JPH02171644A - 電子計数装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分界Ｊ 本発明は、光エネルギーの照射で試料から放出された電
子の数を計数する電子計数装置に関する。

［従来技術］ 従来、例えば半導体等の試料表面に形成された酸化膜の
膜厚を計測する方法として、試料表面に光を照射し、光
の照射により試料上の薄膜を通って外部に放出される電
子を電子検出部により計数して膜厚を計測する方法が知
られている（特開昭６０−２６２００５号等）。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、このような従来の電子計数装置にあって
は、電源を投入した際に、計測開始に先立って試料に照
射する光量、電子検出部の陽極電圧や格子電圧等を最適
状態に初期設定しているが、計測中に温度、気圧及び湿
度が変化すると、初期設定した最適計測条件から外れる
ようになり、これに気付かずに計測を行なっていた場合
には良好な計測結果が得られないという問題があった。

本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたも
ので、電源投入時及び計測中の計測環境条件の変化に影
響されることなく常に最適計測条件のもとに信頼性の高
い計測結果が得られるようにした電子計数装置を提供す
ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この目的を達成するため本発明にあっては、試料に光を
照射し、該試料から放出される電子を電子検出部に導入
して電子の数を計数する電子計数装置に於いて、計測場
所近傍の温度、気圧及び湿度を検出する検出手段と；電
源投入時に前記検出手段による少なくとも温度および湿
度の検出出力が一定範囲内に入るように安定した時に測
定を開始する制御手段と：前記検出手段の検出値が予め
定めた閾値を越えて変化した事を判別して出力する環境
判別手段と：前記環境判別手段の判別出力を受けたとき
に、光量、陽極電圧及び格子電圧の初期設定を要求表示
する表示手段と；を設けるようにしたものである。

［作用コ このような構成を備えた本発明の電子計数装置によれば
、電源投入直後にあっては、光源及び回路等の発熱で装
置内の測定環境温度は上昇を始め、また装置内に対する
ドライエアの供給開始により測定環境湿度は下がり始め
るようになり、この電源投入直後における温度及び湿度
のセンサ出力を監視し、温度及び湿度が一定範囲内に安
定したことを検出した時、具体的には温度及び湿度の時
間変化率（微分値）が一定値以下となった時に、測定を
開始させることになる。

この測定開始は、まず光源装置の光量、電子検出部の陽
極電圧及び格子電圧の初期設定を行なうことになるが、
このとき測定環境の温度及び湿度は一定範囲内に落ち着
いているため、安定状態で最適な初期設定ができ、その
俊の温度及び湿度の変動は比較的少ないため、計測中に
おける再度の初期設定を必要最小限に抑えることができ
る。

また計測開始復に、初期設定された温度、気圧及び湿度
の初期値の各々に対し、例えば温度については±５°Ｃ
以上、気圧については±１０ｍｍＨｇ、湿度については
±１０％以上の変化が生ずると、光量Ｌｐ、陽極電圧Ｖ
ａ、及び格子電圧Ｖｇｌ。

ＶＣｌ２の再度の初期設定の要求表示が出され、現在の
設定条件のもとでは最適計測結果が得られないことを報
知する。

このような初期設定の要求表示が出されたならば、オペ
レータの手動操作若しくは自動的に光量、陽極電圧及び
格子電圧が現在の環境条件のもとに最適となるように初
期値の再設定が行なわれ、その結果、常に最適計測条件
のもとに計測作業を行なうことができる。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例を示した説明図である。

第１図において、１は電子検出部であり、下部に検出窓
２を開口した金属性のケース３を有し、ケース３は接地
接続されている。ケース３内には陽極リング４が配置さ
れ、陽極リング４には高電圧源２３から陽極電圧Ｖａが
印加され、＠接電圧Ｖａは必要に応じてｖａ−３，０Ｋ
Ｖ〜４．０ＫＶの範囲で可変することができる。

陽極リング４の検出窓２側には第１格子電極５と第２格
子電＠６とが順次配置される。

第１格子電極５には第１パルス発生器２０の出力が接続
され、第１パルス発生器２０は第１格子電極５に第１格
子電圧Ｇ１として例えばＧ１−１００■を印加している
。また、第２格子電極６には第２パルス発生器２２の出
力が接続され、第２パルス発生器２２は第２格子電圧Ｇ
２として例えばＧ２＝８０Ｖを印加している。

第１パルス発生器２０及び第２パルス発生器２２は陽極
リング４の電圧変化をコンデンサＣを介して取出す増幅
器１８の出力が接続される。

陽極リング４の印加電圧は検出窓２より電子を導入した
ときに生ずる気体放電により第２図（ａ）に示すように
パルス的に立下がり、増幅器１８より陽極電圧の立上が
り変化が第１パルス発生器２０に与えられると、第１パ
ルス発生器２０は第２図（ｂ）に示すように、それまで
の第１格子電圧Ｇ１を気体放電を阻止するため所定電圧
△Ｖだけアップしたフェンチングミ圧ｖｑとなる矩形波
パルスをクエンチング時間τに亘って出力する。ここで
フェンチングミ圧ＶＱを与える電圧ΔＶとしては例えば
ΔＶ＝３００Ｖに設定されており、従って電圧パルスを
受けると第１格子電極５の電圧Ｇ１はそれまでの１００
Ｖから３００Ｖアツプした４００Ｖに変化する。

一方、第２パルス発生器２２は増幅器１８より電圧パル
スを受けると第２図（Ｃ）に示すように、それまでの第
２格子電圧Ｇ２を一３０Ｖにクエンチング時間τに亘っ
て変化させる矩形波パルスを発生する。例えば第２格子
電圧Ｇ２＝８０Ｖであったとすると、１’ｌＯＶ下げた
矩形波パルスを発生するようになる。

この第１パルス発生器２０及び第２パルス発生器２２に
よるクエンチング時間τに亘る矩形波パルスの作用は、
試料１２から放出された電子が陽極リング４に近づくと
陽極リング４の近傍の高電界によって電子が加速されて
気体放電現象を引き起こす。そして、この放電により生
じた光や陽イオンによる２次電子が連続して次の気体放
電を弓き起こそうとする。このとき第１パルス発生器２
０でクエンチング時間τに亘ってフェンチングミ圧Ｖｑ
にアップすることで、陽極リング４と第１格子電極５と
の電位差が例えばへＶ＝３００Ｖ分だけ下がり、放電電
圧に達することができず、なだれ的な放電は阻止される
。

また、第２パルス発生器２２のクエンチング時間τに回
り一３０Ｖに下げる矩形波パルスの出力は、増幅作用を
伴う気体放電により発生した陽イオンを第、２格子電極
６で捕捉して中和し、これによって陽イオンが試料１２
に到達して光電子の放出作用に影響を及ぼすことを防ぐ
と同時に、外部からの電子の導入を遮断する。

電子検出部１の検出窓２の下方には試料台１３が設けら
れ、試料台１３にセットされた試料１２に対しては光源
装置７より所定の単波長光が照射されている。光源装置
７は重水素ランプ等の光源８と、光源８からの光を単波
長化するモノクロメータ９を備え、更にモノクロメータ
９の前後に光強度を調整するためのスリット１０．１１
を設けている。モノクロメータ９は所定の波長域、例え
ば２００ｎｍ〜３５０ｎｍの範囲で単波長光を走査する
機能を持ち、この波長走査により例えば試料１２の仕事
関数を求めるための測定結果を得ることができる。

試料台１３における試料１２をセットしない状態での光
源装置７からの光の照射位置には受光素子１５が設置さ
れており、受光素子１５の受光出力は光量測定手段１６
に与えられ、試料１２の測定前における光源装置７から
の光量を検出できるようにしており、この光量測定手段
１６の測定結果に基づいて、後の説明で明らかにする初
期設定の際の光量設定（補正係数の設定）が行なわれる
。

一方、電子検出部１の増幅器１８より出力される電圧パ
ルスに基づいて電子数を計数する計測回路として計数手
段２４が設けられ、計数手段２４は例えば単位時間当り
の電子計数率（ｃｐｓ）を出力する。計数手段２４の出
力は演算手段２６に与えられており、演算手段２６は計
数手段２４から得られる電子計数率Ｎに基づいて陽極リ
ング４の陽極電圧ｖａ、第１格子電極５の格子電圧Ｇ１
及び第２格子電極６の格子電圧Ｇ２を初期設定の際に最
適値に制御する演算処理機能を有する。また、演算手段
２６には光量測定手段１６の測定出力が与えられている
ことから、演算手段２６は光量測定手段１６で検出され
た光量に基づいて電子計数率Ｎを補正して出力する。

演算手段２６に続いては表示手段２８が設けられ、表示
手段２８は計数手段２４で得られた電子計数率Ｎをその
まま表示するか、若しくは演算手段２６で得られた試料
１２の表面に形成された酸化膜の膜厚Ｔの演算結果を表
示するようになる。

一方、計測場所の環境条件の変化を判別するため環境モ
ニタ手段３２が設けられ、環境モニタ手段３２には温度
センサ３４、気圧センサ３６及び湿度センサ３８が接続
されている。

環境モニタ手段３２は、次の２つの制′ｎＩＥＮ能を有
する。

■電源投入時に温度センサ３４及び湿度センサ３８の検
出出力が一定範囲に入るように安定した時に測定開始を
指令する制御機能：■計測開始後に、温度センサ３４、
気圧センサ３６、湿度センサ３８の少なくともいずれか
１つの検出出力が予め定めた閾値を越えて変化したこと
を判別して出力する機能： 具体的には、■の機能については、電源投入後に温度セ
ンサ３４及び湿度センサ３８の検出出力を一定周期でサ
ンプリングし、検出値の時間変化率、即ち微分値が一定
値以下となった時に安定状態に入ったと判定して演算手
段に測定開始を指令する。

また■の機能については、測定開始で最初に行なう光量
、陽極電圧及び格子電圧の初期設定の際に、温度センサ
３４、気圧センサ３６及び湿度センサ３８の検出値を初
期値として読込んで記憶し、計測中にあっては所定の検
出サイクル毎に各検出値を初期値と比較し、初期値に対
し予め定めた閾値以上の変化を生じたときに環境変化の
判別出力を生ずる。ここで環境モニタ手段３２における
温度、気圧及び湿度の変化を判別する閾値としては、例
えば温度については±５°Ｃ１気圧については±１０ｍ
ｍＨｇ、湿度については±１０％が設定される。

このような環境モニタ手段３２にあわせて本発明にあっ
ては時間計測手段３０が設けられ、時間計測手段３０は
計測開始からの経過時間を計測し、予め定めた設定時間
、例えば４時間に達したときに時間計測出力を生ずる。

環境モニタ手段３２及び時間計測手段３０の出力は演算
手段２６に与えられており、演算手段２６は電源投入後
に環境モニタ手段３２より温度及び湿度が安定したこと
の判定出力を受けると光量、陽極電圧、及び格子電圧の
初期設定を行なって測定を開始し、また測定中に環境モ
ニタ手段３２の環境変化判別出力及び又は時間計測手段
３２の夕。

イムアップ出力を受けたとき、演算手段２６は表示手段
２８に再度の初期設定の要求表示をランプ点灯若しくは
ブザー鳴動等により行なわせる。

また、この実施例にあっては、演算手段２６は光量、陽
極電圧及び格子電圧の自動設定機能を有することから、
時間計測手段３０又は環境モニタ手段３２の出力を受け
ると自動的に光量、陽極電圧及び格子電圧の初期設定及
び再度の初期設定を行なうようになる。

第３図は第１図の実施例における電源投入時の初期設定
（測定開始）及び計測中の再度の初期設定の処理動作を
示したフローチャートである。

まず装置の電源を投入すると第３図のフローが開始され
、ステップＳ１で温度センサ３４及び湿度センサ３８の
センサ出力を読込む。続いてステップＳ２で検出した温
度と湿度の各々につき単位時間当りの変化量が所定の閾
値以内に収まっているか否か判定し、所定の範囲に収ま
るまでステップ３１．３２の処理を繰り返す。ステップ
Ｓ２で温度及び湿度の両方が所定の範囲に収まって安定
したことが判定されるとステップＳ３に進み、演算手段
を経由して表示手段２８に初期設定の要求表示を行なう
。次にステップＳ４で初期設定の要求表示を見たオペレ
ータの手動操作又は演算手段２６による自動制御によっ
て光量、陽極電圧及び格子電圧の初期設定が行なわれ、
計測が開始しされる。

この計測開始時にはステップＳ５に示すようにステップ
Ｓ２の安定状態に使用すべくステップＳ１で読込まれた
最新の温度センサ３４、気圧センサ３６及び湿度センサ
３８の検出値を初期値Ｔｏ。

ｐｏ　、ｗｏとして記憶し、同時に時間計測手段３０の
タイマをスタートする。

続いてステップＳ６に准み、所定の検出サイクルに達し
たときに温度センサ３４、気圧センサ３６及び湿度セン
サ３８のセンサ出力を読込み、ステップ８７〜Ｓ９のそ
れぞれで検出値と初期値との差の絶対値を、予め定めた
閾値Δ丁、ΔＰ、△Ｗと比較する。更に、ステップＳＩ
Ｏでは計測手段３０の計測時間が設定時間に到達したか
否か判別する。ステップＳ７〜Ｓ９でセンサ検出値のい
ずれかが閾値を越えると、ステップＳ３に戻って演算手
段２６を経由して表示手段２８に初期設定の要求表示を
行ない、ステップＳ４に進んで初期設定要求表示を見た
オペレータの手動操作、又は演算手段２６による自動制
御によって光量、陽極電圧及び格子電圧の再度の初期設
定が行なわれる。

勿論、ステップＳＩＯで計測時間が設定時間に到達した
場合も同様である。

次に、演算手段２６で初期設定の際に行なわれる光量、
陽極電圧及び格子電圧の設定制御を説明する。

まず、光源装置７からの光量調整を説明する。

第４図は光源装置７のモノクロメータ９により試料１２
に照射する単波長光を所定の波長域で走査したときの光
量変化を示したグラフ図である。

このグラフ図に実線Ａで示すように、初期状態にあって
は光源装置７の光源８及びレンズ等に汚れがないことか
ら、モノクロメータ９により波長走査を行なったときの
光量は各波長において最大光量として得られる。

ところで光源８の分光特性は各波長で一定とはならず、
例えば第４図の曲線Ａに示すように強度変化を示す。

そこで演算手段２６にあっては、光源装置７の分光強度
の変動に対し、例えば波長λＯにあける光ＩＷＯで与え
られる一定の基準光ｆｆ１Ｗｏとなるように電子計数率
Ｎの補正を施す。

即ち、モノクロメータ９により波長域λＯ〜λｎの範囲
で波長走査を行なって各波長λＯ２λ１．λ２、・・・
λｉ、・・・λｎのそれぞれにおける光量ＷＯ２Ｗ１．
Ｗ２．・・・Ｗｉ、・・・Ｗｎを求め、この測定光量を
基準光量ＷＯに補正するための補正係数ＫＯ−ｋｎを次
式により各波長毎に求める。

Ｋｏ　＝Ｗｏ　／Ｗ。

Ｋｌ　＝Ｗｏ　／ＷＩ Ｋ２　＝Ｗｏ　／Ｗ２ に＋＝Ｗｏ／Ｗ ・　・　・　（１） Ｋｎ　＝ＷＯ／Ｗｎ 一方、計測手段２４で計測した電子数Ｎｏは第２図に示
したようにデッドタイムとなるクエンチング時間τを除
いた時間での電子数であることから、例えば、 Ｎ＝Ｎｏ／　（１−Ｎｏ　・τ）　・・・（２）但し、
Ｎ　：放出電子数 ＮＯ＝測定した電子数 τ　：クエンチング時間 としてデッドタイムとしてのクエンチング時間τ分の電
子数を補正した放出電子数Ｎを求める。

そして、演算手段２６は各走査波長で得られた前記第（
２）式で得られる放出電子数Ｎについて前記第（１）式
で与えられる対応波長の補正係数を用いて、 Ｎｔ　＝Ｎ　−Ｋｒ　　　　　　　・・・　（３）どじ
で基準光ＩＷＯの照射で得られる真の放出電子数Ｎｔを
求める。

次に、第４図の破線Ｂで示すように、光源装置７の光学
部材の汚れ等により試料１２に照射される光量が減少し
たときには、具体的には時間計測手段３０又は環境モニ
タ手段３２の出力に基づいて初期設定の要求表示が行な
われたときには、試料１２の測定に先立ってモノクロメ
ータ９により波長域λＯ〜λｎの範囲で単波長光を走査
しく自動又は手動）、光量測定手段１６によって第４図
の破線Ｂで示すような走査波長に対する光量特性を求め
る。

このようにして光量が減少した破線Ｂの光量を走査波長
範囲で求めたならば、前記第（１〉式における分母ＷＯ
１〜Ｗｎｉに置き換えて補正係数ＫＯ〜Ｋｎを求め、そ
の後に計数手段２４で得られた試料１２からの測定電子
数Ｎｏから前記第（２）式によって放出電子数Ｎを求め
、更に第（１）式で求めた補正係数１（ｉを用いて測定
波長λｉにおける真の放出電子数Ｎｔを前記第（３）式
から演算するようになる。

この結果、光源装置７における光源８の劣化若しくは光
学部材の汚れ等により試料１２に照射される光量が減少
したとしても、常に初期状態における光量（但し、分光
特性を一定値に補正）と同じ光量の照射を受けたと同じ
状態で真の放出電子数Ｎｔを求めることができる。

尚、第１図の光量測定手段１６にあっては、受光素子１
５で検出された光量が予め定めた閾値レベル以下となっ
たときには警報信号を出力して光学系の清掃や光源８の
交換を促すようにしても良い。

次に、演算手段２６における初期設定の際の陽極電圧ｙ
ａ及び格子電圧Ｇ１．Ｇ２の設定制御を説明する。

第５図は演算手段２６における電極電圧の設定処理を示
したフローチャートである。

まず、第５図のステップＳ１から８４までの処理により
高圧電源２３を制御して陽極リング４に印加する陽極電
圧ｖａの最適設定処理が行なわれる。

この最適陽極電圧の設定処理は、第１図に示すように試
料台１３に適宜の基準となる試料１２をセットした状態
で光源装置７より所定波長の単波長光を照射して電子を
放出させ、試料１２から放出された電子を電子検出部１
に導入して計数手段２４により電子数Ｎを測定する。

即ち、初期状態にあって演算手段２６は高圧電源２３に
よる陽極電圧Ｖａを電圧可変範囲３．０〜４．０ＫＶの
最低値Ｖａ　＝３．０ＫＶに設定しており、この初期状
態からステップＳ１に示すように陽極電圧ｖａを上昇さ
せる。ステップＳ１の陽極電圧の上昇に対し次のステッ
プＳ２において計数手段２４から得られる電子計数率（
単位時間当りの電子数〉Ｎをバックグラウンドノイズで
定まる閾値Ｎｏと比較しており、電子計数率Ｎが閾値Ｎ
ｏ以上になることを判別すると、このときの陽極電圧を
放電開始電圧Ｖｓとして検出し、次のステップＳ３に進
む。ステップＳ３においては放電開始電圧ＶＳに予め定
まっているプラトー電圧幅ｐｗの半分の電圧を加え合わ
せた電圧を最適陽極電圧ｖａＯとして演算し、次のステ
ップＳ４で最適陽極電圧Ｖａｏとなるように高圧電源２
３を制御する。

ここで、陽極電圧Ｖａを変化させたときの計数率Ｎは第
６図に示す特性となる。即ち、陽極電圧Ｖａを増加させ
ていくと、ある電圧でバックグラウンドノイズで定まる
閾値Ｎｏを越える計数率Ｎが得られ、この閾値Ｎｏを越
える電圧を放電開始電圧ＶＳとして検出している。更に
、陽極電圧を増加させると陽極電圧の変化に対しある範
囲では計数率Ｎが略一定値に収まっており、この陽極電
圧の変化に対し計数率Ｎｈり一定値に収まっている範囲
をプラトー電圧幅ｐｗと定義する。

更に、プラトー電圧幅ＰＷを越えて陽極電圧を増加させ
ると、計数率Ｎが急激に増加して計数不能状態となる。

この第６図に示す計数率が略一定となる陽極電圧の範囲
を与えるプラトー電圧幅ＰＷは、第２図（ｂ）に示した
フェンチングミ圧■ｑを与える第１格子電圧Ｇ１の変化
分Δ■に等しい電圧幅として与えられる。

従って、第５図のステップＳ３で求める最適陽極電圧■
ａＯとしては、第６図に示した特性曲線におけるプラト
ー電圧幅ｐｗの中心の電圧を最適陽極電圧ｖａＯとして
設定することになる。

このように陽極最適電圧ＶａＯがプラトー幅ｐｗの中心
に設定された場合、気圧や温度の変化に対し第６図に示
す特性曲線は破線で示すようにシフトする変動を生ずる
が、この変動幅が±Ｐｗ／２以内にある限り最適陽極電
圧ｙａｏはプラトー幅ＰＷの中に収まっており、気圧や
温度が変動しても計数率Ｎはほとんど変動せず、気圧や
温度の変動に対し安定した計数結果を得ることができる
。

再び第５図を参照するに、ステップＳ４までの処理によ
り最適陽極電圧Ｖａｏへの設定が終了したならば、次の
ステップＳ５において第１格子電圧Ｇ１を初期電圧Ｖｌ
ａに設定する。例えば第１格子電圧Ｇ１はＧ１＝８０〜
１２０Ｖの範囲で可変できることから、Ｖ１ａ＝８０Ｖ
に設定される。

このように第１格子電圧Ｇ１をＧ’１＝Ｖ１ａと初期電
圧に設定した状態で次のステップＳ６において第２格子
電圧Ｇ２を、例えば４０〜１１０Ｖの範囲で可変する。

そして、次のステップＳ７においてステップＳ６におけ
る第２格子電圧Ｇ２を可変したときの計数率Ｎを監視し
、計数率Ｎが最大となる第２格子電圧Ｇ２としてＧ２＝
Ｖ２ａを検出する。続いて、ステップＳ８で第１格子電
圧Ｇ１の最終設定が終了したか否かチエツクし、最終設
定が終了していなければステップＳ９に戻り、それまで
の第１格子電圧Ｇ１に所定電圧Δｖ１を加えた新たな第
１格子電圧の設定を行ない、同様にステップ８６〜Ｓ８
の処理を繰り返す。

第７図は第５図のフローチャートにおけるステップ８６
〜Ｓ９の処理で得られた第２格子電圧Ｇ２に対する計数
率Ｎの関係を示した特性グラフである。

この第７図の特性グラフは、第１格子電圧Ｇ１をｖｌａ
、ｖｌｂ、ｖｌｃ、・・・ｖ１ｇドア段階ニ可変し、各
第１格子電圧において第２格子電圧Ｇ２を可変したとき
の計数率Ｎの変化を示しており、この特性グラフから明
らかなように、第１格子電圧Ｇ１を一定としたときの第
２格子電圧Ｇ２の可変で得られる計数率Ｎのピーク値Ｎ
　ａ、　Ｎ　ｂ、・・・Ｎｅを与える第２格子電圧Ｇ２
がＧ２＝Ｖ２ａ、　Ｖ２ｂ。

・・・Ｖ２ｃ＋として検出することができる。

再び第５図を参照するに、ステップＳ８で第１格子電圧
Ｇ１の最終設定が判別されたならば、次のステップ３１
０に進み、例えば第７図に示したように第２格子電圧Ｖ
２ａ、　Ｖ２ｂ、　　・・・Ｖ２Ｃ］の中から最大計数
率Ｎ　ｍａｘを与える第２格子電圧Ｇ２、例えばＧ２＝
Ｖ２ｅを検出する。

続いて、ステップ８１１においてステップＳ１０で検出
された第２格子電圧Ｇ２＝２ｅとこれに対応した第１グ
リツド電圧Ｇ１＝Ｖ１ｅをそれぞれ最適格子電圧として
第１パルス発生器２０及び第２パルス発生器２２に設定
する。

以上の処理により最適格子電圧の設定処理を終了するが
、更に第５図のフローチャートにあっては、ステップＳ
１２において電子検出部１をバックグラウンド計数モー
ドとして電子計数率を求める。

このバックグラウンド計数モードは第８図の信号波形図
に示すように、第２パルス発生器２２により第２格子電
極６に印加する電圧を一３０に固定して外部からの電子
の導入を遮断した状態であり、このため電子検出部１の
内部でノイズ的に発生する電子のみを計数するモードと
なる。

ステップＳ１２でバックグラウンド計数モードとするこ
とによるバックグラウンドノイズを与える計数率を計数
したならば、次のステップＳ１３においてバックグラウ
ンドノイズの閾値Ｎｏと比較し、計数率Ｎが閾値Ｎｏよ
り小さければ格子電圧の最適設定処理が正常に行なわれ
たものとして設定処理を終了する。一方、バックグラウ
ンド計数モードにおける計数率Ｎが閾値Ｎｏより大きい
ときにはステップＳ１４に進んで警報を出し、電子検出
部１自体の調整を促す。

尚、第１図の実施例にあっては、電源投入時の安定状態
の判定をセンサで検出した温度と湿度について行なって
いるが、気圧を含めて行なうようにしても良い。

また第１図の実施例にあっては、環境モニタ手段３２又
は時間計測手段３０の出力を受けて初期設定の要求表示
が行なわれたときに演算手段２６で自動的に光量、陽極
及び格子電圧の初期設定を行なう場合を例にとるもので
あったが、初１定の要求表示を受けてオペレータが手動
で初期設定を行なうようにしても良いことは勿論である
。

更に、第１図の実施例における環境モニタ手段３２にお
ける温度、気圧及び湿度の変化を判別する閾値は、実施
例の数値に限定されず、適宜の閾値を設定することがで
き、検出精度を更に高めたい場合にはより小さい閾値を
設定すれば良い。

［発明の効果］ 以上説明してきたように本発明によれば、電源投入直後
の温度及び湿度の変化が大きい状態での測定開始により
不安定な測定結果が得られることを未然に防止し、また
計測中に最適計測条件から逸脱するような温度、湿度及
び気圧等の環境条件の変化を判定して光量及び電子検出
部の各電極電圧を最適状態に再設定することから、環境
条件の変化があっても常に最適計測条件の元に信頼性の
高い計測データを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示した説明図：第２図は第
１図の電子検出部に設けた各電極の印加電圧を示した信
号波形図： 第３図は第１図の実施例における環境条件の変化および
計測時間に基づく初期設定処理を示したフローチャート
； 第４図は光源波長に対する光量の関係を示したグラフ図
； 第５図は本発明における陽極電圧及び格子電圧の最適設
定処理を示したフローチャート；第６図は陽極電圧に対
する電子計数率の関係を示したグラフ図； 第７図は第１格子電圧Ｇ１をパラメータとして第２！８
子電圧Ｇ２に対する計数率Ｎの関係を示した特性グラフ
図； 第８図はバックグラウンド計数モードの電極電圧を示し
た信号波形図である。 １：電子検出部 ２：検出窓 ３：ケース ４：陽極リング ５：第１格子電極 ６：第２格子電極 ７：光源装置 ８：光源 ９、モノクロメータ １０．１１ニスリツト １２：試料 １３：試料台 １５：受光素子 １６：光量計測手段 １８、増幅器 ２０：第１パルス発生器 ２２：第２パルス発生器 ２３、高圧電源 ２４：計数手段 ２６：演算手段 表示手段 時間計測手段 環境モニタ手段 温度センサ 気圧センサ 湿度センサ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 試料に光を照射し、該試料から放出される電子を電子検
   出部に導入して電子の数を計数する電子計数装置に於い
   て、 計測場所近傍の温度、気圧及び湿度を検出する検出手段
   と； 電源投入時に前記検出手段による少なくとも温度及び湿
   度の検出出力が一定範囲に入るように安定した時に測定
   を開始する制御手段と； 該測定開始後に、前記検出手段による温度、湿度又は気
   圧の少なくともいずれか１つの検出出力が予め定めた閾
   値を越えて変化したことを判別して出力する環境判別手
   段と； 前記環境判別手段の判別出力を受けたときに、光量、陽
   極電圧及び格子電圧の初期設定を要求表示する表示手段
   と； を備えたことを特徴とする電子計数装置。