JPH065957A - 横方向励起型レーザ発振器 - Google Patents
横方向励起型レーザ発振器Info
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- JPH065957A JPH065957A JP18581092A JP18581092A JPH065957A JP H065957 A JPH065957 A JP H065957A JP 18581092 A JP18581092 A JP 18581092A JP 18581092 A JP18581092 A JP 18581092A JP H065957 A JPH065957 A JP H065957A
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- Japan
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- gas
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- electrode
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
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- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 235000010469 Glycine max Nutrition 0.000 description 1
- 244000068988 Glycine max Species 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 レーザ発振器は、そのケーシング１内にガス
を封入してあり、またケーシング１内には主電極２を設
けている。この主電極２には、直流電源４と交流電源６
が接続されており、先ず交流電源６から主電極２に交流
電圧を印加して各電極２ａ，２ｂ間のガスを予備電離さ
せ、次に直流電源４から主電極２に直流電圧を印加して
放電させることによってレーザ光線を励起するようにし
ている。 【効果】 従来、ケーシング１内に設けていた予備電極
を省略したので、レーザ発振器の組立性が良好なものと
なり、しかも予備電極によってケーシング１内を循環流
通するガスの流れが乱されることがない。
を封入してあり、またケーシング１内には主電極２を設
けている。この主電極２には、直流電源４と交流電源６
が接続されており、先ず交流電源６から主電極２に交流
電圧を印加して各電極２ａ，２ｂ間のガスを予備電離さ
せ、次に直流電源４から主電極２に直流電圧を印加して
放電させることによってレーザ光線を励起するようにし
ている。 【効果】 従来、ケーシング１内に設けていた予備電極
を省略したので、レーザ発振器の組立性が良好なものと
なり、しかも予備電極によってケーシング１内を循環流
通するガスの流れが乱されることがない。
Description
【産業上の利用分野】本発明は、パルス発振を行う横方
向励起型レーザ発振器の改良に関する。
向励起型レーザ発振器の改良に関する。
【従来の技術】従来、横方向励起型レーザ発振器とし
て、ケーシング内に設けた一対の主電極と、ケーシング
内に設けた複数組の予備電極と、ケーシングの内部空間
に介在させたガスと、上記主電極および予備電極に所要
の電圧を印加する電源とを備え、上記予備電極を放電さ
せて上記主電極間のガスを予備電離させてから上記主電
極を放電させてレーザ光線を励起するように構成したも
のは知られている（例えば特開昭６１−１３６７９号公
報）。上記従来のレーザ発振器においては、主電極とは
別に上記予備電極を設けたことによって、主電極による
放電の安定域を高電力密度側まで拡大することができ
る。
て、ケーシング内に設けた一対の主電極と、ケーシング
内に設けた複数組の予備電極と、ケーシングの内部空間
に介在させたガスと、上記主電極および予備電極に所要
の電圧を印加する電源とを備え、上記予備電極を放電さ
せて上記主電極間のガスを予備電離させてから上記主電
極を放電させてレーザ光線を励起するように構成したも
のは知られている（例えば特開昭６１−１３６７９号公
報）。上記従来のレーザ発振器においては、主電極とは
別に上記予備電極を設けたことによって、主電極による
放電の安定域を高電力密度側まで拡大することができ
る。
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記従来の
レーザ発振器においては、上記予備電極をケーシング内
に増設したことによって、レーザ発振器の組立作業が煩
雑になるという欠点がある。しかも、上記予備電極を設
けたことにより、ケーシング内を循環流通されているガ
スの流れに乱れが生じるので、主電極による放電に支障
を来す虞があった。さらに、予備電極間での放電により
該予備電極からダストが発生するので、放電の安定性が
損なわれるという欠点があった。
レーザ発振器においては、上記予備電極をケーシング内
に増設したことによって、レーザ発振器の組立作業が煩
雑になるという欠点がある。しかも、上記予備電極を設
けたことにより、ケーシング内を循環流通されているガ
スの流れに乱れが生じるので、主電極による放電に支障
を来す虞があった。さらに、予備電極間での放電により
該予備電極からダストが発生するので、放電の安定性が
損なわれるという欠点があった。
【課題を解決するための手段】上述した事情に鑑み、本
発明は、ケーシング内に設けた一対の主電極と、ケーシ
ングの内部空間に介在させたガスと、上記主電極に所要
の電圧を印加する電源とを備え、上記主電極をＡＣ放電
させて上記主電極間のガスを予備電離させてから上記主
電極をＤＣ放電させてレーザ光線を励起するように構成
した横方向励起型レーザ発振器を提供するものである。
発明は、ケーシング内に設けた一対の主電極と、ケーシ
ングの内部空間に介在させたガスと、上記主電極に所要
の電圧を印加する電源とを備え、上記主電極をＡＣ放電
させて上記主電極間のガスを予備電離させてから上記主
電極をＤＣ放電させてレーザ光線を励起するように構成
した横方向励起型レーザ発振器を提供するものである。
【作用】このような構成によれば、ケーシング内に予備
電極を設けることなく主電極からの放電の安定性を良好
なものとすることができる。しかも、ケーシング内に予
備電極が存在しないので、上記従来のものと比較してレ
ーザ発振器の組立性が良好になり、またガスの流通に乱
れを生じさせることもない。さらに、予備電極が原因と
なってダストが発生するようなことがないため、上記従
来に比較してガスの寿命を長くすることができる。
電極を設けることなく主電極からの放電の安定性を良好
なものとすることができる。しかも、ケーシング内に予
備電極が存在しないので、上記従来のものと比較してレ
ーザ発振器の組立性が良好になり、またガスの流通に乱
れを生じさせることもない。さらに、予備電極が原因と
なってダストが発生するようなことがないため、上記従
来に比較してガスの寿命を長くすることができる。
【実施例】以下図示実施例について本発明を説明する
と、図１は横方向励起型レーザ発振器の電気回路を示し
たものであり、レーザ発振器は、図示しないガスを封入
したケーシング１を備えており、このケーシング１内に
一対の電極２ａ，２ｂから構成した主電極２を設けてい
る。そして、後述するように、本実施例では主電極２を
予備電極として兼用できるように構成しているので、従
来ケーシング１内に設けていた予備電極を省略してい
る。図２に拡大して示すように、本実施例における主電
極２の各電極２ａ，２ｂを板状に形成するとともに、そ
の板状とした両電極２ａ，２ｂの一方の平坦面を相互に
対向させてあり、かつ、そのように対向させた両電極２
ａ，２ｂの間隔を１０ｍｍ以下の距離に近接させて設け
ている。他方、上記両電極２ａ，２ｂにおける対向して
いない側の面には、その長手方向、すなわち紙面と直交
する方向に溝を形成してあり、その溝内に熱交換器とし
ての導管３を取り付けている。この導管３は、ケーシン
グ１の外部に設けた冷却媒体の供給源に接続してあり、
供給源から水あるいは油等の冷却媒体を導管３内に流通
させることによって、両電極２ａ，２ｂを冷却するよう
にしている。本実施例では、上述のように、両電極２
ａ，２ｂの間隔をわずか数ミリに設定してあり、さらに
主電極２は冷却されることによって温度上昇が抑制され
るようになっている。そのため、放電によって温度上昇
した主電極２の間のガスと主電極２の表面との間に温度
差が生じるので、ケーシング１内のガスはケーシング１
内を自然対流するようになっている。したがって、本実
施例では、従来ケーシング１内に設けていたガス循環用
のファンを省略してあり、それによって、ケーシング１
を小型化している。また、本実施例では従来ケーシング
１内に設けていた予備電極を省略したことにより、ガス
の劣化を抑制してガスの寿命を長くすることができる。
そのため、本実施例では、レーザ発振器の組立の際に、
所要量のガスをケーシング１内に供給して長時間密封し
て運転可能である。図１に示すように、上記主電極２
は、直流電源４に接続すると同時に、コイル５を介して
交流電源６に接続するようにしている。この交流電源６
は数１０ＫＨｚないし数１００ＫＨｚの高電圧を主電極
２に供給することができる。そして、本実施例では、先
ず交流電源６から主電極２に交流の高電圧を印加して主
電極２間のガスを予備電離させ、次にその数１０ｎｓ後
に直流電源４から主電極２に直流の高電圧を印加するよ
うにしてあり、それによって主電極２を主放電させてレ
ーザ光線を励起するように構成している。すなわち、直
流電源４と主電極２との間には、その最も上流側にスイ
ッチ９を設けるとともに主放電用の主コンデンサ１０を
設けてあり、この主コンデンサ１０の下流には可飽和リ
アクトル１１を設けている。上記可飽和リアクトル１１
の下流側と、上記スイッチ９の下流側とにわたっては容
量移行用の予備コンデンサ１２を設けるとともに、それ
よりも下流側にインダクタ１３を設けている。上記可飽
和リアクトル１１は、スイッチ９がＯＮされた時の電流
と電圧にずれを生じさせ、スイッチ９にかかる電力を小
さくし、それによってスイッチ９にかかる負荷を軽減す
る機能を備えている。以上の構成において、先ず交流電
源６の電圧が主電極２に印加され、該主電極２の間のガ
スが予備電離される。次に、スイッチ９がＯＮされ、主
コンデンサ１０を介して直流電源４の電圧が上記主電極
２に印加される。これによって、主電極２から放電が開
始されるので従来と同様にレーザ光線が励起される。そ
して、過熱した主電極２は図２に示した導管３によって
冷却され、冷却された主電極２と放電のために過熱され
たガスとの温度差によってケーシング１内のガスに高速
対流が生じるので、ガスはケーシング１内を循環される
ようになる。上述した本実施例によれば、従来ケーシン
グ１内に設けていた予備電極およびファンを省略してい
るので、レーザ発振器の組立作業性が良好なものとな
り、しかも予備電極によってケーシング１内を循環する
ガスの流れに乱流が生じるようなこともない。さらに、
予備電極およびファンを省略したことによってケーシン
グ１そのものを小型化することができ、ひいてはレーザ
発振器を小型化することができる。また、ケーシング１
内に予備電極が存在しないので、予備電極が原因となっ
てダストが生じるようなことなく、そのため、ケーシン
グ１内のガスの劣化を抑制してガスの寿命を長くするこ
とができる。また、上述のように両電極２ａ，２ｂ間の
寸法を狭くしたことにより、放電によって発生するショ
ックウエーブのケーシング１内面からの反射が電極２
ａ，２ｂ間に侵入することを防止することができる。そ
のため、放電時のショックウエーブによる悪影響を排除
することができる。 （第２実施例）次に、図３は本発明の第２実施例を示し
たものであり、この第２実施例では、上記第１実施例の
電気回路の構成を前提とした上で、第１実施例の各電極
２ａ，２ｂに設けた導管３の代わりに従来公知のフアン
１１６および熱交換器１１７をケーシング１０１内に設
けたものである。その他の構成は上記第１実施例と同じ
であり、第１実施例の各部材と対応する部材にはそれぞ
れ１００を加算した部材番号を付している。このような
構成の第２実施例においても、ケーシング１０１内から
予備電極を省略しているので、レーザ発振器の組立作業
性が良好なものとなり、また予備電極によってケーシン
グ１０１内を循環流通するガスの流れに乱れが生じるよ
うなことがない。 （第３実施例）次に図４は本発明の第３実施例を示した
ものであり、この第３実施例では、図３に示した第２実
施例における交流電源１０６側の構成を変更したもので
ある。つまり、上記第２実施例におけるコイル１０５の
代わりにリングコイル２１８およびマッチングユニット
２１９を用いたものである。そのほかの構成は上記第２
実施例と同じであり、第２実施例の各部材と対応する部
材には、それぞれ１００を加算した部材番号を付してい
る。このような第３実施例によっても上記第２実施例と
同様の作用効果を得ることができる。 （第４実施例）最後に、図５は本発明の第４実施例を示
したものであり、この第４実施例は、上記第３実施例に
おけるスイッチ２０９を省略する一方、ケーシング２０
１の内部構成を上記第１実施例と同様に構成したもので
ある。すなわち、スイッチを省略したことに伴って上記
主コンデンサ２１０の代わりにコイル３２０を設けてあ
り、リングコイル３１８は補助コンデンサ３１２の下流
側にそれと並列に設けている。レーザを発振する際に
は、交流電源３０６から小さな電流を供給し、主電極３
０２ａ，３０２ｂ間に予備放電を発生させる。その後、
交流電源３０６の電流を瞬間的に急上昇させる。これに
より、主電極３０２ａ，３０２ｂ間が導通し、コンデン
サ３１２に蓄えられたエネルギーが流れ主放電が行われ
る。この第４実施例では、上記第３実施例および第１実
施例と対応する各部材にそれぞれ１００あるいは３００
を加算した部材番号を付している。この第４実施例によ
れば、上述した第１実施例と同様の作用効果を得ること
ができることは明らかである。
と、図１は横方向励起型レーザ発振器の電気回路を示し
たものであり、レーザ発振器は、図示しないガスを封入
したケーシング１を備えており、このケーシング１内に
一対の電極２ａ，２ｂから構成した主電極２を設けてい
る。そして、後述するように、本実施例では主電極２を
予備電極として兼用できるように構成しているので、従
来ケーシング１内に設けていた予備電極を省略してい
る。図２に拡大して示すように、本実施例における主電
極２の各電極２ａ，２ｂを板状に形成するとともに、そ
の板状とした両電極２ａ，２ｂの一方の平坦面を相互に
対向させてあり、かつ、そのように対向させた両電極２
ａ，２ｂの間隔を１０ｍｍ以下の距離に近接させて設け
ている。他方、上記両電極２ａ，２ｂにおける対向して
いない側の面には、その長手方向、すなわち紙面と直交
する方向に溝を形成してあり、その溝内に熱交換器とし
ての導管３を取り付けている。この導管３は、ケーシン
グ１の外部に設けた冷却媒体の供給源に接続してあり、
供給源から水あるいは油等の冷却媒体を導管３内に流通
させることによって、両電極２ａ，２ｂを冷却するよう
にしている。本実施例では、上述のように、両電極２
ａ，２ｂの間隔をわずか数ミリに設定してあり、さらに
主電極２は冷却されることによって温度上昇が抑制され
るようになっている。そのため、放電によって温度上昇
した主電極２の間のガスと主電極２の表面との間に温度
差が生じるので、ケーシング１内のガスはケーシング１
内を自然対流するようになっている。したがって、本実
施例では、従来ケーシング１内に設けていたガス循環用
のファンを省略してあり、それによって、ケーシング１
を小型化している。また、本実施例では従来ケーシング
１内に設けていた予備電極を省略したことにより、ガス
の劣化を抑制してガスの寿命を長くすることができる。
そのため、本実施例では、レーザ発振器の組立の際に、
所要量のガスをケーシング１内に供給して長時間密封し
て運転可能である。図１に示すように、上記主電極２
は、直流電源４に接続すると同時に、コイル５を介して
交流電源６に接続するようにしている。この交流電源６
は数１０ＫＨｚないし数１００ＫＨｚの高電圧を主電極
２に供給することができる。そして、本実施例では、先
ず交流電源６から主電極２に交流の高電圧を印加して主
電極２間のガスを予備電離させ、次にその数１０ｎｓ後
に直流電源４から主電極２に直流の高電圧を印加するよ
うにしてあり、それによって主電極２を主放電させてレ
ーザ光線を励起するように構成している。すなわち、直
流電源４と主電極２との間には、その最も上流側にスイ
ッチ９を設けるとともに主放電用の主コンデンサ１０を
設けてあり、この主コンデンサ１０の下流には可飽和リ
アクトル１１を設けている。上記可飽和リアクトル１１
の下流側と、上記スイッチ９の下流側とにわたっては容
量移行用の予備コンデンサ１２を設けるとともに、それ
よりも下流側にインダクタ１３を設けている。上記可飽
和リアクトル１１は、スイッチ９がＯＮされた時の電流
と電圧にずれを生じさせ、スイッチ９にかかる電力を小
さくし、それによってスイッチ９にかかる負荷を軽減す
る機能を備えている。以上の構成において、先ず交流電
源６の電圧が主電極２に印加され、該主電極２の間のガ
スが予備電離される。次に、スイッチ９がＯＮされ、主
コンデンサ１０を介して直流電源４の電圧が上記主電極
２に印加される。これによって、主電極２から放電が開
始されるので従来と同様にレーザ光線が励起される。そ
して、過熱した主電極２は図２に示した導管３によって
冷却され、冷却された主電極２と放電のために過熱され
たガスとの温度差によってケーシング１内のガスに高速
対流が生じるので、ガスはケーシング１内を循環される
ようになる。上述した本実施例によれば、従来ケーシン
グ１内に設けていた予備電極およびファンを省略してい
るので、レーザ発振器の組立作業性が良好なものとな
り、しかも予備電極によってケーシング１内を循環する
ガスの流れに乱流が生じるようなこともない。さらに、
予備電極およびファンを省略したことによってケーシン
グ１そのものを小型化することができ、ひいてはレーザ
発振器を小型化することができる。また、ケーシング１
内に予備電極が存在しないので、予備電極が原因となっ
てダストが生じるようなことなく、そのため、ケーシン
グ１内のガスの劣化を抑制してガスの寿命を長くするこ
とができる。また、上述のように両電極２ａ，２ｂ間の
寸法を狭くしたことにより、放電によって発生するショ
ックウエーブのケーシング１内面からの反射が電極２
ａ，２ｂ間に侵入することを防止することができる。そ
のため、放電時のショックウエーブによる悪影響を排除
することができる。 （第２実施例）次に、図３は本発明の第２実施例を示し
たものであり、この第２実施例では、上記第１実施例の
電気回路の構成を前提とした上で、第１実施例の各電極
２ａ，２ｂに設けた導管３の代わりに従来公知のフアン
１１６および熱交換器１１７をケーシング１０１内に設
けたものである。その他の構成は上記第１実施例と同じ
であり、第１実施例の各部材と対応する部材にはそれぞ
れ１００を加算した部材番号を付している。このような
構成の第２実施例においても、ケーシング１０１内から
予備電極を省略しているので、レーザ発振器の組立作業
性が良好なものとなり、また予備電極によってケーシン
グ１０１内を循環流通するガスの流れに乱れが生じるよ
うなことがない。 （第３実施例）次に図４は本発明の第３実施例を示した
ものであり、この第３実施例では、図３に示した第２実
施例における交流電源１０６側の構成を変更したもので
ある。つまり、上記第２実施例におけるコイル１０５の
代わりにリングコイル２１８およびマッチングユニット
２１９を用いたものである。そのほかの構成は上記第２
実施例と同じであり、第２実施例の各部材と対応する部
材には、それぞれ１００を加算した部材番号を付してい
る。このような第３実施例によっても上記第２実施例と
同様の作用効果を得ることができる。 （第４実施例）最後に、図５は本発明の第４実施例を示
したものであり、この第４実施例は、上記第３実施例に
おけるスイッチ２０９を省略する一方、ケーシング２０
１の内部構成を上記第１実施例と同様に構成したもので
ある。すなわち、スイッチを省略したことに伴って上記
主コンデンサ２１０の代わりにコイル３２０を設けてあ
り、リングコイル３１８は補助コンデンサ３１２の下流
側にそれと並列に設けている。レーザを発振する際に
は、交流電源３０６から小さな電流を供給し、主電極３
０２ａ，３０２ｂ間に予備放電を発生させる。その後、
交流電源３０６の電流を瞬間的に急上昇させる。これに
より、主電極３０２ａ，３０２ｂ間が導通し、コンデン
サ３１２に蓄えられたエネルギーが流れ主放電が行われ
る。この第４実施例では、上記第３実施例および第１実
施例と対応する各部材にそれぞれ１００あるいは３００
を加算した部材番号を付している。この第４実施例によ
れば、上述した第１実施例と同様の作用効果を得ること
ができることは明らかである。
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、従来に
比較するとレーザ発振器の組立性が良好になり、またガ
スの流通に乱れを生じさせることもないという効果が得
られる。さらに、従来に比較してガスの寿命を長くする
ことができるという効果が得られる。
比較するとレーザ発振器の組立性が良好になり、またガ
スの流通に乱れを生じさせることもないという効果が得
られる。さらに、従来に比較してガスの寿命を長くする
ことができるという効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例を示す回路図
【図２】図１の要部の詳細な拡大図
【図３】本発明の第２実施例を示す回路図
【図４】本発明の第３実施例を示す回路図
【図５】本発明の第４実施例を示す回路図
１ ケーシング ２ 主電極 ４ 直流電源 ６ 交流電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮本 文彦 石川県金沢市大豆田本町甲58番地 澁谷工 業株式会社内 (72)発明者 小関 良治 石川県金沢市大豆田本町甲58番地 澁谷工 業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 ケーシング内に設けた一対の主電極と、
ケーシングの内部空間に介在させたガスと、上記主電極
に所要の電圧を印加する電源とを備え、上記主電極をＡ
Ｃ放電させて上記主電極間のガスを予備電離させてから
上記主電極をＤＣ放電させてレーザ光線を励起するよう
に構成したことを特徴とする横方向励起型レーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18581092A JP2745976B2 (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 横方向励起型レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18581092A JP2745976B2 (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 横方向励起型レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065957A true JPH065957A (ja) | 1994-01-14 |
| JP2745976B2 JP2745976B2 (ja) | 1998-04-28 |
Family
ID=16177291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18581092A Expired - Fee Related JP2745976B2 (ja) | 1992-06-19 | 1992-06-19 | 横方向励起型レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2745976B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6257697B1 (en) | 1994-03-09 | 2001-07-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Fluid ejecting apparatus, a print system, a method of recovering fluid from a fluid ejecting head, and a record product all including a wiping blade for wiping an ejection surface |
-
1992
- 1992-06-19 JP JP18581092A patent/JP2745976B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6257697B1 (en) | 1994-03-09 | 2001-07-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Fluid ejecting apparatus, a print system, a method of recovering fluid from a fluid ejecting head, and a record product all including a wiping blade for wiping an ejection surface |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2745976B2 (ja) | 1998-04-28 |
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