JPH065650Y2 - Ｉｃ試験用恒温槽 - Google Patents
Ｉｃ試験用恒温槽Info
- Publication number
- JPH065650Y2 JPH065650Y2 JP7898487U JP7898487U JPH065650Y2 JP H065650 Y2 JPH065650 Y2 JP H065650Y2 JP 7898487 U JP7898487 U JP 7898487U JP 7898487 U JP7898487 U JP 7898487U JP H065650 Y2 JPH065650 Y2 JP H065650Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carry
- rail
- port
- storage
- rails
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案はＩＣ試験装置に用いられるＩＣ試験用恒温槽
に関する。
に関する。
「従来技術」 第３図に従来のＩＣ試験用恒温槽の外観の構造を示す。
図中１は恒温槽本体、２Ａ，２Ｂは蓋、３はIC搬入口を
それぞれ示す。ＩＣ搬入口３を形成した面の反対側の面
には同様の開口部が形成されこの開口部がＩＣ搬出口４
とされる。
それぞれ示す。ＩＣ搬入口３を形成した面の反対側の面
には同様の開口部が形成されこの開口部がＩＣ搬出口４
とされる。
恒温槽１の内部には第４図に示すように無終端連結具５
が架設され、この無終端連結具５にＩＣ収納レール６が
取付けられ、多数のＩＣ収納レール６が水平方向に支持
される。
が架設され、この無終端連結具５にＩＣ収納レール６が
取付けられ、多数のＩＣ収納レール６が水平方向に支持
される。
無終端連結具５は矢印７の方向に移動され、IC収納レー
ル５はＩＣ搬入口３の位置から一回転してＩＣ搬出口４
に到達する。ＩＣ搬入口３の位置からＩＣ搬出口４の位
置に達するまでの間にＩＣは所定の温度に加熱され、ま
たは冷却される。
ル５はＩＣ搬入口３の位置から一回転してＩＣ搬出口４
に到達する。ＩＣ搬入口３の位置からＩＣ搬出口４の位
置に達するまでの間にＩＣは所定の温度に加熱され、ま
たは冷却される。
ＩＣ搬入口３の幅は恒温槽１内に装着したＩＣ収納レー
ル６の例えば８本分を臨ませる幅に選定され、無終端連
結具５が一度停止すると８本のIC収納レール６に外部か
らＩＣを搬入する。
ル６の例えば８本分を臨ませる幅に選定され、無終端連
結具５が一度停止すると８本のIC収納レール６に外部か
らＩＣを搬入する。
ＩＣ搬出口４も８本のＩＣ収納レール６と対向する横幅
を有し、ＩＣ搬出口４の位置に到来したＩＣ収納レール
６に対して８本のピン８を具備したＩＣ搬出手段９がＩ
Ｃの１個分の長さずつ移動してＩＣを各ＩＣ収納レール
６から１個ずつ押し出す動作を行なう。
を有し、ＩＣ搬出口４の位置に到来したＩＣ収納レール
６に対して８本のピン８を具備したＩＣ搬出手段９がＩ
Ｃの１個分の長さずつ移動してＩＣを各ＩＣ収納レール
６から１個ずつ押し出す動作を行なう。
８本のＩＣ収納レール６の全てからＩＣが押し出される
と無終端連結具５はＩＣ収納レール６の８本分のピッチ
で移動し、空のＩＣ収納レール６をＩＣ搬入口３の位置
に運ぶ。よってこの位置でＩＣ搬入口３を通じて外部か
らＩＣをＩＣ収納レール６に搬入する。
と無終端連結具５はＩＣ収納レール６の８本分のピッチ
で移動し、空のＩＣ収納レール６をＩＣ搬入口３の位置
に運ぶ。よってこの位置でＩＣ搬入口３を通じて外部か
らＩＣをＩＣ収納レール６に搬入する。
ＩＣ収納レール６にＩＣを搬入する動作は第５図に示す
機構によって行なわれる。
機構によって行なわれる。
ＩＣ搬入口に１本のＩＣ搬入レール１１が設けられる。
このＩＣ搬入レール１１はＩＣ搬入口３の幅方向に移動
できるように装着され、ＩＣ搬入口３の位置に停止して
いるＩＣ収納レール６に対して１本ずつ位置合せしなが
ら移動し、ＩＣ収納マガジン１２からスイーパ１３によ
って順次ＩＣをＩＣ収納レール６に搬入する。
このＩＣ搬入レール１１はＩＣ搬入口３の幅方向に移動
できるように装着され、ＩＣ搬入口３の位置に停止して
いるＩＣ収納レール６に対して１本ずつ位置合せしなが
ら移動し、ＩＣ収納マガジン１２からスイーパ１３によ
って順次ＩＣをＩＣ収納レール６に搬入する。
このような構造を探る理由は次の如くである。
つまりＩＣ収納マガジン１２のＩＣ収納溝１２Ａの配列
方向のピッチＰ1は、ＩＣ収納マガジン12の収納容量を
大きくするために可及的に小さく採っている。このため
に恒温槽１内に装着したＩＣ収納レール６の配列ピッチ
Ｐ2に対してＰ1＜Ｐ2の関係になることが多い。
方向のピッチＰ1は、ＩＣ収納マガジン12の収納容量を
大きくするために可及的に小さく採っている。このため
に恒温槽１内に装着したＩＣ収納レール６の配列ピッチ
Ｐ2に対してＰ1＜Ｐ2の関係になることが多い。
つまりＩＣ収納レール６の配列ピッチＰ1とIC収納レー
ル６の配列ピッチＰ2は一致しない場合が多い。このた
め８本のＩＣ収納レール６に対してＩＣ収納マガジン１
２から一度にＩＣを搬入することができない構造となっ
ている。
ル６の配列ピッチＰ2は一致しない場合が多い。このた
め８本のＩＣ収納レール６に対してＩＣ収納マガジン１
２から一度にＩＣを搬入することができない構造となっ
ている。
このために１本のＩＣ搬入レール１１を設け、このＩＣ
搬入レール１１を順次移動させながら各ＩＣ収納レール
６にスイーパ１３を使ってＩＣ収納マガジン１２の各Ｉ
Ｃ収納溝１２ＡからＩＣを順次搬入する。スイーパ１３
とＩＣ搬入レール11は一体化されて移動し、ＩＣ収納マ
ガジン１２は別の駆動機構で移動され各ＩＣ収納溝１２
ＡがIC搬入レール１１と位置合せされて横方向に移動さ
れる。
搬入レール１１を順次移動させながら各ＩＣ収納レール
６にスイーパ１３を使ってＩＣ収納マガジン１２の各Ｉ
Ｃ収納溝１２ＡからＩＣを順次搬入する。スイーパ１３
とＩＣ搬入レール11は一体化されて移動し、ＩＣ収納マ
ガジン１２は別の駆動機構で移動され各ＩＣ収納溝１２
ＡがIC搬入レール１１と位置合せされて横方向に移動さ
れる。
「考案が解決しようとする問題点」 上述したように従来の恒温槽１には複数のＩＣ収納レー
ル６と対向する大きさのＩＣ搬入口３及びＩＣ搬出口４
を有しているからこの部分で熱が逃げ損失が大きい。特
にＩＣ搬入口３は１本のIC搬入レール１１だけが貫通す
るだけであるからその開口率はＩＣ搬出口４の開口率よ
り大きい。よってＩＣ搬入口３から逃げる熱量が最も大
きい値になり加熱及び冷却のためのエネルギ損失が大き
いため、運転コストが高くなる欠点がある。
ル６と対向する大きさのＩＣ搬入口３及びＩＣ搬出口４
を有しているからこの部分で熱が逃げ損失が大きい。特
にＩＣ搬入口３は１本のIC搬入レール１１だけが貫通す
るだけであるからその開口率はＩＣ搬出口４の開口率よ
り大きい。よってＩＣ搬入口３から逃げる熱量が最も大
きい値になり加熱及び冷却のためのエネルギ損失が大き
いため、運転コストが高くなる欠点がある。
この考案の目的はエネルギ損失を少なくすることができ
るＩＣ試験用恒温槽を提供するにある。
るＩＣ試験用恒温槽を提供するにある。
「問題点を解決するための手段」 この考案ではＩＣ搬入口に可動壁を設け、この可動壁に
ＩＣ搬入レールを貫通させ可動壁によってＩＣ搬入口を
閉塞する構造としたものである。
ＩＣ搬入レールを貫通させ可動壁によってＩＣ搬入口を
閉塞する構造としたものである。
可動壁はＩＣ搬入レールの移動に追従して移動し、ＩＣ
搬入レールがどの位置に移動してもＩＣ搬入口は閉塞さ
れた状態を維持する。
搬入レールがどの位置に移動してもＩＣ搬入口は閉塞さ
れた状態を維持する。
従ってこの考案によればＩＣ搬入口は熱に可動壁によっ
て閉塞されるためＩＣ搬入口から熱が逃げる量を少なく
することができる。また槽内の温度分布を一様に保つこ
とができる利点が得られる。
て閉塞されるためＩＣ搬入口から熱が逃げる量を少なく
することができる。また槽内の温度分布を一様に保つこ
とができる利点が得られる。
「実施例」 第１図及び第２図にこの考案の一実施例を示す。図中１
４は可動壁を示す。可動壁１４はＩＣ搬入口３の上下に
設けた支持レール１５によって横行自在に支持され、そ
の中央にＩＣ搬入レール１１が貫通して支持される。
４は可動壁を示す。可動壁１４はＩＣ搬入口３の上下に
設けた支持レール１５によって横行自在に支持され、そ
の中央にＩＣ搬入レール１１が貫通して支持される。
つまり可動壁１４は第２図に示すようにＩＣ搬入口３の
横幅Ｗの略々２倍の横幅２Ｗを有し、IC搬入レール１１
がＩＣ搬入口３の一端側から他端側に移動する間どの状
態でもＩＣ搬入口３を開閉状態に維持する。
横幅Ｗの略々２倍の横幅２Ｗを有し、IC搬入レール１１
がＩＣ搬入口３の一端側から他端側に移動する間どの状
態でもＩＣ搬入口３を開閉状態に維持する。
このようにＩＣ搬入口３をＩＣ搬入レール１１と共に可
動する可動壁１４によって閉塞する構造としたからＩＣ
搬入口３から放散される熱の量を少なくすることができ
る。この結果加熱域は冷却に要するエネルギ損失が小さ
くなり恒温槽１の温度を効率よく所定の温度に維持する
ことができる。
動する可動壁１４によって閉塞する構造としたからＩＣ
搬入口３から放散される熱の量を少なくすることができ
る。この結果加熱域は冷却に要するエネルギ損失が小さ
くなり恒温槽１の温度を効率よく所定の温度に維持する
ことができる。
「考案の効果」 以上説明したようにこの考案によればＩＣの搬入に支障
を来すことなくＩＣ搬入口３が可動壁14によって常時開
閉されるから、ＩＣ搬入口３から放散される熱の量を少
なくすることができる。この結果エネルギ損失が少なく
なり、効率よく所定の温度を維持することができる。
を来すことなくＩＣ搬入口３が可動壁14によって常時開
閉されるから、ＩＣ搬入口３から放散される熱の量を少
なくすることができる。この結果エネルギ損失が少なく
なり、効率よく所定の温度を維持することができる。
従ってエネルギ損失の少ない効率のよい恒温槽を提供す
ることができる利点が得られる。
ることができる利点が得られる。
第１図はこの考案の一実施例を説明するための斜視図、
第２図はこの考案の要部の構造を説明するための断面
図、第３図は従来の恒温槽の外観構造を説明するための
斜視図、第４図は従来の恒温槽の内部構造を説明するた
めの断面図、第５図は従来のＩＣ搬入口の部分の構造を
説明するための斜視図である。 １：恒温槽本体、３：ＩＣ搬入口、６：ＩＣ収納レー
ル、１１：ＩＣ搬入レール、１２：ＩＣ収納マガジン、
１４：可動壁、１５：支持レール。
第２図はこの考案の要部の構造を説明するための断面
図、第３図は従来の恒温槽の外観構造を説明するための
斜視図、第４図は従来の恒温槽の内部構造を説明するた
めの断面図、第５図は従来のＩＣ搬入口の部分の構造を
説明するための斜視図である。 １：恒温槽本体、３：ＩＣ搬入口、６：ＩＣ収納レー
ル、１１：ＩＣ搬入レール、１２：ＩＣ収納マガジン、
１４：可動壁、１５：支持レール。
Claims (1)
- 【請求項１】Ａ．未試験ＩＣに熱を加える恒温槽と、 Ｂ．この恒温槽の内部に並設された複数のIC収納レール
と、 Ｃ．この複数のＩＣ収納レールの端部と対向して形成さ
れたＩＣ搬入口と、 Ｄ．このＩＣ搬入口に設けられ一端が上記IC収納レール
の端部と対向し、上記ＩＣ搬入口に臨まれるＩＣ収納レ
ールの配列方向に順次移動することができるＩＣ搬入レ
ールと、 Ｅ．このＩＣ搬入レールが貫通し、ＩＣ搬入レールと一
体に移動し、上記ＩＣ搬入口を閉塞する面積を持つ可動
壁と、 から成るＩＣ試験用恒温槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7898487U JPH065650Y2 (ja) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7898487U JPH065650Y2 (ja) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63187078U JPS63187078U (ja) | 1988-11-30 |
| JPH065650Y2 true JPH065650Y2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=30928428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7898487U Expired - Lifetime JPH065650Y2 (ja) | 1987-05-25 | 1987-05-25 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065650Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-05-25 JP JP7898487U patent/JPH065650Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63187078U (ja) | 1988-11-30 |
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