JPH10190102A - 気体レーザーの放電励起方法及び気体レーザー装置 - Google Patents
気体レーザーの放電励起方法及び気体レーザー装置Info
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- JPH10190102A JPH10190102A JP34078696A JP34078696A JPH10190102A JP H10190102 A JPH10190102 A JP H10190102A JP 34078696 A JP34078696 A JP 34078696A JP 34078696 A JP34078696 A JP 34078696A JP H10190102 A JPH10190102 A JP H10190102A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 10
- 230000004323 axial length Effects 0.000 description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザー発振出力及びレーザー発振効率を
向上させる。 【解決手段】 レーザーガス８が流通される放電管１ａ
は、空胴共振器４ａに挿入される状態で配置されてお
り、マイクロ波発振器２から出力されたマイクロ波は導
波管３により空胴共振器４ａに導かれる。このため、マ
イクロ波によりレーザーガスが放電励起されて発生した
誘導放出光は、ミラー５，６間で反射増幅され、ミラー
６からレーザー光として出力される。空胴共振器４ａ
は、放電管１ａのうち、ガスの流れ方向に関して、上流
側に配置されている。このため空胴共振器１ａの上流側
にて放電励起をし、下流側放電管長Ｌの部分にてガスミ
キシングを行う。
向上させる。 【解決手段】 レーザーガス８が流通される放電管１ａ
は、空胴共振器４ａに挿入される状態で配置されてお
り、マイクロ波発振器２から出力されたマイクロ波は導
波管３により空胴共振器４ａに導かれる。このため、マ
イクロ波によりレーザーガスが放電励起されて発生した
誘導放出光は、ミラー５，６間で反射増幅され、ミラー
６からレーザー光として出力される。空胴共振器４ａ
は、放電管１ａのうち、ガスの流れ方向に関して、上流
側に配置されている。このため空胴共振器１ａの上流側
にて放電励起をし、下流側放電管長Ｌの部分にてガスミ
キシングを行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気体レーザーの放
電励起方法及び気体レーザー装置に関し、高周波領域の
電磁波によってレーザーガス（レーザー媒質）を高周波
放電励起させるレーザー発振器に適用して有効なもので
ある。
電励起方法及び気体レーザー装置に関し、高周波領域の
電磁波によってレーザーガス（レーザー媒質）を高周波
放電励起させるレーザー発振器に適用して有効なもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来の気体レーザー装置を図４を参照し
て説明する。同図に示すように従来の気体レーザー装置
では、内部にレーザーガス８が循環供給される放電管１
は、円筒型空胴共振器４の軸方向に挿入される状態で設
置されている。円筒型空胴共振器４には、導波管３を介
してマイクロ波発振器２が接続されている。前記放電管
１の両端には、光共振器を構成する全反射ミラー５と出
力ミラー６が対向設置されている。
て説明する。同図に示すように従来の気体レーザー装置
では、内部にレーザーガス８が循環供給される放電管１
は、円筒型空胴共振器４の軸方向に挿入される状態で設
置されている。円筒型空胴共振器４には、導波管３を介
してマイクロ波発振器２が接続されている。前記放電管
１の両端には、光共振器を構成する全反射ミラー５と出
力ミラー６が対向設置されている。
【０００３】上記構成の気体レーザー装置では、マイク
ロ波発振器２から出力されたマイクロ波が、導波管３の
中を伝搬して円筒型空胴共振器４に伝送されると、円筒
型空胴共振器４内の空間ひいては放電管１内の空間にマ
イクロ波が封入される。このため、放電管１内のレーザ
ーガス８がマイクロ波の電界により放電励起される。こ
れによってレーザーガス８から誘導放出光が発生し、光
共振器を構成する全反射ミラー５と出力ミラー６の間の
往復反射によって誘導放出光が増幅され、出力ミラー６
を透過したレーザー光７を取り出すことができる。
ロ波発振器２から出力されたマイクロ波が、導波管３の
中を伝搬して円筒型空胴共振器４に伝送されると、円筒
型空胴共振器４内の空間ひいては放電管１内の空間にマ
イクロ波が封入される。このため、放電管１内のレーザ
ーガス８がマイクロ波の電界により放電励起される。こ
れによってレーザーガス８から誘導放出光が発生し、光
共振器を構成する全反射ミラー５と出力ミラー６の間の
往復反射によって誘導放出光が増幅され、出力ミラー６
を透過したレーザー光７を取り出すことができる。
【０００４】なお、図４に示すようなタイプの気体レー
ザー装置は、レーザーガス８のガス流の流れ方向と光軸
とが平行となっているので、一般に、「軸流方式」のレ
ーザー装置と称されている。
ザー装置は、レーザーガス８のガス流の流れ方向と光軸
とが平行となっているので、一般に、「軸流方式」のレ
ーザー装置と称されている。
【０００５】マイクロ波によるレーザーガスの放電励起
法はHandy and Brandelik, J. Appl. Phys. Vol. 49, P
3753-3756 (1978)によりすでに公知である。
法はHandy and Brandelik, J. Appl. Phys. Vol. 49, P
3753-3756 (1978)によりすでに公知である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、マイクロ波を
封入した空胴共振器４を使った場合、レーザー媒質（レ
ーザーガス８）を放電励起することは可能であるが、従
来技術ではレーザー出力を上げるために、できるだけ放
電管１内のレーザーガス８を光軸上に対して滞在できる
ように放電空間が構成されている。
封入した空胴共振器４を使った場合、レーザー媒質（レ
ーザーガス８）を放電励起することは可能であるが、従
来技術ではレーザー出力を上げるために、できるだけ放
電管１内のレーザーガス８を光軸上に対して滞在できる
ように放電空間が構成されている。
【０００７】したがって、レーザーガス８全体を放電さ
せるには大きな電力を必要とするという欠点や、放電空
間内の電界を上げて分子を励起しようと企図して高周波
パワーを上げても、電界強度はそれほど効果的に上げら
れないという欠点がある。
せるには大きな電力を必要とするという欠点や、放電空
間内の電界を上げて分子を励起しようと企図して高周波
パワーを上げても、電界強度はそれほど効果的に上げら
れないという欠点がある。
【０００８】また、電界によって発生した放電プラズマ
はマイクロ波エネルギーを吸収しやすい。このため、放
電管１内を流れるレーザーガス８によるプラズマに着目
すると、マイクロ波エネルギーは、放電管８の上流側に
比べて放電管８の下流側において、より多く吸収され
る。この結果、分子の励起を狙った投入パワーの増加に
もかかわらず、出力パワーの増加はそれほど得られず、
投入増加パワーの殆どがパワー損失となり、レーザーガ
ス８の温度上昇が避けられない欠点がある。
はマイクロ波エネルギーを吸収しやすい。このため、放
電管１内を流れるレーザーガス８によるプラズマに着目
すると、マイクロ波エネルギーは、放電管８の上流側に
比べて放電管８の下流側において、より多く吸収され
る。この結果、分子の励起を狙った投入パワーの増加に
もかかわらず、出力パワーの増加はそれほど得られず、
投入増加パワーの殆どがパワー損失となり、レーザーガ
ス８の温度上昇が避けられない欠点がある。
【０００９】本発明は、上記従来技術の不具合点を解消
するためになされたもので、レーザーガスを構成する分
子の高周波電界による放電及びレーザー発振に適した励
起を行わせることによって、レーザー出力を増大させる
と共に、発振効率を向上させることができる気体レーザ
ーの放電励起方法及び気体レーザー装置を提供すること
を目的とする。
するためになされたもので、レーザーガスを構成する分
子の高周波電界による放電及びレーザー発振に適した励
起を行わせることによって、レーザー出力を増大させる
と共に、発振効率を向上させることができる気体レーザ
ーの放電励起方法及び気体レーザー装置を提供すること
を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の構成は、高周波発振器から出力された電磁波を同軸
ケーブルや導波管により、内部に放電管が設置された対
向型平行平板電極または誘導カップリングコイルまたは
空胴共振器に導き、前記放電管内の空間に封入されてい
るレーザー媒質ガスを、前記電磁波による電界によって
放電励起させてレーザー出力を得る軸流方式の気体レー
ザーの放電励起法において、放電励起をガス流れ上流側
に集中させて放電管断面全体にプラズマを生成させた
後、ガス流れ下流部にてミキシングさせながらレーザー
光軸上にガス流れを保持することを特徴とする。
明の構成は、高周波発振器から出力された電磁波を同軸
ケーブルや導波管により、内部に放電管が設置された対
向型平行平板電極または誘導カップリングコイルまたは
空胴共振器に導き、前記放電管内の空間に封入されてい
るレーザー媒質ガスを、前記電磁波による電界によって
放電励起させてレーザー出力を得る軸流方式の気体レー
ザーの放電励起法において、放電励起をガス流れ上流側
に集中させて放電管断面全体にプラズマを生成させた
後、ガス流れ下流部にてミキシングさせながらレーザー
光軸上にガス流れを保持することを特徴とする。
【００１１】また本発明の気体レーザーの放電励起方法
は、前記電磁波による放電励起後、直ちに、放電前のレ
ーザーガスの一部を放電部下流のガス流れに供給し、ガ
スミキシングによってガス流れの冷却を強化することを
特徴とする。
は、前記電磁波による放電励起後、直ちに、放電前のレ
ーザーガスの一部を放電部下流のガス流れに供給し、ガ
スミキシングによってガス流れの冷却を強化することを
特徴とする。
【００１２】また本発明の気体レーザーの放電励起方法
は、ガス流れ上流側に空胴共振器を設置し、この空胴共
振器を、下流側空胴と、電磁波が導かれる上流側空胴と
に２分割することによって、放電発生とガス分子の励起
をさせることを特徴とする。
は、ガス流れ上流側に空胴共振器を設置し、この空胴共
振器を、下流側空胴と、電磁波が導かれる上流側空胴と
に２分割することによって、放電発生とガス分子の励起
をさせることを特徴とする。
【００１３】また本発明の構成は、高周波発振器から出
力された電磁波を同軸ケーブルや導波管により、内部に
放電管が設置された対向型平行平板電極または誘導カッ
プリングコイルまたは空胴共振器に導き、前記放電管内
の空間に封入されているレーザー媒質ガスを、前記電磁
波による電界によって励起させてレーザー出力を得る軸
流方式の気体レーザー装置において、レーザーガスを流
動させる放電管に対して、放電部がレーザー発振軸上に
対して上流に設置され、その放電部下流にミキシング部
を確保することを特徴とする。
力された電磁波を同軸ケーブルや導波管により、内部に
放電管が設置された対向型平行平板電極または誘導カッ
プリングコイルまたは空胴共振器に導き、前記放電管内
の空間に封入されているレーザー媒質ガスを、前記電磁
波による電界によって励起させてレーザー出力を得る軸
流方式の気体レーザー装置において、レーザーガスを流
動させる放電管に対して、放電部がレーザー発振軸上に
対して上流に設置され、その放電部下流にミキシング部
を確保することを特徴とする。
【００１４】本発明では、ＣＯ2 分子等を放電及び励起
させる放電部とガス冷却を強化するミキシング部の２つ
の機能を分離している。このため、本発明によれば高周
波電界をガス流れ上流のせまい空間に集中させることで
少ないパワーで高電界をレーザーガスに作用させ放電下
流部には電界を作用させず、ガスのミキシングを十分に
行うことで光軸上でガスを冷却することにより、光軸方
向に高いレーザ発振利得を得ることができる。そして、
本発明では、放電部に適用する高周波は１ＭＨｚのＲＦ
領域から数１０ＭＨｚのマイクロ波領域でも使用でき
る。
させる放電部とガス冷却を強化するミキシング部の２つ
の機能を分離している。このため、本発明によれば高周
波電界をガス流れ上流のせまい空間に集中させることで
少ないパワーで高電界をレーザーガスに作用させ放電下
流部には電界を作用させず、ガスのミキシングを十分に
行うことで光軸上でガスを冷却することにより、光軸方
向に高いレーザ発振利得を得ることができる。そして、
本発明では、放電部に適用する高周波は１ＭＨｚのＲＦ
領域から数１０ＭＨｚのマイクロ波領域でも使用でき
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施例を図面に基
づき詳細に説明する。
づき詳細に説明する。
【００１６】図１は本発明の第１実施例にかかる気体
（炭酸ガス）レーザー装置を示す。同図に示すように、
内部にレーザーガス８が循環供給される放電管１ａは、
円筒型（矩型）の空胴共振器４ａの軸方向に挿入される
状態で設置されている。しかも、空胴共振器４ａは、レ
ーザーガス８の流れ方向に関して、放電管１ａの上流側
に配置されている。また、放電管１ａは、空胴共振器４
ａが設置された位置よりも下流側において、ガスミキシ
ングが十分とれるように、放電管長を長くとっている。
（炭酸ガス）レーザー装置を示す。同図に示すように、
内部にレーザーガス８が循環供給される放電管１ａは、
円筒型（矩型）の空胴共振器４ａの軸方向に挿入される
状態で設置されている。しかも、空胴共振器４ａは、レ
ーザーガス８の流れ方向に関して、放電管１ａの上流側
に配置されている。また、放電管１ａは、空胴共振器４
ａが設置された位置よりも下流側において、ガスミキシ
ングが十分とれるように、放電管長を長くとっている。
【００１７】空胴共振器４ａの側端には導波管３の一端
が接続されており、導波管４の他端はマイクロ波発振器
２に接続されている。また前記放電管１の光軸上の両端
には、光共振器を構成する全反射ミラー５と出力ミラー
６が対向設置されている。
が接続されており、導波管４の他端はマイクロ波発振器
２に接続されている。また前記放電管１の光軸上の両端
には、光共振器を構成する全反射ミラー５と出力ミラー
６が対向設置されている。
【００１８】ここで第１実施例の各部の、より具体的な
特性を説明する。マイクロ波発振器２は、２．４５ＧＨ
ｚのマイクロ波を発振しており、１５００Ｗのマイクロ
波を空胴共振器４ａに入射する。前記レーザーガス８の
ガス組成は、ＣＯ2 ，Ｎ2 ，Ｈｅの混合ガスであり、そ
の圧力は５０Torrである。空胴共振器４ａの内径φは８
３ｍｍ、軸方向長さは１００ｍｍである。放電管１ａの
内径φは２５ｍｍである。また、放電管１ａのうち、空
胴共振器４ａが設置された位置よりも下流側の下流側放
電管長Ｌは、２００ｍｍ（または５００ｍｍまたは７０
０ｍｍ）とした。
特性を説明する。マイクロ波発振器２は、２．４５ＧＨ
ｚのマイクロ波を発振しており、１５００Ｗのマイクロ
波を空胴共振器４ａに入射する。前記レーザーガス８の
ガス組成は、ＣＯ2 ，Ｎ2 ，Ｈｅの混合ガスであり、そ
の圧力は５０Torrである。空胴共振器４ａの内径φは８
３ｍｍ、軸方向長さは１００ｍｍである。放電管１ａの
内径φは２５ｍｍである。また、放電管１ａのうち、空
胴共振器４ａが設置された位置よりも下流側の下流側放
電管長Ｌは、２００ｍｍ（または５００ｍｍまたは７０
０ｍｍ）とした。
【００１９】上記構成の気体レーザー装置では、マイク
ロ波発振器２から出力されたマイクロ波が、導波管３の
中を伝搬して空胴共振器４ａに伝送されると、空胴共振
器４ａ内の空間ひいては放電管１ａ内の空間にマイクロ
波が封入される。このため、放電管１ａ内のレーザーガ
ス８がマイクロ波の電界により放電励起される。これに
よってレーザーガス８から誘導放出光が発生し、光共振
器を構成する全反射ミラー５と出力ミラー６の間の往復
反射によって誘導放出光が増幅され、出力ミラー６を透
過したレーザー光７を取り出すことができる。しかも、
下流側放電管長Ｌを長くしているため、この下流側放電
管長Ｌの部分でガスミキシングが十分行われ、レーザー
光７の出力が増大し、また、発振効率が向上する。
ロ波発振器２から出力されたマイクロ波が、導波管３の
中を伝搬して空胴共振器４ａに伝送されると、空胴共振
器４ａ内の空間ひいては放電管１ａ内の空間にマイクロ
波が封入される。このため、放電管１ａ内のレーザーガ
ス８がマイクロ波の電界により放電励起される。これに
よってレーザーガス８から誘導放出光が発生し、光共振
器を構成する全反射ミラー５と出力ミラー６の間の往復
反射によって誘導放出光が増幅され、出力ミラー６を透
過したレーザー光７を取り出すことができる。しかも、
下流側放電管長Ｌを長くしているため、この下流側放電
管長Ｌの部分でガスミキシングが十分行われ、レーザー
光７の出力が増大し、また、発振効率が向上する。
【００２０】次の表１は、各下流側放電管長Ｌに応じ
た、夫々のレーザー出力と発振効率を示している。
た、夫々のレーザー出力と発振効率を示している。
【００２１】
【表１】
【００２２】なお、図４に示す従来の気体レーザー装置
では、放電管１の中央部の殆どが空胴共振器４に覆われ
ており、放電管１の中央部の殆どの部分がレーザー発振
に使われており、下流側放電管長が殆ど無いため、十分
なミキシングが行われず、レーザー出力は小さく、ま
た、発振効率は悪かった。
では、放電管１の中央部の殆どが空胴共振器４に覆われ
ており、放電管１の中央部の殆どの部分がレーザー発振
に使われており、下流側放電管長が殆ど無いため、十分
なミキシングが行われず、レーザー出力は小さく、ま
た、発振効率は悪かった。
【００２３】次に、本発明の第２実施例を、図２を参照
して説明する。この第２実施例では、空胴共振器４ａの
内径はφ８３ｍｍ、その軸方向長さは１００ｍｍであ
る。放電管１ａの内径は２５ｍｍ、その下流側放電管長
Ｌは５００ｍｍとしている。さらに、放電管１ａの管内
空間のうち、空胴共振器４ａが配置されている部分の直
ぐ下流側に、フレッシュなレーザーガス８を供給するた
めの後混合ガス供給部９を取付けている。なお、他の部
分の構成は、第１実施例と同様である。
して説明する。この第２実施例では、空胴共振器４ａの
内径はφ８３ｍｍ、その軸方向長さは１００ｍｍであ
る。放電管１ａの内径は２５ｍｍ、その下流側放電管長
Ｌは５００ｍｍとしている。さらに、放電管１ａの管内
空間のうち、空胴共振器４ａが配置されている部分の直
ぐ下流側に、フレッシュなレーザーガス８を供給するた
めの後混合ガス供給部９を取付けている。なお、他の部
分の構成は、第１実施例と同様である。
【００２４】第２実施例では、後混合ガス供給部９によ
り、フレッシュなレーザーガス８を供給して、ガスミキ
シングにより温度上昇を抑制することができる。このた
め、レーザー出力は２２０Ｗ程度となり、レーザー出力
が向上する。
り、フレッシュなレーザーガス８を供給して、ガスミキ
シングにより温度上昇を抑制することができる。このた
め、レーザー出力は２２０Ｗ程度となり、レーザー出力
が向上する。
【００２５】次に、本発明の第３実施例を、図３を参照
して説明する。この第３実施例では、上流空胴１０と励
起用下流空胴１１を備えた空胴共振器４ｂを、放電管１
ａの上流側に配置している。導波管３の一端は、空胴共
振器４ｂのうち上流空胴１０の部分に接続されている。
して説明する。この第３実施例では、上流空胴１０と励
起用下流空胴１１を備えた空胴共振器４ｂを、放電管１
ａの上流側に配置している。導波管３の一端は、空胴共
振器４ｂのうち上流空胴１０の部分に接続されている。
【００２６】第３実施例では、空胴共振器４ｂの内径φ
は８３ｍｍ、その上流空胴１０の軸方向長さは５０ｍｍ
であり、その励起用下流空胴１１の軸方向長さは１００
ｍｍである。放電管１ａの内径φは２５ｍｍ、その下流
側放電管長Ｌを５００ｍｍとした。
は８３ｍｍ、その上流空胴１０の軸方向長さは５０ｍｍ
であり、その励起用下流空胴１１の軸方向長さは１００
ｍｍである。放電管１ａの内径φは２５ｍｍ、その下流
側放電管長Ｌを５００ｍｍとした。
【００２７】第３実施例では、上流空胴１０の軸方向長
さを短くし、軸方向長さの長い励起用下流側空胴１１
を、上流空胴１０の下流に設けている。このため、上流
側の上流空胴１０にて高い圧力で放電を可能とする強い
電界が得られ、励起用下流空胴１１ではＣＯ2 分子の励
起を発振に適するように制御できる。このように、上流
空胴１０と励起用下流空胴１１を有する空胴共振器４ａ
を導入することにより、レーザーガス８の圧力を７０To
rrとしても、レーザー出力は２５０Ｗ程度と大きくな
る。つまり、空胴共振器４ｂの２つの空胴１０，１１の
効果のために出力が向上するのである。
さを短くし、軸方向長さの長い励起用下流側空胴１１
を、上流空胴１０の下流に設けている。このため、上流
側の上流空胴１０にて高い圧力で放電を可能とする強い
電界が得られ、励起用下流空胴１１ではＣＯ2 分子の励
起を発振に適するように制御できる。このように、上流
空胴１０と励起用下流空胴１１を有する空胴共振器４ａ
を導入することにより、レーザーガス８の圧力を７０To
rrとしても、レーザー出力は２５０Ｗ程度と大きくな
る。つまり、空胴共振器４ｂの２つの空胴１０，１１の
効果のために出力が向上するのである。
【００２８】上記各実施例では、高周波放電の例として
マイクロ波放電による励起及びレーザー発振を示した
が、周波数領域が１３．５６ＭＨｚ等の高周波放電でも
同様の効果が得られる。
マイクロ波放電による励起及びレーザー発振を示した
が、周波数領域が１３．５６ＭＨｚ等の高周波放電でも
同様の効果が得られる。
【００２９】なお上記実施例では、空胴共振器に放電管
を配置したレーザー装置を示したが、放電用の対向型平
行平板電極に放電管を配置したレーザー装置や、誘導カ
ップリングコイルに放電管を配置したレーザー装置に
も、本発明を適用することができることは当然である。
さらに、導波管の代わりに同軸ケーブルを用いても良
い。
を配置したレーザー装置を示したが、放電用の対向型平
行平板電極に放電管を配置したレーザー装置や、誘導カ
ップリングコイルに放電管を配置したレーザー装置に
も、本発明を適用することができることは当然である。
さらに、導波管の代わりに同軸ケーブルを用いても良
い。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、気体レーザー装置にお
いてその光軸方向にレーザーガス分子に対して適正な電
界で放電を発生させることができ、さらに放電部下流で
ガスを十分にミキシングさせることによってレーザーガ
スを発振に適した励起状態を有効に形成できる。また、
従来方式では適正な電界が形成されず、ガスを加熱する
だけであったエネルギーを有効利用できるため、レーザ
ー発振効率を上げることができる。
いてその光軸方向にレーザーガス分子に対して適正な電
界で放電を発生させることができ、さらに放電部下流で
ガスを十分にミキシングさせることによってレーザーガ
スを発振に適した励起状態を有効に形成できる。また、
従来方式では適正な電界が形成されず、ガスを加熱する
だけであったエネルギーを有効利用できるため、レーザ
ー発振効率を上げることができる。
【図１】本発明の第１実施例にかかる気体レーザー装置
を示す正面断面図。
を示す正面断面図。
【図２】本発明の第２実施例にかかる気体レーザー装置
を示す正面断面図。
を示す正面断面図。
【図３】本発明の第３実施例にかかる気体レーザー装置
を示す正面断面図。
を示す正面断面図。
【図４】従来の気体レーザー装置を示す正面断面図。
１，１ａ 放電管 ２ マイクロ波発振器 ３ 導波管 ４，４ａ，４ｂ 空胴共振器 ５ 全反射鏡 ６ 出力鏡 ７ レーザー光 ８ レーザーガス ９ 後混合ガス供給部 １０ 上流空胴 １１ 励起用下流空胴 Ｌ 下流側放電管長
Claims (4)
- 【請求項１】 高周波発振器から出力された電磁波を同
軸ケーブルや導波管により、内部に放電管が設置された
対向型平行平板電極または誘導カップリングコイルまた
は空胴共振器に導き、前記放電管内の空間に封入されて
いるレーザー媒質ガスを、前記電磁波による電界によっ
て放電励起させてレーザー出力を得る軸流方式の気体レ
ーザーの放電励起法において、 放電励起をガス流れ上流側に集中させて放電管断面全体
にプラズマを生成させた後、ガス流れ下流部にてミキシ
ングさせながらレーザー光軸上にガス流れを保持するこ
とを特徴とする気体レーザーの放電励起方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の気体レーザーの放電励起
方法において、前記電磁波による放電励起後、直ちに、
放電前のレーザーガスの一部を放電部下流のガス流れに
供給し、ガスミキシングによってガス流れの冷却を強化
することを特徴とする気体レーザーの放電励起方法。 - 【請求項３】 請求項１記載の気体レーザーの放電励起
方法において、ガス流れ上流側に空胴共振器を設置し、
この空胴共振器を、下流側空胴と、電磁波が導かれる上
流側空胴とに２分割することによって、放電発生とガス
分子の励起をさせることを特徴とする気体レーザーの放
電励起方法。 - 【請求項４】 高周波発振器から出力された電磁波を同
軸ケーブルや導波管により、内部に放電管が設置された
対向型平行平板電極または誘導カップリングコイルまた
は空胴共振器に導き、前記放電管内の空間に封入されて
いるレーザー媒質ガスを、前記電磁波による電界によっ
て励起させてレーザー出力を得る軸流方式の気体レーザ
ー装置において、 レーザーガスを流動させる放電管に対して、放電部がレ
ーザー発振軸上に対して上流に設置され、その放電部下
流にミキシング部を確保することを特徴とする気体レー
ザー装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34078696A JPH10190102A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 気体レーザーの放電励起方法及び気体レーザー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34078696A JPH10190102A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 気体レーザーの放電励起方法及び気体レーザー装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10190102A true JPH10190102A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18340288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34078696A Withdrawn JPH10190102A (ja) | 1996-12-20 | 1996-12-20 | 気体レーザーの放電励起方法及び気体レーザー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10190102A (ja) |
-
1996
- 1996-12-20 JP JP34078696A patent/JPH10190102A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040302 |