JPH0657476U - ガラス基板回転保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品を交換することなく、サイズの異なるマ
スクを回転させつつ保持することができる回転保持装置
を提供する。 【構成】 第１回転台１および第２回転台２は、それぞ
れ、その先端に保持部材１５を取付けた放射状のアーム
１０もしくは２０を有する。前記保持部材１５はボルト
４つまり回転中心に関して対向して配置されている。前
記アーム１０もしくは２０の長さは、複数種類のマスク
１１〜１４つまり被回転物の４角に対して保持部材１５
が対応するような寸法に設定されている。前記第１回転
台１と第２回転台２とは同一回転軸上に設けられ、第１
回転台１を第２回転台に対して軸方向で移動させ、予定
位置に位置決めできる。処理しようとするマスクが保持
されている回転台を予定位置まで上昇させて予定の処理
を行う。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はガラス基板回転保持装置に関するものであり、特に、複数サイズのガ ラス基板を回転させつつ保持することができるアームを有するガラス基板回転保 持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体、ガラス、セラミック等の基板上に薄膜を形成する場合に、ガラス基板 上に必要なパターンを形成したマスクまたはレティクルが使用されることは知ら れている。

【０００３】 ところで、繰り返し使用するうちに、このガラス基板（以下、マスクという） にごみもしくはパーティクルが付着する。このごみもしくはパーティクルをその まま放置しておいたのでは、基板上に品質の高い薄膜を形成することが困難とな る。したがって、通常は、ある程度の時間または回数だけ使用した後、これらの ごみもしくはパーティクルを除去するために洗浄が行われている。

【０００４】 洗浄装置の一例として、マスクを装着する回転装置と、該回転装置に装着され たマスクの表面に対向して設けられ、該表面を洗浄してごみもしくはパーティク ルを除去するスクラブヘッドとを有するものが知られている。スクラブヘッドの 、前記マスクとの対向面にはブラシまたはスポンジ状の洗浄用部品が設けられて いる。

【０００５】 この洗浄装置では、前記回転装置によってマスクを回転させると共に、前記ス クラブヘッドの洗浄用部品をマスクの表面に接触させた状態で回転させ、マスク 表面全体をむらなく洗浄できるように構成されている。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】 上記の洗浄装置には次のような問題点があった。洗浄装置の前記回転装置には 、回転中、マスクを保持するための回転保持装置が設けられる。ところで、マス クの形状・寸法はさまざまである。例えば、一辺がそれぞれ４．５インチ（約１ １４ｍｍ）、５インチ（約１２７ｍｍ）、６インチ（１５２ｍｍ）、７インチ（ 約１８０ｍｍ）の正方形のマスクがある。

【０００７】 したがって、従来は、これらの各寸法のマスクを保持できるように、寸法の異 なる複数の保持枠を準備し、洗浄の対象となるマスクの大きさに合わせて適当な 保持枠に交換して対処していた。このために、洗浄の対象となるマスクの大きさ が変わる毎に、前記保持枠をその回転駆動軸に対して着脱する操作が必要となり 、工程数が増大して作業能率の低下を招くという問題点があった。

【０００８】 本考案の目的は、上記の問題点を解消し、保持装置の保持枠を交換することな く複数種類の寸法を有するマスクを保持することができる回転保持装置を提供す ることにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

上記の課題を解決し、目的を達成するための本考案は、共通する回転中心を有 した複数の回転台と、各回転台に設けられ、他の回転台におけるのとは異なる予 定距離をおいて前記回転中心軸に関して対向して配置された保持部材とを具備し 、前記複数の回転台の１つに対して他の回転台を前記回転中心の延長方向で移動 させて予定位置に位置決めできるように構成した点を第１の特徴がある。

【００１０】 また、本考案は、前記保持部材が、前記各回転台のそれぞれにおいて複数組設 けられ、互いに異なる距離をおいて前記回転中心に関して対向して配置されてい る点に第２の特徴がある。

【００１１】 さらに、本考案は、前記回転台の回転時に遠心力でその一端が外側に偏倚し、 他端が内側に偏倚して該回転台上に載置された被回転物の端部に係合するように 前記回転台の端部に揺動自在に設けられた固定具をさらに具備した点に第３の特 徴がある。

【００１２】

【作用】

上記の特徴を有する本考案によれば、複数の回転台では、それぞれ異なる距離 をおいて保持部材が対向配置されているので、該保持部材によって、それぞれの 回転台上に寸法の異なる被回転物を保持することができる。

【００１３】 特に、第２の特徴を有する本考案によれば、各回転台のそれぞれに、互いに配 置間隔の異なる複数組の保持部材を対向して設けたので、寸法の異なるさらに多 くの種類の被回転物を保持することができる。

【００１４】 また、第３の特徴を有する本考案によれば、回転台が回転している間は、遠心 力によって固定具が被回転物に係合し、回転の停止中は前記遠心力が開放され、 被回転物に対する固定具の係合が解除される。

【００１５】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案を詳細に説明する。図１は本考案の一実施例を示 す回転保持装置の平面図であり、図２は同部分断面正面図である。該回転保持装 置は回転軸に関して対称的な形状であるので、図１においては一部の図示を省略 する。また、図２では、回転保持装置の回転軸およびその駆動手段は図示を省略 する。

【００１６】 図１および図２において、第１回転台１は、８本のアーム１０を含み、第２回 転台２も同様に８本のアーム２０を含んでいる（一部図示を省略）。第１回転台 １は、ボルト４によって回転軸３と結合され、第２回転台２は、キー５によって 中空状の回転軸６と結合されている。止めねじ７は、第２回転台２とキー５との 軸方向の動きを固定するために設けられる。

【００１７】 前記回転軸３は中空の回転軸６に嵌挿され、該回転軸６に対して軸方向に摺動 自在に設定されている。第１回転台１の凹所１ａに挿入されてボルト８で固定さ れたピン９は、第２回転台２の孔２ａに対して摺動自在に挿入されている。この ピン９によって第１および第２回転台１，２の回転方向での相互の動きは規制さ れ、回転軸３，６の軸方向にのみ相対位置が変動可能となる。

【００１８】 アーム１０および２０の先端には、それぞれ１対のストッパすなわち保持部材 １５ａ〜１５ｄが設けられている。アーム１０および２０の長さは、ボルト４、 つまり回転軸３もしくは６（すなわち回転中心）と前記保持部材１５ａ〜１５ｄ との距離が次のような関係になるように決定されている。

【００１９】 すなわち、隣接するアーム１０および２０のそれぞれにおいて、隣接するもの 同士に固定されている保持部材１５ａ〜１５ｄと前記回転中心との距離は異なる ようにし、回転中心に対して対称位置にあるアーム１０および２０に固定されて いる保持部材１５ａ〜１５ｄ同士は前記回転中心からの距離が同じになるように する。そして、図１から理解されるように、第２回転台２のすべてのアーム２０ は、第１回転台１のすべてのアーム１０より長くなるようにしてある。

【００２０】 具体的には、前記回転中心との距離が最も小さい位置に設けられている保持部 材１５ｂは、一辺４．５インチの正方形のマスク１１の４角に当接して該マスク １１を保持する。また、その次に前記回転中心との距離が小さい位置に設けられ ている保持部材１５ａは、一辺５インチの正方形のマスク１２の４角に当接して 該マスク１２を保持する。

【００２１】 さらに、第２回転台２のアーム２０に設けられた保持部材１５ｃ，１５ｄは、 一辺６インチおよび一辺７インチの正方形のマスク１３，１４の４角に当接して 該マスク１３，１４をそれぞれ保持する。

【００２２】 以上のように構成された回転保持装置を前記マスクの洗浄装置に組込んで使用 する場合の動作を説明する。

【００２３】 まず、寸法の大きいマスク１３または１４を洗浄するために第２回転台２を使 用する場合は、図２に示した状態でマスク１３または１４をアーム２０に載置し 、回転軸６に駆動源を接続してアーム２０を回転させる。その状態で、スクラブ ヘッドに装着されたブラシまたはスポンジ状の洗浄用部品１６をマスク１３また は１４の表面に接触させる。

【００２４】 洗浄用部品１６もその軸１６ａを中心に回転させられるので、該洗浄用部品１ ６によってマスク１３の表面の全体が洗浄される。なお、洗浄に際しては、洗浄 用の水をマスク１３の両面に噴射するのがよい。

【００２５】 また、寸法の小さいマスク１１または１２を洗浄するために第１回転台１を使 用する場合は、図示しない押上手段を操作して、マスク１１または１２が前記マ スク１３または１４と同一レベル以上になるように回転軸３を押上げて洗浄位置 にセットする。

【００２６】 前記図示しない押上手段は、カムまたはリンク機構によって構成でき、このカ ムまたはリンク機構は、モータまたは電磁ソレノイドで自動的に駆動してもよい し、手動によってもよい。

【００２７】 ところで、前記アーム１０または２０上に載置されたマスクは、洗浄用部品１ ６で下向きに押さえられているので、通常は、特に上からの押さえ手段は要しな いが、マスクをさらに確実にアーム１０および２０に保持するために、次のよう な手段を設けることもできる。

【００２８】 図３はマスクの押さえ手段を示す要部平面図であり、図４は要部断面図である 。同図において、第１回転台１のアーム１０の垂直部材１０ａには、軸１７によ って揺動自在にクランプ１８が取付けられている。該クランプ１８には、テール 部１８ａとヘッド部１８ｂとが形成されている。

【００２９】 前記クランプ１８は、通常はテール部１８ａとヘッド部１８ｂの重量の不均衡 ならびに軸１７の位置によるモーメントの差によって矢印１９の方向に振られ、 ヘッド部１８ｂはマスク１１上から退避している。そして、回転台が回転駆動さ れると、その遠心力によってテール部１８ａは矢印１９とは反対方向つまり外向 きに振り上げられて図示の状態となり、マスク１１はヘッド部１８ｂで押さえら れる。こうして、アーム１０に載置されたマスク１１は、回転中はクランプ１８ でアーム１０に確実に保持された状態に維持できる。

【００３０】 前記クランプ１８はすべてのアーム１０に取付けるのが望ましいが、少なくと も回転軸３，６を中心として対向する２本のアームに取付けるようにしてもよい 。また、クランプ１８はアーム２０に対しても同様に取付けることができるのは もちろんである。

【００３１】 なお、本実施例では、第１および第２回転台１，２をピン９で連結して一体的 に回転させるようにしたが、第１および第２回転台１，２の双方に駆動手段を個 別に設けるか、クラッチを用いた切換え手段で選択的に駆動源を接続するかして 、洗浄すべきマスクを載置した回転台のみを回転させるようにしてもよい。

【００３２】 また、第１回転台１を第２回転台２に対して昇降させるのではなく、その逆に 、第２回転台２を第１回転台１に対して昇降させるように構成してもよい。

【００３３】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案によれば、回転台を取り替えることな く、複数種類のマスクを保持して回転させることができる。したがって、寸法の 異なる複数のマスクを取り扱う工程において、回転台交換の工程を省ことができ 、能率向上に貢献することができる。

【００３４】 また、クランプによって、回転台の回転中にのみ被回転物を補助的に押さえる ことができるので、回転台に対する被回転物の載置作業や取外しの際に該クラン プが障害となることがない。したがって被回転物の載置作業や取外しの自動化が 容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の実施例を示す回転保持装置の平面図
である。

【図２】 本考案の実施例を示す回転保持装置の断面図
である。

【図３】 クランプの取付状態を示す要部平面図であ
る。

【図４】 クランプの取付状態を示す要部断面図であ
る。

【符号の説明】

１…第１回転台、 ２…第２回転台、 ３…回転軸、
６…中空回転軸、１０，２０…アーム、 １１〜１４…
マスク、 １５…保持部材、１８…クランプ

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板に予定の処理を施すため、該
   ガラス基板を保持して回転させるガラス基板回転保持装
   置において、 共通する回転中心を有した複数の回転台と、 各回転台に設けられ、他の回転台におけるのとは異なる
   予定距離をおいて前記回転中心軸に関して対向して配置
   された保持部材とを具備し、 前記複数の回転台の１つに対して他の回転台を前記回転
   中心の延長方向で移動させて予定位置に位置決めできる
   ように構成したことを特徴とするガラス基板回転保持装
   置。
2. 【請求項２】 ガラス基板に予定の処理を施すため、該
   ガラス基板を保持して回転させるガラス基板回転保持装
   置において、 回転中心に関して予定距離をおいて対向する保持部材を
   有する第１回転台と、 前記回転中心に関して前記予定距離とは異なる距離をお
   いて対向する保持部材を有する第２回転台とを具備し、 前記第１回転台と第２回転台とは同一回転軸上に設けら
   れ、該第１および第２回転台の一方を、他方に対して前
   記回転中心の延長方向で移動させて予定の位置に位置決
   めできるように構成したことを特徴とするガラス基板回
   転保持装置。
3. 【請求項３】 前記保持部材が、前記各回転台のそれぞ
   れに複数組設けられ、かつ互いに異なる距離をおいて前
   記回転中心に関して対向して配置されていることを特徴
   とする請求項１または２記載のガラス基板回転保持装
   置。
4. 【請求項４】 前記保持部材が、被回転物の４角に当接
   して該被回転物を保持するように回転台に立設されてい
   る突起状部材であることを特徴とする請求項１〜３のい
   ずれかに記載のガラス基板回転保持装置。
5. 【請求項５】 前記回転台の回転時に遠心力でその一端
   が外側に偏倚し、他端が内側に偏倚して該回転台上に載
   置された被回転物の端部に係合するように各回転台の端
   部に揺動自在に設けられた固定具をさらに具備したこと
   を特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガラス基
   板回転保持装置。
6. 【請求項６】 前記各回転台が、長さの異なる複数組の
   アームからなり、前記保持部材が該アームの先端に配設
   されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに
   記載のガラス基板回転保持装置。