JPH065287B2 - 低速電子測定装置 - Google Patents
低速電子測定装置Info
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- JPH065287B2 JPH065287B2 JP60080892A JP8089285A JPH065287B2 JP H065287 B2 JPH065287 B2 JP H065287B2 JP 60080892 A JP60080892 A JP 60080892A JP 8089285 A JP8089285 A JP 8089285A JP H065287 B2 JPH065287 B2 JP H065287B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、大気中における気体放電を利用して低速電子
を測定する装置の放電率、つまり基準点を補正する技術
に関する。
を測定する装置の放電率、つまり基準点を補正する技術
に関する。
（従来技術） 試料表面から放出された光電子や熱電子、エキソ電子
（以下、低速電子と呼ぶ）の検出には、開口を介して大
気開放された導電性容器からなる陰極の内部に陽極を、
また開口部１ａに第一及び第二格子を配設し、陰極と陽
極間に３．４ＫＶ程度の電圧を印加し、また第一及び第
二の格子電極にはそれぞれ常時は１００Ｖ及び８０Ｖ程
度の電圧が印加されている低速電子測定装置が用いられ
る。
（以下、低速電子と呼ぶ）の検出には、開口を介して大
気開放された導電性容器からなる陰極の内部に陽極を、
また開口部１ａに第一及び第二格子を配設し、陰極と陽
極間に３．４ＫＶ程度の電圧を印加し、また第一及び第
二の格子電極にはそれぞれ常時は１００Ｖ及び８０Ｖ程
度の電圧が印加されている低速電子測定装置が用いられ
る。
この装置において、試料表面から放出された低速電子が
空間部を通過して開口部から陰極に侵入すると、この低
速電子をトリガとして陽極に放電が生じ、陽極からパル
ス信号を出力する。このパルス信号により計数手段を作
動させる一方、第一の格子電極の電位を上昇させて放電
の発達を防止し、同時に第二格子電極を負電位まで低下
させて放電中に生じた陽イオンを中和し、以後元の状態
に戻るという過程を繰返しながら低速電子の発生数を測
定する。
空間部を通過して開口部から陰極に侵入すると、この低
速電子をトリガとして陽極に放電が生じ、陽極からパル
ス信号を出力する。このパルス信号により計数手段を作
動させる一方、第一の格子電極の電位を上昇させて放電
の発達を防止し、同時に第二格子電極を負電位まで低下
させて放電中に生じた陽イオンを中和し、以後元の状態
に戻るという過程を繰返しながら低速電子の発生数を測
定する。
ところで、この低速電子検出装置は、開口を介して大気
に連通されている関係上、第５図（イ）（ロ）の実線に
よりに示したように大気圧や温度、さらには湿度等の大
気条件の変動を直接受け、このため放電条件が変動して
同一陽極電圧に対する計数率が大幅に変化し、測定結果
に大きな測定誤差を生じるという不都合があった。
に連通されている関係上、第５図（イ）（ロ）の実線に
よりに示したように大気圧や温度、さらには湿度等の大
気条件の変動を直接受け、このため放電条件が変動して
同一陽極電圧に対する計数率が大幅に変化し、測定結果
に大きな測定誤差を生じるという不都合があった。
もとより、このような問題は、気圧センサや温度セン
サ、湿度センサ等を用いて大気条件を検出し、この検出
結果に基づいて陽極電圧を調整することにより解消され
るが、各種のセンサを必要するばかりでなく、大気条件
を支配する各パラメータが放電条件に及ぼす影響度の相
違や、これらの相互関連性を勘案して制御量を決定せね
ばならず、特別な演算手段が必要になるといった新たな
問題を招く。
サ、湿度センサ等を用いて大気条件を検出し、この検出
結果に基づいて陽極電圧を調整することにより解消され
るが、各種のセンサを必要するばかりでなく、大気条件
を支配する各パラメータが放電条件に及ぼす影響度の相
違や、これらの相互関連性を勘案して制御量を決定せね
ばならず、特別な演算手段が必要になるといった新たな
問題を招く。
このような問題を解消するために、物理量検出器と同様
な検出器を用いて補正する手法も特開昭51-131379号公
報に見られるごとく常套手段ではあるが、同等な物理量
検出器を２つ必要としてコストが掛かるという問題があ
る。
な検出器を用いて補正する手法も特開昭51-131379号公
報に見られるごとく常套手段ではあるが、同等な物理量
検出器を２つ必要としてコストが掛かるという問題があ
る。
（目的） 本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであっ
て、その目的とするところは可及的に安価な補正用検出
器を用いて、複数の事象により変動をきたす低速電子検
出器の基準点を補正することができる低速電子検出器を
提供することである。
て、その目的とするところは可及的に安価な補正用検出
器を用いて、複数の事象により変動をきたす低速電子検
出器の基準点を補正することができる低速電子検出器を
提供することである。
（構成） そこで、以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づい
て説明する。
て説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すものであって、図中
符号１は、下部に形成された開口１ａを介して大気に開
放された容器状の陰極で、内部空間に不平等電界を形成
する陽極２、及び放電を制御する第一格子電極３、第二
極子電極４が上下関係となるように配設して低速電子検
出器が構成されている。この陽極２は、第一電圧可変型
高電圧発生装置５に接続して低速電子が流入したときに
放電を生じるに足る電界を発生させるように構成され、
また直流阻止用コンデンサ６を介して増幅器７に接続さ
れている。
符号１は、下部に形成された開口１ａを介して大気に開
放された容器状の陰極で、内部空間に不平等電界を形成
する陽極２、及び放電を制御する第一格子電極３、第二
極子電極４が上下関係となるように配設して低速電子検
出器が構成されている。この陽極２は、第一電圧可変型
高電圧発生装置５に接続して低速電子が流入したときに
放電を生じるに足る電界を発生させるように構成され、
また直流阻止用コンデンサ６を介して増幅器７に接続さ
れている。
第一格子電極３は、第一パルス発生器８に接続され、常
時には１００Ｖ程度の電圧を、また増幅器７からのパル
ス信号の出力により一定時間Te継続する４００Ｖ程度の
電圧が印加され、第二格子電極４は、第二パルス発生器
９に接続され、常時は８０Ｖ程度の電圧を、また増幅器
７からのパルス信号の出力により一定時間Te継続するマ
イナス３０Ｖ程度の電圧が印加されるように構成されて
いる。１０は、大気状態を検出する大気状態検出器で、
図中符号１１は、開口部１１ａを介して大気に連通した
容器状の陰極で、空間中央部には陽極１２を配設する一
方、開口部１１ａの近傍に陰極に導電的に接続した格子
電極１４を配設して外部からの電子の流入を阻止するよ
うに構成されている。１５は、第二電圧可変型高電圧発
生装置で、出力電圧を走査して第二カウンタ１６からの
出力が予め設定された計数率になった時点で電圧走査を
中止し、この走査が中止されたときの電圧Ｖｄを後述す
る制御回路１７に出力するように構成されている。１７
は、前述の制御回路で第二電圧可変型高電圧発生装置１
５の電圧Ｖｄをパラメータとして陽極２に一定レベルの
放電を生じさせる電圧を第一可変型高電圧発生装置５か
ら出力させるように構成されている。なお、図中符号１
８は、低速電子検出器からのパルス信号を計数する第一
カウンタを、１９はカウンタ１８からの出力を処理して
計数率等に変換して表示するディスプレイ装置を、２０
は、直流阻止用コンデンサをそれぞれ示す。
時には１００Ｖ程度の電圧を、また増幅器７からのパル
ス信号の出力により一定時間Te継続する４００Ｖ程度の
電圧が印加され、第二格子電極４は、第二パルス発生器
９に接続され、常時は８０Ｖ程度の電圧を、また増幅器
７からのパルス信号の出力により一定時間Te継続するマ
イナス３０Ｖ程度の電圧が印加されるように構成されて
いる。１０は、大気状態を検出する大気状態検出器で、
図中符号１１は、開口部１１ａを介して大気に連通した
容器状の陰極で、空間中央部には陽極１２を配設する一
方、開口部１１ａの近傍に陰極に導電的に接続した格子
電極１４を配設して外部からの電子の流入を阻止するよ
うに構成されている。１５は、第二電圧可変型高電圧発
生装置で、出力電圧を走査して第二カウンタ１６からの
出力が予め設定された計数率になった時点で電圧走査を
中止し、この走査が中止されたときの電圧Ｖｄを後述す
る制御回路１７に出力するように構成されている。１７
は、前述の制御回路で第二電圧可変型高電圧発生装置１
５の電圧Ｖｄをパラメータとして陽極２に一定レベルの
放電を生じさせる電圧を第一可変型高電圧発生装置５か
ら出力させるように構成されている。なお、図中符号１
８は、低速電子検出器からのパルス信号を計数する第一
カウンタを、１９はカウンタ１８からの出力を処理して
計数率等に変換して表示するディスプレイ装置を、２０
は、直流阻止用コンデンサをそれぞれ示す。
つぎに、このように構成した装置の動作を第２図に示し
た波形図に基づいて説明する。
た波形図に基づいて説明する。
現在の大気状態は、第５図のIIで示される状態にあると
する。
する。
陰極開口部１ａの下方に試料Ｓを配置して装置を作動す
ると、試料Ｓの表面から放出された低速電子は、低速電
子検出器の陽極２により形成された電界を受けて第二格
子電極４及び第一格子電極３を順次通り抜けて陽極２に
引き寄せられて行く。このようにして低速電子が陽極２
の近傍に到達すると、この電子は、陽極２近傍に分布し
ている強電界の作用を受けて急激に加速され、周囲の大
気を電離させて放電を引き起す。これにより陽極２は、
急激な電位降下を引き起す。この電位降下は、直流阻止
用コンデンサ６を介してパルス信号となって増幅器７に
より増幅されてカウンタ１８に入力し、低速電子の発生
頻度や個数としてディスプレイ装置１９に表示される。
ると、試料Ｓの表面から放出された低速電子は、低速電
子検出器の陽極２により形成された電界を受けて第二格
子電極４及び第一格子電極３を順次通り抜けて陽極２に
引き寄せられて行く。このようにして低速電子が陽極２
の近傍に到達すると、この電子は、陽極２近傍に分布し
ている強電界の作用を受けて急激に加速され、周囲の大
気を電離させて放電を引き起す。これにより陽極２は、
急激な電位降下を引き起す。この電位降下は、直流阻止
用コンデンサ６を介してパルス信号となって増幅器７に
より増幅されてカウンタ１８に入力し、低速電子の発生
頻度や個数としてディスプレイ装置１９に表示される。
一方、このパルス信号は、第一及び第二パルス発生器
８、９に入力して第一パルス発生器８から電圧が例えば
３００Ｖで時間幅Ｔｅのパルスを重畳出力させて第一格
子電極３の電位を４００Ｖに引き上げて放電を消滅させ
る。また第二パルス発生器９からパルスを出力させて、
第二格子電極４の電位を陰極１に対して−３０Ｖまで下
げ、上記放電により陰極１内に発生した陽イオンを消滅
させる。時間Ｔｅが経過すると、第一及び第二パルス発
生器８、９からのパルス出力が停止し、測定装置は初期
の状態に戻ってつぎの低速電子の流入を待つ。
８、９に入力して第一パルス発生器８から電圧が例えば
３００Ｖで時間幅Ｔｅのパルスを重畳出力させて第一格
子電極３の電位を４００Ｖに引き上げて放電を消滅させ
る。また第二パルス発生器９からパルスを出力させて、
第二格子電極４の電位を陰極１に対して−３０Ｖまで下
げ、上記放電により陰極１内に発生した陽イオンを消滅
させる。時間Ｔｅが経過すると、第一及び第二パルス発
生器８、９からのパルス出力が停止し、測定装置は初期
の状態に戻ってつぎの低速電子の流入を待つ。
この低速電子の計測に並行して、大気状態検出器１０
は、第二電圧可変型高電圧発生装置１５の電圧走査を受
け、第６図（イ）（ロ）のIIに示した状態、つまりに現
在の大気状態に相当する計数率で自続放電を行なう。今
の場合、大気状態に変化がないので、電圧Ｖｄに到達す
る度に設定された計数率に到達する。このため、制御回
路１７は第一可電圧変型高電圧発生装置５からの出力電
圧Ｖ0を維持する。
は、第二電圧可変型高電圧発生装置１５の電圧走査を受
け、第６図（イ）（ロ）のIIに示した状態、つまりに現
在の大気状態に相当する計数率で自続放電を行なう。今
の場合、大気状態に変化がないので、電圧Ｖｄに到達す
る度に設定された計数率に到達する。このため、制御回
路１７は第一可電圧変型高電圧発生装置５からの出力電
圧Ｖ0を維持する。
このような状態において、大気圧や気温、湿度等の大気
状態が変化して陽極２付近における電子移動度等の放電
に関わる条件に変動を来たし、放電条件が第５図（イ）
（ロ）のIIIに示された状態、つまり計数率が低下した
とする。
状態が変化して陽極２付近における電子移動度等の放電
に関わる条件に変動を来たし、放電条件が第５図（イ）
（ロ）のIIIに示された状態、つまり計数率が低下した
とする。
大気状態検出器１０は、第二電圧可変型高電圧発生装置
１５により電圧走査を受けるが、第６図（イ）（ロ）の
IIIにより示された状態となり、前回の電圧Ｖｄでは前
回の計数率と同等の自続放電を起すことができず、これ
よりの高い電圧まで走査が行なわれた時点で、第二カウ
ンタ１６からの計数率が設定レベルに到達する。この時
点で、第二電圧可変型高電圧発生装置１５は、電圧走査
を中止し、この電圧Ｖｄ′を制御回路１７に出力する。
言うまでもなく、この電圧Ｖｄ′は、変動後の大気状態
を表わすものである。制御回路１０は、この電圧Ｖｄ′
を受けて第一電圧可変型高電圧発生装置５の出力電圧を
ΔＶだけ高電圧側にシフトさせて放電条件を調整する。
これにより、放電条件は、大気状態変動以前の状態、つ
まり第５図（イ）（ロ）に示すIIと同一の条件に引戻さ
れ、以後、低速電子１個に対する計数率、つまり検出感
度に変化を来たすことなく低速電子を検出する。
１５により電圧走査を受けるが、第６図（イ）（ロ）の
IIIにより示された状態となり、前回の電圧Ｖｄでは前
回の計数率と同等の自続放電を起すことができず、これ
よりの高い電圧まで走査が行なわれた時点で、第二カウ
ンタ１６からの計数率が設定レベルに到達する。この時
点で、第二電圧可変型高電圧発生装置１５は、電圧走査
を中止し、この電圧Ｖｄ′を制御回路１７に出力する。
言うまでもなく、この電圧Ｖｄ′は、変動後の大気状態
を表わすものである。制御回路１０は、この電圧Ｖｄ′
を受けて第一電圧可変型高電圧発生装置５の出力電圧を
ΔＶだけ高電圧側にシフトさせて放電条件を調整する。
これにより、放電条件は、大気状態変動以前の状態、つ
まり第５図（イ）（ロ）に示すIIと同一の条件に引戻さ
れ、以後、低速電子１個に対する計数率、つまり検出感
度に変化を来たすことなく低速電子を検出する。
以後、大気状態が変動するたびにこのような電圧調整を
行なって低速電子１個に対する計数率を一定に維持す
る。
行なって低速電子１個に対する計数率を一定に維持す
る。
第３図は、本発明の第二実施例を示すものであって、図
中符号２１は、容器状の陰極１の内部に配設された陽極
で、導線をループ状に形成し、後述する陽極温度制御回
路２２からの電力を受けてジュール熱により昇温するよ
うに構成されている。この陽極２１は、高電圧発生装置
２３に接続して低速電子が流入したときに放電を生じる
に足る電界を発生させるように構成され、また直流阻止
用コンデンサ６を介して増幅器７に接続されている。２
２は、前述の陽極温度制御回路で、大気状態検出器１０
に接続する第二カウンタ１６の計数率が予め設定された
値になる電圧をパラメータとして、陽極２１が一定レベ
ルの放電を生じる温度となるように加熱電力を供給する
ように構成されている。
中符号２１は、容器状の陰極１の内部に配設された陽極
で、導線をループ状に形成し、後述する陽極温度制御回
路２２からの電力を受けてジュール熱により昇温するよ
うに構成されている。この陽極２１は、高電圧発生装置
２３に接続して低速電子が流入したときに放電を生じる
に足る電界を発生させるように構成され、また直流阻止
用コンデンサ６を介して増幅器７に接続されている。２
２は、前述の陽極温度制御回路で、大気状態検出器１０
に接続する第二カウンタ１６の計数率が予め設定された
値になる電圧をパラメータとして、陽極２１が一定レベ
ルの放電を生じる温度となるように加熱電力を供給する
ように構成されている。
つぎに、このように構成した装置の動作を第４図に示し
た波形図に基づいて説明する。
た波形図に基づいて説明する。
大気圧や気温、湿度等の大気状態が変化して陽極２１の
付近における電子移動度等の放電に関わる条件に変動を
来たし、放電条件が第５図（イ）（ロ）のIIにより示さ
れる状態から同図IIIに示された状態、つまり計数率が
低下する状態に変化したとする。
付近における電子移動度等の放電に関わる条件に変動を
来たし、放電条件が第５図（イ）（ロ）のIIにより示さ
れる状態から同図IIIに示された状態、つまり計数率が
低下する状態に変化したとする。
大気状態検出器１０は、電圧可変型高電圧発生装置２４
により電圧走査を受けるが、第６図（イ）（ロ）のIII
により示された状態となって前回の電圧Ｖｄでは前回と
同等の計数率の自続放電を起すことができず、したがっ
て高い電圧Ｖｄ’まで走査が行なわれた時点で、第二カ
ウンタ１６からの計数率が設定レベルに到達する。この
時点で、電圧可変型高電圧発生装置２４は、電圧走査を
中止し、この電圧Ｖｄ’を陽極温度制御回路２２に出力
する。言うまでもなく、この電圧Ｖｄ’は、変動後の大
気状態を表わすものである。陽極温度制御回路２２は、
この電圧Ｖｄ’をパラメータとして低速電子検出器の陽
極２１への加熱電力を増加させ、陽極２１の温度をΔＴ
だけ高温側にシフトさせる。これにより陽極２１近傍の
気体の温度が上昇して電子の移動度が大きくなり、放電
条件は、大気状態変動以前の状態、つまり第５図（イ）
（ロ）においてIIで示された条件に引戻され、以後、低
速電子１個に対する計数率、つまり検出感度に変化を来
たすことなく低速電子を検出する。
により電圧走査を受けるが、第６図（イ）（ロ）のIII
により示された状態となって前回の電圧Ｖｄでは前回と
同等の計数率の自続放電を起すことができず、したがっ
て高い電圧Ｖｄ’まで走査が行なわれた時点で、第二カ
ウンタ１６からの計数率が設定レベルに到達する。この
時点で、電圧可変型高電圧発生装置２４は、電圧走査を
中止し、この電圧Ｖｄ’を陽極温度制御回路２２に出力
する。言うまでもなく、この電圧Ｖｄ’は、変動後の大
気状態を表わすものである。陽極温度制御回路２２は、
この電圧Ｖｄ’をパラメータとして低速電子検出器の陽
極２１への加熱電力を増加させ、陽極２１の温度をΔＴ
だけ高温側にシフトさせる。これにより陽極２１近傍の
気体の温度が上昇して電子の移動度が大きくなり、放電
条件は、大気状態変動以前の状態、つまり第５図（イ）
（ロ）においてIIで示された条件に引戻され、以後、低
速電子１個に対する計数率、つまり検出感度に変化を来
たすことなく低速電子を検出する。
なお、上述した実施例においては、大気状態検出器の電
圧走査を低電圧側から行なうようにしているが、高電圧
側から走査して計数率が設定値まで低下した時点の陽極
電圧に基づいて低速電子検出器の放電条件を制御しても
よい。また上述した実施例においては、大気状態検出器
における放電状態の検知を計数率の変化に基づいて行な
っているが、増幅器７からのパルス信号の波高値や陽極
負荷電流の大きさから検出できることは言うまでもな
い。さらに、上述した実施例においては、陽極に直接通
電して陽極温度の制御を行なっているが、陽極近傍にヒ
ータを配設して間接的に加熱するようにしても同様の作
用を奏する。
圧走査を低電圧側から行なうようにしているが、高電圧
側から走査して計数率が設定値まで低下した時点の陽極
電圧に基づいて低速電子検出器の放電条件を制御しても
よい。また上述した実施例においては、大気状態検出器
における放電状態の検知を計数率の変化に基づいて行な
っているが、増幅器７からのパルス信号の波高値や陽極
負荷電流の大きさから検出できることは言うまでもな
い。さらに、上述した実施例においては、陽極に直接通
電して陽極温度の制御を行なっているが、陽極近傍にヒ
ータを配設して間接的に加熱するようにしても同様の作
用を奏する。
また、上述の実施例においては、低速電子の侵入を阻止
した状態、つまり低速電子が零の状態を校正基準として
いるが、電子線等のエネルギー線を既知量放出する物体
を用い、このエネルギー線に基づく計数率が一定となる
ように調整しても同様の作用を奏することは云うまでも
ない。
した状態、つまり低速電子が零の状態を校正基準として
いるが、電子線等のエネルギー線を既知量放出する物体
を用い、このエネルギー線に基づく計数率が一定となる
ように調整しても同様の作用を奏することは云うまでも
ない。
（効果） 以上、説明したように特に大気状態を検出するために、
大気に連通する流入口が形成された容器状の陰極と、陰
極の内部に配設された陽極と、流入口に配設されて電子
の侵入を阻止する格子電極と、陽極に対して少なくとも
放電を生じさせるに足る電圧を出力する第二の電圧可変
型高電圧発生手段を備えた大気状態検出器を用い、これ
により低速電子検出器の陽極の電圧や温度を制御するよ
うにしたので、温度や湿度、さらには大気圧等の複数の
事象により影響を受ける放電状態を１つの検出器からの
信号により的確に制御することができる。
大気に連通する流入口が形成された容器状の陰極と、陰
極の内部に配設された陽極と、流入口に配設されて電子
の侵入を阻止する格子電極と、陽極に対して少なくとも
放電を生じさせるに足る電圧を出力する第二の電圧可変
型高電圧発生手段を備えた大気状態検出器を用い、これ
により低速電子検出器の陽極の電圧や温度を制御するよ
うにしたので、温度や湿度、さらには大気圧等の複数の
事象により影響を受ける放電状態を１つの検出器からの
信号により的確に制御することができる。
第１図は、本発明の一実施例を示す装置の構成図、第２
図は、同上装置の動作を示す波形図、第３図は、本発明
の他の実施例を示す装置の構成図、第４図は、第３図装
置の動作を示す波形図、第５図は低速電子検出器におけ
る大気状態と計数率の関係を示す特性図、及び第６図
は、大気状態検出器における大気状態と計数率の関係を
示す特性図である。 １‥‥陰極 ２、２１‥‥陽極 ３、４‥‥格子電極 １０‥‥大気状態検出器 １１‥‥陰極 １２‥‥陽極 １４‥‥格子電極
図は、同上装置の動作を示す波形図、第３図は、本発明
の他の実施例を示す装置の構成図、第４図は、第３図装
置の動作を示す波形図、第５図は低速電子検出器におけ
る大気状態と計数率の関係を示す特性図、及び第６図
は、大気状態検出器における大気状態と計数率の関係を
示す特性図である。 １‥‥陰極 ２、２１‥‥陽極 ３、４‥‥格子電極 １０‥‥大気状態検出器 １１‥‥陰極 １２‥‥陽極 １４‥‥格子電極
Claims (2)
- 【請求項１】大気に連通し、低速電子の流入口が形成さ
れた容器状の陰極、該陰極の内部に配設され、少なくと
も放電を生じさせるに足る電圧を出力する第一の電圧可
変型高電圧発生手段からの電圧が印加される陽極、及び
常時は電子の流入を許し、また前記陽極が放電した後
は、一定期間、電子の流入を阻止する格子電極を備えた
低速電子検出器と、 大気に連通する流入口が形成された容器状の陰極、該陰
極の内部に配設され、少なくとも放電を生じさせるに足
る電圧を出力する第二の電圧可変型高電圧発生手段から
の電圧が印加される陽極、及び前記流入口に配設されて
電子の侵入を常時阻止する格子電極を備えた大気状態検
出器と、 第二の電圧可変型高電圧発生手段の出力電圧を一方向に
変化させて前記大気状態検出器の陽極の放電状態が変化
した前記出力電圧により、第一の電圧可変型高電圧発生
手段の出力電圧を制御する制御手段と を備えた低速電子測定装置。 - 【請求項２】大気に連通する低速電子の流入口が形成さ
れた容器状の陰極、該陰極の内部に配設され、加熱手段
により温度制御を受け、かつ少なくとも放電を生じさせ
るに足る電圧を出力する第一の電圧可変型高電圧発生手
段からの電圧が印加される陽極、及び常時は電子の流入
を許し、また前記陽極が放電した後は、一定期間、電子
の流入を阻止する格子電極を備えた低速電子検出器と、 大気に連通する流入口が形成された容器状の陰極、該陰
極の内部に配設され、少なくとも放電を生じさせるに足
る電圧を出力する第二の電圧可変型高電圧発生手段から
の電圧が印加される陽極、前記流入口に配設されて電子
の侵入を常時阻止する格子電極を備えた大気状態検出器
と 第二の電圧可変型高電圧発生手段の出力電圧を一方向に
変化させて大気状態検出器の陽極の放電状態が変化した
前記出力電圧により、前記低速電子検出器の前記陽極の
温度を制御する温度制御手段と からなる低速電子測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60080892A JPH065287B2 (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 低速電子測定装置 |
| US06/819,226 US4740730A (en) | 1985-01-16 | 1986-01-15 | Apparatus for detecting low-speed electrons |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60080892A JPH065287B2 (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 低速電子測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61239185A JPS61239185A (ja) | 1986-10-24 |
| JPH065287B2 true JPH065287B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=13731008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60080892A Expired - Lifetime JPH065287B2 (ja) | 1985-01-16 | 1985-04-15 | 低速電子測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065287B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4823368A (en) * | 1987-06-30 | 1989-04-18 | Rikagaku Kenkyujyo | Open counter for low energy electron detection with suppressed background noise |
| JP4671153B2 (ja) * | 2006-03-11 | 2011-04-13 | 横山 義隆 | 開放窓型電離箱 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51131379A (en) * | 1975-05-08 | 1976-11-15 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Radial ray analysis device |
| JPS59195177A (ja) * | 1983-04-20 | 1984-11-06 | Rikagaku Kenkyusho | 光電子の計数方法 |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP60080892A patent/JPH065287B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61239185A (ja) | 1986-10-24 |
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