JPH0656544A - ＺｒＯ２ セラミックスの接合方法 - Google Patents
ＺｒＯ２ セラミックスの接合方法Info
- Publication number
- JPH0656544A JPH0656544A JP4216897A JP21689792A JPH0656544A JP H0656544 A JPH0656544 A JP H0656544A JP 4216897 A JP4216897 A JP 4216897A JP 21689792 A JP21689792 A JP 21689792A JP H0656544 A JPH0656544 A JP H0656544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramics
- metallic films
- zro
- main component
- ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 238000005304 joining Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 30
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 4
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 6
- 239000000945 filler Substances 0.000 abstract description 4
- 238000010304 firing Methods 0.000 abstract description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 9
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 7
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002708 Au–Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017398 Au—Ni Inorganic materials 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004449 solid propellant Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＺｒＯ2 を主成分とするセラミックス同志の
接合方法に関する。 【構成】 ＺｒＯ2 を主成分とするセラミックス同志を
接合するにあたり、各セラミックスの接合表面にＰｔを
主成分とする金属膜を形成させた後、大気中で１４００
℃以上Ｐｔ融点以下の温度で焼成して該金属膜をセラミ
ックスの接合面に密着させ、該セラミックスの密着金属
膜間をＡｕを主成分とするろう材でろう付してＺｒＯ2
セラミックスを接合する方法。
接合方法に関する。 【構成】 ＺｒＯ2 を主成分とするセラミックス同志を
接合するにあたり、各セラミックスの接合表面にＰｔを
主成分とする金属膜を形成させた後、大気中で１４００
℃以上Ｐｔ融点以下の温度で焼成して該金属膜をセラミ
ックスの接合面に密着させ、該セラミックスの密着金属
膜間をＡｕを主成分とするろう材でろう付してＺｒＯ2
セラミックスを接合する方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＺｒＯ2 を主成分とする
セラミックス同志の接合方法に関し、特に水蒸気電解セ
ル、固体燃料電池などのＺｒＯ2 系セラミックスの接合
に有利に適用される接合方法に関する。
セラミックス同志の接合方法に関し、特に水蒸気電解セ
ル、固体燃料電池などのＺｒＯ2 系セラミックスの接合
に有利に適用される接合方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、セラミックス同志の接合方法
としてはガラス質のもので封着する方法、接着剤で接着
する方法、レーザビームで溶接する方法、Ｍｏ・Ｍｎ法
でメタライズしてろう付する方法、Ｔｉなどの活性金属
を含んだろう材でろう付する方法があった。
としてはガラス質のもので封着する方法、接着剤で接着
する方法、レーザビームで溶接する方法、Ｍｏ・Ｍｎ法
でメタライズしてろう付する方法、Ｔｉなどの活性金属
を含んだろう材でろう付する方法があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ガラス質のもので付着
する方法ではガラスが脆くて割れやすいという欠点があ
り、接着剤で接着する方法では有機系接着剤は耐熱性が
なく、せいぜい２００℃以下の温度でしか使用できな
く、無機系接着剤は接着力、気密性に乏しいという欠点
がある。また、レーザで溶接する方法は１，０００℃付
近まで予熱する必要があり、装置上大がかりである上
に、溶接部が溶融組織となって脆くて割れやすいという
欠点があり、Ｍｏ・Ｍｎ法でメタライズしてろう付する
方法では、加湿水素雰囲気で１４００℃に焼成するので
特殊な設備が必要であり、またＭｏが酸化しやすいので
高温酸化雰囲気では使用できないという欠点がある。さ
らに、また、活性金属を含んだろう材でろう付する方法
は一工程でできる簡便な方法であるが、高温酸化雰囲気
中では活性金属が酸化して使用できないという欠点があ
る。
する方法ではガラスが脆くて割れやすいという欠点があ
り、接着剤で接着する方法では有機系接着剤は耐熱性が
なく、せいぜい２００℃以下の温度でしか使用できな
く、無機系接着剤は接着力、気密性に乏しいという欠点
がある。また、レーザで溶接する方法は１，０００℃付
近まで予熱する必要があり、装置上大がかりである上
に、溶接部が溶融組織となって脆くて割れやすいという
欠点があり、Ｍｏ・Ｍｎ法でメタライズしてろう付する
方法では、加湿水素雰囲気で１４００℃に焼成するので
特殊な設備が必要であり、またＭｏが酸化しやすいので
高温酸化雰囲気では使用できないという欠点がある。さ
らに、また、活性金属を含んだろう材でろう付する方法
は一工程でできる簡便な方法であるが、高温酸化雰囲気
中では活性金属が酸化して使用できないという欠点があ
る。
【０００４】本発明は上記技術水準に鑑み、上述したよ
うな欠点を克服し、ＺｒＯ2 を主成分とするセラミック
スを高温酸化雰囲気中で使用する時にも信頼性の優れた
接合性が得られるＺｒＯ2 を主成分とするセラミックス
の接合方法を提供しようとするものである。
うな欠点を克服し、ＺｒＯ2 を主成分とするセラミック
スを高温酸化雰囲気中で使用する時にも信頼性の優れた
接合性が得られるＺｒＯ2 を主成分とするセラミックス
の接合方法を提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はＺｒＯ2 を主成
分とするセラミックス同志を接合するにあたり、各セラ
ミックスの接合表面にＰｔを主成分とする金属膜を形成
させた後、大気中で１４００℃以上Ｐｔ融点以下の温度
で焼成して該金属膜をセラミックスの接合面に密着さ
せ、該セラミックスの密着金属膜間をＡｕを主成分とす
るろう材でろう付することを特徴とするＺｒＯ2 セラミ
ックスの接合方法である。
分とするセラミックス同志を接合するにあたり、各セラ
ミックスの接合表面にＰｔを主成分とする金属膜を形成
させた後、大気中で１４００℃以上Ｐｔ融点以下の温度
で焼成して該金属膜をセラミックスの接合面に密着さ
せ、該セラミックスの密着金属膜間をＡｕを主成分とす
るろう材でろう付することを特徴とするＺｒＯ2 セラミ
ックスの接合方法である。
【０００６】本発明でいうＺｒＯ2 を主成分とするセラ
ミックスとは、安定化ＺｒＯ2 として酸素イオン導電性
を利用して、排ガス中の酸素センサ、水素製造装置、ガ
ス精製装置などに使用しうるＺｒＯ2 −８ｍｏｌ％Ｙ2
Ｏ3 ，ＺｒＯ2 −６ｍｏｌ％Ｙ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 −１５
ｍｏｌ％ＭｇＯ，ＺｒＯ2 −９ｍｏｌ％ＭｇＯ，ＺｒＯ
2 −１５ｍｏｌ％ＣａＯ，ＺｒＯ2 −１１ｍｏｌ％Ｃａ
Ｏなどである。
ミックスとは、安定化ＺｒＯ2 として酸素イオン導電性
を利用して、排ガス中の酸素センサ、水素製造装置、ガ
ス精製装置などに使用しうるＺｒＯ2 −８ｍｏｌ％Ｙ2
Ｏ3 ，ＺｒＯ2 −６ｍｏｌ％Ｙ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 −１５
ｍｏｌ％ＭｇＯ，ＺｒＯ2 −９ｍｏｌ％ＭｇＯ，ＺｒＯ
2 −１５ｍｏｌ％ＣａＯ，ＺｒＯ2 −１１ｍｏｌ％Ｃａ
Ｏなどである。
【０００７】また、本発明で使用するＰｔを主成分とす
る金属膜としては、Ｐｔを主成分とする金属膜のメッ
キ、Ｐｔを主成分とする金属のペースト（ペースト化剤
としては水のほか、アクリル樹脂、フェノール樹脂など
の有機粘結剤をアセトン、アルコールなどの有機溶剤が
使用しうる）、Ｐｔを主成分とする金属の蒸着膜などが
使用しうる。
る金属膜としては、Ｐｔを主成分とする金属膜のメッ
キ、Ｐｔを主成分とする金属のペースト（ペースト化剤
としては水のほか、アクリル樹脂、フェノール樹脂など
の有機粘結剤をアセトン、アルコールなどの有機溶剤が
使用しうる）、Ｐｔを主成分とする金属の蒸着膜などが
使用しうる。
【０００８】さらに、本発明で使用しうるＡｕを主成分
とするろう材としては、Ａｕ−Ａｇ合金（全組成使用可
能）、Ａｕ−Ｐｔ合金（Ｐｔ濃度：６５ｍａｓｓ以
下）、Ａｕ−Ｃｕ合金（Ｃｕ濃度：２０ｍａｓｓ以
下）、Ａｕ−Ｎｉ合金（Ｎｉ濃度：２０ｍａｓｓ以下）
などが用いられる。
とするろう材としては、Ａｕ−Ａｇ合金（全組成使用可
能）、Ａｕ−Ｐｔ合金（Ｐｔ濃度：６５ｍａｓｓ以
下）、Ａｕ−Ｃｕ合金（Ｃｕ濃度：２０ｍａｓｓ以
下）、Ａｕ−Ｎｉ合金（Ｎｉ濃度：２０ｍａｓｓ以下）
などが用いられる。
【０００９】
【作用】本発明ではＺｒＯ2 セラミックスにＰｔを主成
分とする材料が接しており、これを大気中で１４００℃
以上で焼成することによりＺｒＯ2 セラミックスの粒界
を形成しているガラス質が一部溶融し、Ｐｔと反応して
ＺｒＯ2 セラミックスとＰｔを主成分とする金属膜との
密着力を向上させる作用がある。また、ろう材としてＡ
ｕを主成分とするものを用いて、Ｐｔを主成分とする金
属膜同志をろう付しているので、ろう材と金属膜との密
着力は良好で、信頼性の高いろう付が可能となる。さら
に、ＰｔやＡｕは高温での耐酸化性に優れる材料なの
で、接合体を高温酸化雰囲気で長時間使用しても接合性
能に変化はない。
分とする材料が接しており、これを大気中で１４００℃
以上で焼成することによりＺｒＯ2 セラミックスの粒界
を形成しているガラス質が一部溶融し、Ｐｔと反応して
ＺｒＯ2 セラミックスとＰｔを主成分とする金属膜との
密着力を向上させる作用がある。また、ろう材としてＡ
ｕを主成分とするものを用いて、Ｐｔを主成分とする金
属膜同志をろう付しているので、ろう材と金属膜との密
着力は良好で、信頼性の高いろう付が可能となる。さら
に、ＰｔやＡｕは高温での耐酸化性に優れる材料なの
で、接合体を高温酸化雰囲気で長時間使用しても接合性
能に変化はない。
【００１０】以下、本発明の一実施態様を図１及び図２
によって説明し、本発明の構成及び作用をより詳しく説
明する。図１は接合された状態を表し、ＺｒＯ2 を主成
分とするセラミックス管１．１，１．２の接合面にＰｔ
を主成分とする金属膜２を形成し、金属膜２同志をＡｕ
を主成分とするろう材３でろう付している。
によって説明し、本発明の構成及び作用をより詳しく説
明する。図１は接合された状態を表し、ＺｒＯ2 を主成
分とするセラミックス管１．１，１．２の接合面にＰｔ
を主成分とする金属膜２を形成し、金属膜２同志をＡｕ
を主成分とするろう材３でろう付している。
【００１１】この状態のものを製作するための具体的な
手順を図２の工程図に示す。まず、第一工程ではセラミ
ックス管１．１，１．２の接合面にあたる部分にＰｔを
主成分とする粉末をペースト状にして塗布して金属膜２
を形成する。Ｐｔを主成分とする粉末とは純Ｐｔと不可
避の不純物からなる粉末がよい。金属膜２の形成方法と
しては、前記のように粉末をペースト状にして塗布する
他に、蒸着する方法またはメッキする方法も適用し得
る。次に、第二工程では金属膜２を形成したセラミック
ス管１．１，１．２を大気炉４内にセットし、ヒータ５
で１，４００℃以上Ｐｔの融点である１，７６９℃より
低い温度で加熱すると、金属膜２自身が緻密化するとと
もに、ＺｒＯ2 セラミックスの粒界を形成しているガラ
ス質が一部溶融し、Ｐｔと反応してＺｒＯ2 セラミック
ス管１．１，１．２とＰｔを主成分とする金属膜２との
密着力が向上する。次に第三工程では前記セラミックス
管１．１，１．２の金属膜２を形成した部分を互いには
め合い、はめ合い部にＡｕを主成分とするろう材３を置
いて、全体を大気中で炉４の中でヒータ５でろう材の融
点以上の温度に加熱すると、ろう材３は溶融し金属膜２
の表面を濡らしながら隙間を埋め室温まで冷却すると接
合が完了する。
手順を図２の工程図に示す。まず、第一工程ではセラミ
ックス管１．１，１．２の接合面にあたる部分にＰｔを
主成分とする粉末をペースト状にして塗布して金属膜２
を形成する。Ｐｔを主成分とする粉末とは純Ｐｔと不可
避の不純物からなる粉末がよい。金属膜２の形成方法と
しては、前記のように粉末をペースト状にして塗布する
他に、蒸着する方法またはメッキする方法も適用し得
る。次に、第二工程では金属膜２を形成したセラミック
ス管１．１，１．２を大気炉４内にセットし、ヒータ５
で１，４００℃以上Ｐｔの融点である１，７６９℃より
低い温度で加熱すると、金属膜２自身が緻密化するとと
もに、ＺｒＯ2 セラミックスの粒界を形成しているガラ
ス質が一部溶融し、Ｐｔと反応してＺｒＯ2 セラミック
ス管１．１，１．２とＰｔを主成分とする金属膜２との
密着力が向上する。次に第三工程では前記セラミックス
管１．１，１．２の金属膜２を形成した部分を互いには
め合い、はめ合い部にＡｕを主成分とするろう材３を置
いて、全体を大気中で炉４の中でヒータ５でろう材の融
点以上の温度に加熱すると、ろう材３は溶融し金属膜２
の表面を濡らしながら隙間を埋め室温まで冷却すると接
合が完了する。
【００１２】接合部の形状は図１では、セラミックス管
１．２の一端を押し拡げてはめ合ったような構造になっ
ているが、この他にも図３のようにセラミックス管１．
１，１．２の内外を削ってはめ合わせる構造や、図４の
ように端面で突合わせる構造及び図５のように端面をテ
ーパ状に削ってはめ合わせる構造などが考えられる。図
３〜図５において、図１と同一部には同一符号を付した
ので説明は省略する。また管状のものばかりでなく、棒
状のもの、板状のものあるいはこれらの組合せにも適用
し得る。
１．２の一端を押し拡げてはめ合ったような構造になっ
ているが、この他にも図３のようにセラミックス管１．
１，１．２の内外を削ってはめ合わせる構造や、図４の
ように端面で突合わせる構造及び図５のように端面をテ
ーパ状に削ってはめ合わせる構造などが考えられる。図
３〜図５において、図１と同一部には同一符号を付した
ので説明は省略する。また管状のものばかりでなく、棒
状のもの、板状のものあるいはこれらの組合せにも適用
し得る。
【００１３】
【実施例】セラミックス管としてＺｒＯ2 −８ｍｏｌ％
Ｙ2 Ｏ3 の成分で、外径２１ｍｍ、内径１８ｍｍ、長さ
５０ｍｍの円管と、同じ成分で一端の長さ１０ｍｍの部
分のみが、前記セラミックス管がはめ合うような形状に
なった外径２１ｍｍ、内径１８ｍｍ、長さ５０ｍｍの円
管を準備し、それぞれのはめ合い面にＰｔと不可避の不
純物からなる粉末をアセトン中にアクリル樹脂を溶か
し、濃度０．５ｍａｓｓ％のペースト状にしたものを塗
布し、大気中で１６００℃で１時間焼成した。焼成後の
セラミックス管を金属膜が互いに向き合うようにはめ合
い、その上に純金の直径０．５ｍｍ、長さ３００ｍｍの
ワイヤーを置き、大気中で１，０８０℃で５分間加熱し
ろう付を行なった。
Ｙ2 Ｏ3 の成分で、外径２１ｍｍ、内径１８ｍｍ、長さ
５０ｍｍの円管と、同じ成分で一端の長さ１０ｍｍの部
分のみが、前記セラミックス管がはめ合うような形状に
なった外径２１ｍｍ、内径１８ｍｍ、長さ５０ｍｍの円
管を準備し、それぞれのはめ合い面にＰｔと不可避の不
純物からなる粉末をアセトン中にアクリル樹脂を溶か
し、濃度０．５ｍａｓｓ％のペースト状にしたものを塗
布し、大気中で１６００℃で１時間焼成した。焼成後の
セラミックス管を金属膜が互いに向き合うようにはめ合
い、その上に純金の直径０．５ｍｍ、長さ３００ｍｍの
ワイヤーを置き、大気中で１，０８０℃で５分間加熱し
ろう付を行なった。
【００１４】ろう付後、Ｈｅリークテストで気密性を検
査したところ、検出限界以下の１×１０-9ａｔｏｍ．ｃ
ｃ／ｓｅｃ以下の気密性を有しており、接合面の断面検
査でも欠陥のない良好なろう付がなされていた。
査したところ、検出限界以下の１×１０-9ａｔｏｍ．ｃ
ｃ／ｓｅｃ以下の気密性を有しており、接合面の断面検
査でも欠陥のない良好なろう付がなされていた。
【００１５】
【発明の効果】本発明を採用することにより次のような
効果が得られた。 （１）Ｐｔを主成分とする金属膜がＺｒＯ2 を主成分と
するセラミックスに密着しており、Ａｕを主成分とする
ろう材で接合しているので、気密性、接合性にすぐれた
接合が可能となった。 （２）接合部を構成する材料が耐酸化性に優れるので、
接合体を高温酸化雰囲気で長時間使用することが可能と
なった。 （３）特殊な用途として、ＺｒＯ2 セラミックス管を電
解質として用い、数本継いで直列に接続する時には、管
の内面から外面へ電気的接続が必要になるが、この場合
でも接合部は金属成分で構成されているので、管の内面
から外面への良好な導電性を示す。
効果が得られた。 （１）Ｐｔを主成分とする金属膜がＺｒＯ2 を主成分と
するセラミックスに密着しており、Ａｕを主成分とする
ろう材で接合しているので、気密性、接合性にすぐれた
接合が可能となった。 （２）接合部を構成する材料が耐酸化性に優れるので、
接合体を高温酸化雰囲気で長時間使用することが可能と
なった。 （３）特殊な用途として、ＺｒＯ2 セラミックス管を電
解質として用い、数本継いで直列に接続する時には、管
の内面から外面へ電気的接続が必要になるが、この場合
でも接合部は金属成分で構成されているので、管の内面
から外面への良好な導電性を示す。
【図１】本発明の一実施態様で得られたＺｒＯ2 セラミ
ックスの接合体の説明図。
ックスの接合体の説明図。
【図２】本発明の一実施態様のＺｒＯ2 セラミックスの
接合方法を示す説明図。
接合方法を示す説明図。
【図３】本発明の一実施態様で得られたＺｒＯ2 セラミ
ックスの接合体の説明図。
ックスの接合体の説明図。
【図４】本発明の他の実施態様で得られたＺｒＯ2 セラ
ミックスの接合体の説明図。
ミックスの接合体の説明図。
【図５】本発明のさらに他の実施態様で得られたＺｒＯ
2 セラミックスの接合体の説明図。
2 セラミックスの接合体の説明図。
Claims (1)
- 【請求項１】 ＺｒＯ2 を主成分とするセラミックス同
志を接合するにあたり、各セラミックスの接合表面にＰ
ｔを主成分とする金属膜を形成させた後、大気中で１４
００℃以上Ｐｔ融点以下の温度で焼成して該金属膜をセ
ラミックスの接合面に密着させ、該セラミックスの密着
金属膜間をＡｕを主成分とするろう材でろう付すること
を特徴とするＺｒＯ2 セラミックスの接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4216897A JP3064113B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | ＺｒＯ２ セラミックスの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4216897A JP3064113B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | ＺｒＯ２ セラミックスの接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0656544A true JPH0656544A (ja) | 1994-03-01 |
| JP3064113B2 JP3064113B2 (ja) | 2000-07-12 |
Family
ID=16695632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4216897A Expired - Lifetime JP3064113B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | ＺｒＯ２ セラミックスの接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3064113B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4017541A1 (de) * | 1989-06-12 | 1990-12-20 | Olympus Optical Co | Zusammengesetzter optischer gegenstand und verfahren zu seiner herstellung |
| JP2002350266A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-04 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2011010545A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | General Electric Co <Ge> | 気密シール組立体及びこれを含む電子デバイス |
| JP2017145159A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 三菱重工業株式会社 | 接合構造、燃焼器、及び、燃焼装置 |
| CN108500412A (zh) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 罗斯蒙特公司 | 用于脆性材料的接头 |
| CN114634369A (zh) * | 2020-12-15 | 2022-06-17 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种可在高温氧化和还原气氛下长期使用的陶瓷密封方法 |
-
1992
- 1992-08-14 JP JP4216897A patent/JP3064113B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4017541A1 (de) * | 1989-06-12 | 1990-12-20 | Olympus Optical Co | Zusammengesetzter optischer gegenstand und verfahren zu seiner herstellung |
| DE4017541C3 (de) * | 1989-06-12 | 1998-02-26 | Olympus Optical Co | Zusammengesetzter optischer Gegenstand und Verfahren zu seiner Herstellung |
| JP2002350266A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-04 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
| JP2011010545A (ja) * | 2009-06-25 | 2011-01-13 | General Electric Co <Ge> | 気密シール組立体及びこれを含む電子デバイス |
| JP2017145159A (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 三菱重工業株式会社 | 接合構造、燃焼器、及び、燃焼装置 |
| WO2017141510A1 (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 三菱重工業株式会社 | 接合構造、燃焼器、及び、燃焼装置 |
| CN108500412A (zh) * | 2017-02-28 | 2018-09-07 | 罗斯蒙特公司 | 用于脆性材料的接头 |
| CN108500412B (zh) * | 2017-02-28 | 2021-05-14 | 罗斯蒙特公司 | 用于脆性材料的接头 |
| CN114634369A (zh) * | 2020-12-15 | 2022-06-17 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种可在高温氧化和还原气氛下长期使用的陶瓷密封方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3064113B2 (ja) | 2000-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103249520B (zh) | 大气接合用钎料、接合体以及集电材料 | |
| TWI404813B (zh) | 管靶材 | |
| JP5583905B2 (ja) | 電気リードスルーを製造する方法及び当該方法によって製造される電気リードスルー | |
| CN105612019B (zh) | 用于实现金属-陶瓷焊接连接的方法 | |
| JPH0656544A (ja) | ＺｒＯ２ セラミックスの接合方法 | |
| Deng et al. | Effects of brazing technology on hermeticity of alumina ceramic-metal joint used in nuclear power plants | |
| US4714189A (en) | Brazing eutectic and method | |
| US5534091A (en) | Joining method of ceramics and insertion member for heating and joining for use in the method | |
| JP3567678B2 (ja) | 通電発熱体 | |
| JPH0143815Y2 (ja) | ||
| US4199340A (en) | Method of forming corrosion-resistant glassceramic-to-metal seals | |
| JP3004379B2 (ja) | セラミックスと金属の接合方法 | |
| JPH07318435A (ja) | ガラス封止型サーミスタ素子の製造方法 | |
| JPS5855762A (ja) | 熱線式流量計用発熱抵抗体 | |
| JP2577315B2 (ja) | 口金付管球 | |
| JP3066178B2 (ja) | 電気化学測定用電極およびその製作方法 | |
| KR20200064481A (ko) | 세라믹 히터의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 세라믹 히터 | |
| JPH061667B2 (ja) | 螢光表示管 | |
| JP2818210B2 (ja) | アルミナセラミックスと鉄・ニッケル系合金との接合体およびその接合方法 | |
| JPH0441564Y2 (ja) | ||
| JPH0280381A (ja) | 酸化ジルコニウム系セラミックと金属の接合方法 | |
| JPH11307118A (ja) | 固体電解質体と絶縁部材とのガラス接合体及びその製造方法並びにこのガラス接合体を用いた高温型二次電池 | |
| Mathot | arXiv: Vacuum Brazing | |
| JPS59221556A (ja) | 太陽熱集熱器の製造方法 | |
| JPH08144065A (ja) | セラミックスのメタライズ及び接合方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000404 |