JPH0661275A - 薄板搬送における表裏反転機構 - Google Patents
薄板搬送における表裏反転機構Info
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- JPH0661275A JPH0661275A JP20765892A JP20765892A JPH0661275A JP H0661275 A JPH0661275 A JP H0661275A JP 20765892 A JP20765892 A JP 20765892A JP 20765892 A JP20765892 A JP 20765892A JP H0661275 A JPH0661275 A JP H0661275A
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims abstract description 31
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 8
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】薄板の搬送機構において、薄板を吸着または把
持するハンドリング移載機構を不要とした表裏反転を行
なう。 【構成】薄板のリードフレーム６を上下方向からベルト
１ａによって挟み、ベルト１ａをスプロケット１ｂと電
動モータ１ｃで駆動する左右１対の搬送機構１をリード
フレーム６の両側面に配置し、搬送機構１をピニオン部
２に結合し、ピニオン部２の回転運動を軸受部４で支持
するとともに、ラック部３の往復運動に連結することに
より、搬送機構１を搬送ラインＬの中心軸まわりに１８
０度回転させてリードフレーム６の表裏反転を行う。
持するハンドリング移載機構を不要とした表裏反転を行
なう。 【構成】薄板のリードフレーム６を上下方向からベルト
１ａによって挟み、ベルト１ａをスプロケット１ｂと電
動モータ１ｃで駆動する左右１対の搬送機構１をリード
フレーム６の両側面に配置し、搬送機構１をピニオン部
２に結合し、ピニオン部２の回転運動を軸受部４で支持
するとともに、ラック部３の往復運動に連結することに
より、搬送機構１を搬送ラインＬの中心軸まわりに１８
０度回転させてリードフレーム６の表裏反転を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は薄板搬送機構に関し、特
に短冊状の薄板をベルト搬送し且つ表裏反転させる機能
を兼ね備えた機構に関する。
に短冊状の薄板をベルト搬送し且つ表裏反転させる機能
を兼ね備えた機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の薄板搬送における表裏反転機構
は、図３に示すように、搬送ラインＬ上をＡ部からＢ１
部に搬送した薄板をＢ１部にて真空吸着または把持し、
Ｌ軸とは異なるＬ１軸を回転中心とするハンドラーで１
８０度回転させて表裏反転後、Ｌ２軸状のＢ２部に乗せ
換える機構であった。
は、図３に示すように、搬送ラインＬ上をＡ部からＢ１
部に搬送した薄板をＢ１部にて真空吸着または把持し、
Ｌ軸とは異なるＬ１軸を回転中心とするハンドラーで１
８０度回転させて表裏反転後、Ｌ２軸状のＢ２部に乗せ
換える機構であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来の表裏反転機
構では、薄板を吸着または把持するハンドリング移載機
構が必要であり、このハンドリング移載機構の回転軸が
搬送ラインと異なるため、Ｂ１部からＢ２部への移載が
必ず行なわれ、搬送ラインがＬ軸とＬ２軸で異なってし
まう。また、反転・移載が必然的に行われてしまい、表
裏反転の実施を任意に選択することが困難である、など
の問題点があった。
構では、薄板を吸着または把持するハンドリング移載機
構が必要であり、このハンドリング移載機構の回転軸が
搬送ラインと異なるため、Ｂ１部からＢ２部への移載が
必ず行なわれ、搬送ラインがＬ軸とＬ２軸で異なってし
まう。また、反転・移載が必然的に行われてしまい、表
裏反転の実施を任意に選択することが困難である、など
の問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の薄板搬送におけ
る表裏反転機構は、搬送ライン上に設けられ搬送対象で
ある薄板をベルトによって上下に挟む左右１対の搬送機
構と、この１対の搬送機構を前記搬送ラインの中心軸上
にて１８０度回転させるピニオン部と、このピニオン部
の回転を案内する軸受部と、前記ピニオン部に噛み合い
往復運動して前記ピニオン部の回転運動を惹起するラッ
ク部と、このラック部を往復運動させるべく駆動する駆
動源とを備えており、また前記左右１対の搬送機構の相
互間の間隔を調節自在とする幅調整機構を有していても
よいし、更に前記前記搬送機構の回転動作の要・不要を
任意に選択できる構成となっていてもよい。
る表裏反転機構は、搬送ライン上に設けられ搬送対象で
ある薄板をベルトによって上下に挟む左右１対の搬送機
構と、この１対の搬送機構を前記搬送ラインの中心軸上
にて１８０度回転させるピニオン部と、このピニオン部
の回転を案内する軸受部と、前記ピニオン部に噛み合い
往復運動して前記ピニオン部の回転運動を惹起するラッ
ク部と、このラック部を往復運動させるべく駆動する駆
動源とを備えており、また前記左右１対の搬送機構の相
互間の間隔を調節自在とする幅調整機構を有していても
よいし、更に前記前記搬送機構の回転動作の要・不要を
任意に選択できる構成となっていてもよい。
【０００５】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例を示し（ａ）は正面図、
（ｂ）は部分断面を含む側面図、図２は本実施例による
薄板の搬送状態を概念的に示す図で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図である。
る。図１は本発明の一実施例を示し（ａ）は正面図、
（ｂ）は部分断面を含む側面図、図２は本実施例による
薄板の搬送状態を概念的に示す図で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図である。
【０００６】本実施例は半導体の製造工程において、搬
送ラインＬ上で短冊状の薄板であって搬送対象のリード
フレーム６を上下方向からエンドレスのベルト１a によ
って挟み、ベルト１a をスプロケット１b と電動モータ
１c で駆動する左右１対の搬送機構１をリードフレーム
６の両側面に配置し、この１対の搬送機構１の相互の間
隔を任意のリードフレーム幅に対応するように副調整し
て位置決めする搬送機構幅調整機構５を介してピニオン
部２に結合する。ピニオン部２は搬送ラインＬの中心軸
上にて１８０度回転するもので、その回転運動は軸受部
４で支持され、図示しない、アクチュエータに駆動され
て矢印Ｆ方向に動くラック部３の往復運動に連結して回
転運動が起る構成となっている。
送ラインＬ上で短冊状の薄板であって搬送対象のリード
フレーム６を上下方向からエンドレスのベルト１a によ
って挟み、ベルト１a をスプロケット１b と電動モータ
１c で駆動する左右１対の搬送機構１をリードフレーム
６の両側面に配置し、この１対の搬送機構１の相互の間
隔を任意のリードフレーム幅に対応するように副調整し
て位置決めする搬送機構幅調整機構５を介してピニオン
部２に結合する。ピニオン部２は搬送ラインＬの中心軸
上にて１８０度回転するもので、その回転運動は軸受部
４で支持され、図示しない、アクチュエータに駆動され
て矢印Ｆ方向に動くラック部３の往復運動に連結して回
転運動が起る構成となっている。
【０００７】図２に本実施例によるリードフレーム６の
搬送状態を示す。搬送ラインＬ上をＡ部からＢ部に搬送
したリードフレーム６は、Ｂ部において上述したピニオ
ン部２の回転運動による搬送機構１の回転によって１８
０度回転し表裏反転後、Ａ部・Ｂ部と同一の搬送ライン
Ｌ上を次工程のＣ部へと搬送される。なお、リードフレ
ーム６の表裏反転動作が不要なときには、Ｂ部における
搬送機構１の回転を実施しなければよく、従って表裏反
転動作は任意に選択することができる。
搬送状態を示す。搬送ラインＬ上をＡ部からＢ部に搬送
したリードフレーム６は、Ｂ部において上述したピニオ
ン部２の回転運動による搬送機構１の回転によって１８
０度回転し表裏反転後、Ａ部・Ｂ部と同一の搬送ライン
Ｌ上を次工程のＣ部へと搬送される。なお、リードフレ
ーム６の表裏反転動作が不要なときには、Ｂ部における
搬送機構１の回転を実施しなければよく、従って表裏反
転動作は任意に選択することができる。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、搬送機構
全体を薄板の搬送中心軸に対して１８０度回転する構造
としたので、薄板のハンドリング機構を不要とし、かつ
一直線状の搬送を可能とする効果がある。さらに、表裏
反転動作を任意に選択することも可能となる。
全体を薄板の搬送中心軸に対して１８０度回転する構造
としたので、薄板のハンドリング機構を不要とし、かつ
一直線状の搬送を可能とする効果がある。さらに、表裏
反転動作を任意に選択することも可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示し、（ａ）は正面図、
（ｂ）は部分断面を含む側面図である。
（ｂ）は部分断面を含む側面図である。
【図２】本発明の実施例による薄板の搬送状態を概念的
に示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
に示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図３】従来の薄板の搬送・表裏反転方式を概念的に示
す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
１ 搬送機構 １a 搬送ベルト １b スプロケット １c 電動モーター １d 搬送ガイド ２ ピニオン部 ３ ラック部 ４ 軸受部 ５ 搬送機構幅調整機構 ６ リードフレーム
Claims (3)
- 【請求項１】 搬送ライン上に設けられ搬送対象である
薄板をベルトによって上下に挟む左右１対の搬送機構
と、この１対の搬送機構を前記搬送ラインの中心軸上に
て１８０度回転させるピニオン部と、このピニオン部の
回転を案内する軸受部と、前記ピニオン部に噛み合い往
復運動して前記ピニオン部の回転運動を惹起するラック
部と、このラック部を往復運動させるべく駆動する駆動
源とを備えることを特徴とする薄板搬送における表裏反
転機構。 - 【請求項２】 前記左右１対の搬送機構の相互間の間隔
を調節自在とする幅調整機構を有するこを特徴とする請
求項１記載の薄板搬送における表裏反転機構。 - 【請求項３】 前記搬送機構の回転動作の要・不要を任
意に選択できる構成となっていることを特徴とする請求
項１または２記載の薄板搬送における表裏反転機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20765892A JP2785598B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 薄板搬送における表裏反転機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20765892A JP2785598B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 薄板搬送における表裏反転機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0661275A true JPH0661275A (ja) | 1994-03-04 |
| JP2785598B2 JP2785598B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=16543420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20765892A Expired - Lifetime JP2785598B2 (ja) | 1992-08-04 | 1992-08-04 | 薄板搬送における表裏反転機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2785598B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100775054B1 (ko) * | 2006-09-13 | 2007-11-08 | (주) 인텍플러스 | 트레이 핸들링 장치 및 그를 이용한 반도체 소자 검사 방법 |
| EP1894869A3 (en) * | 2006-08-23 | 2008-03-12 | Pitney Bowes, Inc. | Sheet material inverter |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5531615B2 (ja) | 2007-07-19 | 2014-06-25 | 戸田工業株式会社 | 炭化水素を分解する触媒 |
-
1992
- 1992-08-04 JP JP20765892A patent/JP2785598B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1894869A3 (en) * | 2006-08-23 | 2008-03-12 | Pitney Bowes, Inc. | Sheet material inverter |
| US7520503B2 (en) | 2006-08-23 | 2009-04-21 | Pitney Bowes Inc. | Sheet material inverter |
| KR100775054B1 (ko) * | 2006-09-13 | 2007-11-08 | (주) 인텍플러스 | 트레이 핸들링 장치 및 그를 이용한 반도체 소자 검사 방법 |
| WO2008032983A1 (en) * | 2006-09-13 | 2008-03-20 | Intekplus Co., Ltd. | Tray handling apparatus and semiconductor device inspecting method using the same |
| US8056698B2 (en) | 2006-09-13 | 2011-11-15 | Intekplus Co., Ltd. | Tray handling apparatus and semiconductor device inspecting method using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2785598B2 (ja) | 1998-08-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980428 |