を高めるなど、何れの場合も圧力測定に誤差をもたらす
等、好ましくない。
（ニ）問題点を解決するための手段 本考案の圧力センサ装置は、極薄の感圧用壁面を持った
容器内にシリコンダイヤフラム型圧力センサ素子を安定
な液体と共に密封した装置において、上記液体を注入す
るべく、上記容器に設けたパイプが、弾性体が充填され
た状態で液密的に絞られていることを特徴とする。
容器内にシリコンダイヤフラム型圧力センサ素子を安定
な液体と共に密封した装置において、上記液体を注入す
るべく、上記容器に設けたパイプが、弾性体が充填され
た状態で液密的に絞られていることを特徴とする。
（ホ）作用 本考案の圧力センサ装置を、被測定水圧下の水中に沈め
ることにより、被測定水圧は容器の感圧用壁面を介して
容器内の液体に伝わり、それをセンサ素子が検出する。
ることにより、被測定水圧は容器の感圧用壁面を介して
容器内の液体に伝わり、それをセンサ素子が検出する。
液体封入前に、液体注入用パイプ内にも液体を満してお
き、斯るパイプ内に弾性体を充填することにより、パイ
プより液体がオーバーフローし、その状態において、弾
性体位置でパイプを絞ることにより、絞り部に空気がま
き込まれることなく、又液体が過剰量封入されることも
ない。
き、斯るパイプ内に弾性体を充填することにより、パイ
プより液体がオーバーフローし、その状態において、弾
性体位置でパイプを絞ることにより、絞り部に空気がま
き込まれることなく、又液体が過剰量封入されることも
ない。
（へ）実施例 第１図を参照するに、金属製ヘッダ（１）に、該ヘッダ
の中央孔（２）を覆蓋する配置にてシリコンダイヤフラ
ム型圧力センサ素子（３）が固着され、ヘッダ（１）を
貫通するリード端子（４）とセンサ素子（３）との間の
電気的結線が金属細線（５）によりなされている。
の中央孔（２）を覆蓋する配置にてシリコンダイヤフラ
ム型圧力センサ素子（３）が固着され、ヘッダ（１）を
貫通するリード端子（４）とセンサ素子（３）との間の
電気的結線が金属細線（５）によりなされている。
有底円筒状の金属製キャップ（６）がヘッダ（１）に気
密接着され、ヘッダ（１）と共に封入容器を構成する。
キャップ（６）の底面（6a）は20〜30μｍ厚さ程度の極
薄ステンレスからなる感圧用壁面となる。上記容器内に
は、センサ素子（３）が封入された形となるが、加え
て、シリコンオイル等の安定な液体（７）も封入されて
いる。
密接着され、ヘッダ（１）と共に封入容器を構成する。
キャップ（６）の底面（6a）は20〜30μｍ厚さ程度の極
薄ステンレスからなる感圧用壁面となる。上記容器内に
は、センサ素子（３）が封入された形となるが、加え
て、シリコンオイル等の安定な液体（７）も封入されて
いる。
液体（７）はヘッダ（１）は一体形成した注入用パイプ
（８）を通じて上記容器内に注入されるが、パイプ
（８）は、シリコンゴム等からなる弾性体（９）が充填
された状態で液密的に絞られている。斯る液密封的絞り
部（8a）の下方に設けられた予備的絞り部（8b）は、弾
性体（９）充填時の位置決め体として役立つ。
（８）を通じて上記容器内に注入されるが、パイプ
（８）は、シリコンゴム等からなる弾性体（９）が充填
された状態で液密的に絞られている。斯る液密封的絞り
部（8a）の下方に設けられた予備的絞り部（8b）は、弾
性体（９）充填時の位置決め体として役立つ。
液体（７）の注入作業をより具体的に説明すると、第２
図に示す如く、パイプ（８）内にも液体（７）を満して
おき、次いで第３図に示す如く、弾性体（９）をパイプ
（８）内に充填する。このとき液体（７）はパイプ
（８）よりオーバーフローするため、パイプ（８）内に
空気は入らず、従ってこの状態で液密的絞り部（8a）を
設ければ、斯る絞り部に空気がまき込まれることがな
く、かつ容器内に液体（７）が過剰量封入されることも
ない。
図に示す如く、パイプ（８）内にも液体（７）を満して
おき、次いで第３図に示す如く、弾性体（９）をパイプ
（８）内に充填する。このとき液体（７）はパイプ
（８）よりオーバーフローするため、パイプ（８）内に
空気は入らず、従ってこの状態で液密的絞り部（8a）を
設ければ、斯る絞り部に空気がまき込まれることがな
く、かつ容器内に液体（７）が過剰量封入されることも
ない。
上記装置の使用時には、ヘッダの中央孔（２）に連結さ
れた基準圧導入パイプ（10）を大気中に開放した状態で
装置の感圧壁面（6a）を水中に沈めることにより水圧
が、感圧壁面（6a）を介して液体（７）に伝達され、そ
れをセンサ素子（３）が検出する。尚、ヘッダの中央孔
（２）を密封しておくこともでき、その場合、基準圧導
入パイプ（10）は不要となる。
れた基準圧導入パイプ（10）を大気中に開放した状態で
装置の感圧壁面（6a）を水中に沈めることにより水圧
が、感圧壁面（6a）を介して液体（７）に伝達され、そ
れをセンサ素子（３）が検出する。尚、ヘッダの中央孔
（２）を密封しておくこともでき、その場合、基準圧導
入パイプ（10）は不要となる。
（ト）考案の効果 本考案によれば、センサ素子と共に容器内に封入された
安定な液体を介して間接的に水圧を測定できるから、水
とセンサ素子との接触による悪影響を防止でき、かつ上
記液体の容器内への封入も、空気のまき込みや、過剰量
封入を伴うことなく行われ、よってセンサ装置の精度の
低下もない。
安定な液体を介して間接的に水圧を測定できるから、水
とセンサ素子との接触による悪影響を防止でき、かつ上
記液体の容器内への封入も、空気のまき込みや、過剰量
封入を伴うことなく行われ、よってセンサ装置の精度の
低下もない。
第１図は本考案実施例装置の断面図、第２図及び第３図
は第１図の装置を作成する途中の工程別断面図である。 （１）（６）…容器を構成するヘッダ及びキャップ、
（３）…センサ素子、（6a）…感圧用壁面、（７）…安
定な液体、（８）…液体注入用パイプ、（8a）…液密的
絞り部、（９）…弾性体。
は第１図の装置を作成する途中の工程別断面図である。 （１）（６）…容器を構成するヘッダ及びキャップ、
（３）…センサ素子、（6a）…感圧用壁面、（７）…安
定な液体、（８）…液体注入用パイプ、（8a）…液密的
絞り部、（９）…弾性体。
Claims (1)
- 【請求項１】極薄の感圧用壁面を持った容器内にシリコ
ンダイヤフラム型圧力センサ素子を安定な液体と共に密
封した圧力センサ装置において、上記液体を注入するべ
く、上記容器に設けたパイプが、圧縮変形している弾性
体を咬持する状態で液密的に絞られていることを特徴と
する圧力センサ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987093512U JPH0650749Y2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 圧力センサ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987093512U JPH0650749Y2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 圧力センサ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6431U JPS6431U (ja) | 1989-01-05 |
| JPH0650749Y2 true JPH0650749Y2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=30956150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987093512U Expired - Lifetime JPH0650749Y2 (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 | 圧力センサ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0650749Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008232633A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Anritsu Corp | Ｆｂｇ水圧変動測定センサ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6167537U (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-09 | ||
| JPS61193351U (ja) * | 1985-05-24 | 1986-12-02 |
-
1987
- 1987-06-18 JP JP1987093512U patent/JPH0650749Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6431U (ja) | 1989-01-05 |
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