JPH0651509A - 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - Google Patents
感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法Info
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- JPH0651509A JPH0651509A JP20341892A JP20341892A JPH0651509A JP H0651509 A JPH0651509 A JP H0651509A JP 20341892 A JP20341892 A JP 20341892A JP 20341892 A JP20341892 A JP 20341892A JP H0651509 A JPH0651509 A JP H0651509A
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- vinyl monomer
- water
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】相反則不軌特性を有し、優れた感光特性を有
し、かつ、現像性に優れた感光性組成物を提供するこ
と。 【構成】モルホリノ基を有するビニル単量体、例えば、
アクリロイルモルホリンの重合体又はモルホリノ基を有
するビニル単量体と水溶性のビニル単量体、例えばアク
リルアミド、よりなる共重合体及び水溶性アジド化合物
からなる感光性組成物。この感光性組成物は、酸素の存
在下で相反則不軌特性を示し、カラーブラウン管のブラ
ックマトリクスを製作するに適する。
し、かつ、現像性に優れた感光性組成物を提供するこ
と。 【構成】モルホリノ基を有するビニル単量体、例えば、
アクリロイルモルホリンの重合体又はモルホリノ基を有
するビニル単量体と水溶性のビニル単量体、例えばアク
リルアミド、よりなる共重合体及び水溶性アジド化合物
からなる感光性組成物。この感光性組成物は、酸素の存
在下で相反則不軌特性を示し、カラーブラウン管のブラ
ックマトリクスを製作するに適する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性組成物及びそれ
を用いたパターン形成方法に係り、特にカラーブラウン
管蛍光面の作製に適した感光性組成物及びそれを用いた
パターン形成方法に関する。
を用いたパターン形成方法に係り、特にカラーブラウン
管蛍光面の作製に適した感光性組成物及びそれを用いた
パターン形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のパターン形成法の一例として、特
開昭４８−９０１８５、特開昭５０−３３７６４にはカ
ラーブラウン管のブッラクマトリックスの製造方法及び
これに用いる感光性組成物が記載されている。この方法
は、相反則不軌特性を有する感光性組成物、例えばアク
リルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体等の高
分子化合物とビスアジド系架橋剤とからなる組成物を用
いて光照射区域より実質的に小面積のパターンを形成す
る方法である。
開昭４８−９０１８５、特開昭５０−３３７６４にはカ
ラーブラウン管のブッラクマトリックスの製造方法及び
これに用いる感光性組成物が記載されている。この方法
は、相反則不軌特性を有する感光性組成物、例えばアク
リルアミド−ジアセトンアクリルアミド共重合体等の高
分子化合物とビスアジド系架橋剤とからなる組成物を用
いて光照射区域より実質的に小面積のパターンを形成す
る方法である。
【０００３】これについて詳しく説明する。ブラックマ
トリックス型カラーブラウン管は、パネル内面に赤、
青、緑の蛍光体ドット又はストライプ等の蛍光体パター
ンを有し、その間の空隙をカーボン等の非発光性光吸収
性物質で埋めた構造を有する。以下、説明の便宜のため
ドットの場合について、その製造方法を述べる。まずカ
ラーブラウン管フェースプレート内面に、前記相反則不
軌特性を有する感光性組成物の塗膜を形成し、蛍光体ド
ットを形成する位置をシャドウマスクを介して露光し、
現像して感光性組成物のドットを形成する。この上にカ
ーボンを塗布し、剥離液でドットをその上のカーボンと
共に除去する。かくしてブラックマトリックスのホール
が形成される。このホールに順次赤、青、緑の蛍光体ド
ットを形成する。相反則不軌特性を有する感光性組成物
を用いているため、上記感光性組成物のドットの面積、
すなはち蛍光体ドットの面積は、シャドウマスクを介し
て光照射された面積より実質的に小さい。従ってこのシ
ャドウマスを用いてカラーブラウン管を完成すれば、上
記シャドウマスクの穴を通って照射される電子ビームの
直径は、蛍光体ドットのそれより大きい。それ故、製造
したカラーブラウン管は明るく、コントラストに優れて
いる。
トリックス型カラーブラウン管は、パネル内面に赤、
青、緑の蛍光体ドット又はストライプ等の蛍光体パター
ンを有し、その間の空隙をカーボン等の非発光性光吸収
性物質で埋めた構造を有する。以下、説明の便宜のため
ドットの場合について、その製造方法を述べる。まずカ
ラーブラウン管フェースプレート内面に、前記相反則不
軌特性を有する感光性組成物の塗膜を形成し、蛍光体ド
ットを形成する位置をシャドウマスクを介して露光し、
現像して感光性組成物のドットを形成する。この上にカ
ーボンを塗布し、剥離液でドットをその上のカーボンと
共に除去する。かくしてブラックマトリックスのホール
が形成される。このホールに順次赤、青、緑の蛍光体ド
ットを形成する。相反則不軌特性を有する感光性組成物
を用いているため、上記感光性組成物のドットの面積、
すなはち蛍光体ドットの面積は、シャドウマスクを介し
て光照射された面積より実質的に小さい。従ってこのシ
ャドウマスを用いてカラーブラウン管を完成すれば、上
記シャドウマスクの穴を通って照射される電子ビームの
直径は、蛍光体ドットのそれより大きい。それ故、製造
したカラーブラウン管は明るく、コントラストに優れて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、上記
感光性組成物を用いるとき、現像時間が長いという問題
があった。他の特性を低下させることなく、現像時間を
短縮できる感光性組成物が得られれば、単に作業時間を
短縮し得るのみならず、現像用温水の節約につながるも
のである。本発明の目的は、相反則不軌特性を有し、優
れた感光特性を有し、かつ、現像性に優れた感光性組成
物及びこれを用いたパターン形成方法を提供することに
ある。
感光性組成物を用いるとき、現像時間が長いという問題
があった。他の特性を低下させることなく、現像時間を
短縮できる感光性組成物が得られれば、単に作業時間を
短縮し得るのみならず、現像用温水の節約につながるも
のである。本発明の目的は、相反則不軌特性を有し、優
れた感光特性を有し、かつ、現像性に優れた感光性組成
物及びこれを用いたパターン形成方法を提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の感光性組成物は、 （１）モルホリノ基を有するビニル単量体の重合体又は
モルホリノ基を有するビニル単量体と水溶性のビニル単
量体よりなる共重合体と （２）水溶性アジド化合物とから構成したものである。 モルホリノ基を有するビニル単量体としては、アクリロ
イルモルホリン（以下ＡＣＭＯと略す）、メタアクリロ
イルモルホリン（以下ＭＡＣＭＯと略す）等がある。
めの本発明の感光性組成物は、 （１）モルホリノ基を有するビニル単量体の重合体又は
モルホリノ基を有するビニル単量体と水溶性のビニル単
量体よりなる共重合体と （２）水溶性アジド化合物とから構成したものである。 モルホリノ基を有するビニル単量体としては、アクリロ
イルモルホリン（以下ＡＣＭＯと略す）、メタアクリロ
イルモルホリン（以下ＭＡＣＭＯと略す）等がある。
【０００６】水溶性のビニル単量体としては、アクリル
アミド（以下ＡＡと略す）、ジアセトンアクリルアミド
（以下ＤＡＡと略す）、メタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジ
メチルアクリルアミド、Ｎ−イソプロピルアクリルアミ
ド、アクリルアミドプロパンスルホン酸、ビニルピロリ
ドン、ビニルメチルエーテル、ビニルアルコール等があ
る。ここに挙げた化合物は、必ずしもこれらが共重合体
の原料そのものに用いられるとは限らない。例えば、ポ
リビニルアルコールは、酢酸ビニルを原料として重合
し、加水分解して得られる。このように共重合体中の構
造が、形式的にある単量体（例えばビニルアルコール）
を重合させた場合と同じであれば、その単量体は水溶性
のビニル単量体に含められるものとして扱う。これらの
重合体又は共重合体は、モノマーの水溶液に、２．２’
−アゾビス（２−アミジノプロパン）塩酸塩若しくは過
硫酸カリウム、過硫酸アンモニウム等の過硫酸塩又はこ
れらを用いたレドックス触媒を開始剤として重合又は共
重合させて合成し得る。
アミド（以下ＡＡと略す）、ジアセトンアクリルアミド
（以下ＤＡＡと略す）、メタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジ
メチルアクリルアミド、Ｎ−イソプロピルアクリルアミ
ド、アクリルアミドプロパンスルホン酸、ビニルピロリ
ドン、ビニルメチルエーテル、ビニルアルコール等があ
る。ここに挙げた化合物は、必ずしもこれらが共重合体
の原料そのものに用いられるとは限らない。例えば、ポ
リビニルアルコールは、酢酸ビニルを原料として重合
し、加水分解して得られる。このように共重合体中の構
造が、形式的にある単量体（例えばビニルアルコール）
を重合させた場合と同じであれば、その単量体は水溶性
のビニル単量体に含められるものとして扱う。これらの
重合体又は共重合体は、モノマーの水溶液に、２．２’
−アゾビス（２−アミジノプロパン）塩酸塩若しくは過
硫酸カリウム、過硫酸アンモニウム等の過硫酸塩又はこ
れらを用いたレドックス触媒を開始剤として重合又は共
重合させて合成し得る。
【０００７】上記共重合体の好ましいモノマーの組成比
を検討する前に、次の説明をする。本発明の感光性組成
物は、相反則不軌特性を有し、これにはモルホリノ基を
有するビニル単量体の重合体部分が寄与する。一方、水
溶性のビニル単量体のであるＤＡＡも、その重合体部分
は相反則不軌特性に寄与する。従って、水溶性のビニル
単量体をＤＡＡとそれ以外のものとに分けて、それらと
モルホリノ基を有するビニル単量体との比を定めること
が好ましい。上記共重合体で、モルホリノ基を有するビ
ニル単量体に対して、ＤＡＡ以外の水溶性のビニル単量
体の量は、モノマー比で０．１〜１０．０の範囲が好ま
しく、０．２〜２の範囲がより好ましい。１０．０以下
で、上記感光性組成物の相反則不軌特性が向上し、２以
下でさらに向上する。また、０．１未満では感光特性が
低下し、０．２未満では膜の特性がやや変化するためで
ある。
を検討する前に、次の説明をする。本発明の感光性組成
物は、相反則不軌特性を有し、これにはモルホリノ基を
有するビニル単量体の重合体部分が寄与する。一方、水
溶性のビニル単量体のであるＤＡＡも、その重合体部分
は相反則不軌特性に寄与する。従って、水溶性のビニル
単量体をＤＡＡとそれ以外のものとに分けて、それらと
モルホリノ基を有するビニル単量体との比を定めること
が好ましい。上記共重合体で、モルホリノ基を有するビ
ニル単量体に対して、ＤＡＡ以外の水溶性のビニル単量
体の量は、モノマー比で０．１〜１０．０の範囲が好ま
しく、０．２〜２の範囲がより好ましい。１０．０以下
で、上記感光性組成物の相反則不軌特性が向上し、２以
下でさらに向上する。また、０．１未満では感光特性が
低下し、０．２未満では膜の特性がやや変化するためで
ある。
【０００８】また、ＤＡＡを共重合体に加えるときは、
モルホリノ基を有するビニル単量体に対して、ＤＡＡの
モノマー比は、０．０１〜２．０の範囲が好ましく、
０．１〜２．０の範囲がより好ましい。ＤＡＡの量が
０．０１以上で相反則不軌特性が向上し、０．１以上で
より向上する。ＤＡＡと共にＤＡＡ以外の水溶性のビニ
ル単量体を用いてもよく、その時のＤＡＡ以外の水溶性
のビニル単量体の量については上記と同じ範囲である。
モルホリノ基を有するビニル単量体に対して、ＤＡＡの
モノマー比は、０．０１〜２．０の範囲が好ましく、
０．１〜２．０の範囲がより好ましい。ＤＡＡの量が
０．０１以上で相反則不軌特性が向上し、０．１以上で
より向上する。ＤＡＡと共にＤＡＡ以外の水溶性のビニ
ル単量体を用いてもよく、その時のＤＡＡ以外の水溶性
のビニル単量体の量については上記と同じ範囲である。
【０００９】水溶性アジド化合物は、アジド基を持つ重
合体、共重合体をも含むものである。このような水溶性
アジド化合物としては、４，４’−ジアジドスチルベン
−２，２’−ジスルホン酸二ナトリウム塩、４，４’−
ジアジドジベンザルアセトン−２，２’−ジスルホン酸
二ナトリウム塩等特公昭５７−４３８９１に記載されて
いる化合物を用いることができる。さらに、マレイン酸
−４−ビニルモノアジトベンジリデンアセトフェノンス
ルホン酸ナトリウム共重合体等特開平１−３０２３４８
に記載されている共重合体を用いることができる。ま
た、特開平２−９２９０５、特開平２−１７３００７、
特開平２−２０４７５０、特開平４−２６８４９、特開
平４−５０２０５等に記載されている化合物を用いるこ
とができる。これらの水溶性アジド化合物の内、１分子
中に２以上のアジド基を持つものが好ましい。さらにま
た、これら化合物を２種以上混合して用いることができ
る。これらの水溶性アジド化合物は、重合体又は共重合
体に対して１〜５０重量％の範囲で用いるのが好まし
く、５〜２０重量％の範囲で用いるのがより好ましい。
水溶性アジド化合物が１％未満では感度が十分でなく、
また５０％を超えると塗膜としたときの膜の性質が好ま
しくない。
合体、共重合体をも含むものである。このような水溶性
アジド化合物としては、４，４’−ジアジドスチルベン
−２，２’−ジスルホン酸二ナトリウム塩、４，４’−
ジアジドジベンザルアセトン−２，２’−ジスルホン酸
二ナトリウム塩等特公昭５７−４３８９１に記載されて
いる化合物を用いることができる。さらに、マレイン酸
−４−ビニルモノアジトベンジリデンアセトフェノンス
ルホン酸ナトリウム共重合体等特開平１−３０２３４８
に記載されている共重合体を用いることができる。ま
た、特開平２−９２９０５、特開平２−１７３００７、
特開平２−２０４７５０、特開平４−２６８４９、特開
平４−５０２０５等に記載されている化合物を用いるこ
とができる。これらの水溶性アジド化合物の内、１分子
中に２以上のアジド基を持つものが好ましい。さらにま
た、これら化合物を２種以上混合して用いることができ
る。これらの水溶性アジド化合物は、重合体又は共重合
体に対して１〜５０重量％の範囲で用いるのが好まし
く、５〜２０重量％の範囲で用いるのがより好ましい。
水溶性アジド化合物が１％未満では感度が十分でなく、
また５０％を超えると塗膜としたときの膜の性質が好ま
しくない。
【００１０】本発明の感光性組成物には、前記重合体又
は共重合体の他に、これと相溶性を持ちうる水溶性高分
子化合物を加えることができる。このような高分子化合
物を加える理由は、前記感光性組成物を塗膜とするため
に組成物を水溶液とした際のその水溶液の流動性、塗布
性等の塗料としての特性の改良、あるいは塗膜の特性の
改良等のためである。これらの高分子化合物は、感光性
組成物の相反則不軌特性等の感光性に大きな影響を与え
ないか又は全く影響を与えない範囲で加えられる。その
ため高分子化合物の量が前記重合体又は共重合体に対
し、１〜５０重量％の範囲が好ましく、１〜２０重量％
の範囲がより好ましい。このような高分子化合物として
は、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド等があ
り、前記特公昭５７−４３８９１に開示されている。こ
の高分子化合物として、従来の相反則不軌特性を有する
感光性組成物に用いられていたアクリルアミド・ジアセ
トンアクリルアミド共重合体（以下ＡＡ・ＤＡＡ共重合
体と略す）を用いてもよい。この場合は、その量は前記
重合体又は共重合体に対し、１〜１００重量％の範囲が
好ましく、１〜２０重量％の範囲がより好ましい。
は共重合体の他に、これと相溶性を持ちうる水溶性高分
子化合物を加えることができる。このような高分子化合
物を加える理由は、前記感光性組成物を塗膜とするため
に組成物を水溶液とした際のその水溶液の流動性、塗布
性等の塗料としての特性の改良、あるいは塗膜の特性の
改良等のためである。これらの高分子化合物は、感光性
組成物の相反則不軌特性等の感光性に大きな影響を与え
ないか又は全く影響を与えない範囲で加えられる。その
ため高分子化合物の量が前記重合体又は共重合体に対
し、１〜５０重量％の範囲が好ましく、１〜２０重量％
の範囲がより好ましい。このような高分子化合物として
は、ポリビニルアルコール、ポリアクリルアミド等があ
り、前記特公昭５７−４３８９１に開示されている。こ
の高分子化合物として、従来の相反則不軌特性を有する
感光性組成物に用いられていたアクリルアミド・ジアセ
トンアクリルアミド共重合体（以下ＡＡ・ＤＡＡ共重合
体と略す）を用いてもよい。この場合は、その量は前記
重合体又は共重合体に対し、１〜１００重量％の範囲が
好ましく、１〜２０重量％の範囲がより好ましい。
【００１１】本発明の感光性組成物には、前記重合体又
は共重合体のほかに、塗料特性、塗膜特性の改良のた
め、エチレングリコール、ソルビトール又は界面活性剤
等を加えることが出来る。一般に上記特性改良のためこ
れらの物質が加えられることはよく知られており、特公
昭５７−４３８９１、特公昭５２−２０２２５等にこれ
らのことは開示されている。本発明の感光性組成物は、
塗膜とガラスとの接着性改良のため、少量の接着促進
剤、例えば、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シ
ラン等を加えることが出来る。これら接着促進剤は、特
公昭５７−４３８９１、特公昭５２−２０２２５等に開
示されている。本発明のパターン形成方法は、膜中に酸
素の存在する条件で露光を行なうことが必要である。ま
たシュバルツシルツ定数ｐの値が０〈ｐ〈０．７６の範
囲で露光することが好ましい。シュバルツシルツ定数と
相反則不軌特性については特公昭５７−４３８９１に記
載されている。
は共重合体のほかに、塗料特性、塗膜特性の改良のた
め、エチレングリコール、ソルビトール又は界面活性剤
等を加えることが出来る。一般に上記特性改良のためこ
れらの物質が加えられることはよく知られており、特公
昭５７−４３８９１、特公昭５２−２０２２５等にこれ
らのことは開示されている。本発明の感光性組成物は、
塗膜とガラスとの接着性改良のため、少量の接着促進
剤、例えば、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シ
ラン等を加えることが出来る。これら接着促進剤は、特
公昭５７−４３８９１、特公昭５２−２０２２５等に開
示されている。本発明のパターン形成方法は、膜中に酸
素の存在する条件で露光を行なうことが必要である。ま
たシュバルツシルツ定数ｐの値が０〈ｐ〈０．７６の範
囲で露光することが好ましい。シュバルツシルツ定数と
相反則不軌特性については特公昭５７−４３８９１に記
載されている。
【００１２】
【作用】本発明の感光性組成物は、超高圧水銀灯から発
する励起光の内、特に３６５、４０５、４３６ｎｍの波
長の光をよく吸収する。また、本発明の感光性組成物に
用いている重合体又は共重合体は、モルホリノ基を有し
ているため、感光性組成物を塗膜にしたとき、その塗膜
は酸素透過性が良い。そのため本発明の感光性組成物は
相反則不軌特性を示し、コントラストの良いパターンを
得ることができる。また、モルホリノ基は水溶性である
ため、従来の感光性組成物より水に対する溶解性が高
い。そのため本発明の感光性組成物は、従来の感光性組
成物より溶解性に優れ、従来より短時間で現像すること
ができる。
する励起光の内、特に３６５、４０５、４３６ｎｍの波
長の光をよく吸収する。また、本発明の感光性組成物に
用いている重合体又は共重合体は、モルホリノ基を有し
ているため、感光性組成物を塗膜にしたとき、その塗膜
は酸素透過性が良い。そのため本発明の感光性組成物は
相反則不軌特性を示し、コントラストの良いパターンを
得ることができる。また、モルホリノ基は水溶性である
ため、従来の感光性組成物より水に対する溶解性が高
い。そのため本発明の感光性組成物は、従来の感光性組
成物より溶解性に優れ、従来より短時間で現像すること
ができる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明す
る。その結果を比較例と合わせて表１に示す。また、相
反則不軌特性を示す代表的結果を図１に示す。 実施例１ 撹拌器、冷却器、温度計、窒素ガス導入管を取り付けた
２リットルの反応容器に、ＡＡ２５．９ｇ、ＤＡＡ２
６．２ｇ、ＡＣＭＯ２１．８ｇ（ＡＡ／ＤＡＡ／ＡＣＭ
Ｏモル比２．３５／１／１）及びイオン交換水９３０ｇ
を入れ、５８℃に保ちながら、窒素ガスで装置内の空気
を置換した後、１％２、２−アゾビス（２−アミジノプ
ロパン）塩酸塩水溶液１０ｍｌを加えた。反応溶液を撹
拌しながらこの後６時間５８℃に保った後、反応容器か
ら取り出した。このようにして得た反応生成物はほとん
どすべてのモノマーが重合している。これを希釈して共
重合体の１．５％水溶液とした。この水溶液の粘度は、
２２．０ｃｐであった。
る。その結果を比較例と合わせて表１に示す。また、相
反則不軌特性を示す代表的結果を図１に示す。 実施例１ 撹拌器、冷却器、温度計、窒素ガス導入管を取り付けた
２リットルの反応容器に、ＡＡ２５．９ｇ、ＤＡＡ２
６．２ｇ、ＡＣＭＯ２１．８ｇ（ＡＡ／ＤＡＡ／ＡＣＭ
Ｏモル比２．３５／１／１）及びイオン交換水９３０ｇ
を入れ、５８℃に保ちながら、窒素ガスで装置内の空気
を置換した後、１％２、２−アゾビス（２−アミジノプ
ロパン）塩酸塩水溶液１０ｍｌを加えた。反応溶液を撹
拌しながらこの後６時間５８℃に保った後、反応容器か
ら取り出した。このようにして得た反応生成物はほとん
どすべてのモノマーが重合している。これを希釈して共
重合体の１．５％水溶液とした。この水溶液の粘度は、
２２．０ｃｐであった。
【００１４】この水溶液に光架橋剤として、４，４’−
ジアジドスチルベン−２，２’−ジスルホン酸二ナトリ
ウム塩を共重合体の１０重量％加え感光性組成物水溶液
とした。この感光性組成物水溶液をカラーブラウン管フ
ェースプレート内面に０．５〜０．８μｍの厚さに回転
塗布し、乾燥して塗膜とした。シャドウマスクを用い
て、超高圧水銀灯を光源として、１．４３Ｗ／ｍ2の照
度で２０秒紫外線露光を行なった。次に水温４０℃の温
水スプレーで３３秒現像したところ、現像は完全に終了
し、感光性組成物のドットが得られた。また、この感光
性組成物は相反則不軌特性も示した。ついで、カーボン
懸濁液をドット上に塗布し、剥離液でドットとその上の
カーボンを除いてブラックマトリックスを形成した。さ
らに赤、青、緑のそれぞれの螢光体を含む感光性塗料を
順に塗布、乾燥、光照射による固化、現像を行ない、そ
れぞれの螢光体ドットを形成した。以下、通常通りの方
法でカラーブラウン管を製造した。なお、共重合体の製
造に際し、ＡＣＭＯに変えてＭＡＣＭＯを同じモル数用
いて共重合体を合成し、上記と同様に処理したが、ほと
んど同じ結果が得られた。
ジアジドスチルベン−２，２’−ジスルホン酸二ナトリ
ウム塩を共重合体の１０重量％加え感光性組成物水溶液
とした。この感光性組成物水溶液をカラーブラウン管フ
ェースプレート内面に０．５〜０．８μｍの厚さに回転
塗布し、乾燥して塗膜とした。シャドウマスクを用い
て、超高圧水銀灯を光源として、１．４３Ｗ／ｍ2の照
度で２０秒紫外線露光を行なった。次に水温４０℃の温
水スプレーで３３秒現像したところ、現像は完全に終了
し、感光性組成物のドットが得られた。また、この感光
性組成物は相反則不軌特性も示した。ついで、カーボン
懸濁液をドット上に塗布し、剥離液でドットとその上の
カーボンを除いてブラックマトリックスを形成した。さ
らに赤、青、緑のそれぞれの螢光体を含む感光性塗料を
順に塗布、乾燥、光照射による固化、現像を行ない、そ
れぞれの螢光体ドットを形成した。以下、通常通りの方
法でカラーブラウン管を製造した。なお、共重合体の製
造に際し、ＡＣＭＯに変えてＭＡＣＭＯを同じモル数用
いて共重合体を合成し、上記と同様に処理したが、ほと
んど同じ結果が得られた。
【００１５】比較例１ アクリルアミド・ジアセトンアクリルアミド共重合体
（ＡＡ／ＤＡＡモル比２．３５）を用い、実施例１と同
様に４，４’−ジアジドスチルベン−２，２’−ジスル
ホン酸二ナトリウム塩を加えて従来の感光性組成物水溶
液を得た。その後、実施例１と同様に処理した。この場
合、現像が完全に終了するのに４０秒必要であった。
（ＡＡ／ＤＡＡモル比２．３５）を用い、実施例１と同
様に４，４’−ジアジドスチルベン−２，２’−ジスル
ホン酸二ナトリウム塩を加えて従来の感光性組成物水溶
液を得た。その後、実施例１と同様に処理した。この場
合、現像が完全に終了するのに４０秒必要であった。
【００１６】実施例２ 実施例１の反応容器に、ＡＡ２３．４ｇ、ＡＣＭＯ４
６．６ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比１）及びイオン交換水
９３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた
共重合体の１．５％水溶液の粘度は２２．３ｃｐであっ
た。実施例１と同様の光架橋剤を加え、以下同様に処理
した。現像は３０秒で完全に終了した。また、この感光
性組成物も相反則不軌特性を示した。なお、ＡＣＭＯに
変えてＭＡＣＭＯを同じモル数用いて共重合体を合成
し、上記と同様に処理したが、ほとんど同じ結果が得ら
れた。
６．６ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比１）及びイオン交換水
９３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた
共重合体の１．５％水溶液の粘度は２２．３ｃｐであっ
た。実施例１と同様の光架橋剤を加え、以下同様に処理
した。現像は３０秒で完全に終了した。また、この感光
性組成物も相反則不軌特性を示した。なお、ＡＣＭＯに
変えてＭＡＣＭＯを同じモル数用いて共重合体を合成
し、上記と同様に処理したが、ほとんど同じ結果が得ら
れた。
【００１７】実施例３ 実施例２の共重合体に、光架橋剤として、ビニルアジド
シンナミリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム塩
とマレイン酸ナトリウム塩との共重合体を加えて感光性
組成物水溶液とし、以下、実施例１と同様に処理した。
ただし、０．４Ｗ／ｍ2の照度で２０秒紫外線露光を行
なった。現像は３３秒で完全に終了した。また、この感
光性組成物は相反則不軌特性を示した。
シンナミリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム塩
とマレイン酸ナトリウム塩との共重合体を加えて感光性
組成物水溶液とし、以下、実施例１と同様に処理した。
ただし、０．４Ｗ／ｍ2の照度で２０秒紫外線露光を行
なった。現像は３３秒で完全に終了した。また、この感
光性組成物は相反則不軌特性を示した。
【００１８】比較例２ 比較例１の共重合体に実施例３の光架橋剤を加えて、実
施例３と同様に処理した。この場合現像が完全に終了す
るのに５０秒必要であった。
施例３と同様に処理した。この場合現像が完全に終了す
るのに５０秒必要であった。
【００１９】実施例４ 実施例１の反応容器にＡＡ１４．０ｇ、ＡＣＭＯ５６．
０ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比０．５）及びイオン交換水
９３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた
共重合体の１．５％水溶液の粘度は２１．１ｃｐであっ
た。実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に
処理した。現像は３２秒で完全に終了した。また、この
感光性組成物は相反則不軌特性を示した。
０ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比０．５）及びイオン交換水
９３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた
共重合体の１．５％水溶液の粘度は２１．１ｃｐであっ
た。実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に
処理した。現像は３２秒で完全に終了した。また、この
感光性組成物は相反則不軌特性を示した。
【００２０】実施例５ 実施例１の反応容器にＡＡ１０．０ｇ、ＡＣＭＯ６０．
０ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比０．３３）及びイオン交換
水９３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られ
た共重合体の１．５％水溶液の粘度は２０．３ｃｐであ
った。実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様
に処理した。現像は２８秒で完全に終了した。また、こ
の感光性組成物は相反則不軌特性を示した。この相反則
不軌特性を示した結果を図１に示す。この相反則不軌特
性は、比較例１に示した従来の感光性組成物の相反則不
軌特性とほぼ同じ傾向である。
０ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比０．３３）及びイオン交換
水９３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られ
た共重合体の１．５％水溶液の粘度は２０．３ｃｐであ
った。実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様
に処理した。現像は２８秒で完全に終了した。また、こ
の感光性組成物は相反則不軌特性を示した。この相反則
不軌特性を示した結果を図１に示す。この相反則不軌特
性は、比較例１に示した従来の感光性組成物の相反則不
軌特性とほぼ同じ傾向である。
【００２１】実施例６ 実施例１の反応容器にＡＡ６．４ｇ、ＡＣＭＯ６３．６
ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比０．２）及びイオン交換水９
３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた共
重合体の１．５％水溶液の粘度は１９．７ｃｐであっ
た。実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に
処理した。現像は２５秒で完全に終了した。また、この
感光性組成物は相反則不軌特性を示した。
ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比０．２）及びイオン交換水９
３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた共
重合体の１．５％水溶液の粘度は１９．７ｃｐであっ
た。実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に
処理した。現像は２５秒で完全に終了した。また、この
感光性組成物は相反則不軌特性を示した。
【００２２】実施例７ 実施例１の反応容器にＡＡ３５．２ｇ、ＡＣＭＯ３４．
８ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比２）及びイオン交換水９３
０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた共重
合体の１．５％水溶液の粘度は２２．５ｃｐであった。
実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に処理
した。現像は３５秒で完全に終了した。また、この感光
性組成物は相反則不軌特性を示した。
８ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比２）及びイオン交換水９３
０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた共重
合体の１．５％水溶液の粘度は２２．５ｃｐであった。
実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に処理
した。現像は３５秒で完全に終了した。また、この感光
性組成物は相反則不軌特性を示した。
【００２３】実施例８ 実施例１の反応容器にＡＡ４２．２ｇ、ＡＣＭＯ２７．
８ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比３）及びイオン交換水９３
０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた共重
合体の１．５％水溶液の粘度は２３．０ｃｐであった。
実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に処理
した。現像は３７秒で完全に終了した。また、この感光
性組成物は相反則不軌特性を示した。
８ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比３）及びイオン交換水９３
０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた共重
合体の１．５％水溶液の粘度は２３．０ｃｐであった。
実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に処理
した。現像は３７秒で完全に終了した。また、この感光
性組成物は相反則不軌特性を示した。
【００２４】実施例９ 実施例１の反応容器にＡＡ５０．０ｇ、ＡＣＭＯ２０．
０ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比５）及びイオン交換水９３
０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた共重
合体の１．５％水溶液の粘度は２３．６ｃｐであった。
実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に処理
した。現像は４０秒で完全に終了した。また、この感光
性組成物は相反則不軌特性を示した。
０ｇ（ＡＡ／ＡＣＭＯモル比５）及びイオン交換水９３
０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得られた共重
合体の１．５％水溶液の粘度は２３．６ｃｐであった。
実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同様に処理
した。現像は４０秒で完全に終了した。また、この感光
性組成物は相反則不軌特性を示した。
【００２５】実施例１０ 実施例１の反応容器にＡＡ２２．０ｇ、ＤＡＡ２６．２
ｇ、ＡＣＭＯ２１．８ｇ（ＡＡ／ＤＡＡ／ＡＣＭＯモル
比２／１／１）及びイオン交換水９３０ｇを入れ、実施
例１と同様に処理した。得られた共重合体の１．５％水
溶液の粘度は２２．５ｃｐであった。実施例３の光架橋
剤を加え、以下実施例３と同様に処理した。現像は４３
秒で完全に終了した。また、この感光性組成物は相反則
不軌特性を示した。
ｇ、ＡＣＭＯ２１．８ｇ（ＡＡ／ＤＡＡ／ＡＣＭＯモル
比２／１／１）及びイオン交換水９３０ｇを入れ、実施
例１と同様に処理した。得られた共重合体の１．５％水
溶液の粘度は２２．５ｃｐであった。実施例３の光架橋
剤を加え、以下実施例３と同様に処理した。現像は４３
秒で完全に終了した。また、この感光性組成物は相反則
不軌特性を示した。
【００２６】実施例１１ 実施例１の反応容器にＡＡ１６．８ｇ、ＤＡＡ２０．０
ｇ、ＡＣＭＯ３３．２ｇ（ＡＡ／ＤＡＡ／ＡＣＭＯモル
比２／１／２）及びイオン交換水９３０ｇを入れ、実施
例１と同様に処理した。得られた共重合体の１．５％水
溶液の粘度は２２．０ｃｐであった。実施例３の光架橋
剤を加え、以下実施例３と同様に処理した。現像は３９
秒で完全に終了した。また、この感光性組成物は相反則
不軌特性を示した。
ｇ、ＡＣＭＯ３３．２ｇ（ＡＡ／ＤＡＡ／ＡＣＭＯモル
比２／１／２）及びイオン交換水９３０ｇを入れ、実施
例１と同様に処理した。得られた共重合体の１．５％水
溶液の粘度は２２．０ｃｐであった。実施例３の光架橋
剤を加え、以下実施例３と同様に処理した。現像は３９
秒で完全に終了した。また、この感光性組成物は相反則
不軌特性を示した。
【００２７】実施例１２ 実施例１の反応容器にＡＡ９．８ｇ、ＤＡＡ１１．６
ｇ、ＡＣＭＯ４８．６ｇ（ＡＡ／ＤＡＡ／ＡＣＭＯモル
比２／１／５）及びイオン交換水９３０ｇを入れ、実施
例１と同様に処理した。得られた共重合体の１．５％水
溶液の粘度は２１．２ｃｐであった。実施例３の光架橋
剤を加え、以下実施例３と同様に処理した。現像は３５
秒で完全に終了した。また、この感光性組成物は相反則
不軌特性を示した。
ｇ、ＡＣＭＯ４８．６ｇ（ＡＡ／ＤＡＡ／ＡＣＭＯモル
比２／１／５）及びイオン交換水９３０ｇを入れ、実施
例１と同様に処理した。得られた共重合体の１．５％水
溶液の粘度は２１．２ｃｐであった。実施例３の光架橋
剤を加え、以下実施例３と同様に処理した。現像は３５
秒で完全に終了した。また、この感光性組成物は相反則
不軌特性を示した。
【００２８】実施例１３ 実施例１の反応容器にＡＣＭＯ７０．０ｇ及びイオン交
換水９３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得ら
れた共重合体の１．５％水溶液の粘度は２１．６ｃｐで
あった。実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同
様に処理した。現像は３７秒で完全に終了した。また、
この感光性組成物は相反則不軌特性を示した。
換水９３０ｇを入れ、実施例１と同様に処理した。得ら
れた共重合体の１．５％水溶液の粘度は２１．６ｃｐで
あった。実施例３の光架橋剤を加え、以下実施例３と同
様に処理した。現像は３７秒で完全に終了した。また、
この感光性組成物は相反則不軌特性を示した。
【００２９】☆
【表１】 表１ 実施例Ｎｏ． 共重合体１．５％の粘度（ｃｐ） 現像時間（秒） １ ２２．０ ３３ ２ ２２．３ ３０ ３ 同上 ３３ ４ ２１．１ ３２ ５ ２０．３ ２８ ６ １９．７ ２５ ７ ２２．５ ３５ ８ ２３．０ ３７ ９ ２３．６ ４０ １０ ２２．５ ４３ １１ ２２．０ ３９ １２ ２１．２ ３５ １３ ２１．６ ３７ 比較例１ ２０．６ ４０ 比較例２ 同上 ５０ ★ 実施例１４ 実施例３の感光性組成物水溶液をシリコン基板上に回転
塗布し、１μｍの塗膜とした。乾燥後、マスクを通して
水銀キセノンランプで露光を行なった。次に水で現像し
た後、アセトンでリンスした。感度は、２０ｍＪであっ
た。シリコン基板上に１μｍの線幅のネガ型パターンを
得た。
塗布し、１μｍの塗膜とした。乾燥後、マスクを通して
水銀キセノンランプで露光を行なった。次に水で現像し
た後、アセトンでリンスした。感度は、２０ｍＪであっ
た。シリコン基板上に１μｍの線幅のネガ型パターンを
得た。
【００３０】実施例１５ 実施例３の感光性組成物水溶液をアルミ基板上にロール
コーターを用いて２回塗布した。乾燥後、マスクを通し
て水銀キセノンランプで露光を行なった。次に水で現像
した後、アセトンでリンスした。アルミ基板上に１μｍ
の線幅のネガ型パターンを得た。
コーターを用いて２回塗布した。乾燥後、マスクを通し
て水銀キセノンランプで露光を行なった。次に水で現像
した後、アセトンでリンスした。アルミ基板上に１μｍ
の線幅のネガ型パターンを得た。
【００３１】実施例１６ 実施例１５のアルミ基板を銅基板に換えて、実施例１４
と同様な操作を行ない、同様な結果を得た。
と同様な操作を行ない、同様な結果を得た。
【００３２】実施例１７ 実施例３の感光性組成物水溶液をガラス基板上に回転塗
布した。乾燥後、マスクを通して高圧水銀灯で露光を行
ない、次に水で現像した。これに水溶性の赤色染料を用
いて染色した。同様な操作を緑色、青色染料についても
行ない、ガラス基板上にカラーフィルターを得た。
布した。乾燥後、マスクを通して高圧水銀灯で露光を行
ない、次に水で現像した。これに水溶性の赤色染料を用
いて染色した。同様な操作を緑色、青色染料についても
行ない、ガラス基板上にカラーフィルターを得た。
【００３３】実施例１８ 実施例３の感光性組成物水溶液をシリコン素子上の保護
膜の上に回転塗布した。乾燥後、マスクを通して高圧水
銀灯で露光を行ない、次に水で現像した。これに水溶性
のシアン染料を用いて染色した。同様な操作を黄色染料
についても行ない、シリコン素子上にカラーフィルター
を得た。
膜の上に回転塗布した。乾燥後、マスクを通して高圧水
銀灯で露光を行ない、次に水で現像した。これに水溶性
のシアン染料を用いて染色した。同様な操作を黄色染料
についても行ない、シリコン素子上にカラーフィルター
を得た。
【００３４】
【発明の効果】本発明の感光性組成物は優れた現像特性
を有し、相反則不軌特性を示す。それ故、例えば大型の
ブラックマトリックス型カラーブラウン管の製造等に用
いて短時間で、少量の水で現像できるという効果があ
る。また高精細ブラックマトリックス型カラーブラウン
管の製造等に用いてもコントラストのよいブラックマト
リクスを製作できる効果がある。
を有し、相反則不軌特性を示す。それ故、例えば大型の
ブラックマトリックス型カラーブラウン管の製造等に用
いて短時間で、少量の水で現像できるという効果があ
る。また高精細ブラックマトリックス型カラーブラウン
管の製造等に用いてもコントラストのよいブラックマト
リクスを製作できる効果がある。
【図１】本発明の感光性組成物の相反則不軌特性を説明
するための露光時間−露光照度の関係を示す図である。
するための露光時間−露光照度の関係を示す図である。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０３Ｆ 7/30 7124−2Ｈ Ｈ０１Ｊ 9/14 Ｈ 7354−5Ｅ (72)発明者 林 伸明 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地株 式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 小▲高▼ 芳之 東京都千代田区丸の内１丁目５番１号株式 会社日立製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 西澤 昌紘 千葉県茂原市早野3300番地株式会社日立製 作所茂原工場内
Claims (11)
- 【請求項１】モルホリノ基を有するビニル単量体の重合
体又はモルホリノ基を有するビニル単量体と水溶性のビ
ニル単量体よりなる共重合体及び水溶性アジド化合物か
らなることを特徴とする感光性組成物。 - 【請求項２】請求項１記載の感光性組成物において、上
記モルホリノ基を有するビニル単量体は、アクリロイル
モルホリン及びメタアクリロイルモルホリンからなる群
から選ばれた少なくとも一種の単量体であることを特徴
とする感光性組成物。 - 【請求項３】請求項１又は２記載の感光性組成物におい
て、上記水溶性のビニル単量体は、アクリルアミドであ
ることを特徴とする感光性組成物。 - 【請求項４】請求項３記載の感光性組成物において、上
記共重合体を構成する水溶性のビニル単量体の量は、モ
ルホリノ基を有するビニル単量体に対し、モノマー比で
０．１から１０．０の範囲であることを特徴とする感光
性組成物。 - 【請求項５】請求項１又は２記載の感光性組成物におい
て、上記水溶性のビニル単量体は、２種以上の単量体か
らなり、その一種は、ジアセトンアクリルアミドであ
り、他は、ジアセトンアクリルアミド以外の水溶性のビ
ニル単量体であることを特徴とする感光性組成物。 - 【請求項６】請求項５記載の感光性組成物において、上
記ジアセトンアクリルアミド以外の水溶性のビニル単量
体は、アクリルアミドであることを特徴とする感光性組
成物。 - 【請求項７】請求項５又は６記載の感光性組成物におい
て、上記共重合体を構成するジアセトンアクリルアミド
の量は、モルホリノ基を有するビニル単量体に対し、モ
ノマー比で０．０１から２．０の範囲であり、ジアセト
ンアクリルアミド以外の水溶性のビニル単量体の量は、
モルホリノ基を有するビニル単量体に対し、モノマー比
で０．１から１０．０の範囲であることを特徴とする感
光性組成物。 - 【請求項８】請求項１から７のいずれか一に記載の感光
性組成物において、上記水溶性アジド化合物は、１分子
中に２以上のアジド基を持つ化合物であることを特徴と
する感光性組成物。 - 【請求項９】請求項１から８のいずれか一に記載の感光
性組成物において、上記水溶性アジド化合物の量は、上
記重合体又は共重合体に対して１から５０重量％の範囲
であることを特徴とする感光性組成物。 - 【請求項１０】所望のパターンを形成しようとする面上
に、請求項１から８のいずれか一に記載の感光性組成物
の塗膜を形成する工程、該感光性組成物の塗膜に酸素の
存在する条件において所望のパターン露光を行なう工程
及び上記塗膜を現像して光照射区域より実質的に小さい
面積のパターンを形成する工程を有することを特徴とす
るパターン形成方法。 - 【請求項１１】請求項１０記載のパターン形成方法にお
いて、上記面は、カラーブラウン管のフェースプレート
の内面であることを特徴とするパターン形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20341892A JPH0651509A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20341892A JPH0651509A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0651509A true JPH0651509A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16473749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20341892A Pending JPH0651509A (ja) | 1992-07-30 | 1992-07-30 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0651509A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3607250A1 (de) * | 1985-03-08 | 1986-09-11 | Kansai Paint Co., Ltd., Amagasaki, Hyogo | Waessrige ueberzugszusammensetzung |
| WO1998014831A1 (fr) * | 1996-10-02 | 1998-04-09 | Sanyo Chemical Industries, Ltd. | Composition photosensible et son utilisation |
-
1992
- 1992-07-30 JP JP20341892A patent/JPH0651509A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3607250A1 (de) * | 1985-03-08 | 1986-09-11 | Kansai Paint Co., Ltd., Amagasaki, Hyogo | Waessrige ueberzugszusammensetzung |
| WO1998014831A1 (fr) * | 1996-10-02 | 1998-04-09 | Sanyo Chemical Industries, Ltd. | Composition photosensible et son utilisation |
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